JPH0446275Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、たとえばプリント回路基板の製作
において、所望の導電パターンを形成する際に光
露光技術が用いられるが、このような光露光工程
で用いられる露光装置に関するもので、特に、基
板の両面に露光を施すように設計された露光装置
における基板の搬送機構に関するものである。

［従来の技術］ 基板の両面に露光を施すとき、露光装置として
は、基板の両面を同時に露光するタイプと、片面
ずつ２回に分けて露光するタイプとがある。自動
的に基板を処理できるようにした、自動露光装置
では、原版と基板との位置合わせを自動的に行な
うように構成されているため、片面ずつ露光する
タイプの方が好ましい。したがつて、自動露光装
置においては、基板を搬送する一連の搬送経路に
沿つて、露光用光源および原版等を含む露光装置
が２組設けられ、これら２組の露光装置によつ
て、基板の互いに異なる面を露光するように構成
される。

［背景技術］ 本件出願人は、先の出願（たとえば特願昭60−
268018号）において、露光装置の占有面積をでき
るだけ小さくするため、基板および原版を垂直方
向に保持した状態で露光を行なうことを提案して
いる。この場合には、たとえば第３図に示すよう
に、露光ステーシヨン１とコンベアステーシヨン
２とが互いに隣り合うように配置される。そし
て、これら両ステーシヨン１および２の間を往復
するように、基板保持台３が設けられる。基板保
持台３は、基板４を、垂直状態で、たとえば真空
吸着して保持するものである。このような基板保
持台３の往復動作を達成するためには、比較的大
形の機構が必要となり、また、そのような機構の
メインテナンスも問題となつてくる。

第４図は、第３図の左方向から示した図である
と理解すればよい。基板４の両面を片面ずつ露光
するために、前述した露光ステーシヨン１として
は、第４図に示すように、第１および第２の露光
ステーシヨン１ａおよび１ｂを備えることにな
る。そして、前述の基板保持台３は、第１および
第２の露光ステーシヨン１ａおよび１ｂのそれぞ
れに関連して、第１および第２の基板保持台３ａ
および３ｂを備えることになる。また、第１およ
び第２の露光ステーシヨン１ａおよび１ｂ間の境
界面５の両側には、それぞれ、第１および第２の
露光用光源６ａおよび６ｂが、互いに背面を向け
合つて配置される。

上述したように、各露光ステーシヨン１ａ，１
ｂにおける配置を、いわゆる反対勝手とし、基板
保持台３ａ，３ｂを境界面５とは逆の端部に配置
したのは、次のような利点があるからである。す
なわち、前述したように、基板保持台３ａ，３ｂ
を往復動作させるための機構は比較的大形とな
る。したがつて、このような大形の機構を他の機
械要素とあまり干渉し合わない位置に設けるのが
好ましく、それが、各露光ステーシヨン１ａ，１
ｂのそれぞれの外側の端部ということになる。そ
して、このように露光ステーシヨン１ａ，１ｂの
それぞれの端部に当該機構を設けると、メインテ
ナンスが容易になる。仮に、露光用光源６ａ，６
ｂと基板保持台３ａ，３ｂとの位置をそれぞれ入
れ換えると、基板保持台３ａ，３ｂを駆動するた
めの機構が露光ステーシヨン１ａ，１ｂの間の境
界面５付近に位置し、これのメインテナンスのた
めには、第１の露光ステーシヨン１ａと第２の露
光ステーシヨン１ｂとの間に、作業者が入り得
る、たとえば1m程度の空間を設けておかなけれ
ばならず、装置のコンパクト化を阻害することに
なる。

第３図に示すように、コンベアステーシヨン２
には、基板４を水平方向に置いた状態で搬送する
コンベア７が設けられている。このコンベア７
は、第４図に、想像線で示されている。コンベア
７上の基板４は、第１の露光ステーシヨン１ａの
側方を通過するとき、第１の授受機構９ａによつ
て、第１の基板保持台３ａ上に供給され、また、
露光を終えた基板４が第１の基板保持台３ａから
コンベア７上に戻される。第１の授受機構９ａ
は、基板４の上面を吸着部材１０ａで吸着して、
基板４を保持し、上方へ持ち上げ、次に、水平に
向く回転軸１１ａのまわりに90度回転させ、第１
の基板保持台３ａに対して吸着部材１０ａを押し
つけるように前進させ、保持していた基板４を第
１の基板保持台３ａに吸着させる動作と、この逆
の動作によつて、第１の基板保持台３ａに保持さ
れていた露光済みの基板４を吸着部材１０ａによ
つて取り外し、最終的にコンベア４に置く動作と
を行なうものである。実質的に同様の構成を備え
る第２の授受機構９ｂが、第２の露光ステーシヨ
ン１ｂに関連して、コンベアステーシヨン２に設
けられている。すなわち、第２の授受機構９ｂ
は、吸着部材１０ｂおよび回転軸１１ｂを備えて
いる。

［考案が解決しようとする問題点］ 第４図に示した第１または第２の授受機構９ａ
または９ｂを用いるとき、コンベア７上にある基
板４の、吸着部材１０ａまたは１０ｂで吸着され
る面は、必ず、これから露光されようとする面で
なければならないことに注目すべきである。なぜ
なら、基板保持台３ａまたは３ｂに基板４が保持
されるとき、これから露光されようとする面を、
基板保持台３ａまたは３ｂとは反対側に向けかつ
露光用光源６ａまたは６ｂに対向するようにしな
ければならないからである。ただし、このこと
は、一般的に通用する条件であり、第４図で示し
たいわゆる反対勝手の配置である場合に限られる
ものではない。すなわち、これから露光されよう
とする面と逆の面を吸着部材１０ａまたは１０ｂ
で吸着したとすると、露光されようとする面が基
板保持台３ａまたは３ｂに接触することになり、
それでは、そのような露光されようとする面に原
版（図示せず）を密着させることが、基板保持台
３ａまたは３ｂの存在により不可能であるからで
ある。

しかしながら、第１および第２の授受機構９ａ
および９ｂの双方は、コンベア７上の基板４の上
面を吸着するようになつている。そのため、基板
４の両面をそれぞれ露光したい場合には、コンベ
ア７による搬送経路の途中で、基板４ａで示され
るように、これを反転させて、今まで下方に向い
ていた面を上方に向くようにしなければならな
い。

したがつて、第４図に示した授受機構９ａ，９
ｂを用いる限り、コンベア７による搬送経路の途
中で、基板４を反転させるための機構が必要とな
り、コンベア７を含む装置が複雑となつたり、ま
た大形化されたりし、さらにコスト高を招くこと
にもなる。

そこで、この考案は、第４図に示したような、
いわゆる反対勝手の配置の利点を維持しながら、
上述の反転機構を設けずに、基板の両面を片面ず
つ露光できる、露光装置を提供しようとするもの
である。

［問題点を解決するための手段］ この考案は、まず前提として、次のような構成
を備える露光装置に向けられる。

すなわち、両面に露光が施されるべき基板を水
平方向に置いた状態で搬送するコンベアが位置す
るコンベアステーシヨンと、前記コンベアステー
シヨンの側方に隣接しながら前記コンベアの延び
る方向に並ぶ第１および第２の露光ステーシヨン
とを備える。そして、第１および第２の露光ステ
ーシヨンには、第１および第２の原版が垂直方向
にそれぞれ保持され、かつ、第１および第２の露
光ステーシヨン間の境界面と前記第１および第２
の原版との各間には、第１および第２の露光用光
源が、それぞれ、第１および第２の原版に向かつ
て光を照射するように互いに背面を向け合つて配
置される。さらに、前記第１および第２の露光ス
テーシヨンにおける、前記第１および第２の露光
用光源からの各光を前記第１および第２の原版を
それぞれ通して受ける各位置と、前記コンベアの
搬送面の上方の位置との間を、前記基板を垂直方
向に保持して往復する第１および第２の基板保持
台と、前記コンベアステーシヨンにおいて、前記
コンベアと前記第１および第２の基板保持台との
各間で前記基板の受け渡しを行なうための第１お
よび第２の授受機構とを備えている。

このような露光装置において、上述の問題点を
解決するため、この考案では、次のように構成さ
れる。

すなわち、前述の第１および第２の授受機構に
特徴を有するもので、まず、第１の授受機構は、 (1) 水平かつ前記コンベアの幅方向に向く第１の
回転軸と、 (2) 前記第１の回転軸のまわりに90度の範囲で往
復回動される第１のアームと、 (3) 前記第１のアームの端部に保持され、かつ前
記コンベアの搬送面の上方から前記コンベア上
の前記基板の上面を吸着し得る方向に向いた第
１の吸着面を有する第１の吸着部材と、 (4) 当該第１の吸着部材を前記第１の吸着面と直
交する方向に往復動作させる機構と、 を備えている。他方、第２の授受機構は、 (1) 水平かつ前記コンベアの幅方向に向く第２の
回転軸と、 (2) 前記第２の回転軸のまわりに90度の範囲で往
復回動される第２のアームと、 (3) 前記第２のアームの端部に保持され、かつ前
記コンベアの搬送面の下方から前記コンベア上
の前記基板の下面を吸着し得る方向に向いた第
２の吸着面を有する第２の吸着部材と、 (4) 当該第２の吸着部材を前記第２の吸着面と直
交する方向に往復動作させる機構と、 を備えている。

［考案の作用効果］ この考案の露光装置に含まれる第１の授受機構
は、次のように作用する。まず、コンベア上にあ
る、両面とも露光していない基板の上面を第１の
吸着部材で吸着する。次に、第１の吸着部材が第
１の吸着面と直交する方向に変位し、基板を上方
へ持ち上げる。次に、第１のアームが第１の回転
軸のまわりに90度回転され、基板が第１の基板保
持台と対向する位置にもたらされる。ここで、第
１の吸着部材が第１の吸着面と直交する方向に変
位し、基板を第１の基板保持台に押しつけ、ここ
で、第１の基板保持台が基板を保持する状態とな
る。また、この動作の逆を行なつて、第１の基板
保持台に保持された、一方面が露光済みの基板を
第１の吸着部材によつて取外し、これを最終的に
コンベア上に置く。

上述のように第１段階の露光を終えた基板は、
露光済みの面を上方に向けてコンベア上に戻され
る。そして、この基板は、コンベアによつて、何
ら反転されずに、第２の露光ステーシヨンに隣接
する位置まで運ばれる。この第２の露光ステーシ
ヨンに隣接する位置において、第２の授受機構が
次のように作用する。

第２の授受機構は、まず、基板の下面、すなわ
ちこれから露光されようとする面を、第２の吸着
部材によつて吸着し、基板を保持する。次に、第
２の吸着部材が、第２の吸着面と直交する方向に
変位し、コンベアから上方へ基板を持ち上げる。
次に、第２のアームが、第２の回転軸のまわりに
90度回転され、基板を第２の基板保持台と対向す
る位置にもたらす。ここで、第２の吸着部材が第
２の吸着面と直交する方向に変位し、保持してい
た基板を第２の基板保持台に押しつけ、基板を第
２の基板保持台に保持させる。また、上述した動
作の逆によつて、第２の基板保持台に保持され
た、両面とも露光済みの基板を第２の吸着部材に
よつて取り外し、最終的に、コンベア上に置く。

以上述べたように、この考案では、コンベア上
にある基板に対して、第１の授受機構はその上面
を吸着し、他方、第２の授受機構はその下面を吸
着するように構成されている。すなわち、前述し
たように、コンベア上にある基板の、吸着される
面は、必ず、これから露光されようとする面でな
ければならない、という条件に注目したとき、こ
の考案では、吸着される面は第１の授受機構と第
２の授受機構とで入れ替わつているので、基板が
単純に水平方向にコンベアによつて搬送されて
も、その両面に支障なく露光を施すことができ
る。したがつて、コンベアに関連して反転機構の
ような複雑な機構を設ける必要がなくなる。した
がつて、特にコンベアに関連する機構が簡単とな
り、かつそれに応じて小形化され、さらに、露光
装置を安価に提供することができる。

［実施例］ 以下、この考案を、図面に示された実施例に基
づいて説明する。

第１図は、この考案の一実施例の全体の概要を
示す上面図であり、第２図は、第１図に示した露
光装置の全体の概要を示す正面図である。ここに
示した露光装置は、基板２１を水平方向に置いた
状態で搬送するコンベア２２が位置するコンベア
ステーシヨン２３と、コンベアステーシヨン２３
の側方に隣接しながらコンベア２２の延びる方向
に並ぶ第１および第２の露光ステーシヨン２４お
よび２５とを備えている。そして、基板２１の一
方面の露光は第１の露光ステーシヨン２４で達成
され、他方面の露光は第２の露光ステーシヨン２
５で達成される。なお、コンベア２２は、この実
施例では、複数個の送りロール２６をもつて構成
されている。

第１および第２の露光ステーシヨン２４および
２５の構成には、共通の要素が含まれている。し
たがつて、それらを同時に説明すると、第１およ
び第２の露光ステーシヨン２４および２５には、
第１および第２の原版２７および２８が垂直方向
にそれぞれ第１および第２の原版保持台２９およ
び３０によつて保持されている。また、第１およ
び第２の露光ステーシヨン２４および２５間の境
界面３１と第１および第２の原版２７および２８
との各間には、第１および第２の露光用光源３２
および３３がそれぞれ配置されている。これら第
１および第２の露光用光源３２および３３は、そ
れぞれ、第１および第２の原版２７および２８に
向かつて光を照射するように互いに背面を向け合
つて配置される。

また、第１および第２の露光ステーシヨン２４
および２５における、第１および第２の露光用光
源３２および３３からの各光を第１および第２の
原版２７および２８をそれぞれ通して受ける各位
置と、コンベアステーシヨン２３におけるコンベ
ア２２の搬送面の上方の位置との間を、基板２１
を垂直方向に保持して往復する第１および第２の
基板保持台３４ａ，３４ｂおよび３５ａ，３５ｂ
を備えている。この実施例では、第１および第２
の基板保持台は、それぞれ、右側の基板保持台３
４ａ，３５ａと左側の基板保持台３４ｂ，３５ｂ
との２個ずつ備えている。これによつて、第１の
基板保持台３４ａ，３４ｂについていえば、たと
えば、右側の基板保持台３４ａがコンベアステー
シヨン２３にあるとき、左側の基板保持台３４ｂ
が第１の露光ステーシヨン２４に位置して、その
往復動作が交互に行なわれるように構成されてい
る。なお、基板保持台は、各露光ステーシヨン２
４，２５につき、１個ずつでもよい。

次に、コンベアステーシヨン２３に着目する
と、そこには、コンベア２２と第１および第２の
基板保持台３４ａ，３４ｂおよび３５ａ，３５ｂ
との各間で基板２１の受け渡しを行なうための第
１および第２の授受機構３６および３７がそれぞ
れ設けられている。

第１の授受機構３６は、まず、水平かつコンベ
ア２２の幅方向に向く第１の回転軸３８を備え
る。この第１の回転軸３８に支持されて第１のア
ーム３９が設けられる。第１のアーム３９は、矢
印４０で示すように、第１の回転軸３８のまわり
に90度の範囲で往復回動される。第１のアーム３
９の端部には、第１の吸着部材４１が保持され
る。第１の吸着部材４１は、コンベア２２の搬送
面の上方からコンベア２２上の基板２１の上面を
吸着し得る方向に向いた第１の吸着面４２を有し
ている。この吸着面４２には、複数個の細孔（図
示せず）が形成されていて、基板２１をたとえば
真空吸着するように構成されている。また、第１
のアーム３９には、図示を省略するが、たとえば
複数のロツドとシリンダとによつて構成された機
構が付加され、それによつて、第１の吸着部材４
１は、矢印４３で示すように、第１の吸着面４２
と直交する方向に変位するように往復動作される
ように構成される。

次に、第２の授受機構３７は、まず、水平かつ
コンベア２２の幅方向に向く第２の回転軸４４を
備える。この第２の回転軸４４によつて、第２の
アーム４５が支持される。第２のアーム４５は、
第２の回転軸４４のまわりに、矢印４６で示すよ
うに90度の範囲で往復回動される。また、第２の
アーム４５の端部には、第２の吸着部材４７が保
持される。この第２の吸着部材４７は、コンベア
２２の搬送面の下方からコンベア２２上の基板２
１の下面を吸着し得る方向に向いた第２の吸着面
４８を有する。この吸着面４８にも、基板２１を
真空吸着するための細孔が形成されている。そし
て、第２のアーム４５には、図示を省略するが、
たとえば複数のロツドとシリンダとによつて構成
された機構が付加され、それによつて、第２の吸
着部材４７は、矢印４９で示すように、第２の吸
着面４８と直交する方向に変位するように往復動
作されるように構成される。

以上述べた構成に基づき、次に、この露光装置
の動作について説明する。

まず、コンベア２２は、第２図に示した矢印５
０の方向に基板２１を搬送するように作動され
る。コンベア２２によつて水平方向に置かれた状
態で搬送された基板２１は、まず、第１の露光ス
テーシヨン２４に隣接する位置にもたらされる。
ここで、第１の授受機構３６が次のように動作す
る。まず、第１の吸着部材４１を想像線で示すよ
うに基板２１の上面に対向する状態にもたらす。
次に、第１の吸着部材４１が矢印４３方向に相当
する方向の往復動作を行ない、その吸着面４２に
基板２１の上面を吸着して、そのまま基板２１を
持ち上げる。次に、矢印４０方向における上方向
に第１のアーム３９が90度回動し、保持している
基板２１を右側の第１の基板保持台３４ａに対向
する位置にもたらす。ここで、第１の吸着部材４
１が矢印４３方向の往復動作を行ない、その往動
作の終端において、基板２１を右側の第１の基板
保持台３４ａに渡す。基板保持台３４ａは、基板
２１をたとえば真空吸着するように構成されてい
る。なおこの段階では、第１の吸着部材４１に与
えられている真空吸着作用は一旦遮断される。

これから露光されようとする基板２１を保持し
た右側の第１の基板保持台３４ａは、矢印５１に
従つて、第１の露光ステーシヨン２４内に運ば
れ、ここで、第１の原版２７を通して、第１の露
光用光源３２によつて露光される。他方、既に一
方面が露光された基板２１を保持している左側の
第１の基板保持台３４ｂは、矢印５２に従つて、
コンベアステーシヨン２３に運ばれる。

コンベアステーシヨン２３においては、第１の
吸着部材４１が再び矢印４３方向に往復動作し
て、片面露光済みの基板２１を吸着保持する。そ
して、第１のアーム３９が、矢印４０の方向にお
ける下方向へ向かつて90度回動し、第１の吸着部
材４１をコンベア２２と対向する位置にもたら
し、ここで、第１の吸着部材４１が矢印４３方向
に相当する方向の往復動作を行なつて、基板２１
をコンベア２２上に置く。今、コンベア２２上に
置かれた基板２１は、その上面に露光が施された
ものである。

このように上面に露光が施された基板２１は、
コンベア２２の作用で、矢印５０方向に送られ、
第２の露光ステーシヨン２５に隣接する位置にも
たらされる。なお、この位置にある第２の授受機
構３７は、基板２１が搬送される前に、想像線で
示すように、第２の吸着部材４７をコンベア２２
の搬送面より下方に位置させている。

上述のように第２の露光ステーシヨン２５に隣
接する位置にもたらされた基板２１に対して、第
２の授受機構３７は、次のように作動する。ま
ず、第２図の想像線で示す位置から、第２の吸着
部材４７が矢印４９方向に相当する方向における
上方向への変位を行ない、基板２１の下面に第２
の吸着面４８が接した状態とし、これを吸着した
まま、基板２１をコンベア２２より上方へ持ち上
げる。次に、第２のアーム４５が、第２の回転軸
４４のまわりに、矢印４６で示す方向における上
方向へ90度回転し、次いで、基板２１を保持した
第２の吸着部材４７を、矢印４９で示すように、
往復動作させる。これに応じて、第２の吸着部材
４７に保持されていた基板２１は、左側の第２の
基板保持台３５ｂに渡す。

この左側の第２の基板保持台３５ｂは、次に、
第１図に示した矢印５３に従つて、第２の露光ス
テーシヨン２５へ移動し、ここで、基板２１のも
う一方の面が露光される。また、左側の第２の基
板保持台３５ｂと入替わつて、右側の第２の基板
保持台３５ａが、矢印５４に従つて、コンベアス
テーシヨン２３に移動する。この基板保持台３５
ａには、両面が露光された基板２１が保持されて
いる。

第２の授受機構３７は、また、上述の両面が露
光された基板２１に対して、次のように作用す
る。まず、第２図の実線で示す状態において、第
２の吸着部材４７は、矢印４９で示すように、往
復動作し、基板保持台３５ａに保持されていた基
板２１を吸着し、これを基板保持台３５ａから取
り外す。そして、第２の吸着部材４７が基板２１
を保持した状態で、第２のアーム４５が、矢印４
６で示す方向における下方向へ回動し、基板２１
をコンベア２２上に置く。そして、第２の吸着部
材４７は、コンベア２２によつて運ばれてくる次
の基板２１と干渉し合わないように、その吸着部
材４７を、想像線で示すように、コンベア２２の
搬送面より下方の位置にもたらす。

上述した動作は、１個の基板２１に対しては、
順次進行するものであるが、複数個の基板２１を
処理する場合には、第１の露光ステーシヨン２４
と第２の露光ステーシヨン２５とにおいて、同時
に進行している。

なお、コンベア２２は、矢印５０（第２図）方
向に基板２１を搬送するのではなく、その逆の方
向に搬送してもよい。

また、第１および第２の回転軸３８および４４
は、固定位置に設けられるように図示されたが、
たとえばコンベア２２がさらに低く位置される場
合には、上下方向に移動するように設けられても
よい。すなわち、コンベア２２に対して基板２１
の授受を行なうときには、第１および第２の回転
軸３８および４４が下方へ移動する。

また、基板保持台が図示のように各露光ステー
シヨン２４，２５に関連して２個ずつ設けられる
場合には、２個の基板保持台の位置の相違に対応
するようにするため、矢印４３または４９方向の
往復動作を、たとえば２個の直列のシリンダを用
いるなどして２段階で行なえるようにしてもよ
い。すなわち、より近い基板保持台３４ｂまたは
３５ａに対しては、１段階の動作を行ない、より
遠い基板保持台３４ａまたは３５ｂに対しては、
２段階の動作を行なうようにするのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例の全体の概略を
示す上面図である。第２図は、第１図に示した露
光装置の全体の概略を示す正面図である。第３図
は、この考案の背景技術を説明するための露光装
置の概略的な側面図である。第４図は、第３図に
示した露光装置における基板４の搬送態様を説明
するための、第３図の左方向から示した図であ
る。 図において、２１は基板、２２はコンベア、２
３はコンベアステーシヨン、２４は第１の露光ス
テーシヨン、２５は第２の露光ステーシヨン、２
７は第１の原版、２８は第２の原版、２９は第１
の原版保持台、３０は第２の原版保持台、３１は
境界面、３２は第１の露光用光源、３３は第２の
露光用光源、３４ａ，３４ｂは第１の基板保持
台、３５ａ，３５ｂは第２の基板保持台、３６は
第１の授受機構、３７は第２の授受機構、３８は
第１の回転軸、３９は第１のアーム、４１は第１
の吸着部材、４２は第１の吸着面、４４は第２の
回転軸、４５は第２のアーム、４７は第２の吸着
部材、４８は第２の吸着面である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 両面に露光が施されるべき基板を水平方向に置
   いた状態で搬送するコンベアが位置するコンベア
   ステーシヨンと、 前記コンベアステーシヨンの側方に隣接しなが
   ら前記コンベアの延びる方向に並ぶ第１および第
   ２の露光ステーシヨンと、 を備え、 前記第１および第２の露光ステーシヨンには、
   第１および第２の原版が垂直方向にそれぞれ保持
   され、かつ、第１および第２の露光ステーシヨン
   間の境界面と前記第１および第２の原版との各間
   には、第１および第２の露光用光源が、それぞ
   れ、第１および第２の原版に向かつて光を照射す
   るように互いに背面を向け合つて配置され、さら
   に 前記第１および第２の露光ステーシヨンにおけ
   る、前記第１および第２の露光用光源からの各光
   を前記第１および第２の原版をそれぞれ通して受
   ける各位置と、前記コンベアの搬送面の上方の位
   置との間を、前記基板を垂直方向に保持して往復
   する第１および第２の基板保持台と、 前記コンベアステーシヨンにおいて、前記コン
   ベアと前記第１および第２の基板保持台との各間
   で前記基板の受け渡しを行なうための第１および
   第２の授受機構と、 を備える、露光装置であつて、 前記第１の授受機構は、水平かつ前記コンベア
   の幅方向に向く第１の回転軸と、前記第１の回転
   軸のまわりに90度の範囲で往復回動される第１の
   アームと、前記第１のアームの端部に保持され、
   かつ前記コンベアの搬送面の上方から前記コンベ
   ア上の前記基板の上面を吸着し得る方向に向いた
   第１の吸着面を有する第１の吸着部材と、当該第
   １の吸着部材を前記第１の吸着面と直交する方向
   に往復動作させる機構とを備え、 前記第２の授受機構は、水平かつ前記コンベア
   の幅方向に向く第２の回転軸と、前記第２の回転
   軸のまわりに90度の範囲で往復回動される第２の
   アームと、前記第２のアームの端部に保持され、
   かつ前記コンベアの搬送面の下方から前記コンベ
   ア上の前記基板の下面を吸着し得る方向に向いた
   第２の吸着面を有する第２の吸着部材と、当該第
   ２の吸着部材を前記第２の吸着面と直交する方向
   に往復動作させる機構とを備える、 ことを特徴とする、露光装置。