JP2622213B2

JP2622213B2 - リードフレーム搬送装置

Info

Publication number: JP2622213B2
Application number: JP3259774A
Authority: JP
Inventors: 一幸林; 充洋石塚
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1991-09-10
Filing date: 1991-09-10
Publication date: 1997-06-18
Anticipated expiration: 2012-06-18
Also published as: JPH0574821A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置にお
けるリードフレームの搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来のこの種の搬送装置を示す斜
視図、図４は断面図である。図において、１はリードフ
レーム、２ａ、２ｂは後述のレール幅変更装置により、
リードフレーム１の幅に合わせられる一対のガイドレー
ル、３は架台、４は架台３に固定されたモータ、５はモ
ータの出力軸に取付けられたプーリー、６ａ、６ｂは架
台３に固定された一対の軸受ブロック、７は軸受ブロッ
ク６ａ、６ｂに挿入されたころがり軸受８ａ、８ｂによ
り支持された回転軸、９は回転軸７に固定され上記プー
リー５とベルト１０で連結されたプーリー、１１ａ、１
１ｂは回転軸７に取付けられた一対のプーリー、６ｃは
軸受押えである。また、プーリー１１ａ、１１ｂはガイ
ドレール２ａ、２ｂの上部に回転自由に取付けられたプ
ーリー群１３ａ、１３ｂとベルト１４ａ、１４ｂで連結
され、またプーリー群１３ａ、１３ｂはベルト群１５に
より結ばれている。１６はレール幅変更装置であり、１
７はガイドレール２ａ、２ｂを案内するための直線軸受
である。

【０００３】次に動作について説明する。ガイドレール
２ａ、２ｂの幅合わせをするには、まず、ベルト１４
ａ、１４ｂを外し、プーリー１１ａ、１１ｂの固定ネジ
１１ｃ、１１ｄをゆるめて回転軸７とプーリー１１ａ、
１１ｂを自由状態とし、ガイドレール２ａ、２ｂの幅を
レール幅変更装置１６により、リードフレーム１の幅に
合わせる。次にプーリー１１ａ、１１ｂをプーリー群１
３ａ、１３ｂと連結する位置まで動かし、固定ネジ１１
ｃ、１１ｄにより回転軸７に固定する。そしてベルト１
４ａ、１４ｂをプーリー１１ａ、１１ｂとプーリー群１
３ａ、１３ｂの間に掛ける。以上により、ガイドレール
２ａ、２ｂの幅合せが完了する。この状態でモータ４を
駆動させることにより、プーリー５、ベルト１０、プー
リー９、回転軸７、プーリー１１ａ、１１ｂと回転運動
を伝達し、ベルト１４ａ、１４ｂを介し、プーリー群１
３ａ、１３ｂとベルト群１５を回す。これにより、ベル
ト群１５の上方のリードフレーム１は幅方向をガイドレ
ール２ａ、２ｂに案内されながら搬送される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のリードフレーム
搬送装置は以上のように構成されているので、ガイドレ
ールの幅合せの時に、ベルトを外し固定ネジをゆるめる
という作業があり、幅合せ作業に時間がかかるという問
題点があった。

【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、レール幅変更時のベルト掛け換
え作業をなくし、作業時間を短縮できるリードフレーム
搬送装置を得ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るリードフレーム搬送装置は、回転軸の一端に軸方向の
スライド溝を設けるとともに、この溝部分の軸上にブッ
シュ付プーリーを摺動可能に嵌装し、このブッシュ付プ
ーリーにピンを通してその先端をスライド溝にはめ込
み、かつこのブッシュ付プーリーに第２のプーリーを直
結し、ブッシュ付プーリーのスライド溝に沿った移動と
一体的に、第２のローラを支持するガイドレールを移動
し得るようにしたものである。

【０００７】この発明の請求項２に係るリードフレーム
搬送装置は、一対のガイドレールの一方に装着され、回
転軸を駆動する駆動源と反対側のガイドレール及びプー
リーを、回転軸に対し、回転軸の軸方向位置に可変とし
たものである。

【０００８】この発明の請求項３に係るリードフレーム
搬送装置は、一対のガイドレールのリードフレームの幅
方向間隔が可変となるよう、一対のガイドレールを対応
支持する一対の直線軸受を設けたものである。

【０００９】

【作用】この発明の請求項１によるリードフレーム搬送
装置は、ガイドレール及びプーリーを回転軸の軸方向に
可変となるようにしたので、リードフレームの幅変更時
の調整が容易となる。

【００１０】この発明の請求項２によるリードフレーム
搬送装置は、駆動源と反対側のガイドレール及びプーリ
を回転軸の軸方向位置に可変としたので、ガイドレール
の幅変更に際し、駆動源の位置調整が不要等調整が簡単
である。

【００１１】この発明の請求項３によるリードフレーム
搬送装置は、一対のガイドレールを一対の直線軸受で支
持した状態で、ガイドレールの間隔調整ができるので、
間隔調整が的確、且つ極めて容易にできる。

【００１２】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１は斜視図であり、図２は断面図である。図に
おいて、７はモータ４の取付側と反対側に幅方向のスラ
イド溝７ａを形成した回転軸であり、１８は中空部に回
転軸７がはめ込まれ、かつガイドレール２ａの軸受８ａ
に支持されたプーリーで、ブッシュ１８ａを一体に有
し、該ブッシュ１８ａにプーリー１１ａがネジ１１ｃに
より固定されている。１９はこのプーリー１８を通して
回転軸７の溝部７ａに先端をはめ合せたピンである。な
おその他の構造は従来のものと同様である。

【００１３】次に動作について説明する。以上の構造に
おいて、レール幅変更装置１６により、一対のガイドレ
ール２ａ、２ｂの幅をリードフレーム１の幅に合せる
と、回転軸７はガイドレール２ａと同時に動き、ピン１
９を取付けられたブッシュ付プーリー１８はガイドレー
ル２ｂと同時にピン１９に回転軸７の溝部７ａに案内さ
れて動き、幅合せが完了する。そしてこの状態でモータ
４を駆動させると、従来の装置と同様に回転軸７に回転
運動が伝達され、ガイドレール２ｂ側のプーリー１１ｂ
は回転軸７に直結されているので、ベルト１４ｂを介し
てプーリー群１３ｂ、ベルト群１５が回るようになる。
また、ガイドレール２ａ側は、回転軸７に形成された溝
部７ａにピン１９がはめ込まれているので、回転軸７と
同時に、ブッシュ付プーリー１８は回転し、これに直結
されたプーリー１１ａを回し、ベルト１４ａを介してプ
ーリー群１３ａ、ベルト群１５へと回転を伝える。これ
により、ベルト群１５の上方に位置するリードフレーム
１は搬送される。

【００１４】

【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１に係
るリードフレーム搬送装置は、回転軸の軸方向に設けた
スライド溝に、ブッシュ付プーリーに付設したピンをは
め合せ、このピンが溝にそって案内されるように構成し
たので、リードフレームの幅変更時の調整が容易となる
効果がある。

【００１５】又、発明の請求項２に係るリードフレーム
搬送装置は、一対のガイドレールの一方に装着された回
転軸を駆動する駆動源とは反対側のガイドレール及びプ
ーリーを、回転軸に対し、回転軸の軸方向位置に可変と
したので、ガイドレールの幅変更に際し、駆動源の位置
調整が不要等調整が簡単となる効果がある。

【００１６】更に、この発明の請求項３に係るリードフ
レーム搬送装置は、一対のガイドレールを一対の直線軸
受で支持した状態で、ガイドレールの間隔調整ができる
ので、間隔調整が的確且つ極めて容易にでき、フレーム
の異なる品種への対応が極めて至便となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるリードフレーム搬
送装置を示す斜視図である。

【図２】この発明の一実施例によるリードフレーム搬
送装置を示す断面図である。

【図３】従来のリードフレーム搬送装置を示す斜視図
である。

【図４】従来のリードフレーム搬送装置を示す断面図
である。

【符号の説明】

１リードフレーム、2a、2b ガイドレール、４モー
タ、７回転軸、7a スライド溝、11a、11b プーリー、
15 ベルト群、16 レール幅変更装置、18 ブッシュ付
プーリー、19 ピン。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】リードフレームの幅方向間隔が可変で、
且つ上記リードフレームの幅方向を案内する一対のガイ
ドレール、この一対のガイドレールの互いの対向面側の
それぞれに配設支持され、上記リードフレームを支持搬
送するリードフレーム支持用第１と第２のローラ、この
リードフレーム支持用ローラと軸心が互いに並行をな
し、その両端部が上記一対のガイドレールに回転自在に
支持される回転軸、この回転軸に固着され上記第１のロ
ーラをベルト駆動する第１のプーリー、上記回転軸に装
着され上記第２のローラをベルト駆動する第２のプーリ
ー、及び上記回転軸を駆動する駆動源を備えたものにお
いて、上記回転軸の一端に軸方向のスライド溝を設ける
とともに、この溝部分の軸上にブッシュ付プーリーを摺
動可能に嵌装し、このブッシュ付プーリーにピンを通し
てその先端を上記スライド溝にはめ込み、かつこのブッ
シュ付プーリーに上記第２のプーリーを直結し、上記ブ
ッシュ付プーリーの上記スライド溝に沿った移動と一体
的に、上記第２のローラを支持するガイドレールを移動
し得るようにしたことを特徴とするリードフレーム搬送
装置。
【請求項２】リードフレームの幅方向間隔が可変で、
且つ上記リードフレームの幅方向を案内する一対のガイ
ドレール、この一対のガイドレールの互いの対向面側の
それぞれに配設支持され、上記リードフレームを支持搬
送するリードフレーム支持用第１と第２のローラ、この
リードフレーム支持用ローラと軸心が互いに並行をな
し、その両端部が上記一対のガイドレールに回転自在に
支持される回転軸、この回転軸に固着され上記第１のロ
ーラをベルト駆動する第１のプーリー、上記回転軸に装
着され上記第２のローラをベルト駆動する第２のプーリ
ー、及び上記ガイドレールの一方に装着され、上記回転
軸を駆動する駆動源を備えたものにおいて、上記回転軸
の一端に軸方向のスライド溝を設けるとともに、この溝
部分の軸上にブッシュ付プーリーを摺動可能に嵌装し、
このブッシュ付プーリーにピンを通してその先端を上記
スライド溝にはめ込み、かつこのブッシュ付プーリーに
上記第２のプーリーを直結し、上記駆動源と反対側のガ
イドレール及びプーリーを、上記回転軸に対し、該回転
軸の軸方向位置に可変としたことを特徴とするリードフ
レーム搬送装置。
【請求項３】リードフレームの幅方向間隔が可変で、
且つ上記リードフレームの幅方向を案内する一対のガイ
ドレール、この一対のガイドレールの互いの対向面側の
それぞれに配設支持され、上記リードフレームを支持搬
送するリードフレーム支持用第１と第２のローラ、この
リードフレーム支持用ローラと軸心が互いに並行をな
し、その両端部が上記一対のガイドレールに回転自在に
支持される回転軸、この回転軸に固着され上記第１のロ
ーラをベルト駆動する第１のプーリー、上記回転軸に装
着され上記第２のローラをベルト駆動する第２のプーリ
ー、及び上記回転軸を駆動する駆動源を備えたものにお
いて、上記回転軸に対し、上記一対のガイドレールのリ
ードフレームの幅方向間隔が可変となるよう、上記一対
のガイドレールを対応支持する一対の直線軸受けを設け
るとともに、上記回転軸の一端に軸方向のスライド溝を
設けるとともに、この溝部分の軸上にブッシュ付プーリ
ーを摺動可能に嵌装し、このブッシュ付プーリーにピン
を通してその先端を上記スライド溝にはめ込み、かつこ
のブッシュ付プーリーに上記第２のプーリーを直結し、
上記ブッシュ付プーリーの上記スライド溝に沿った移動
と一体的に、上記第２のローラを支持するガイドレール
を移動し得るようにしたことを特徴とするリードフレー
ム搬送装置。