JPH0443505A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents
誘電体磁器組成物Info
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- JPH0443505A JPH0443505A JP2151200A JP15120090A JPH0443505A JP H0443505 A JPH0443505 A JP H0443505A JP 2151200 A JP2151200 A JP 2151200A JP 15120090 A JP15120090 A JP 15120090A JP H0443505 A JPH0443505 A JP H0443505A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は誘電体磁器組成物に関し、特にたとえば積層
コンデンサに用いられる、誘電体磁器組成物に関する。
コンデンサに用いられる、誘電体磁器組成物に関する。
(従来技術)
従来の誘電体磁器組成物としては、B 、t Q″i0
3を主成分とし、これに、副成分としてビスマス化合物
を添加したものが利用されていた。この誘電体磁器組成
物では、誘電率が高くかつその温度特性も平坦である。
3を主成分とし、これに、副成分としてビスマス化合物
を添加したものが利用されていた。この誘電体磁器組成
物では、誘電率が高くかつその温度特性も平坦である。
そして、この誘電体磁器組成物は、積層コンデンサに用
いられていた。
いられていた。
また、別の誘電体[器組成物として、BaTi○、を主
成分とし、これに、副成分として希土類酸化物および遷
移金属酸化物を添加したものが利用されていた。
成分とし、これに、副成分として希土類酸化物および遷
移金属酸化物を添加したものが利用されていた。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、BaTiO3にビスマス化合物を添加し
た誘電体磁器組成物を積層コンデンサの材料として用い
る場合には、高温でビスマス化合物とPdとが反応する
ため、内部電極として、PdあるいはAg−Pd合金を
用いることができなかった。したがって、内部電極とし
ては、高価なptを使用せざるを得なかった。
た誘電体磁器組成物を積層コンデンサの材料として用い
る場合には、高温でビスマス化合物とPdとが反応する
ため、内部電極として、PdあるいはAg−Pd合金を
用いることができなかった。したがって、内部電極とし
ては、高価なptを使用せざるを得なかった。
それに対して、Ba T i O3に希土類酸化物およ
び遷移金属酸化物を添加した誘電体磁器組成物を積層コ
ンデンサの材料として用いる場合、内部電極として、P
dあるいはAg−Pd合金を使用することができる。し
かし、この内部電極として使用されるPdあるいはAg
−Pd合金は、Ptよりは安価であるが、やはり高価な
ものであった。
び遷移金属酸化物を添加した誘電体磁器組成物を積層コ
ンデンサの材料として用いる場合、内部電極として、P
dあるいはAg−Pd合金を使用することができる。し
かし、この内部電極として使用されるPdあるいはAg
−Pd合金は、Ptよりは安価であるが、やはり高価な
ものであった。
一方、最近の電子部品では、小型薄膜化が求められてお
り、積層コンデンサにおいてもセラミック素子の厚みを
数μmにまで薄くすることが求められるようになった。
り、積層コンデンサにおいてもセラミック素子の厚みを
数μmにまで薄くすることが求められるようになった。
そのため、電子部品の小型薄膜化を進める程、内部電極
の枚数を増加させる必要があり、電極材料のためのコス
トが高くついていた。したがって、Pd主体の内部電極
を用いたものでも、安価な薄膜小型積層コンデンサを供
給することができなくなっている。
の枚数を増加させる必要があり、電極材料のためのコス
トが高くついていた。したがって、Pd主体の内部電極
を用いたものでも、安価な薄膜小型積層コンデンサを供
給することができなくなっている。
また、BaTiO3を主成分とし、これに、副成分とし
て希土類酸化物および遷移金属酸化物を添加した誘電体
磁器組成物では、第2図に示すように、B a T i
Os粒子1の表面部に希土類酸化物および遷移金属酸
化物が拡散した層2が形成され、2層構造が形成されて
いる。
て希土類酸化物および遷移金属酸化物を添加した誘電体
磁器組成物では、第2図に示すように、B a T i
Os粒子1の表面部に希土類酸化物および遷移金属酸
化物が拡散した層2が形成され、2層構造が形成されて
いる。
この場合、B a T i 03を主成分とする部分1
は、第3図に示すように、高温で高い誘電率を示す。ま
た、BaTi0.に希土類酸化物および遷移金属酸化物
が拡散した層2は、第4図に示すように、低温で高い誘
電率を示す。したがって、この2層構造を形成する誘電
体磁器組成物は、これらの2つの部分の特性が重なり合
って、第5図に示すような誘電率の温度変化の小さい特
性を有する。
は、第3図に示すように、高温で高い誘電率を示す。ま
た、BaTi0.に希土類酸化物および遷移金属酸化物
が拡散した層2は、第4図に示すように、低温で高い誘
電率を示す。したがって、この2層構造を形成する誘電
体磁器組成物は、これらの2つの部分の特性が重なり合
って、第5図に示すような誘電率の温度変化の小さい特
性を有する。
さらに、この誘電体磁器組成物では、BaTiO3に希
土類酸化物および遷移金属酸化物を拡散させることによ
って2層構造を形成するために、高温での焼成が必要で
ある。また、Ba’l’i03の粒子径が小さ過ぎると
、粒子内部にまで希土類酸化物および遷移金属酸化物の
拡散が進み、全体が均一化してしまう。その結果、誘電
体磁器組成物の誘電率の温度変化が大きくなる。
土類酸化物および遷移金属酸化物を拡散させることによ
って2層構造を形成するために、高温での焼成が必要で
ある。また、Ba’l’i03の粒子径が小さ過ぎると
、粒子内部にまで希土類酸化物および遷移金属酸化物の
拡散が進み、全体が均一化してしまう。その結果、誘電
体磁器組成物の誘電率の温度変化が大きくなる。
したがって、BaTi0.の粒子径をあまり小さくでき
ず、数μmの薄膜のセラミック素子を作ることは困難で
ある。たとえ、このような数μmのセラミック素子を作
ったとしても、機械的強度が低くて脆いものであり、積
層コンデンサとして安定性の低いものになってしまう。
ず、数μmの薄膜のセラミック素子を作ることは困難で
ある。たとえ、このような数μmのセラミック素子を作
ったとしても、機械的強度が低くて脆いものであり、積
層コンデンサとして安定性の低いものになってしまう。
それゆえに、この発明の主たる目的は、低温で焼成する
ことができ、誘電率の温度変化が小さく、かつ薄膜化し
た場合にも積層コンデンサとしての信軌性を高めること
ができる、誘電体磁器組成物を提供することである。
ことができ、誘電率の温度変化が小さく、かつ薄膜化し
た場合にも積層コンデンサとしての信軌性を高めること
ができる、誘電体磁器組成物を提供することである。
(課題を解決するための手段)
この発明は、P b (N i l13N bzyr
) 03+PbTiO3+Pb (Zn、、、w、、□
)O:I +Pb (Cu l/3 N bz7* )
Osの組成物が5〜40重量%と、B a T i
O:lが60〜95重置%とからなる、誘電体磁器組成
物である。
) 03+PbTiO3+Pb (Zn、、、w、、□
)O:I +Pb (Cu l/3 N bz7* )
Osの組成物が5〜40重量%と、B a T i
O:lが60〜95重置%とからなる、誘電体磁器組成
物である。
また、このpb系組成物の各成分のモル比率(モル%)
は、P b (N i l/3 N bzyr ) O
sが50.0〜75.0モル%、PbTi0.が20゜
0〜35.0モル%、 P b (Z n l/2
W+/2 ) 0、が0.5〜15.0モル%およびP
b(Cu+/z N bzys ) 03が1.0〜1
0.0モル%にすることができる。
は、P b (N i l/3 N bzyr ) O
sが50.0〜75.0モル%、PbTi0.が20゜
0〜35.0モル%、 P b (Z n l/2
W+/2 ) 0、が0.5〜15.0モル%およびP
b(Cu+/z N bzys ) 03が1.0〜1
0.0モル%にすることができる。
(作用)
B a T i 03とpb系組成物とが、混合された
状態で焼結する。
状態で焼結する。
(発明の効果)
この発明によれば、BaTiO3の表面に添加物を拡散
させる必要がないため、pb系組成物と同様に1000
℃近傍の温度で焼結することが可能である。したがって
、AgあるいはAg主体のAg−Pd合金あるいはCu
などコスト的に安価な電極材料を使用することができる
。また、BaT iO3とPb系組成物の特性が重なり
合って、誘電率の温度変化の小さいセラミックを得るこ
とができる。
させる必要がないため、pb系組成物と同様に1000
℃近傍の温度で焼結することが可能である。したがって
、AgあるいはAg主体のAg−Pd合金あるいはCu
などコスト的に安価な電極材料を使用することができる
。また、BaT iO3とPb系組成物の特性が重なり
合って、誘電率の温度変化の小さいセラミックを得るこ
とができる。
さらに、B a T i O:、に添加物を拡散させる
必要がないため、原料の粒径を小さくすることができる
。したがって、この発明の誘電体磁器組成物を用いるこ
とによって、小型化、薄膜化が可能で、しかも必要とす
る機械的強度を有する積層コンデンサを得ることができ
る。
必要がないため、原料の粒径を小さくすることができる
。したがって、この発明の誘電体磁器組成物を用いるこ
とによって、小型化、薄膜化が可能で、しかも必要とす
る機械的強度を有する積層コンデンサを得ることができ
る。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例)
まず、出発原料として、純度99.9%以上のPb30
4 、N10.WOs + Cub、Nb20s、Z
nOおよびTsotを用意した。これらの原料を、Pb
(N1+zz Nb!/:l )Oz +pb’rf
()+ +P b (Zn+zz Wl/Z ) 03
+P b (Cu l/3 N b zys ) 0
3で表され、表に示す組成となるように各々秤量した。
4 、N10.WOs + Cub、Nb20s、Z
nOおよびTsotを用意した。これらの原料を、Pb
(N1+zz Nb!/:l )Oz +pb’rf
()+ +P b (Zn+zz Wl/Z ) 03
+P b (Cu l/3 N b zys ) 0
3で表され、表に示す組成となるように各々秤量した。
次いで、秤量した各原料をZrO□玉石および蒸留水と
共にナイロン製ポットに入れて10時間混式混合し、混
合物を得た。その後、これによって得られた混合物スラ
リーを脱水乾燥し、アルミナ質の匣に入れて650℃〜
800℃で2時間保持して仮焼粉末を得た。
共にナイロン製ポットに入れて10時間混式混合し、混
合物を得た。その後、これによって得られた混合物スラ
リーを脱水乾燥し、アルミナ質の匣に入れて650℃〜
800℃で2時間保持して仮焼粉末を得た。
また、他の出発原料として、純度99.9%以上のBa
CO3およびT i O,を用意し、これらを最終的に
B a T i O2の組成になるように各原料を秤量
した。そして、秤量した各原料をZrO2玉石および蒸
留水と共にナイロン製ポットに入れて10時間混式混合
した。その後、これによって得られた混合物スラリーを
脱水乾燥し、アルミナ質の匣に入れて1100℃〜12
00℃で2時間保持して仮焼粉末を得た。
CO3およびT i O,を用意し、これらを最終的に
B a T i O2の組成になるように各原料を秤量
した。そして、秤量した各原料をZrO2玉石および蒸
留水と共にナイロン製ポットに入れて10時間混式混合
した。その後、これによって得られた混合物スラリーを
脱水乾燥し、アルミナ質の匣に入れて1100℃〜12
00℃で2時間保持して仮焼粉末を得た。
このようにして得られたpb系組成物の仮焼粉末とB
a T i O2の仮焼粉末とを表に示す配合比になる
ように秤量し、これらの粉末をZrO,玉石、有機バイ
ンダおよび有機溶剤と共にナイロン製ポットに入れて1
0時間混合し、スラリーを得た。その後、これによって
得られたスラリーを用いて、ドクターブレードを用いた
キャスティング法によって、厚さ10μmのセラミック
グリーンシートを作製した。
a T i O2の仮焼粉末とを表に示す配合比になる
ように秤量し、これらの粉末をZrO,玉石、有機バイ
ンダおよび有機溶剤と共にナイロン製ポットに入れて1
0時間混合し、スラリーを得た。その後、これによって
得られたスラリーを用いて、ドクターブレードを用いた
キャスティング法によって、厚さ10μmのセラミック
グリーンシートを作製した。
このセラミックグリーンシートの上に、表に示すように
、Ag、Ag−PdおよびCu粉末を用いたそれぞれの
内部電極ペーストを通常の積層セラミックコンデンサを
製造する方法によってスクリーン印刷した。そして、内
部電極ペーストを印刷したグリーンシートを積層数が1
0層になるように積層し、熱プレスを用いて一体化して
積層体を得た。その後、この積層体を所定の寸法に切断
して生チップを作製した。
、Ag、Ag−PdおよびCu粉末を用いたそれぞれの
内部電極ペーストを通常の積層セラミックコンデンサを
製造する方法によってスクリーン印刷した。そして、内
部電極ペーストを印刷したグリーンシートを積層数が1
0層になるように積層し、熱プレスを用いて一体化して
積層体を得た。その後、この積層体を所定の寸法に切断
して生チップを作製した。
次いで、作製された生チップを、空気中または酸素分圧
をコントロールした雰囲気中において、400℃の温度
で2時間保持して脱バインダ処理を施した。そして、こ
の脱バインダ処理をした生チップを、空気中または酸素
分圧をコントロールした雰囲気中において、所定の温度
で焼結して焼結体を得た。この焼結体に外部電極を付け
て試料とし、試料の電気特性を測定した。
をコントロールした雰囲気中において、400℃の温度
で2時間保持して脱バインダ処理を施した。そして、こ
の脱バインダ処理をした生チップを、空気中または酸素
分圧をコントロールした雰囲気中において、所定の温度
で焼結して焼結体を得た。この焼結体に外部電極を付け
て試料とし、試料の電気特性を測定した。
なお、静電容量および誘電損失は、1kHz、IV r
ssで測定し、誘電率は電極面積および電極間距離を測
定して静電容量から算出した。また、誘電率は、25℃
における値ε2.を測定し、この誘電率εt5を基準に
して、−55℃における誘電率変化率Δε−2,および
125℃における誘電率変化率Δε1□、を測定した。
ssで測定し、誘電率は電極面積および電極間距離を測
定して静電容量から算出した。また、誘電率は、25℃
における値ε2.を測定し、この誘電率εt5を基準に
して、−55℃における誘電率変化率Δε−2,および
125℃における誘電率変化率Δε1□、を測定した。
そして、それらの測定結果および算出結果を表に示した
。この表中の*印を付けたものは、この発明の範囲外の
ものであり、それ以外のものはこの発明の範囲内である
。
。この表中の*印を付けたものは、この発明の範囲外の
ものであり、それ以外のものはこの発明の範囲内である
。
次に、この発明にかかる誘電体磁器組成物の組成範囲の
限定理由について説明する。
限定理由について説明する。
試料番号15のように、p b (N i 173 N
bzy3 )Owl +pb’rio3 +pb (
Zn+zz W+/2)03 +Pb (Cu+z+
Nbzz:+ )03で表されるpb系組成物が5重量
%未満、すなわちE’aTiO3が95重量%以上では
、第4図に示すような低温で高い誘電率を示す相が少な
くなり、全体としての誘電率の温度変化が大きくなる。
bzy3 )Owl +pb’rio3 +pb (
Zn+zz W+/2)03 +Pb (Cu+z+
Nbzz:+ )03で表されるpb系組成物が5重量
%未満、すなわちE’aTiO3が95重量%以上では
、第4図に示すような低温で高い誘電率を示す相が少な
くなり、全体としての誘電率の温度変化が大きくなる。
そして、焼成温度も高くなり好ましくない。また、試料
番号16のように、Pb系組成物が40重量%以上、す
なわちBaTi0.が60重量%未満では、低温で高い
誘電率を示す相の誘電率が高くなり過ぎて、全体として
の誘電率の温度変化が大きくなり好ましくない。
番号16のように、Pb系組成物が40重量%以上、す
なわちBaTi0.が60重量%未満では、低温で高い
誘電率を示す相の誘電率が高くなり過ぎて、全体として
の誘電率の温度変化が大きくなり好ましくない。
次に、pb系組成物の4成分の各組成比の範囲を限定し
た理由について説明する。
た理由について説明する。
試料番号14のように、P b (N i I/3 N
bzzユ)0.が5−0.0モル%未満になると、第
4図に示す相のキュリー点が高くなり、誘電損失が5%
以上になって好ましくない。また、試料番号11のよう
に、P b (N i+/s Nbzyx ) 03が
75.0モル%を超えると、第4図に示す相のキュリー
点が低くなり、室温の誘電率が低下して好ましくない。
bzzユ)0.が5−0.0モル%未満になると、第
4図に示す相のキュリー点が高くなり、誘電損失が5%
以上になって好ましくない。また、試料番号11のよう
に、P b (N i+/s Nbzyx ) 03が
75.0モル%を超えると、第4図に示す相のキュリー
点が低くなり、室温の誘電率が低下して好ましくない。
さらに、試料番号17のように、PbTi0゜が20.
0モル%未満になると、第4図に示す相のキュリー点が
低くなり、室温の誘電率が低下して好ましくない。また
、試料番号13のように、P b T i Ozが35
.0モル%を超えると、第4図に示す相のキュリー点が
高くなり、誘電損失が5%以上になり好ましくない。
0モル%未満になると、第4図に示す相のキュリー点が
低くなり、室温の誘電率が低下して好ましくない。また
、試料番号13のように、P b T i Ozが35
.0モル%を超えると、第4図に示す相のキュリー点が
高くなり、誘電損失が5%以上になり好ましくない。
さらにまた、試料番号lのように、Pb (Zn+zg
w+z□)0.が0.5モル%未満では、焼成温度が高
(なり、BaTi0.とpb系組成物とが反応して均一
化し、均一相を形成してしまうため、誘電率の温度変化
が大きくなり好ましくない。
w+z□)0.が0.5モル%未満では、焼成温度が高
(なり、BaTi0.とpb系組成物とが反応して均一
化し、均一相を形成してしまうため、誘電率の温度変化
が大きくなり好ましくない。
また、試料番号5のように、P b (Z n1yz
Wl/2)03が15モル%を超えると、第4図に示す
相のキュリー点が低くなり、誘電率が低くなり好ましく
ない。
Wl/2)03が15モル%を超えると、第4図に示す
相のキュリー点が低くなり、誘電率が低くなり好ましく
ない。
さらに、試料番号6のように、Pb(Cu+73N b
z/s ) 02が1.0モル%未満では、焼成温度
が高くなり、Ba’l’iQ3とpb系組成物とが反応
して均一化し、均一相を形成してしまうため、誘電率の
温度変化が大きくなり好ましくない。また、試料番号1
0のように、P b (Cu+yx Nbt/s )
Osが1000モル%を超えると、誘電率が低下して好
ましくない。
z/s ) 02が1.0モル%未満では、焼成温度
が高くなり、Ba’l’iQ3とpb系組成物とが反応
して均一化し、均一相を形成してしまうため、誘電率の
温度変化が大きくなり好ましくない。また、試料番号1
0のように、P b (Cu+yx Nbt/s )
Osが1000モル%を超えると、誘電率が低下して好
ましくない。
それに対して、この発明では、第1図に示すように、B
aTi0i 10とPb系組成物12とが分散した形で
あるため、1000’lll’近傍の低温で焼結するこ
とができ、しかも両者の特性が重なり合って、誘電率の
温度変化が小さくなっている。
aTi0i 10とPb系組成物12とが分散した形で
あるため、1000’lll’近傍の低温で焼結するこ
とができ、しかも両者の特性が重なり合って、誘電率の
温度変化が小さくなっている。
したがって、Ag、Ag主体のAg−PdあるいはCu
などの内部電極を使用して高誘電率で温度変化の少ない
積層コンデンサが得られる。
などの内部電極を使用して高誘電率で温度変化の少ない
積層コンデンサが得られる。
さらに、Ba7i0310とpb系組成物12とが分散
した状態であるため、原料の粒径を小さくすることがで
きる。したがって、この発明の誘電体磁器組成物を用い
れば、小型化、薄膜化が可能で、しかも、必要とする機
械的強度を有する積層コンデンサを得ることができる。
した状態であるため、原料の粒径を小さくすることがで
きる。したがって、この発明の誘電体磁器組成物を用い
れば、小型化、薄膜化が可能で、しかも、必要とする機
械的強度を有する積層コンデンサを得ることができる。
また、この発明の誘電体磁器組成物では、第3図および
第4図に示す両者の誘電率がバランスし、全体としての
誘電率の温度変化が小さくなっている。
第4図に示す両者の誘電率がバランスし、全体としての
誘電率の温度変化が小さくなっている。
第1図は、この発明にかかる誘電体磁器組成物の構造を
示す図解図である。 第2図は、従来の誘電体磁器組成物の構造を示す図解図
である。 第3図はBaTi0.の誘電率の温度変化を示すグラフ
である。 第4図は従来例のBaTi0=に希土類および遷移金属
が拡散した層、あるいは、この発明のPb系組成物の誘
電率の温度変化を示すグラフである。 第5図は、誘電体+6!を器組成物の誘電率の温度変化
を示すグラフである。 図において、10はB a T iO:+の相、12は
pb系組成物の相を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 第 図 第 図 第 図 第 図 1〕0 盈、t(”C) 第 図 +00 温度(”C)
示す図解図である。 第2図は、従来の誘電体磁器組成物の構造を示す図解図
である。 第3図はBaTi0.の誘電率の温度変化を示すグラフ
である。 第4図は従来例のBaTi0=に希土類および遷移金属
が拡散した層、あるいは、この発明のPb系組成物の誘
電率の温度変化を示すグラフである。 第5図は、誘電体+6!を器組成物の誘電率の温度変化
を示すグラフである。 図において、10はB a T iO:+の相、12は
pb系組成物の相を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 第 図 第 図 第 図 第 図 1〕0 盈、t(”C) 第 図 +00 温度(”C)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 Pb(Ni_1_/_3Nb_2_/_3)O_3
+PbTiO_3+Pb(Zn_1_/_2W_1_/
_2)O_3+Pb(Cu_1_/_3Nb_2_/_
3)O_3で表されるPb系組成物が5〜40重量%と
、BaTiO_3が60〜95重量%とからなる、誘電
体磁器組成物。 2 前記Pb系組成物の各成分のモル比率(モル%)は
、前記Pb(Ni_1_/_3Nb_2_/_3)O_
3が50.0〜75.0モル%,前記PbTiO_3が
20.0〜35.0モル%,前記Pb(Zn_1_/_
2W_1_/_2)O_3が0.5〜15.0モル%お
よび前記Pb(Cu_1_/_3Nb_2_/_3)O
_3が1.0〜10.0モル%である、請求項1記載の
誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2151200A JPH0443505A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2151200A JPH0443505A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 誘電体磁器組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0443505A true JPH0443505A (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=15513435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2151200A Pending JPH0443505A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0443505A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102288380A (zh) * | 2011-05-04 | 2011-12-21 | 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 | 一种吹气式阵风发生器 |
-
1990
- 1990-06-08 JP JP2151200A patent/JPH0443505A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102288380A (zh) * | 2011-05-04 | 2011-12-21 | 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 | 一种吹气式阵风发生器 |
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