JP2020170059A - 露光装置および露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の平坦性を維持した上で、基板の露光面と露光部の結像面とを一致させるとともに、基板の露光面に発生する不具合を防止する。【解決手段】基板を露光する露光装置であって、基板を吸引吸着して保持する保持面を有する基板ホルダと、基板ホルダを、保持面に直交する方向に移動させる駆動機構と、保持面に直交する方向に変位しないように配置される基板押さえ部材であって、基板ホルダに保持された基板が駆動機構により基板押さえ部材に押し当てられたとき、基板の露光領域を避けた位置で基板と当接する基板押さえ部材とを備える。【選択図】図２

Description

本発明は、露光装置および露光方法に関する。

従来、感光層を有する基板の露光面に光を照射して、露光面にパターンを形成するための露光装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この露光装置は、基板の露光面に対向する平面であって、投影光学系の結像面と一致する平面を有する光透過性部材を備えている。この露光装置では、基板の露光面を光透過性部材の平面に密着させることで、表面平坦性の悪い基板の露光面に所望の像を精度良く結像させている。

特開２０１１−８１３１７号公報

特許文献１に記載された露光装置では、基板の露光面を光透過性部材の平面に密着させている。そのため、基板の露光面と光透過性部材の平面とが密着することで、基板の露光面において、汚れが付着する、傷が付く、光透過性部材の平面との間にゴミが入り込むといった不具合が発生することがある。

本発明は、上記のような課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

本発明の第１形態によれば、基板を露光する露光装置が提供される。この露光装置は、基板を吸引吸着して保持する保持面を有する基板ホルダと、基板ホルダを、保持面に直交する方向に移動させる駆動機構と、を備える。また、この露光装置は、保持面に直交する方向に変位しないように配置される基板押さえ部材を備えている。この基板押さえ部材は、基板ホルダに保持された基板が駆動機構により基板押さえ部材に押し当てられたとき、基板の露光領域を避けた位置で基板と当接する。

この露光装置によれば、基板ホルダは、基板を吸引吸着して保持するので、基板の平坦性を維持することができる。また、基板押さえ部材は、基板ホルダの保持面に直交する方向に変位しないように配置されている。そのため、基板押さえ部材の基板と当接する面を露光部の結像面と一致させることで、基板が基板押さえ部材と当接したときの基板の露光面を、露光部の結像面と一致させることができる。また、基板押さえ部材は、基板ホルダに保持された基板が駆動機構により基板押さえ部材に押し当てられたとき、基板の露光領域を避けた位置で基板と当接する。そのため、基板の平坦性を向上させるとともに、基板の露光面に発生する不具合を防止することができる。

本発明の第２形態によれば、第１形態において、基板押さえ部材は、保持面に平行な方向に移動可能に構成されている。そのため、露光装置に様々なサイズの基板を適用することができる。また、基板ホルダに基板を載置したり基板ホルダから基板を取り外したりする場合に、基板押さえ部材を基板ホルダの外側に移動させることにより、基板の入れ替えを容易に行うことができる。

本発明の第３形態によれば、第２形態において、基板押さえ部材は、位置固定されたガイドレール上を摺動するように構成されている。そのため、基板押さえ部材が基板ホルダの保持面に直交する方向に変位することを防止しつつ、基板押さえ部材を保持面に平行な方向に移動させることができる。

本発明の第４形態によれば、第１形態において、基板押さえ部材は、位置固定されている。そのため、露光装置の構成を簡素化することができる。

本発明の第５形態によれば、第１形態から第４形態までのいずれかの形態において、基板押さえ部材は、基板と当接する平坦面を有している。そのため、基板と基板押さえ部材とを面同士で安定して当接させることができる。

本発明の第６形態によれば、第１形態から第５形態までのいずれかの形態において、基板押さえ部材は、基板の互いに対向する２つの縁部分と当接するように配置されている。そのため、基板を安定して挟持することができる。

本発明の第７形態によれば、第１形態から第５形態までのいずれかの形態において、基板押さえ部材は、基板に設けられた複数の露光領域に対応する領域が開口した格子状の部材である。これにより、基板の縁部分以外も基板押さえ部材と当接するので、基板の平坦性をより向上させることができる。

本発明の第８形態によれば、第１形態から第７形態までのいずれかの形態において、駆動機構は、基板ホルダの外周部の複数の位置に力を加えるように構成されている。そのため、基板ホルダを確実に当接させることができる。

本発明の第９形態によれば、第１形態から第８形態までのいずれかの形態において、基板ホルダに保持された基板が駆動機構により基板押さえ部材に押し当てられた状態で、露光部に基板を搬送する第１基板搬送部と、第１基板搬送部と並行して配置され、基板ホルダに保持された基板が駆動機構により基板押さえ部材に押し当てられた状態で、露光部に基板を搬送する第２基板搬送部をさらに備え、１つの露光部は、第１基板搬送部によって搬送される基板と、第２基板搬送部によって搬送される基板とを交互に露光する。これにより、効率的に露光処理を進めることができる。

本発明の第１０形態によれば、露光装置を用いて基板を露光する露光方法が提供される。この露光方法は、第１形態から第９形態までのいずれかの形態の露光装置を準備することを備える。また、この露光方法は、基板ホルダにより、基板を吸引吸着することと、駆動機構により、基板ホルダに保持された基板を、基板押さえ部材に押し当てることと、露光部により露光を行うこととを備える。

この露光方法によれば、基板ホルダは、基板を吸引吸着して保持するので、基板の平坦性を維持することができる。また、基板押さえ部材は、保持面に直交する方向に変位しないように配置されている。そのため、基板押さえ部材の基板と当接する面を露光部の結像面と一致させることで、基板が基板押さえ部材と当接したときの基板の露光面を、露光部の結像面と一致させることができる。また、基板押さえ部材は、基板ホルダに保持された基板が駆動機構により基板押さえ部材に押し当てられたとき、基板の露光領域を避けた位置で基板と当接する。そのため、基板の平坦性を向上させるとともに、基板の露光面に発生する不具合を防止することができる。

本発明の一実施形態に係る露光装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板ホルダ部を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板ホルダ部が基板を挟持した状態を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板ホルダ部が基板を挟持した状態を示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る複数の露光領域に対応する開口を有する基板押さえ部材を示す平面図である。

以下、本発明による露光装置の好適な実施形態につき図面を用いて説明するが、各図において同一、または相当する部分については、同一符号を付して説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る露光装置の全体構成を示す斜視図である。露光装置１００は、表面に感光層を有する基板の露光面に対し、電気回路等の２次元パターンを表す露光データに基づいて、露光を行うことによって、当該パターンを基板上に形成する装置である。

図１において、露光装置１００は、第１基板搬送部１０、第２基板搬送部２０、アライメントカメラ部３０、および露光部４０を備えている。第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０は、例えば床面に設置されるベース枠１０１上に固定された第１ベース部材１０２上に互いに並行して配置されている。アライメントカメラ部３０および露光部４０は、第１ベース部材１０２上に設けられた第２ベース部材１０３上に、第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０を跨いで配置されている。

本実施形態では、アライメントカメラ部３０のカメラ３４および露光部４０の露光ヘッド４４の移動方向（図１の左上方向から右下方向）をＸ軸方向とする。また、第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０が搬送する基板ホルダ部６０の移動方向をＹ軸方向（図１の左下方向から右上方向）とする。さらに、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向（図１の下方向から上方向）をＺ軸方向とする。

第１基板搬送部１０は、露光処理の流れに沿って基板ホルダ部６０に挟持された基板５０をＹ軸方向に搬送する。第２基板搬送部２０は、第１基板搬送部１０と同様に、露光処理の流れに沿って基板ホルダ部６０に挟持された基板５０をＹ軸方向に搬送する。第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０は、同一の構成を有しているので、以下、第１基板搬送部１０についてのみ説明する。第１基板搬送部１０は、支持部材１１、ガイド部材１２、およびリニアモータ１３を有している。

支持部材１１は、第１ベース部材１０２上に、Ｙ軸方向に沿って配置されている。ガイド部材１２は、支持部材１１上に、Ｙ軸方向に沿って配置されている。リニアモータ１３は、支持部材１１の上面にガイド部材１２と平行に配置されている。基板ホルダ部６０は、露光される基板５０を挟持し、リニアモータ１３を動力源として、ガイド部材１２上を移動可能に構成されている。基板ホルダ部６０の詳細な構成については、後述する。

アライメントカメラ部３０は、基板５０上の所定位置に付された位置合わせマークをカメラ３４で光学的に読み取ることにより、読み取った位置合わせマークの座標（Ｘ，Ｙ）に基づいて、基板５０の配置位置を検出する。アライメントカメラ部３０は、支持部材３１、ガイド部材３２、シャフトモータ３３、および２台のカメラ３４を有している。

支持部材３１は、第２ベース部材１０３上に、第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０を跨いで、Ｘ軸方向に沿って配置されている。ガイド部材３２は、支持部材３１の側面に、Ｘ軸方向に沿って配置されている。シャフトモータ３３は、支持部材３１の上部に、ガイド部材３２と平行に配置されている。カメラ３４は、それぞれシャフトモータ３３を動力源として、ガイド部材３２上を移動可能に構成されている。

基板５０が矩形形状である場合、位置合わせマークは、例えば、基板５０の四隅に設けられている。そのため、２台のカメラ３４を用いることにより、２箇所の位置合わせマークを同時に読み取ることができるので、効率的に基板５０の配置位置を検出することができる。なお、アライメントカメラ部３０は、１台のカメラ３４を有していてもよいし、３台以上のカメラ３４を有していてもよい。

露光部４０は、露光データに基づいて、基板５０の露光面を露光する。露光部４０は、支持部材４１、ガイド部材４２、リニアモータ４３、および露光ヘッド４４を有している。露光部４０の動作は、露光データを扱う図示しない画像処理ユニットによって制御される。この画像処理ユニットは、アライメントカメラ部３０で検出された基板５０の配置位置に応じて露光データを補正し、補正データに基づいて露光部４０を制御する。これにより、基板５０上の適切な位置に露光を行うことができる。

支持部材４１は、第２ベース部材１０３上に、第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０を跨いで、Ｘ軸方向に沿って配置されている。ガイド部材４２は、支持部材４１上に、Ｘ軸方向に沿って配置されている。リニアモータ４３は、支持部材４１の側面に、ガイド部材４２と平行に配置されている。露光ヘッド４４は、リニアモータ４３を動力源として、ガイド部材４２上を移動可能に構成されている。

露光ヘッド４４は、ＬＥＤ光源と、光変調素子であるデジタルミラーデバイス（ＤＭＤ：Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｉｒｒｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）とを有している。デジタルミラーデバイスを用いることにより、フォトマスクを介さず、パターンを基板５０上に直接形成することができる。なお、光源は、ＬＥＤ光源に限らず、レーザやＵＶランプ等、種々の光源を用いることができる。また、デジタルミラーデバイスに代えて、ポリゴンミラーを用いた場合であっても、フォトマスクを介さず、パターンを基板５０上に直接形成することができる。ポリゴンミラーを用いる場合には、光源としてレーザ光源を用いることが適している。

本実施形態では、露光装置１００は、第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０を備えている。また、アライメントカメラ部３０および露光部４０は、第１基板搬送部１０および第２基板搬送部２０を跨いで配置されている。そのため、例えば第１基板搬送部１０によって搬送される基板５０を露光部４０によって露光している間に、第２基板搬送部２０によって搬送される基板５０の配置位置を、アライメントカメラ部３０によって検出することができる。すなわち、露光部４０が第１基板搬送部１０によって搬送される基板５０と第２基板搬送部２０によって搬送される基板５０とを交互に露光することにより、効率的に露光処理を進めることができる。なお、基板搬送部は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。

また、本実施形態では、画像処理ユニットが、アライメントカメラ部３０で検出された基板５０の配置位置に応じて露光データを補正し、補正データに基づいて露光部４０を制御すると説明したが、これに限定されない。例えば、特許文献１に開示された位置合わせ機構を本実施形態のガイド部材１２と基板ホルダ部６０との間に設け、露光データに合わせて位置合わせ機構が基板５０の配置位置を補正してもよい。この場合も、基板５０上の適切な位置に露光を行うことができる。

続いて、第１基板搬送部１０に設けられた基板ホルダ部６０の詳細な構成について説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダ部を示す斜視図である。図３は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダ部が基板を挟持した状態を示す斜視図である。図４は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダ部が基板を挟持した状態を示す断面図である。なお、図４は、エアシリンダ６２を通る線で基板ホルダ部を切断した断面を示している。

図２〜４において、基板ホルダ部６０は、基板ホルダ６１、エアシリンダ６２、基板ホルダ支持部材６３、基板ホルダ案内部材６４、ガイド部材６５、摺動部材６６、および基板押さえ部材６７を有している。基板ホルダ部６０の動作は、作業者の操作に応じて、制御部によって制御される。

基板ホルダ６１は、基板５０を保持する保持面６１ａを有し、ＸＹ平面に広がる矩形形状の板状部材である。基板ホルダ６１の保持面６１ａには、図示しない微細な貫通孔が複数形成されている。この貫通孔を介して、保持面６１ａの反対側に向かって、図示しない吸引機構により吸引が行われることにより、基板ホルダ６１に載置された基板５０は、保持面６１ａ上に吸引吸着される。これにより、基板５０を平坦に保持することができる。

エアシリンダ６２は、基板ホルダ６１の裏面から、保持面６１ａに直交する方向（Ｚ軸方向）に基板ホルダ６１を移動させる駆動機構である。エアシリンダ６２は、基板ホルダ６１の四隅に配置されている。エアシリンダ６２は、基板ホルダ支持部材６３に固定されたシリンダ部６２ａと、先端が基板ホルダ６１の裏面に当接するロッド６２ｂとを有している。エアシリンダ６２は、空気圧でロッド６２ｂをシリンダ部６２ａから伸長させることで、基板ホルダ６１を移動させる。

エアシリンダ６２を基板ホルダ６１の四隅に設けることで、基板ホルダ６１の全面に均一に力をかけて移動させることができる。また、駆動機構としてエアシリンダ６２を用いることにより、簡素な構成で基板ホルダ６１を移動させることができる。なお、エアシリンダ６２は、必ずしも基板ホルダ６１の四隅に設けられる必要はなく、基板ホルダ６１の各辺の中央位置に設けられてもよい。この場合も基板ホルダ６１の全面に均一に力をかけることができる。

基板ホルダ支持部材６３は、ＸＹ平面に広がる矩形形状の板状部材である。基板ホルダ支持部材６３は、基板ホルダ案内部材６４を介して基板ホルダ６１を上下に案内可能になっている。基板ホルダ案内部材６４は、ロッド部６４ａが基板ホルダ６１に、軸受け部６４ｂが基板ホルダ受け部材６３にそれぞれ固定されている。

ガイド部材６５は、基板ホルダ６１のＹ軸方向外側で、基板ホルダ支持部材６３上の互いに対向する位置に、Ｘ軸方向に沿って２本配置されている。摺動部材６６は、１本のガイド部材６５について２つ設けられている。摺動部材６６は、ガイド部材６５と係合し、図示しないモータ等を動力源として、ガイド部材６５上を移動可能に構成されている。

基板押さえ部材６７は、摺動部材６６上に、互いに対向するように２つ配置されている。基板押さえ部材６７は、基板５０と当接する当接部６７ａと、当接部６７ａの両端から当接部６７ａと直交する方向に延在し、それぞれ摺動部材６６に固定される固定部６７ｂとを有している。基板押さえ部材６７が２つ配置されていることにより、基板５０の互いに対向する２つの縁部分を基板押さえ部材６７と当接させることができる。

当接部６７ａは、Ｙ軸方向に沿って延びて形成され、基板５０の露光面の非露光領域と当接する平坦面６７ｄを有している。当接部６７ａが平坦面６７ｄを有していることにより、基板５０と基板押さえ部材６７とを面同士で安定して当接させることができる。なお、当接部６７ａは、凸部を有し、基板５０の露光面の非露光領域と点または線で当接してもよい。また、固定部６７ｂと摺動部材６６とは、一体化されていてもよい。

基板押さえ部材６７は、摺動部材６６およびガイド部材６５を介して基板ホルダ支持部材６３に取り付けられることにより、保持面６１ａに直交する方向（Ｚ軸方向）に変位しないように配置されている。また、互いに対向する２つの基板押さえ部材６７の当接部６７ａの平坦面６７ｄを延長した面は、基準面６８を画定する。本実施形態では、基準面６８は、露光部４０の結像面と一致するように構成されている。

ここで、基板押さえ部材６７は、基板ホルダ６１に保持された基板５０がエアシリンダ６２により基板押さえ部材６７に押し当てられたとき、基板５０の露光領域を避けた位置で基板５０と当接する。そのため、基板５０の露光領域の上方には、露光の妨げとなるものは存在しない。また、このとき、基板５０の露光面と基準面６８と、すなわち基板５０の露光面と露光部４０の結像面とが一致している。

次に、基板ホルダ部６０が基板５０を挟持する動作について説明する。ここでは、矩形形状の基板５０を挟持する場合の動作について説明する。まず、作業者が基板ホルダ６１に基板５０を載置し、例えば露光装置１００に設けられたスイッチを押すと、基板ホルダ６１が基板５０を吸引吸着して保持する。

続いて、基板ホルダ６１のＸ軸方向外側で待機していた基板押さえ部材６７が、基板５０のサイズに合わせてＸ軸方向に平行移動し、基板５０の露光領域を避けた基板５０の縁部分とＺ軸方向に重なる位置で停止する。ここで、基板５０のサイズは、予め作業者により制御部に登録されていてもよいし、図示しないセンサで検出されてもよい。

基板押さえ部材６７を保持面６１ａに平行な方向に移動可能に構成することにより、基板ホルダ部６０が様々なサイズの基板５０を挟持することができる。また、基板ホルダ６１に基板５０を載置したり基板ホルダ６１から基板５０を取り外したりする場合に、基板押さえ部材６７を基板ホルダ６１の外側に移動させることにより、基板５０の入れ替えを容易に行うことができる。また、基板押さえ部材６７を、位置固定されたガイドレールであるガイド部材６５上を摺動するように構成することにより、基板押さえ部材６７が基板ホルダ６１の保持面６１ａに直交する方向に変位することを防止しつつ、基板押さえ部材６７を移動させることができる。

その後、エアシリンダ６２が駆動して、基板ホルダ６１をＺ軸方向に移動させ、基板ホルダ６１に保持された基板５０を、所定の圧力で基板押さえ部材６７に押し当てる。ここで、基板５０を基板押さえ部材６７に押し当てる圧力は、予め作業者により制御部に登録されていてもよいし、図示しないセンサを用いてフィードバック制御されてもよい。これにより、基板５０が基板ホルダ部６０に挟持される。また、このとき、上述したように、基板５０の露光面と基板押さえ部材６７によって画定された基準面６８とが一致する。

以上のように、露光装置１００は、基板５０を吸引吸着して保持する基板ホルダ６１を備えている。また、露光装置１００は、保持面６１ａに直交する方向（Ｚ軸方向）に変位しないように配置される基板押さえ部材６７を備えている。この基板押さえ部材６７は、基板ホルダ６１に保持された基板５０がエアシリンダ６２により基板押さえ部材６７に押し当てられたとき、基板５０の露光領域を避けた位置で基板５０と当接する。

この露光装置１００によれば、基板ホルダ６１は、基板５０を吸引吸着して保持するので、基板５０の平坦性を維持することができる。また、基板押さえ部材６７は、保持面６１ａに直交する方向に変位しないように配置されている。そのため、基板押さえ部材６７の基板５０と当接する面を露光部４０の結像面と一致させることで、基板５０が基板押さえ部材６７と当接したときの基板５０の露光面を、露光部４０の結像面と一致させることができるまた、基板押さえ部材６７は、基板ホルダ６１に保持された基板５０がエアシリンダ６２により基板押さえ部材６７に押し当てられたとき、基板５０の露光領域を避けた位置で基板５０と当接する。そのため、基板５０の平坦性を向上させるとともに、基板５０の露光面に発生する不具合を防止することができる。

本実施形態では、基板押さえ部材６７が、基板５０のサイズに合わせてＸ軸方向に平行移動すると説明したが、これに限定されない。基板押さえ部材６７は、基板５０の露光領域を避けた基板５０の縁部分とＺ軸方向に重なる位置で固定されてもよい。露光装置１００で露光する基板５０のサイズが変化しない場合には、この構成により、ガイド部材６５および摺動部材６６を省略して、基板ホルダ部６０の構成を簡素化することができる。このとき、作業者が基板ホルダ６１に基板５０を載置することを容易にするために、Ｘ軸方向またはＹ軸方向から、基板ホルダ６１と基板押さえ部材６７との隙間を通して基板５０を供給する基板供給機構を設けてもよい。基板供給機構は、例えばローラが並列に配置されたスライド機構であってもよい。

さらに、基板５０に複数の露光領域が設けられている場合に、図５に示すような、基板５０の複数の露光領域に対応する領域が開口した開口部６７ｃを有する格子状の基板押さえ部材６７Ａを用いてもよい。この場合には、基板５０の縁部分以外も基板押さえ部材６７Ａと当接するので、基板５０の平坦性をより向上させることができる。このとき、エアシリンダ６２により、基板ホルダ６１の外周部に加えて、基板ホルダ６１の中央部に力をかけてもよい。

以上、本発明のいくつかの実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれる。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の組み合わせ、または、省略が可能である。

１０…第１基板搬送部
１１、２１、３１、４１…支持部材
１２、２２、３２、４２、６４…ガイド部材
１３、２３、４３…リニアモータ
２０…第２基板搬送部
３０…アライメントカメラ部
３３…シャフトモータ
３４…カメラ
４０…露光部
４４…露光ヘッド
５０…基板
６０…基板ホルダ部
６１…基板ホルダ
６１ａ…保持面
６２…エアシリンダ
６２ａ…シリンダ部
６２ｂ…ロッド
６３…基板ホルダ支持部材
６４…基板ホルダ案内部材
６４ａ…ロッド部
６４ｂ…軸受け部
６５…ガイド部材
６６…摺動部材
６７…基板押さえ部材
６７ａ…当接部
６７ｂ…固定部
６７ｄ…平坦面
６７Ａ…基板押さえ部材
６７ｃ…開口部
６８…基準面
１００…露光装置
１０１…ベース枠
１０２…第１ベース部材
１０３…第２ベース部材

Claims (10)

1. 基板を露光する露光装置であって、
   前記基板を吸引吸着して保持する保持面を有する基板ホルダと、
   前記基板ホルダを、前記保持面に直交する方向に移動させる駆動機構と、
   前記保持面に直交する方向に変位しないように配置される基板押さえ部材であって、前記基板ホルダに保持された前記基板が前記駆動機構により前記基板押さえ部材に押し当てられたとき、前記基板の露光領域を避けた位置で前記基板と当接する基板押さえ部材と
   を備えた露光装置。
2. 請求項１に記載の露光装置であって、
   前記基板押さえ部材は、前記保持面に平行な方向に移動可能に構成されている
   露光装置。
3. 請求項２に記載の露光装置であって、
   前記基板押さえ部材は、位置固定されたガイドレール上を摺動するように構成されている
   露光装置。
4. 請求項１に記載の露光装置であって、
   前記基板押さえ部材は、位置固定されている
   露光装置。
5. 請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の露光装置であって、
   前記基板押さえ部材は、前記基板と当接する平坦面を有している
   露光装置。
6. 請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の露光装置であって、
   前記基板押さえ部材は、前記基板の互いに対向する２つの縁部分と当接するように配置されている
   露光装置。
7. 請求項１から請求項５に記載の露光装置であって、
   前記基板押さえ部材は、前記基板に設けられた複数の露光領域に対応する領域が開口した格子状の部材である
   露光装置。
8. 請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の露光装置であって、
   前記駆動機構は、前記基板ホルダの外周部の複数の位置に力を加えるように構成されている
   露光装置。
9. 請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の露光装置であって、
   前記基板ホルダに保持された前記基板が前記駆動機構により前記基板押さえ部材に押し当てられた状態で、露光部に前記基板を搬送する第１基板搬送部と、
   前記第１基板搬送部と並行して配置され、前記基板ホルダに保持された前記基板が前記駆動機構により前記基板押さえ部材に押し当てられた状態で、前記露光部に前記基板を搬送する第２基板搬送部をさらに備え、
   １つの前記露光部は、前記第１基板搬送部によって搬送される前記基板と、前記第２基板搬送部によって搬送される前記基板とを交互に露光する
   露光装置。
10. 露光装置を用いて基板を露光する露光方法であって、
    請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の露光装置を準備することと、
    前記基板ホルダにより、前記基板を吸引吸着することと、
    前記駆動機構により、前記基板ホルダに保持された前記基板を、前記基板押さえ部材に押し当てることと、
    前記露光部により露光を行うことと
    を備えた露光方法。

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