JPH0454391B2 - - Google Patents
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- JPH0454391B2 JPH0454391B2 JP15551682A JP15551682A JPH0454391B2 JP H0454391 B2 JPH0454391 B2 JP H0454391B2 JP 15551682 A JP15551682 A JP 15551682A JP 15551682 A JP15551682 A JP 15551682A JP H0454391 B2 JPH0454391 B2 JP H0454391B2
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- JP
- Japan
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- basic cell
- basic
- cell column
- column
- master chip
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012356 Product development Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
- H01L27/11803—Masterslice integrated circuits using field effect technology
- H01L27/11807—CMOS gate arrays
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体装置に関する。
従来、ゲートアレイを有するマスター・スライ
ス方式の半導体装置としては第１図に示すものが
知られている。図中の１のマスターチツプであ
る。このマスターチツプ１上には、Logic作成部
としての複数の基本セル列２…が該基本セル列
２，２間の接続のための配線を形成する配線領域
３を挟んで行方向（横方向）に設けられている。
この基本セル列２は、第２図ａに示す如く、Ｐチ
ヤネルのMOS型トランジスタ４1，４2からなる
第１のトランジスタ対とＮチヤネルのMOS型ト
ランジスタ５1，５2からなる第２のトランジスタ
対を対とした基本セル６を列方向（縦方向）に一
列に並べたものである。なお、第２図ａ、ｂにお
いて、７は１層目のAl配線を、８1，８2，８3は
２層目のAl配線を、９は１層目のAl配線７のコ
ンタクトを、１０は１層目のAl配線７と２層目
のAl配線８1，８2，８3とのコンタクトを示し、
第１、第２のトランジスタ対中のトランジスタ４
１，５1の夫々の多結晶シリコンからなるゲート電
極は共通となつている。そして、前記基本セル６
は、例えば第２図ｂに示す如く２入力のNAND
回路を構成している。
ス方式の半導体装置としては第１図に示すものが
知られている。図中の１のマスターチツプであ
る。このマスターチツプ１上には、Logic作成部
としての複数の基本セル列２…が該基本セル列
２，２間の接続のための配線を形成する配線領域
３を挟んで行方向（横方向）に設けられている。
この基本セル列２は、第２図ａに示す如く、Ｐチ
ヤネルのMOS型トランジスタ４1，４2からなる
第１のトランジスタ対とＮチヤネルのMOS型ト
ランジスタ５1，５2からなる第２のトランジスタ
対を対とした基本セル６を列方向（縦方向）に一
列に並べたものである。なお、第２図ａ、ｂにお
いて、７は１層目のAl配線を、８1，８2，８3は
２層目のAl配線を、９は１層目のAl配線７のコ
ンタクトを、１０は１層目のAl配線７と２層目
のAl配線８1，８2，８3とのコンタクトを示し、
第１、第２のトランジスタ対中のトランジスタ４
１，５1の夫々の多結晶シリコンからなるゲート電
極は共通となつている。そして、前記基本セル６
は、例えば第２図ｂに示す如く２入力のNAND
回路を構成している。
しかしながら、前述した構造の半導体装置は以
下に示す欠点をもつていた。
下に示す欠点をもつていた。
基本セル６においては、ＰチヤネルのMOS
型トランジスタ４1，４2からなる第１のトラン
ジスタ対とＮチヤネルのMOS型トランジスタ
５1，５2からなる第２のトランジスタ対が対と
なつている。したがつて、NOR、NAND等の
論理Gateは基本セル６からなる基本セル列２
内でしか構成できず、各々の基本セル列２…間
の接続には配線領域３を必要とする。しかし
て、この配線領域３における配線のチヤネル数
は、多数の配線を必要とすることを考慮して決
定しているため、一般に大きな面積を必要とす
る。このようなことから、第１図示の半導体装
置の状態から製品開発を行なうと、配線領域３
に実際に使用に寄与されない無駄な領域が多く
できる。また製品によつては、十分な配線領域
を用意してあつても配線不可能となる場合もあ
る。（配線Channel over、） 基本セル列２…及び基本セル列２内の基本セ
ル６…の数は予め決まつているから、物理的に
実現し得ないシステムが発生することがある。
また、この問題点を解消するためにマスターチ
ツプ１の領域を大きくして基本セル６の数を増
やす方法が考えられるが、こうした場合、基本
セル６から構成される基本セル列２…間の配線
領域３の面積も大きくなつてマスターチツプ１
が第１図図示の場合と比べて著しく大きくなる
という欠点がある。
型トランジスタ４1，４2からなる第１のトラン
ジスタ対とＮチヤネルのMOS型トランジスタ
５1，５2からなる第２のトランジスタ対が対と
なつている。したがつて、NOR、NAND等の
論理Gateは基本セル６からなる基本セル列２
内でしか構成できず、各々の基本セル列２…間
の接続には配線領域３を必要とする。しかし
て、この配線領域３における配線のチヤネル数
は、多数の配線を必要とすることを考慮して決
定しているため、一般に大きな面積を必要とす
る。このようなことから、第１図示の半導体装
置の状態から製品開発を行なうと、配線領域３
に実際に使用に寄与されない無駄な領域が多く
できる。また製品によつては、十分な配線領域
を用意してあつても配線不可能となる場合もあ
る。（配線Channel over、） 基本セル列２…及び基本セル列２内の基本セ
ル６…の数は予め決まつているから、物理的に
実現し得ないシステムが発生することがある。
また、この問題点を解消するためにマスターチ
ツプ１の領域を大きくして基本セル６の数を増
やす方法が考えられるが、こうした場合、基本
セル６から構成される基本セル列２…間の配線
領域３の面積も大きくなつてマスターチツプ１
が第１図図示の場合と比べて著しく大きくなる
という欠点がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、マ
スターチツプを平面的に大きくすることなく、該
マスターチツプに従来より多くの基本セルを設け
ることができ、かつ実現し得るシステムの大きさ
がマスターチツプの大きさによつて決定されるこ
とを最少に押えた半導体装置を提供することを目
的とするものである。
スターチツプを平面的に大きくすることなく、該
マスターチツプに従来より多くの基本セルを設け
ることができ、かつ実現し得るシステムの大きさ
がマスターチツプの大きさによつて決定されるこ
とを最少に押えた半導体装置を提供することを目
的とするものである。
現在、ゲートアレーの製品を開発するに当り、
ユーザーに対してはマスターチツプとこのマスタ
ーチツプによつて決定されるNAND、NOR等の
Logic（Library）を用意している。しかし、従来
の基本セルを使用する場合は、一般に基本セルの
左側にＰチヤネル、右側にＮチヤネルを置いた場
合でのLibraryの使用法しかない。そこで、本発
明者は、マスターチツプの周縁部を除く部分に、
第１の基本セル列と第２の基本セル列からなる基
本セル列対を行方向に複数個形成して、第１の基
本セル列を複数の第１導電型のトランジスタから
なる第１の基本セルを列方向に並べて構成すると
共に第２の基本セル列を複数の第２導電型のトラ
ンジスタからなる第２の基本セルを列方向に並べ
るとともに、第１・第２の基本セル列を交互に順
次配列し、更に第１又は第２の基本セル列の少な
くとも一部を配線領域として用いる構成とするこ
とによつて、Ｐチヤネル、Ｎチヤネルを夫々有す
る従来の基本セル1/2ビツチで配線領域を可変す
ると共に、一部がLogic作成部となる第１、第２
の基本セル列も可変にしてマスター設計により実
現し得るシステムが決定されるのを最小に押える
ことを図つた。
ユーザーに対してはマスターチツプとこのマスタ
ーチツプによつて決定されるNAND、NOR等の
Logic（Library）を用意している。しかし、従来
の基本セルを使用する場合は、一般に基本セルの
左側にＰチヤネル、右側にＮチヤネルを置いた場
合でのLibraryの使用法しかない。そこで、本発
明者は、マスターチツプの周縁部を除く部分に、
第１の基本セル列と第２の基本セル列からなる基
本セル列対を行方向に複数個形成して、第１の基
本セル列を複数の第１導電型のトランジスタから
なる第１の基本セルを列方向に並べて構成すると
共に第２の基本セル列を複数の第２導電型のトラ
ンジスタからなる第２の基本セルを列方向に並べ
るとともに、第１・第２の基本セル列を交互に順
次配列し、更に第１又は第２の基本セル列の少な
くとも一部を配線領域として用いる構成とするこ
とによつて、Ｐチヤネル、Ｎチヤネルを夫々有す
る従来の基本セル1/2ビツチで配線領域を可変す
ると共に、一部がLogic作成部となる第１、第２
の基本セル列も可変にしてマスター設計により実
現し得るシステムが決定されるのを最小に押える
ことを図つた。
本発明の１実施例を第３図を参照して説明す
る。
る。
図中の１１はマスターチツプである。このマス
ターチツプの周縁部には、一部がLogic（論理
Gate）作成部（斜線部分）１２…となる第１の
基本セル列１３1…及び第２の基本セル列１３2…
が順次交互に間断なく並設されている。前記第１
の基本セル列１３1は、第４図ａに示す如く垂直
方向の中心線Ａにより左右対称となるトランジス
タ群を形成するＰチヤネルのMOS型トランジス
タ１４1，１４2からなる第１の基本セル１５1…
を列方向に（縦方向）に順次並設したものであ
る。また、第２の基本セル列１３2は、第４図ｂ
に示す如く垂直方向の中心線Ｂにより左右対称と
なるトランジスタ群を形成するＮチヤネルの
MOS型トランジスタ１６1，１６2からなる第２
の基本セル１５2…を列方向（縦方向）に順次並
設したものである。なお、ＰチヤネルのMOS型
トランジスタ１４1，１４2からなるトランジスタ
群とＮチヤネルのMOS型トランジスタ１６1，１
６2からなるトランジスタ群の夫々のゲート電極
は分離されている。前記マスターチツプ１の左か
らｘ番目の第１の基本セル列１３1、（ｘ＋１）番
目（但し、ｘは自然数）の第２の基本セル列１３
２中のマスターチツプ１の上から同数番目の各基
本セル１５1，１５2は対になつている。
ターチツプの周縁部には、一部がLogic（論理
Gate）作成部（斜線部分）１２…となる第１の
基本セル列１３1…及び第２の基本セル列１３2…
が順次交互に間断なく並設されている。前記第１
の基本セル列１３1は、第４図ａに示す如く垂直
方向の中心線Ａにより左右対称となるトランジス
タ群を形成するＰチヤネルのMOS型トランジス
タ１４1，１４2からなる第１の基本セル１５1…
を列方向に（縦方向）に順次並設したものであ
る。また、第２の基本セル列１３2は、第４図ｂ
に示す如く垂直方向の中心線Ｂにより左右対称と
なるトランジスタ群を形成するＮチヤネルの
MOS型トランジスタ１６1，１６2からなる第２
の基本セル１５2…を列方向（縦方向）に順次並
設したものである。なお、ＰチヤネルのMOS型
トランジスタ１４1，１４2からなるトランジスタ
群とＮチヤネルのMOS型トランジスタ１６1，１
６2からなるトランジスタ群の夫々のゲート電極
は分離されている。前記マスターチツプ１の左か
らｘ番目の第１の基本セル列１３1、（ｘ＋１）番
目（但し、ｘは自然数）の第２の基本セル列１３
２中のマスターチツプ１の上から同数番目の各基
本セル１５1，１５2は対になつている。
しかして、前述した構造の半導体装置によれ
ば、従来の如くマスターチツプ上に配線領域を介
して基本セル列を設けるのではなく該マスターチ
ツプに第１，第２の基本セル列１３1，１３2を順
次交互に設けているため、従来と同面積のマスタ
ーチツプ１１上により多い第１，第２の基本セル
列１３1，１３2を並設し、マスタチツプ１１の集
積度を向上することができるとともに、第１図図
示の半導体装置を比べ配線領域の可変しうるピツ
チを1/2基本セル列とできるため、従来と比べマ
スターチツプの大きさによりシステムの大きさが
決定されるのを低減することができる。また、同
様な考え方により、システムの大きさに対応する
目的で従来のようにマスターチツプの大きさを大
きくする必要がない。
ば、従来の如くマスターチツプ上に配線領域を介
して基本セル列を設けるのではなく該マスターチ
ツプに第１，第２の基本セル列１３1，１３2を順
次交互に設けているため、従来と同面積のマスタ
ーチツプ１１上により多い第１，第２の基本セル
列１３1，１３2を並設し、マスタチツプ１１の集
積度を向上することができるとともに、第１図図
示の半導体装置を比べ配線領域の可変しうるピツ
チを1/2基本セル列とできるため、従来と比べマ
スターチツプの大きさによりシステムの大きさが
決定されるのを低減することができる。また、同
様な考え方により、システムの大きさに対応する
目的で従来のようにマスターチツプの大きさを大
きくする必要がない。
以上詳述した如く本発明によれば、従来と同面
積のマスターチツプを用いて従来と比べて一層多
いトランジスタを形成でき、実現しうるシステム
の大きさがマスターチツプの大きさにより限定さ
れるのを低減化した半導体装置を提供できるもの
である。
積のマスターチツプを用いて従来と比べて一層多
いトランジスタを形成でき、実現しうるシステム
の大きさがマスターチツプの大きさにより限定さ
れるのを低減化した半導体装置を提供できるもの
である。
第１図は従来の半導体装置の平面図、第２図ａ
は第１図図示の半導体装置の基本セル列を構成す
る基本セルの平面図、同図ｂは同図ａの回路図、
第３図は本発明の１実施例を示す半導体装置の平
面図、第４図ａは第３図図示の半導体装置の第１
の基本セル列を構成する複数のＰチヤネルの
MOS型トランジスタ（第１の基本セル）の平面
図、同図ｂは同半導体装置の第２の基本セル列を
構成する複数のＮチヤネルのMOS型トランジス
タ（第２の基本セル）の平面図である。 １１……マスターチツプ、１２……Logic作成
部、１３1，１３2……基本セル列、１４1，１４
２，１６1，１６2……MOS型トランジスタ、１５
１，１５2……基本セル。
は第１図図示の半導体装置の基本セル列を構成す
る基本セルの平面図、同図ｂは同図ａの回路図、
第３図は本発明の１実施例を示す半導体装置の平
面図、第４図ａは第３図図示の半導体装置の第１
の基本セル列を構成する複数のＰチヤネルの
MOS型トランジスタ（第１の基本セル）の平面
図、同図ｂは同半導体装置の第２の基本セル列を
構成する複数のＮチヤネルのMOS型トランジス
タ（第２の基本セル）の平面図である。 １１……マスターチツプ、１２……Logic作成
部、１３1，１３2……基本セル列、１４1，１４
２，１６1，１６2……MOS型トランジスタ、１５
１，１５2……基本セル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ゲートアレイを有するマスター・スライス配
線方式の半導体装置において、 マスターチツプの周縁部を除く部分に、第１導
電型のトランジスタからなる第１の基本セルを複
数個列方向に並べて構成する第１の基本セル列
と、第２導電型のトランジスタからなる第２の基
本セルを複数個列方向に並べて構成する第２の基
本セル列とを配列し、しかも前記第１の基本セル
列と第２の基本セル列とを行方向に順次交互に並
設し、前記第１の基本セル列又は第２の基本セル
列の一部をロジツク作成部とし、更に前記ロジツ
ク作成部を除く少なくとも前記第１の基本セル列
と第２の基本セル列の一部を配線領域として用い
ることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15551682A JPS5944860A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15551682A JPS5944860A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944860A JPS5944860A (ja) | 1984-03-13 |
| JPH0454391B2 true JPH0454391B2 (ja) | 1992-08-31 |
Family
ID=15607759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15551682A Granted JPS5944860A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944860A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61100947A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-19 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
| US4884118A (en) * | 1986-05-19 | 1989-11-28 | Lsi Logic Corporation | Double metal HCMOS compacted array |
| JPH0831578B2 (ja) * | 1986-06-19 | 1996-03-27 | 日本電気株式会社 | マスタ−スライス方式のゲ−トアレ−半導体集積回路装置 |
| DE10128580B4 (de) * | 2001-06-13 | 2006-04-13 | Infineon Technologies Ag | Schaltungsanordnung mit einer Mehrzahl von Transistoren zweier unterschiedlicher Leitfähigkeitstypen |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP15551682A patent/JPS5944860A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5944860A (ja) | 1984-03-13 |
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