JPH0463442A - 半導体チップの組立装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エキスパンドシートの上面においてウェハよ
り細かくブレイクされた半導体チップを、リードフレー
ム又は基板等における所定の箇所に一個ずつ移送供給す
るようにした組立装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の装置は、ウェハを貼着したエキスパンド
シートを、リードフレームの側方の部位に略同−平面状
に配設して、このエキスパンドシートを、互いに直角に
交わるＸ方向とＹ方向との二つの方向に移動するＸＹ子
テーブル装着する一方、その上方に、ピックアップコレ
ットを、前記エキスパンドシートと、前記リードフレー
ムとの間を往復動するように配設して、このピックアッ
プコレットによって、前記エキスパンドシートの上面に
おける半導体チップを、リードフレームの所定箇所に一
個ずつ移送供給するように構成している（例えば、実開
昭５７−１１０９４３号公報）。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、この従来の装置において、エキスパンドシート
の上面にウニノーにおける総ての半導体チップをピック
アップコレットによって吸着できるようにするためには
、前記エキスパンドシートを、Ｘ方向とＹ方向との両方
に、当該エキスパンドシートにおけるウェハの直径より
も大きい距離だけ移動するように構成することが必要で
、このことを可能するには、前記エキスパンドシートと
前記リードフレームとの間に、平面視において前記ウェ
ハの直径に対応する寸法の空間部を明けるようにしなけ
ればならず、従って、前記ピックアップコレットにおけ
る水平方向への移動ストロークが長くなり、ひいては、
ピックアップコレットをリードフレームとエキスパンド
シートとの間を往復移動することに要する時間が長くな
るから、エキスパンドシートにおける半導体チップをリ
ードフレームに対して供給する速度が遅くて、組立能率
が低いのであった。

しかも、前記エキスパンドシートと前記リードフレーム
との間に平面視において空間部を明けることは、装置の
幅寸法が増大するから、装置の大型化を招来するのであ
る。

本発明は、エキスパンドシートにおける半導体チップを
リードフレームに対して移送供給する場合における速度
を向上すると共に、装置の小型化を図ることを技術的課
題とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この技術的課題を達成するため本発明は、リードフレー
ム又は基板の搬送レールと、上面にウェハを貼着したエ
キスパンドシートを平面視において互いに直角に交わる
二つの方向に移動するためのＸＹ子テーブル、前記搬送
レールの上方と前記エキスパンドシートの上方との間を
往復動するピックアップコレットとから成り、前記搬送
レールを、前記エキスパンドシートより高い部位に配設
して、この搬送レールの下方に前記エキスパンドシート
が入り込むことができるようにした空間部を形成する一
方、前記ピックアップコレットに、エキスパンドシート
から搬送レールへの移動中において当該ピックアップコ
レットを上昇動し、搬送レールからエキスパンドシート
への移動中において当該ピックアップコレットを下降動
するようにした上下動手段を設ける構成にした。

〔発明の作用・効果〕

このように、搬送レールを、ＸＹ子テーブル装着したエ
キスパンドシートより高い部位に配設して、この搬送レ
ールの下方に前記エキスパンドシートが入り込むことが
できようにした空間部を形成したことにより、搬送レー
ルとエキスパンドシートとを、平面視においてオーバー
ラツプすることができるから、前記搬送レールの上方と
エキスパンドシートの上方との間を往復動するピックア
ップコレットにおける水平方向への移動ストロークを、
前記した従来の場合よりも可成り短くすることができ、
ピックアップコレットを搬送レールとエキスパンドシー
トとの間を往復移動することに要する時間を大幅に短縮
できるのである。

しかし、搬送レールをエキスパンドシートより高い部位
に配設したことに伴って、ピックアップコレットを、前
記搬送ラインとエキスパンドシートとの高さの差だけ上
下動するように構成しなければならないか、このピック
アップコレットの上下動を、上下動手段によって、前記
搬送レール正エキスパンドシートとの間の往復移動中に
おいて行うように構成したことにより、前記ピックアッ
プコレットを搬送レールとエキスパンドシートとの間を
往復移動することに要する時間が、当該ピックアップコ
レットを上下動することのために長くなることを回避で
きるのである。

従って本発明によると、ＸＹ子テーブル装着したエキス
パンドシートにおける各半導体チップを、リードフレー
ム又は基板等に対して一個ずつ供給することの作業能率
を大幅に向上することができる一方、搬送レールの下方
に、エキスパンドシートが入り込むように構成したこと
によって、装置の幅寸法を狭くできるから、装置の小型
化を図ることができる効果を有する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面について説明する。

図において符号１は機台を、符号２は前記機台ｌの上面
に配設したＸＹ子テーブル示し、該ＸＹ子テーブルには
、上面にウェハ３を貼着したエキスパンドシート４が、
水平の状態で取付けられ、且つ、このＸＹ子テーブルに
は、前記エキスパンドシート４を、平面視においてＸ軸
の方向に移動するようにしたＸ方向移動機構５と、前記
エキスパンドシート４を、平面視において前記Ｘ軸と直
角に交わるＹ軸の方向に移動するようにしたＸ方向移動
機構６とを備えている。

前記機台１から立設したフレーム７には、リードフレー
ム８を水平状態の下でその半導体チップ取付は部８ａの
間隔で矢印Ａの方向に搬送ガイドするための搬送レール
９か取付けられている。

この場合、前記搬送レール９を、前記エキスパンドシー
ト４の上面より高い部位に設けて、この搬送レール９の
下方に、前記エキスパンドシート４が入り込むことがで
きるようにした空間部１０を形成する。

符号１１は、前記エキスパンドシート４め上面にウェハ
３における半導体チップ３ａを一個ずつ吸着するように
したピックアップコレットを示し、該ピックアップコレ
ット１１は、前記フレーム７に対して横軸１２等を介し
て水平方向に往復移動に自在に取付けた往復動ヘット部
材１３に、上下方向に移動自在に支持されている。

前記往復動ヘット１３に、前記フレーム７に水平横向き
に軸支したねじ軸１４を螺合して、このねし軸１４を、
往復動用パルスモータ（ステップモータ）１５にて正逆
回転することにより、前記ピックアップコレット１１を
、前記エキスパンドシート４の上方の部位と、前記リー
ドフレーム８の上方の部位との間を往復動するように構
成する。

そして、前記往復動ヘッド１３の上方に、当該往復動ヘ
ッド１３における往復動中において前記ピックアップコ
レット１１を上下動するための上下動手段１６を設ける
。

すなわち、この上下動手段１６は、前記往復動ヘッド１
３の往復動の方向に沿って延びるガイドレール１７と、
該ガイドレール１７を、フレーム７に対して当該ガイド
レール１７の長平方向に揺動自在に支持する左右一対の
リンク１８．１９とから成り、このカイトレール１７に
、前記ピックアップコレット１１の上端に固着したコロ
２０を摺動自在に嵌まり係合する一方、前記ガイドレー
ル１７を、その両端を水平部１７ａ、１７ｂにし、この
雨水平部１７ａ、１７ｂの中間において前記エキスパン
ドシート４から前記リードフレーム８に向かって、エキ
スパンドシート４の上面からリードフレーム８の上面ま
での高さ寸法Ｈと同じ寸法Ｈだけ斜め上向きに屈曲した
傾斜部１７ｃを設けた形態にすることにより、前記往復
動ヘッド１３の往復動中において、前記ピックアップコ
レット１１を、前記傾斜部１７ｃにてエキスパンドシー
ト４の上面からリードフレーム８の上面までの高さ寸法
Ｈと同じ寸法Ｈだけ上下動するように構成する。

前記ガイドレール１７の一端には、前記両リンク１８．
１９のうち一方のリンク１８がストッパー２１に対して
傾斜状態で接当するように付勢する引張りばね２２を係
着し、また、前記ガイドレール１７の他端にはピン２３
を設け、このピン２３を、ピックアップ用パルスモータ
（ステップモータ）２４の出力軸に取付くクランク円盤
２５における長溝孔２６に嵌まり係合する一方、前記往
復動ヘット１３の往復動の左右両端の時期において、前
記ピックアップ用パルスモータ２４における適宜角度θ
の範囲内での揺動回転にて前記ガイドレール１７をその
長平方向に往復動することにより、両リンク１８．１９
の揺動回動に伴って、前記ピックアップコレット１１を
微小高さ寸法りだけ下降したのち上昇するように構成す
る。

この構成において、ピックアップコレット１１を備えた
往復動ヘット１３か、エキスパンドシート４の上方の部
位にあるとき、ピックアップ用パルスモータ２４におけ
る適宜角度θの揺動回転によって、ピックアップコレッ
ト１１がエキスパンドシート４に向かって微小高さ寸法
りだけ下降したのち上昇することにより、エキスパンド
シート４の上面におけるウェハ３における一つの半導体
チップ３ａを、ピックアップコレット１１にてビッタア
ップする。

すると、前記ピックアップコレット１１を備えた往復動
ヘッド１３を、往復動用パルスモータ１５の回転によっ
て、第１図に二点鎖線で示すように、搬送レール９にお
けるリードフレーム８の上方の部位に前進移動するので
あるが、この前進移動中において、この往復動ヘッド１
３に設けたピックアップコレット１１が、ガイトレール
１７における傾斜部１７ｃによるガイドによって、エキ
スパンドシート４の上面からリードフレーム８の上面ま
での高さ寸法Ｈと同じ寸法Ｈだけ上昇動する。

このようにして、ピックアップコレット１１がリードフ
レーム８の上方の部位に移動すると、ピックアップ用パ
ルスモータ２４における適宜角度θの揺動回転によって
、ピックアップコレット１１がリードフレーム８に向か
って微小高さ寸法りだけ下降したのち上昇することによ
り、当該ピックアップコレット１１にて吸着していた半
導体チップ３ａを、リードフレーム８における半導体チ
ップ取付は部８ａに供給載置する。

これか終わると、前記往復動ヘット１３は、往復動用パ
ルスモータ１５の逆回転によって、エキスパンドシート
４の上方の部位に戻り移動する一方、この往復動ヘッド
１３に設けたピックアップコレット１１が、ガイドレー
ル１７における傾斜部１７ｃによるガイドによって、前
記往復動ヘッド１３の戻り移動中において、元の高さ位
置まで下降動する一方、このピックアップコレット１１
の真下の部位に、次にピックアップする半導体チップ３
ａが、ＸＹ子テーブル２の移動操作にて送り込まれるの
であり、以下、上記作用を繰り返すことにより、エキス
パンドシート４のウェハ３における各半導体チップ３ａ
を、リードフレーム８における半導体チップ取付は部８
ａに一個ずつ供給するのである。

この場合において、リードフレーム８に対する搬送レー
ル９を、前記エキスパンドシート４の上面より高い部位
に設けて、この搬送レール９の下方に、前記エキスパン
ドシート４が、第１図に二点鎖線で示すように、入り込
むことかできるようにした空間部１０を形成したことに
より、前記往復動ヘッド１３、つまりピックアップコレ
ット１１における水平方向に往復動のストロークＬを、
搬送レール９とエキスパンドシート４とを、従来のよう
に、略同−平面状に配設する場合よりも短縮することが
できるのである。

なお、前記した実施例によると、ピックアップ用パルス
モータ２４によるピックアップコレット１１の微小高さ
寸法りを、前記ピックアップ用パルスモータ２４におけ
る回転角度θの増減によって、任意に調節できるから、
ウェハ３における厚さ寸法の変化に対して、至極容易に
対応できるのであり、また、前記ピックアップコレット
１１を、往復動用パルスモータ１５にて往復動するよう
に構成したことにより、この往復動の左右両端の位置、
つまりエキスパンドシート４からの半導体チップ３ａの
ピックアップ位置、及びリードフレーム８に対する半導
体チップ３ａの供給位置を、高い精度で調節することが
、当該パルスモータ１５の回転数の増減によって、至極
容易にできるのである。

更にまた、前記実施例は、半導体チップ３ａを、リード
フレーム８に対して供給する場合を示したが、本発明は
、これに限らず、搬送レール９に沿って移送される基板
に対して半導体チップ３ａを供給する場合にも適用でき
ることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は縦断正面図、第
２図は第１図の■−■平面図、第３図は第１図の■−■
視断面断面図４図は第１図の■■視断面図である。 ■・・・・機台、２・・・・ＸＹ子テーブル３・・・・
ウェハ、３ａ・・・・半導体チップ、４・・・・エキス
パンドシート、７・・・・フレーム、８・・・・リード
フレーム、８ａ・・・・半導体チップ取付は部、９・・
・・搬送レール、ＩＯ・・・・空間部、１１・・・・ピ
ックアップコレット、１２・・・・横軸、１３・・・・
往復動ヘッド、ｌ４・・・・ねじ軸、１５・・・・往復
動用パルスモータ、１６・・・・上下動手段、１７・・
・・ガイドレール、１８．１９・・・・リンク、２０・
・・・コロ、２１・・・・ストッパー　２２・・・・引
張りばね、２３・・・・ピン、２４・・・・ピックアッ
プ用パルスモータ、２５・・・・クランク円盤。 特許出願人　　ローム　株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）、リードフレーム又は基板の搬送レールと、上面
   にウェハを貼着したエキスパンドシートを平面視におい
   て互いに直角に交わる二つの方向に移動するためのＸＹ
   テーブルと、前記搬送ラインの上方と前記エキスパンド
   シートの上方との間を往復動するピックアップコレット
   とから成り、前記搬送レールを、前記エキスパンドシー
   トより高い部位に配設して、この搬送レールの下方に前
   記エキスパンドシートが入り込むことができるようにし
   た空間部を形成する一方、前記ピックアップコレットに
   、エキスパンドシートから搬送レールへの移動中におい
   て当該ピックアップコレットを上昇動し、搬送レールか
   らエキスパンドシートへの移動中において当該ピックア
   ップコレットを下降動するようにした上下動手段を設け
   たことを特徴とする半導体チップの組立装置。