JPS62188773U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62188773U JPS62188773U JP7746786U JP7746786U JPS62188773U JP S62188773 U JPS62188773 U JP S62188773U JP 7746786 U JP7746786 U JP 7746786U JP 7746786 U JP7746786 U JP 7746786U JP S62188773 U JPS62188773 U JP S62188773U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor
- arm
- substrate
- exposure
- held
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
Description
【図面の簡単な説明】
第1図は、この考案の一実施例の全体の概略を
示す上面図である。第2図は、第1図に示した露
光装置の全体の概略を示す正面図である。第3図
は、この考案の背景技術を説明するための露光装
置の概略的な側面図である。第4図は、第3図に
示した露光装置における基板4の搬送態様を説明
するための、第3図の左方向から示した図である
。 図において、21は基板、22はコンベア、2
3はコンベアステーシヨン、24は第1の露光ス
テーシヨン、25は第2の露光ステーシヨン、2
7は第1の原版、28は第2の原版、29は第1
の原版保持台、30は第2の原版保持台、31は
境界面、32は第1の露光用光源、33は第2の
露光用光源、34a,34bは第1の基板保持台
、35a,35bは第2の基板保持台、36は第
1の授受機構、37は第2の授受機構、38は第
1の回転軸、39は第1のアーム、41は第1の
吸着部材、42は第1の吸着面、44は第2の回
転軸、45は第2のアーム、47は第2の吸着部
材、48は第2の吸着面である。
示す上面図である。第2図は、第1図に示した露
光装置の全体の概略を示す正面図である。第3図
は、この考案の背景技術を説明するための露光装
置の概略的な側面図である。第4図は、第3図に
示した露光装置における基板4の搬送態様を説明
するための、第3図の左方向から示した図である
。 図において、21は基板、22はコンベア、2
3はコンベアステーシヨン、24は第1の露光ス
テーシヨン、25は第2の露光ステーシヨン、2
7は第1の原版、28は第2の原版、29は第1
の原版保持台、30は第2の原版保持台、31は
境界面、32は第1の露光用光源、33は第2の
露光用光源、34a,34bは第1の基板保持台
、35a,35bは第2の基板保持台、36は第
1の授受機構、37は第2の授受機構、38は第
1の回転軸、39は第1のアーム、41は第1の
吸着部材、42は第1の吸着面、44は第2の回
転軸、45は第2のアーム、47は第2の吸着部
材、48は第2の吸着面である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 両面に露光が施されるべき基板を水平方向に置
いた状態で搬送するコンベアが位置するコンベア
ステーシヨンと、 前記コンベアステーシヨンの側方に隣接しなが
ら前記コンベアの延びる方向に並ぶ第1および第
2の露光ステーシヨンと、 を備え、 前記第1および第2の露光ステーシヨンには、
第1および第2の原版が垂直方向にそれぞれ保持
され、かつ、第1および第2の露光ステーシヨン
間の境界面と前記第1および第2の原版との各間
には、第1および第2の露光用光源が、それぞれ
、第1および第2の原版に向かつて光を照射する
ように互いに背面を向け合つて配置され、さらに 前記第1および第2の露光ステーシヨンにおけ
る、前記第1および第2の露光用光源からの各光
を前記第1および第2の原版をそれぞれ通して受
ける各位置と、前記コンベアステーシヨンとの間
を、前記基板を垂直方向に保持して往復する第1
および第2の基板保持台と、 前記コンベアステーシヨンにおいて、前記コン
ベアと前記第1および第2の基板保持台との各間
で前記基板の受け渡しを行なうための第1および
第2の授受機構と、 を備える、露光装置であつて、 前記第1の授受機構は、水平かつ前記コンベア
の幅方向に向く第1の回転軸と、前記第1の回転
軸のまわりに往復回動される第1のアームと、前
記第1のアームの端部に保持され、かつ前記コン
ベア上の前記基板の上面を吸着し得る方向に向い
た第1の吸着面を有するとともに、当該第1の吸
着面と直交する方向に変位するように往復動作さ
れる、第1の吸着部材とを備え、 前記第2の授受機構は、水平かつ前記コンベア
の幅方向に向く第2の回転軸と、前記第2の回転
軸のまわりに往復回動される第2のアームと、前
記第2のアームの端部に保持され、かつ前記コン
ベア上の前記基板の下面を吸着し得る方向に向い
た第2の吸着面を有するとともに、当該第2の吸
着面と直交する方向に変位するように往復動作さ
れる、第2の吸着部材とを備える、 ことを特徴とする、露光装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986077467U JPH0446275Y2 (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | |
| US07/005,858 US4842412A (en) | 1986-01-22 | 1987-01-21 | Exposure apparatus employed for fabricating printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986077467U JPH0446275Y2 (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62188773U true JPS62188773U (ja) | 1987-12-01 |
| JPH0446275Y2 JPH0446275Y2 (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=30925500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986077467U Expired JPH0446275Y2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-05-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0446275Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002323777A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Seiichiro Toyoda | 搬送反転装置及び露光システム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS433918Y1 (ja) * | 1965-04-09 | 1968-02-19 | ||
| JPS55158452U (ja) * | 1979-04-25 | 1980-11-14 | ||
| JPS60594U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | 三菱重工業株式会社 | 原子炉炉心 |
| JPS618557A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加熱装置 |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP1986077467U patent/JPH0446275Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS433918Y1 (ja) * | 1965-04-09 | 1968-02-19 | ||
| JPS55158452U (ja) * | 1979-04-25 | 1980-11-14 | ||
| JPS60594U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-05 | 三菱重工業株式会社 | 原子炉炉心 |
| JPS618557A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加熱装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002323777A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Seiichiro Toyoda | 搬送反転装置及び露光システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0446275Y2 (ja) | 1992-10-30 |
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