JPH0438654B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、主に半導体の集積回路等の製造に用
いられるダイボンダ装置に設けられるリードフレ
ーム用搬送装置に関するものである。

従来の技術 従来、リードフレーム搬送のための技術として
は、第９図に示されるようなものがあつた。すな
わち、７０は第１０図に示されるようなリードフ
レーム１の移送用穴１ｂに挿入される送りピン、
７１は送りピン７０が固定される棒部材、７２は
棒部材７１に固定され、ローラ７７をガイドする
ガイド部材である。７３は駆動手段（図示せず）
に連結され、ベルト７４を介してカム７５を回転
させるローラ、７６はローラ７３に固定され、ロ
ーラ７７を回転自在に支持するクランク棒であ
る。カム７５は棒部材７１に当接しており、棒部
材７１を上下に移動させる。７８はリードフレー
ム１を適度に押圧するばねである。

このように構成されたリードフレーム用搬送装
置において、まず、ローラ７３が回転してガイド
手段７２及び棒部材７１を介して送りピン７０を
矢印Ａ方向へ移動させ、ローラ７３に従つてカム
７５が回転して棒部材７１を押し上げる。する
と、送りピン７０は矢印Ｂ方向へ移動し、リード
フレーム１の移送用穴１ｂに貫通する。更にロー
ラ７３が回転すると、ガイド手段７２は右方向へ
移動し、それに伴つてピン７０は移送用穴に貫通
した状態で矢印Ｃの方向へ移動し、リードフレー
ム１を搬送する。リードフレーム１が所定の位置
まで移動すると、カム７５は棒部材７１を下降さ
せ、ピン７０はリードフレーム１から外れる。ピ
ン７０はローラ７３の回転により矢印Ａ方向に移
動され、再び元の位置に戻される。ばね７８はリ
ードフレーム１を適度に押圧し、振動等によつて
リードフレーム１が動くのを防いでいる。

発明が解決しようとする問題点 しかし、以上のような構成では、ピン７０がリ
ードフレームの移送用穴１ｂに正確に貫通する必
要があり、リードフレームの種類を変更する際
は、ピン７０の位置を細かく調整する必要があ
り、多くの手間と時間を要していた。

本発明は以上の問題点に鑑みてなされたもので
あり、多種類のリードフレームに容易に対応する
事が可能なリードフレーム用搬送装置を実現する
事を目的とする。

問題点を解決するための手段 リードフレームを保持する２本のガイドレール
を、その間隔が調整可能となるよう支持し、一方
のガイドレールにこのガイドレールに沿つて滑動
可能なように支持されるリードフレーム用把持装
置と、この把持装置を移動させる駆動手段を設
け、この把持装置にリードフレーム把持用の爪部
材を設けた。

作 用 前記構成により、幅が異なるリードフレームに
対しては、２本のガイドレールの幅を変更するだ
けで容易に対応出来る。この場合、把持装置はガ
イドレールの一方に固定されているため、把持装
置とリードフレームの位置関係は変化しない。

実施例 以下本発明の実施例を説明する。第８図は本発
明におけるリードフレーム用搬送装置を用いたダ
イボンデイング装置であり、１はリードフレーム
で、ダイボンデイング装置上の正面より見て左側
に積み重ねてセツトされる。２は吸着ヘツド３に
よりリードフレーム１を吸着し、１枚ずつリード
フレーム搬送用ガイドレール４，５上に載せるた
めのリードフレーム供給装置である。ガイドレー
ル４には、第１図に示されるようにリードフレー
ム１を搬送する搬送装置が設けられている。６は
第１０図に示されるリードフレーム１のダイ取付
部１ａにダイ接着用接着剤を塗布する接着剤供給
装置である。７はガイドレール４，５上の所定の
位置に位置決めされたリードフレーム１上に、ダ
イを取り付けるためのボンデイング装置である。
８はボンデイングが完了したリードフレーム１を
積層して収納するマガジンである。９はシリコン
ウエハー１０が載置されるウエハー用パレツト
で、左側に積み重ねられている。シリコンウエハ
ー１０はウエハー用パレツト９に載せられた状態
で、自動ウエハー供給装置により所定の位置にセ
ツトされダイに分割される。また、ボンデイング
を終えた後のウエハー用パレツト９は、残つた不
良ダイを載せたまま正面より見て右側の空パレツ
ト収納装置１１に収納される。

次に第１図に基づいて本実施例におけるリード
フレーム用搬送装置について説明する。

１２はガイドレール４の外側部にビス１３，１
４により取り付けられ、把持装置１５が固定され
る移動軸１６を滑動可能なように支持する支持部
材である。支持部材１２は第１図に示されるもの
の他に、移動軸１６を確実に支持するため、ガイ
ドレール４のリードフレーム搬送方向側にも設け
られる。把持装置１５には、軸１７により回動自
在に支持されるリードフレーム把持用爪部材１
８、また軸１９により回動自在に支持されるリー
ドフレーム把持用爪部材２０がそれぞれ設けられ
ており、これらはエアーシリンダ２１により駆動
されるよう構成されている。

第２図は把持装置１５の分解図である。２２は
各部を支持する支持体であり、支持体２２の前面
には爪部材１８及び２０を支持するガイド部２３
及び２４が、また下部には移動軸１６を挟む挟持
部２５，２６がそれぞれ設けられている。２７
は、移動軸１６を挟むためのビス２８が挿入され
るねじ穴である。２９及び３０は、ガイド部２３
及び２４の上部に設けられ、軸１７が嵌る軸穴で
ある。一方、３１及び３２は、ガイド部２３及び
２４の下部に設けられ、軸１９が嵌る軸穴であ
る。

３３は爪部材１８に設けられ、軸１７が嵌るた
めの軸穴である。３４は爪部材２０に設けられ、
軸１９が嵌るための軸穴である。爪部材２０の根
元には突出部３５が設けられ、突出部３５の裏側
には、スプリング３６の一端が嵌る凹部３７が設
けられる。爪部材１８及び２０の先端部には超鋼
１８ａ及び２０ａが接合され、爪部材１８側のリ
ードフレームを押さえる部分の両端部には突起１
８ｂ，１８ｃが設けられる。

軸１７の一端部にはギヤ３７が固定され、一
方、軸１９の一端部にはギヤ３７と噛み合うギア
３８が固定される。

爪部材２０は、これをガイド部材２３と２４の
間に軸穴３４が軸穴３１及び３２と一致するよう
に挿入し、軸１９をそれぞれの軸穴に貫通する事
により保持される。そして爪部材２０に設けられ
たねじ穴３９にビス４０を嵌め込んで締めつける
事により、軸１９と爪部材２０は固定される。ス
プリング３６は第４図に示されるように突出部３
５の凹部３７と支持体２２に設けられた凹部４１
の間に嵌め込まれる。

一方、爪部材１８は、これをガイド部材２３と
２４の間に同様に挿入し、軸１７を貫通する事に
より保持される。そしてねじ穴４２にビス４３を
嵌め込んで締めつける事により、軸１７と爪部材
１８は固定される。このように爪部材１８及び２
０を取り付けると、第３図に示されるようにギア
３７とギア３８が噛み合い、軸１７と軸１９は互
いに相反する方向に回転する事となる。

挟持部２５，２６は円柱状の移動軸１６を挟持
し、ビス２８を締め付ける事により把持装置１５
を移動軸１６に固定する。このためビス２８を緩
めて把持装置１５を第４図に示す矢印Ｈ方向に回
動させることにより、把持装置１５がリードフレ
ーム１を把持する高さを調節する事が出来る。本
実施例では、第５図に示されるように、リードフ
レームを把持した時にリードフレームの把持され
た部分がガイドレール４の突出部４ａ及び突出部
４ｂに当たらないように把持装置１５の位置を調
節する。

４４は支持体２２の中央部に設けられたねじ穴
で、第４図に示すよう内部にエアーシリンダ２１
を収容し固定する。

エアーシリンダ２１のロツド４５の先端は爪部
材２０の突出部３５の上側に位置しており、エア
ーシリンダ２４に空気圧が加えられると、ロツド
４５は突出して突出部３５を上部より押圧し、爪
部材２０は軸１９を支点として第４図における矢
印Ｅの方向にわずかに回転する。軸１９の回転に
伴つてギヤ３８，３７の作用により軸１７が軸１
９と逆方向に回転し、軸１７に固定された爪部材
１８は矢印Ｆ方向にわずかに回転する。すなわ
ち、爪部材１８，２０は互いに逆方向に回転し、
その先端部は互いに当たり合うように接近する。
エアーシリンダ内の空気圧が下げられると、ロツ
ト４５は後退し、スプリング３６の反発力により
爪部材２０及び１８が逆方向へ回転する。

以上のように構成された把持装置は、図には一
つしか示されていないが、本実施例ではガイドレ
ール４に沿つて合わせて三つ設けられており、そ
れぞれ一本の移動軸１６に固定される。

ガイドレール４のリードフレームが載せられる
突出部４ａの爪部材１８及び２０が移動する範囲
には、爪部材のそれぞれの先端部を避けるよう欠
除部４ｃが設けられている。またガイドレール
４，５には搬送中のリードフレーム１が外れてし
まうのを防止するための突出部４ｂが設けられて
いる。４６は一方が移動軸１６に固定され、他方
がタイミングベルト４７を挟持し、タイミングベ
ルト４７の移動に伴つて把持装置１５を移動させ
るための挟持部材である。

次に把持装置１５をガイドレール４に沿つて矢
印Ｇ方向に移動させるための駆動装置について説
明する。４８はガイドレール４の外側部にビス４
９及び５０により取り付けられるモータ取付板で
ある。モータ５１はビス５２によりモータ取付板
４８の前面部に取り付けられ、その駆動軸は裏面
側へ突出している。モータ５１の駆動軸にはタイ
ミングベルト用プーリ５３が取り付けられ、タイ
ミングベルト５４を介して裏面側に回転自在に取
り付けられたプーリ５５に回転を伝える。プーリ
５５には同軸にプーリ５６が固定されており、こ
のプーリ５６に前記タイミングベルト４７が掛け
られる。なお、タイミングベルト４７の他方はガ
イドレール４に固定して設けられたプーリ５７に
掛けられている。５８はプーリ５５及びプーリ５
６を支持する軸のモータ取付板４８に取り付けら
れる根元部である。なお、モータ５１の動作はダ
イボンダ装置内に設けられたコンピユータにより
数値制御されている。

５９は下部が基台に固定され、ガイドレール４
及び５を支持するための支持部材である。６０は
ガイドレール４の外側部裏側にビスにより取り付
けられたガイドブロツク、６１はガイドレール５
の外側部裏側にビスにより取り付けられたガイド
ブロツクであつて、これらは前記支持部材５９の
最上部に固定された案内棒６２に滑動可能なよう
支持される。６３は支持部材５９に設けられ、ベ
アリング６４により回転自在に支持されるスクリ
ユーシヤフトであつて、両端部はそれぞれガイド
ブロツク６０，６１に設けられた穴に貫通する。
スクリユーシヤフト６３について、一端部に刻ま
れたねじに対して他端部に刻まれたねじは逆ピツ
チとなつている。６５はガイドブロツク６１に取
り付け固定され、スクリユーシヤフト６３の一端
部が嵌るねじ穴を有するめねじ部材である。ガイ
ドブロツク６０側には、図には示されていない
が、めねじ部材６５と逆ピツチのねじ穴を有する
めねじ部材が取り付けられており、このめねじ部
材にスクリユーシヤフト６３の他端部が嵌つてい
る。６６はスクリユーシヤフト６３の端部に設け
られるスクリユーシヤフト回転用のハンドルであ
る。

以上に説明した支持部材５９、ガイドブロツク
６０，６１、案内棒６２、スクリユーシヤフト６
３、ベアリング６４、めねじ部材６５、ハンドル
６６を備えたガイドレール４，５の間隔調整用装
置は、図では１ヶ所のみ示しているが、ガイドレ
ール４及び５の長さ方向に沿つて２ケ所に設けら
れ、ガイドレール４，５を保持している。

以上のように構成されたリードフレーム用搬送
装置について以下に動作を説明する。まず装置の
起動時には、リードフレーム供給装置によつてガ
イドレール上に載せられるリードフレーム１と把
持用爪部材１８とが交錯しないよう、リードフレ
ーム用把持装置１５を第１図示される位置より右
側に退避させておく必要がある。支持部材１２に
は把持装置１５の初期位置を検出するためのフオ
トインタラプタ６７が、一方移動軸１６の左側端
部にはフオトインタラプタ６７の光を遮断する遮
断片６８がそれぞれ設けられ、装置の起動時には
把持装置１５が、フオトインタラプタの光が遮断
片６８により遮断される位置に来るようプログラ
ムされている。

次にボンデイング時の動作について説明する。
リードフレーム１は、第８図に示されるリードフ
レーム供給装置２によりガイドレール４，５上に
載せられる。把持装置１５は、把持用爪部材１
８，２０が開いた状態でリードフレーム載置部の
方へ移動し、把持用爪先端部がリードフレーム１
（図示せず）の所定の位置に到着した時点で停止
する。次に、エアーシリンダ２１に空気圧が加え
られ、第５図及び第６図に示されるように爪部材
１８，２０がリードフレーム１を挟持する。この
時リードフレーム１の把持された部分は、ガイド
レール４のリードフレーム１が当接する突出部４
ａより離れる。

次に把持装置１５は、右側に移動しリードフレ
ーム１を所定の位置まで搬送する。リードフレー
ム１のダイ取付部１ａが所定の位置に到達する
と、把持装置１５は停止し、エアーシリンダ２１
の空気圧は下がり、ばね３６によつて爪部材１８
及び２０が開く。その後ボンデイング装置７によ
つて取付部１ａにダイが接着される。把持装置１
５はもとの位置に戻り、再びリードフレーム１を
把持して、リードフレーム１の次のダイ取付部が
所定の位置に達するよう搬送する。

本実施例では以上のような動作を繰り返して行
い、ダイがリードフレーム上に次々にボンデイン
グされる。把持装置１５の移動及びエアシリンダ
への空気圧の制御は、すべてコンピユータにあら
かじめ記憶されているプログラムに従つて行われ
る。

以上のようなリードフレーム搬送装置におい
て、把持用爪部材１８，２０はリードフレーム１
のどの位置においてもリードフレーム１を把持す
ることが出来るため、多種類のリードフレームに
容易に対応することが出来る。また、異なつた幅
のリードフレームに対応させるためには、第１図
に示されるハンドル６６を回す。これによりスク
リユーシヤフト６３が回転し、ガイドブロツク６
０，６１が相反する方向に移動し、ガイドレール
４，５の間隔を変化させる事が出来る。ただし、
リードフレーム用把持装置１５及びその駆動装置
は、ガイドレール４に固定されているため、異な
つた幅のリードフレームを用いても、リードフレ
ーム上の把持用爪部材１８，２０が把持する位置
が変わる事はない。

またリードフレームの種類によつては、把持用
爪部材１８，２０はリードフレーム端部において
隣り合うリードフレームの端部を共に把持する場
合がある。もし、リードフレームの端部が第７図
に示されるように変形している場合、把持用爪部
材１８及び２０の先端面がフラツトであると、両
方のリードフレームを確実に把持する事が困難と
なる。本実施例ではこの問題点を考慮し、爪部材
１８側に突起１８ｂ及び１８ｃを設けた。これに
より、その変形分を突起１８ｂ，１８ｃ間の空間
が吸収し、双方のリードフレームを確実に把持す
ることが出来る。

また、リードフレーム１を把持した時は、第５
図に示されるように、リードフレーム１の把持さ
れる部分はガドレール４から浮いているため、搬
送時にリードフレーム１が損傷を受けるという問
題点も解消する事が出来る。

発明の効果 本発明は、リードフレームを保持するガイドレ
ールの一方に、このガイドレールに沿つて移動可
能なリードフレーム用把持装置と、この把持装置
を移動させる駆動手段を設けた事により、幅が異
なる多種類のリードフレームを用いても、把持装
置はガイドレールに固定されているため、リード
フレームとの位置関係を細かく調整する事なく常
にリードフレームの側辺部を確実に把持すること
が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例におけるリードフレー
ム用搬送装置の要部斜視図、第２図は同搬送装置
におけるリードフレーム用把持装置の分解図、第
３図は同把持装置の側面図、第４図は同把持装置
の移動軸に固定した状態の断面図、第５図は同把
持装置のリードフレームを把持した状態の要部断
面図、第６図は同把持装置のリードフレームを把
持した状態の要部斜視図、第７図は同把持装置の
リードフレームの端部を把持した状態の正面図、
第８図は同リードフレーム用搬送装置を搭載する
ダイボンダ装置の斜視図、第９図は従来のリード
フレーム用搬送装置を示す側面図、第１０図はリ
ードフレームの平面図である。 ４，５……ガイドレール、１２……支持部材、
１５……リードフレーム用把持装置、１６……移
動軸、１８……爪部材、２０……爪部材、２１…
…エアーシリンダ、２２……支持体、４７……タ
イミングベルト、４８……モータ取付板、５１…
…モータ、５９……支持部材、６０，６１……ガ
イドブロツク、６２……案内棒、６３……スクリ
ユーシヤフト、６５……めねじ部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ リードフレームの一方の側辺を保持する第１
   のガイドレールと、リードフレームの他方の側辺
   を保持する第２のガイドレールと、第１のガイド
   レール及び第２のガイドレールを双方の間隔が変
   化可能なよう支持する支持手段を有し、第１のガ
   イドレールに、このガイドレールに沿つて滑動可
   能に支持されるリードフレーム用把持装置と、上
   記把持装置をガイドレールに沿つて移動させる駆
   動手段を取り付け、上記把持装置に少なくとも一
   方が回動自在であつて先端部がリードフレームの
   側辺部を上下より挟む一対の爪部材を第１のガイ
   ドレールを取り巻くように設けた事を特徴とする
   リードフレーム用搬送装置。