JPH0747422B2 - リードフレーム用搬送装置およびリードフレームの搬送方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームのアイ
ランドにシリコンウェハから切り出されたダイをボンデ
ィングするダイボンディング装置などに設けられるリー
ドフレーム用搬送装置およびリードフレームの搬送方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ダイボンディング装置などにおいて、リ
ードフレームをピッチ送りするためのリードフレーム用
搬送装置として、特開昭６０−６７３０８号公報に記載
されたものが知られている。

【０００３】このものはガイドレール１３Ａ、１３Ｂ
（符号は同公報援用、以下同）に支持されたリードフレ
ーム１２の側辺を、上爪７５Ａ、７５Ｂと下爪７６Ａ、
７６Ｂにより上下から把持し、この把持状態で上爪７５
Ａ、７５Ｂと下爪７６Ａ、７６Ｂをガイドレール１３Ａ
に沿うように移動させることにより、リードフレーム１
２をピッチ送りするようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、上爪７５Ａ、７５Ｂと下爪７６Ａ、７６Ｂ
によりリードフレーム１２の側辺を把持してリードフレ
ーム１２をガイドレール１３Ａ、１３Ｂ上を搬送すると
きに、リードフレーム１２の下面がガイドレール１３
Ａ、１３Ｂの上面に摺接し、その摺接摩擦によりリード
フレーム１２の下面が傷つきやすいという問題点があっ
た。

【０００５】そこで本発明は、上記のような従来の問題
点を解消し、リードフレームの下面を傷つけることなく
ピッチ送りできるリードフレーム用搬送装置およびリー
ドフレームの搬送方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このために本発明のリー
ドフレーム用搬送装置は、上爪と下爪でガイドレール上
のリードフレームの側辺を上下から把持して、リードフ
レームをガイドレールに沿ってピッチ送りするようにし
たリードフレーム用搬送装置において、リードフレーム
の側辺を上爪と下爪により把持してピッチ送りする際
に、リードフレームの側辺をガイドレールから浮上させ
るための突部を下爪に突設したものである。

【０００７】また本発明のリードフレームの搬送方法
は、上爪と下爪によりリードフレームの側辺を把持して
リードフレームを前記１ピッチ分移動させるときには、
リードフレームを前記ガイドレールから浮上させ、また
把持状態を解除してピッチ送りを停止させたときには、
リードフレームを前記ガイドレール上に着地させるよう
にしたものである。

【０００８】

【作用】上記構成によれば、上爪と下爪でリードフレー
ムの側辺を上下から把持してリードフレームをピッチ送
りするときは、リードフレームはガイドレールからわず
かに浮上し、その下面がガイドレールの上面に摺接する
ことはないので、ピッチ送り時にリードフレームの下面
が傷つくのを解消できる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。

【００１０】図８は本発明の一実施例に係るリードフレ
ーム用搬送装置を用いたダイボンディング装置の全体斜
視図である。図中、１はリードフレームであり、ダイボ
ンディング装置上の正面より見て左側に積み重ねてセッ
トされる。２は吸着ヘッド３によりリードフレーム１を
１枚づつ吸着してピックアップし、ガイドレール４、５
上に載せるためのリードフレーム供給装置である。一方
のガイドレール４には、図１に示されるようなリードフ
レーム用搬送装置が設けられている。

【００１１】６は図１０に示されるリードフレーム１の
アイランド１ａにダイ接着用の接着剤を塗布する接着剤
供給装置である。図１０において、１ｂはリードフレー
ム１の側部に形成された移送用穴である。図８におい
て、７はガイドレール４、５上の所定の位置に位置決め
されたリードフレーム１のアイランド１ａ上に、ダイを
ボンディングするためのボンディングアームである。８
はダイのボンディングが完了したリードフレーム１を積
層して回収するマガジンである。

【００１２】９はシリコンウェハ１０が収納されるウェ
ハ用パレットで、左側に積み重ねられている。シリコン
ウェハ１０はウェハ用パレット９に載せられており、こ
れから切り出されたダイがボンディングアーム７に供給
される。ダイのボンディングを終えた後のウェハ用パレ
ット９は、残った不良ダイを載せたまま正面より見て右
側の空パレット回収装置１１に回収される。

【００１３】次に図１を参照しながらリードフレーム用
搬送装置について説明する。１２は一方のガイドレール
４の外側部にビス１３、１４により取り付けられた支持
部材である。この支持部材１２にはガイドレール４と平
行な移動軸１６が滑動自在に支持されており、この移動
軸１６に把持装置１５が固定されている。支持部材１２
は図１に示されるものの他に、移動軸１６を確実に支持
するため、ガイドレール４のリードフレーム搬送方向側
にも設けられる。

【００１４】支持部材１２には把持装置１５の移動原点
位置である初期位置を検出するためのフォトインタラプ
タ６７が設けられており、また移動軸１６の左側端部に
はフォトインタラプタ６７の光を遮断する遮断片６８が
それぞれ設けられている。装置の起動時には、フォトイ
ンタラプタ６７の光が遮断片６８により遮断される位置
に把持装置１５が来るようプログラムされている。把持
装置１５には、軸１７に回転自在に支持されるリードフ
レーム把持用の上爪１８と、軸１９に回転自在に支持さ
れるリードフレーム把持用の下爪２０がそれぞれ設けら
れており、上爪１８と下爪２０はエアーシリンダ２１に
より駆動されて上下方向に回転し、リードフレーム１２
の側辺を上下から把持するようになっている（図６参
照）。勿論、上爪１８に対して下爪２０のみを上下方向
に回転されることによっても、リードフレーム１の側辺
を把持することができる。

【００１５】図２は把持装置１５の分解図である。２２
は各部を支持する支持体であり、支持体２２の前面には
上爪１８と下爪２０を支持するガイド部２３、２４が設
けられており、また下部には移動軸１６を挟む挾持部２
５、２６がそれぞれ設けられている。２７は、移動軸１
６を挟むためのビス２８が挿入されるねじ穴である。２
９及び３０は、ガイド部２３、２４の上部に設けられ、
軸１７が嵌る軸穴である。３１及び３２は、ガイド部２
３、２４の下部に設けられ、軸１９が嵌る軸穴である。

【００１６】３３は上爪１８に設けられ、軸１７が嵌る
ための軸穴である。３４は下爪２０に設けられ、軸１９
が嵌るための軸穴である。下爪２０の根元には突出部３
５が設けられ、突出部３５の裏側には、スプリング３６
の一端が嵌る凹部３７が設けられている。上爪１８及び
下爪２０の先端部には超鋼により形成された突部１８
ａ、２０ａが突設され、且つ上爪１８の突部１８ａの両
端部にはリードフレーム１２の上面にスポット的に当接
するリブ１８ｂ、１８ｃが突設されている。また軸１７
の一端部にはギヤ３７が固定され、一方、軸１９の一端
部にはギヤ３７と噛み合うギヤ３８が固定されている。

【００１７】図２において、下爪２０をガイド部材２
３、２４の間に軸穴３４が軸穴３１、３２と一致するよ
うに挿入し、軸１９を軸穴３１、３２に貫入することに
より保持される。そして下爪２０に設けられたねじ穴３
９にビス４０を嵌め込んで締めつけることにより、下爪
２０は軸１９に固定される。スプリング３６は図４に示
されるように、突出部３５の凹部３７と支持体２２に設
けられた凹部４１の間に嵌め込まれる。

【００１８】一方、上爪１８は、これをガイド部材２
３、２４の間に同様に挿入し、軸１７を貫入することに
より保持される。そしてねじ穴４２にビス４３を嵌め込
んで締めつけることにより、上爪１８は軸１７に固定さ
れる。このように上爪１８及び下爪２０を取り付ける
と、図３に示されるようにギヤ３７とギヤ３８が噛み合
い、軸１７と軸１９は互いに相反する方向、すなわち上
爪１８と下爪２０が上下方向に開閉する方向Ｅ、Ｆに回
転する。

【００１９】図２において、挾持部２５、２６で移動軸
１６を挾持し、ビス２８を締め付けることにより把持装
置１５を移動軸１６に固定する（図４参照）。またビス
２８を緩めて支持体２２を図４に示す矢印Ｈ方向に回動
させることにより、上爪１８と下爪２の先端部の高さを
調整して、上爪１８と下爪２の先端部がリードフレーム
１を把持する高さを調節することが出来る。この場合、
図５に示されるように、リードフレーム１を把持した時
にリードフレーム１の下面がガイドレール４の突出部４
ａの上面や突出部４ｂの下面に当たらないように、下爪
２０の突部２０ａの高さを調節する。

【００２０】すなわち、図５の部分拡大図である図９に
示すように、上爪１８と下爪２０でリードフレーム１の
側辺を上下から把持した状態で、下爪２０の突部２０ａ
によりリードフレーム１の下面は突出部４ａの上面から
わずかに（間隔ｔ１）浮上し、またリードフレーム１の
上面は突出部４ｂの下面よりもわずかに（間隔ｔ２）離
れている。このように上爪１８と下爪２０による把持状
態において、リードフレーム１をガイドレール４からわ
ずかに浮上させて、その側辺がガイドレール４の突出部
４ａ，４ｂに接触しないようにすることにより、上爪１
８と下爪２０によりリードフレーム１の側辺を把持して
前方へピッチ送りする際に、リードフレーム１の下面と
上面が突出部４ａ，４ｂに摺接して傷つかないようにし
ている。なお図５および図９において、上爪１８と下爪
２０が開いて把持状態が解除されると、リードフレーム
１はガイドレール４の突出部４ａ上に着地する。図２に
おいて、４４は支持体２２の中央部に設けられたねじ穴
で、図４に示すよう内部にエアーシリンダ２１を収容し
て固定する。

【００２１】図４において、エアーシリンダ２１のロッ
ド４５の先端は下爪２０の突出部３５の上面に位置して
おり、エアーシリンダ２１に空気圧が加えられると、ロ
ッド４５は突出して突出部３５を上方より押圧し、下爪
２０は軸１９を支点として図４における矢印Ｅ方向にわ
ずかに回転する。軸１９の回転に伴ってギヤ３８、３７
の作用により軸１７が軸１９と逆方向に回転し、軸１７
に固定された上爪１８は矢印Ｆ方向にわずかに回転す
る。すなわち、上爪１８と下爪２０は互いに逆方向に回
転し、その先端部は互いに当たり合うように接近してリ
ードフレーム１の側辺を上下から把持する。またエアー
シリンダ２１内の空気圧が下げられると、ロッド４５は
後退し、スプリング３６の反発力により上爪１８と下爪
２０が逆方向へ回転し、上記把持状態を解除する。すな
わち、エアーシリンダ２１は上爪１８と下爪２０の回転
手段となっている。以上のように構成された把持装置１
５は、図１には一つしか示されていないが、本実施例で
はガイドレール４に沿って合わせて三つ設けられてお
り、それぞれ一本の移動軸１６に固定される。

【００２２】図１において、ガイドレール４のリードフ
レーム１が載せられる突出部４ａの上爪１８及び下爪２
０が移動する範囲には、上爪１８と下爪２０のそれぞれ
の先端部を避けるように欠除部４ｃが設けられている。
またガイドレール４、５には搬送中のリードフレーム１
が外れてしまうのを防止するための突出部４ｂが設けら
れている（図５も参照）。４６は一方が移動軸１６に固
定され、他方がガイドレール４に沿うように設けられた
タイミングベルト４７を挾持し、タイミングベルト４７
の移動に伴って把持装置１５をガイドレール４に沿って
移動させるためのブラケットである。

【００２３】次に把持装置１５をガイドレール４に沿っ
て矢印Ｇ方向（図１）に繰り返し往復移動させるための
駆動装置について説明する。図１において、４８はガイ
ドレール４の外側部にビス４９、５０により取り付けら
れたモータ取付板である。モータ５１はビス５２により
モータ取付板４８の前面部に取り付けられ、その駆動軸
は裏面側へ突出している。モータ５１の駆動軸にはタイ
ミングベルト用プーリ５３が取り付けられ、タイミング
ベルト５４を介して裏面側に回転自在に取り付けられた
プーリ５５に回転を伝える。

【００２４】プーリ５５には同軸的にプーリ５６が固定
されており、このプーリ５６に前記タイミングベルト４
７が掛けられている。なお、タイミングベルト４７の他
方はガイドレール４の他端部側に固定して設けられたプ
ーリ５７に掛けられている。５８はプーリ５５及びプー
リ５６を支持する軸のモータ取付板４８に取り付けられ
る根元部である。なお、モータ５１の動作はダイボンデ
ィング装置内に設けられたコンピュータにより数値制御
される。

【００２５】５９は下部が基台に固定され、ガイドレー
ル４５を支持するための支持部材である。６０はガイド
レール４の外側部裏側にビスにより取り付けられたガイ
ドブロック、６１はガイドレール５の外側部裏側にビス
により取り付けられたガイドブロックであって、これら
は前記支持部材５９の最上部に固定された案内棒６２に
滑動可能なよう支持される。

【００２６】次に、リードフレーム１の横巾に応じて、
ガイドレール４とガイドレール５の間隔を調整するため
の機構を説明する。６３は支持部材５９に設けられ、ベ
アリング６４により回転自在に支持されるスクリューシ
ャフトであって、両端部はそれぞれガイドブロック６
０、６１に設けられた穴に貫入している。スクリューシ
ャフト６３の一方の端部に刻まれたねじと他方の端部に
刻まれたねじは逆ピッチとなっている。６５はガイドブ
ロック６１に取り付け固定され、スクリューシャフト６
３の一端部が嵌るねじ穴を有するめねじ部材である。

【００２７】ガイドブロック６０側には、図には示され
ていないが、めねじ部材６５と逆ピッチのねじ穴を有す
るめねじ部材が取り付けられており、このめねじ部材に
スクリューシャフト６３の他端部が嵌っている。６６は
スクリューシャフト６３の端部に設けられるスクリュー
シャフト回転操作用のハンドルである。ハンドル６６を
回転操作してスクリューシャフト６３を回転させると、
一方のガイドレール４と他方のガイドレール５は互いに
接近する方向と離れる方向に移動し、リードフレーム１
の横巾の大きさに応じてガイドレール４とガイドレール
５の間隔が調整される。

【００２８】以上に説明した支持部材５９、ガイドブロ
ック６０、６１、案内棒６２、スクリューシャフト６
３、ベアリング６４、めねじ部材６５、ハンドル６６な
どから成るガイドレール４、５の間隔調整手段は、図で
は１ヶ所のみ示しているが、ガイドレール４、５の長さ
方向に沿って２ヶ所に設けられ、ガイドレール４、５を
保持している。

【００２９】以上のように構成されたリードフレーム用
搬送装置について、次に動作を説明する。

【００３０】まず装置の起動時には、リードフレーム供
給装置２によってガイドレール４、５上に載せられるリ
ードフレーム１と上爪１８とが交錯しないように、把持
装置１５を図１に示される位置より右側に退避させてお
く。

【００３１】次にダイボンディング時の動作について説
明する。リードフレーム１は、図８に示されるリードフ
レーム供給装置２によりガイドレール４、５上に載せら
れる。把持装置１５は、上爪１８と下爪２０が開いた状
態でリードフレーム載置部の方へ移動し、上爪１８と下
爪２０の先端部がリードフレーム１の所定の位置に到着
した時点で停止する。次に、エアーシリンダ２１に空気
圧が加えられ、図５及び図６に示されるように上爪１８
と下爪２０が上下方向に回転してリードフレーム１の側
辺を把持する。するとリードフレーム１の側辺の下面
は、図９に示すようにガイドレール４の突出部４ａの上
面よりわずかに（間隔ｔ１）浮き上って離れる。

【００３２】このようにリードフレーム１の側辺を上爪
１８と下爪２０により上下から把持してリードフレーム
１の側辺をガイドレール４からわずかに浮上させた状態
で、把持装置１５は、図１において右側に移動し、リー
ドフレーム１を所定の位置まで搬送するが、その際、リ
ードフレーム１はガイドレール４の突出部４ａからわす
かに浮き上っているので、リードフレーム１の下面が突
出部４ａの上面に摺接して傷つくことはない。リードフ
レーム１のアイランド１ａが所定の位置に到達すると、
把持装置１５は停止し、エアーシリンダ２１の空気圧は
下がり、ばね３６のばね力によって上爪１８と下爪２０
が開き、把持状態は解除されてリードフレーム１の側辺
はガイドレール４の突出部４ａ上に着地して静止する。
そこでボンディングアーム７によってアイランド１ａに
ダイがボンディングされる。

【００３３】このようにしてダイのボンディングが終了
したならば、把持装置１５はもとの初期位置に戻り、再
びリードフレーム１を把持して、リードフレーム１の次
のアイランド１ａがダイのボンディング位置に到達する
ように、アイランド１ａの１ピッチ分だけリードフレー
ム１を移動させる。以上のような動作を繰り返すことに
より、リードフレーム１はアイランド１ａの１ピッチ分
ずつピッチ送りされながら、そのアイランド１ａに次々
にダイがボンディングされるが、上述のように把持装置
１５の上爪１８と下爪２０でリードフレーム１を把持し
てリードフレーム１を１ピッチ分移動させるときには、
リードフレーム１はガイドレール４からわずかに浮上す
るので、リードフレーム１の下面がガイドレール４に摺
接して傷つくことはない。なお把持装置１５の初期位置
への復帰は、フォトインタラプタ６７の光が遮断片６８
により遮断されることにより検知される。また把持装置
１５の移動及びエアーシリンダ２１への空気圧の制御
は、すべてコンピュータにあらかじめ記憶されているプ
ログラムに従って行われる。

【００３４】以上のようなリードフレーム搬送装置にお
いて、上爪１８と下爪２０はリードフレーム１のどの位
置においてもリードフレーム１を把持することが出来る
ため、寸法の異る多種類のリードフレーム１に容易に対
応することが出来る。また、リードフレームの横巾に対
応するために、図１に示されるハンドル６６を回転操作
してガイドレール４とガイドレール５の間隔を調整する
が、把持装置１５はガイドレール４に固定されているた
め、リードフレーム１の品種変更によりその横巾の大き
さが変っても、上爪１８と下爪２０が把持するリードフ
レーム１の位置が変わることはない。

【００３５】またリードフレーム１の種類によっては、
上爪１８と下爪２０はリードフレーム１の端部において
隣り合うリードフレーム１の端部を共に把持する場合が
ある。ここで、リードフレーム１の端部が図７に示され
るように変形している場合、上爪１８と下爪２０の先端
面がフラットであると、リードフレーム１を確実に把持
することが困難となる。そこで本実施例ではこの点を考
慮し、上爪１８にリブ１８ｂ、１８ｃを設けた。これに
より、リードフレーム１の端部が少々変形していても、
その変形分をリブ１８ｂ、１８ｃ間の空間が吸収し、リ
ードフレーム１を確実に把持することが出来る。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明のリードフレ
ーム用搬送装置およびリードフレームの搬送方法は、上
爪と下爪でガイドレール上のリードフレームの側辺を把
持し、リードフレームの側辺をガイドレールから浮上さ
せてリードフレームをピッチ送りするようにしているの
で、ピッチ送り時にリードフレームの下面がガイドレー
ルの上面に摺接することはなく、したがってピッチ送り
時にリードフレームの下面が傷つくのを解消できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるリードフレーム用搬
送装置の斜視図

【図２】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の分解図

【図３】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の側面図

【図４】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の断面図

【図５】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の断面図

【図６】本発明の一実施例におけるリードフレーム搬送
状態の部分斜視図

【図７】本発明の−実施例におけるリードフレーム搬送
状態の部分断面図

【図８】本発明の一実施例におけるダイボンディング装
置の斜視図

【図９】本発明の一実施例における上爪と下爪の部分拡
大断面図

【図１０】本発明の一実施例におけるリードフレームの
部分平面図

【符号の説明】

１ リードフレーム ４ ガイドレール ５ ガイドレール １５ 把持装置 １８ 上爪 ２０ 下爪 ２０ａ 突部 ２１ エアーシリンダ（回転手段） ４７ タイミングベルト（移動手段） ５１ モータ（移動手段） ５６ プーリ（移動手段） ５７ プーリ（移動手段） ６０ ガイドブロック（間隔調整手段） ６１ ガイドブロック（間隔調整手段） ６３ スクリューシャフト（間隔調整手段） ６６ ハンドル（間隔調整手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】リードフレームの一方の側辺を支持する一
   方のガイドレールと、リードフレームの他方の側辺を支
   持する他方のガイドレールと、リードフレームの横巾の
   大きさに応じて一方のガイドレールと他方のガイドレー
   ルの間隔を調整する間隔調整手段と、一方のガイドレー
   ルに沿って移動可能に設けられて上爪と下爪とによりリ
   ードフレームの側辺を上下から把持する把持装置と、リ
   ードフレームを前記ガイドレールに沿ってアイランドの
   １ピッチ分ずつピッチ送りするためにこの把持装置を前
   記ガイドレールに沿って往復移動させる移動手段と、前
   記上爪と下爪を開閉させる開閉手段とを備え、前記上爪
   と下爪とによりリードフレームの側辺を上下から把持し
   てピッチ送りする状態において、リードフレームの側辺
   を前記ガイドレールから浮上させるための突部を前記下
   爪に突設したことを特徴とするリードフレーム用搬送装
   置。
2. 【請求項２】ガイドレール上に載せられたリードフレー
   ムの側辺を把持装置の上爪と下爪により上下から把持
   し、この把持状態でこの把持装置を移動手段によって前
   記ガイドレールに沿ってリードフレームのアイランドの
   １ピッチ分だけ移動させることによりリードフレームを
   ピッチ送りし、１ピッチ分だけ移動させたならば、前記
   上爪と下爪による把持状態を解除して、リードフレーム
   を前記ガイドレール上に着地させるようにしたリードフ
   レームの搬送方法であって、 前記上爪と下爪によりリードフレームの側辺を把持して
   リードフレームを前記１ピッチ分移動させるときにはリ
   ードフレームを前記ガイドレールから浮上させ、また把
   持状態を解除してピッチ送りを停止させたときには、リ
   ードフレームを前記ガイドレール上に着地させるように
   したことを特徴とするリードフレームの搬送方法。