JPH0451475Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体ペレツトなどをリードフレー
ムにダイボンデイングするためのダイボンデイン
グ装置に関する。

（従来の技術） 従来から、スクラブ機構を備えたダイボンデイ
ング装置がある。このダイボンデイング装置は、
スクラブ機構によつてリードフレーム上の載置し
た半導体ペレツトにスクラブ振動を加え、半導体
ペレツトの接着性を向上させるようになつてい
る。

一方、昨今、ピン数の少ないIC等の組み立て
ラインにおいては、材料コストの低減のために、
第３図に示すように、平行な一対のリード部の間
に２箇所の半導体ペレツトＷの装着位置Ａ，Ａを
有するリードフレームＦが用いられている。

ところが、従来から、半導体ペレツトＷをリー
ドフレームＦ上にダイボンドする際、カムを利用
した往復搬送機構が用いられており、これによつ
て半導体ペレツトを供給テーブルからリードフレ
ーム上に搬送するようになつている。しかしなが
ら、このような搬送機構においてはペレツトの搬
送距離はカムによつて規定されるため、上記した
ような複数の装着位置Ａ，Ａを有するリードフレ
ームＦには対応できないものであつた。

このようなリードフレームＦにペレツトＷを装
着するダイボンデイング装置としては、供給テー
ブルなどからペレツトＷを吸着保持してリードフ
レームＦ上に供給するコレツトの駆動機構、およ
びリードフレームＦ上でペレツトＷを加振するス
クラブ機構等を備えたペレツト供給ユニツト全体
を、前記２箇所のペレツト装着位置Ａ，Ａに対応
させて、スライドテーブルに沿つて移動させるよ
う構成したものであつた。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来例の場合では、
相当大型で、かつ重量が大きいペレツト供給ユニ
ツト全体を移動させるために高速化が困難であつ
た。

本考案は、このような２位置のダイボンデイン
グの高速化を図ることを目的とする。

（問題点を解決するための手段） そこで、本考案においては、リードフレーム上
に載置された半導体ペレツトにスクラブ振動を与
えるスライド機構を備えたダイボンデイング装置
であつて、ホルダーに水平スライド自在に支持さ
れ、かつその一端にコレツト支持アームが取り付
けられた可動部材と、この可動部材を所定ストロ
ークだけ移動させるスライド機構と、可動部材の
ストロークエンド両端において前記ホルダーを昇
降させる昇降機構とを備え、前記可動部材には、
前記ホルダーが下降した際、スクラブ機構の可動
片と係合するスクラブ係合部材が設けられて、ダ
イボンデイング装置を構成した。

（作用） この構成によると、可動片のストロークエンド
両端においてホルダーが下降したときだけ、スク
ラブ機構がダイボンデイング装置本体側と係合す
るようになる。つまり、スクラブ機構は、リード
フレーム上の装着位置に半導体ペレツトを載置す
るときだけダイボンデイング装置本体と接続され
ることになり、それ以外は装置本体側と分離され
ている。

（実施例） 以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。第１図および第２図に、本考案の
実施例に係る２位置ダイボンデイング装置の概略
が示される。コレツト１を先端に取り付けた支持
アーム２が、ホルダー３に水平スライド自在に支
持された可動部材４の先端に、上方に後退揺動可
能に枢支連結されている。ホルダー３は、昇降フ
レーム５とこれを昇降させる昇降部（図示せず）
とからなる昇降機構にブラケツト６，６を介して
取り付けられており、一方のブラケツト６に取り
付けたエアーシリンダ７（スライド機構）のピス
トンロツド７ａと可動部材４から連設のアーム４
ａとが連結されて可動部材４が往復スライド駆動
される。

ピストンロツド７ａには、可動部材４の後退
（左方）移動へのストロークエンドを規制するス
トツパー８が前後調節自在に取り付けられ、ま
た、他方のブラケツト６に可動部材４の前進（右
方）移動へのストロークエンドを規制するストツ
パーボルト９が進退調節自在に取り付けられ、こ
れら前後ストツパーの調節によつてコレツト１の
移動ストロークＬがリードフレーム上のペレツト
装着位置Ａ，Ａの間隔に対応設定されている。

可動部材４とこれに連設された各部材とは従来
例と同様のコレツト駆動機構（図示せず）によつ
て図示しない供給テーブルとリードフレームＦと
の間を反復移動させられるようになつている。こ
れによつてリードフレームＦ上に半導体ペレツト
Ｗが供給されるようになつている。

また、可動部材４の後端には、下向きコの字状
のスクラブ係合部材１０が取り付けられている。
この係合部材１０は、可動部材４が前後のストロ
ークエンドにある状態で昇降フレーム５が下降さ
れたとき、スクラブ機構１１に備えられた可動片
１２の先端ローラ１３がコの字状凹部に係入し
て、前後突片１０ａ，１０ｂのいずれかの内側縁
に近接するように、可動部材４に対する取り付け
位置および突片１０ａ，１０ｂの間隔を調節でき
るよう構成されている。スクラブ機構１１は、支
点１４回りに揺動自在な前記可動片１２と、これ
を微少ストロークで揺動駆動する駆動部１５とか
らなり、第２図に示すように、コレツト１で吸着
保持した半導体ペレツトＷをリードフレーム上に
載置供給した状態でコレツト１に水平方向の振動
を印加することで、ペレツトのリードフレーム上
への接着性が向上される。

なお、昇降フレーム５が下降して先端ローラ１
３と係合部材１０とが係合するときは、エアーシ
リンダ７はエアが供給された状態になつている。
これによつて可動部材４のスライド方向の位置固
定がなされ、先端ローラ１３と係合部材１０との
係合が堅固なものとなり、スクラブ機構１１のス
クラブ振動が確実にコレツト１にまで伝達される
ようになつている。

本考案のダイボンデイング装置は、以上のよう
に構成されたものであつて、エアーシリンダ７の
作動によつて可動部材４を一定ストロークＬで前
後に移動させるとともに、そのストロークエンド
で可動部材４を昇降することで、コレツト１をペ
レツト装着位置Ａ，Ａに対応して移動させること
ができる。

（効果） 以上のように、本考案によれば、コレツトを加
振するスクラブ機構を定位置に設置し、可動部材
とこれに連設した部材だけを水平方向に移動させ
てコレツトを所定のペレツト装着位置に対応して
移動させることができる。したがつて、ペレツト
供給ユニツト全体を移動させていた従来構造に比
較して、水平移動部材が小型軽量となり、高速作
動が可能となつて作業能率の向上を図れるように
なつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例に係るダイボンデイン
グ装置のコレツト上昇状態での概略側面図、第２
図はコレツト下降状態での概略側面図、第３図は
２位置ダイボンデイング用リードフレームの斜視
図である。 図中、符号１はコレツト、２は支持アーム、３
はホルダー、４は可動部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 リードフレームＦ上に載置された半導体ペレツ
   トＷにスクラブ振動を与えるスクラブ機構１１を
   備えたダイボンデイング装置であつて、 ホルダー３に水平スライド自在に支持され、か
   つその一端にコレツト支持アーム２が取り付けら
   れた可動部材４と、この可動部材４を所定ストロ
   ークだけ移動させるスライド機構７と、可動部材
   ４のストロークエンド両端において前記ホルダー
   ３を昇降させる昇降機構５とを備え、 前記可動部材４には、前記ホルダー３が下降し
   た際、スクラブ機構１１の可動片１２と係合する
   スクラブ係合部材１０が設けられていることを特
   徴とするダイボンデイング装置。