JPH0437718Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、平面研磨装置用の砥石に係り、更に
詳しくは、金属、ガラス、合成樹脂、セラミツク
スまたはその複合体等から、板状、円盤状等種々
の形状に成形された被研磨材の平坦な表面を均一
かつ効率よく研磨するための平面研磨装置用砥石
に関するものである。

（従来の技術） 従来、金属、ガラス、合成樹脂、セラミツクス
またはその複合体等から形成された平坦な表面を
持つ物品の表面研磨は、所謂ラツピング研磨機を
用い、研粒スラリーを定常的に供給しつつ被研磨
材を圧接し、摺動あるいは回動させて研磨を行な
う方法が一般的であつた。しかしこの方法は、研
粒を高濃度で含有するスラリーを被研磨材表面に
定常的に供給し乍ら研磨することに起因して、装
置・機器および作業環境の著しく汚染、および有
効に利用される研粒量が少ないことに伴なう高価
な研粒の大量消費、あるいは研粒、研磨屑等を含
有した多量の濃厚廃液の処理等、数多くの問題点
があつた。かゝる問題点を解決するために、同様
な装置の定盤表面に固型砥石を固着し、砥石表面
をもつて研磨作業を行なわせる方法が近時開発さ
れ急速に普及しつゝある。しかし、この方法にお
いても研磨作業によつて生ずる廃液、すなわち脱
落研粒、研磨屑、研粒結合材の屑等を多量に含ん
だ研磨液（クーラント）からなる廃液が砥石面の
細孔に侵入して目詰まりをお越し、研磨力の低下
を来すのみならず、閉鎖空〓部分、例えばボルト
孔等に滞留した場合、予期せざる悪影響を及ぼ
し、例えば、被研磨体の表面の汚染あるいははな
はだしきは、スクラツチ等のこのましからざる現
象を惹起し、それを防止するために頻繁にドレツ
シング作業を行なわなければならない。

従つて上記廃液を速かに砥石の作用面から排除
するため過去においては種々の工夫が試みられ、
本考案者等も研磨面から内部に向けて、多数の細
孔を穿設してなる固型砥石、および外方に連通す
る特定形状の溝を複数条形成するようにセグメン
ト状砥石が定盤上に配設されたラツピング研磨機
をそれぞれ実願昭58037052号および特願昭59−
97223号としえ提案した。これらの提案は一応、
所期の目的を達成し得たものの、砥石の有効作用
面積の減少は避けられず、従つて研磨能力が或る
程度犠牲にされ、一方、研磨能力を改善せんとし
て細孔や溝の数あるいは寸法を減らしてゆくと、
目詰まり防止効果が薄れ、却つて研磨能力の低下
を来たすという自家僮着に陥る傾向がある。また
前者の提案では砥石の定盤への接着面積が減少す
るため接着強度の低下は免れず、砥石の剥離・脱
落事故の危険が増すという問題点もある。

（本考案の解決しようとする問題点） 本考案は前述の固型砥石を用いた平面研磨装置
の持つ欠点に鑑みなされたものであり、その目的
と為す所は、研粒、研磨屑、等を含んだ廃液の滞
留がなく、被研磨体表面を汚染したり損傷する事
のないセグメント状固型砥石を提供しようとする
ものである。別の目的は固型砥石を具えたラツピ
ング盤研磨機の良好な研磨能力を長時間維持し、
ドレツシング等の砥面再生作業頻度を減少し、装
置稼働率及び研磨効率を上昇せしめんとするにあ
る。

（問題点を解決するための手段） 上述の目的は、ラツピング定盤に作用面が同一
平面を構成するよう取付け板を介して取付けられ
た複数のセグメント状砥石と被研磨材表面とを擦
過せしめて表面を研磨する装置において、下側に
位置する定盤に取付けられた上記砥石に、取付け
板をラツピング定盤に螺着するためのボルト挿通
孔として穿設された竪孔と、該竪孔の深部から略
水平方向に延びて砥石側面に開口する少なくとも
１個の側孔とよりなるドレイン孔を具えたことを
特徴とする平面研磨用砥石によつて達成し得る。

上記「深部」とは表面よりも下方にある部分を
意味し、深部から水平方向に延びた側孔はセグメ
ント状砥石表面に現われることなく、専ら砥石の
内部に設けられるものである。

該セグメント状砥石は研磨作用により磨耗して
ゆき、その厚味が減つてゆくものであるから、こ
の側孔の位置は相対的に下方に近い程良く、上記
取付板に近接する位置にある方が好ましい。

以下本考案の構成をその実施態様の一例を示す
図面に基いて説明する。

第１図は本考案に係るセグメント状固型砥石研
磨面を備えた平面研磨装置の例を示す斜視図、第
２図はセグメント状固型砥石と取付板分割片との
組立説明図、第３図はラツピング定盤に取付板分
割片を介して固型砥石を取付ける方法を説明する
斜視図、第４図は本考案装置の要部垂直断面図で
あり、また第５図は本考案のラツピング盤の構造
を説明するために一部を分解した斜視図である。

これらの図において、この種の平面研磨装置の
研磨部分は、回動性能を備えた定盤１に、取付板
分割片２を介して所定の形状のセグメント状砥石
３を固定する事により構成されており、取付板分
割片及びセグメント状砥石には各々第２図に示す
如くボルト締付孔４及びボルト挿通孔５が穿孔さ
れている。

セグメント状砥石３は取付板分割片２に接着等
の手段をもつて固着されており、これを定盤１に
固定するには第３図に示す如くボルト７を定盤１
に穿孔されたねじ孔８に螺着する事で行なわれ
る。

セグメント状砥石３に穿孔されたボルト挿通孔
５は、外部に液の逃げがない形態であるとこれが
下部定盤として設置された場合は、この孔に廃液
等が滞留し、前述の如くこれが被研磨体に対し悪
影響を与える場合が多い。

本考案においては第４図に示す如くこのボルト
挿通孔５に対し略90度の角度で水平方向に延びて
セグメント砥石３の側面に開口する側孔６を設け
る事を要点とするものである。

上述の実施例においては最も好ましい態様を示
したが、竪孔とボルト挿通孔とからなるドレイン
孔を、Ｌ字型ではなく倒立Ｔ字型に形成しても良
い。またドレイン孔がＬ字形の場合は、上記側孔
を、竪孔からラツピング定盤の回転方向と反対の
方向乃至遠心方向へ向かつて延び外部に開口する
ように形成すれば、孔内の廃液や屑の排出が円滑
に行なわれる。

（考案の作用） 本考案研磨装置においては、第５図に示す如
く、回動性能を有する定盤に直接又は取付板を介
して複数のセグメント状砥石が同一作用面を構成
するよう固着され、その上に被研磨体９を置き、
これを圧接し、研磨液（クーラント）を供給しつ
つ、回動せしめ、研磨作用を行なわしめるもので
あつて、砥石作用面と、被研磨体９とに各々独立
した動きをなさしめる事により、砥石表面と被研
磨表面とを擦過し研磨を行なうものである。研磨
の目的に応じ例えば片面のみの研磨であれば別の
圧着装置により被研磨体を抑え、両面の研磨であ
れば同様の定盤を上面に備えその間に被研磨体を
挾みこむという方法がとられる。

研磨作用に起因する脱落研粒、研磨屑、等を含
んだ廃液はセグメント状砥石の間隙の溝１０を通
して系外に排出されるが、特に下面の場合、セグ
メント状砥石に穿孔された竪孔、即ちボルト挿通
孔５にこの廃液が滞留し易く、本考案の如く側孔
６を具備しておけばこの側孔６を通して廃液は溝
１０に効果的に排出され、悪影響を及ぼす事はな
い。

研磨作用により砥石は磨滅してゆき、順次その
厚味を減らしてゆくものであるので側孔６がセグ
メント状砥石の上部に穿孔されていると、使用中
にそれが消滅し効果を失う事があるので第４図に
示す如く、深部、特に下方、即ち取付板に接する
位置に穿孔しておく事が効果的である。

（考案の効果） 本考案装置を用いる事により、固型砥石を用い
た平面研磨装置での研磨作業は著しく向上するも
のである。即ち廃液の滞留がなくなる事により被
研磨体表面の汚染が少なくなると共に、砥石表面
の目づまり現象が回避されドレツシング回数が減
少し、更には滞留した液が一部凝集し、その小片
が研磨面に入り込んで惹起こされるスクラツチ
（条痕）等の現象が回避されるという好ましい効
果が得られるものである。

従つて本考案装置を使用すれば研磨作業におけ
る不良品の発生率は減少し且つドレツシング作業
の回数が減る事により作業効率と装置稼働率とが
共に向上するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る平面研磨装置の斜視図、
第２図及び第３図はその組立て説明図、第４図は
本考案装置の要部垂直断面図、第５図は本考案装
置の一部分解斜視図である。 １……定盤、２……取付板分割片、３……セグ
メント条砥石、４……ボルト締付孔、５……ボル
ト挿通孔（竪孔）、６……側孔、７……ボルト、
８……ねじ孔、９……被研磨体、１０……溝。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ラツピング定盤に作用面が同一平面を構成す
   るよう取付け板を介して取付けられた複数のセ
   グメント状砥石と被研磨材表面とを擦過せしめ
   て表面を研磨する装置において、下側に位置す
   る定盤に取付けられた上記砥石に、取付け板を
   ラツピング定盤に螺着するためのボルト挿通孔
   として穿設された竪孔と、該竪孔の深部から略
   水平方向に延びて砥石側面に開口する少なくと
   も１個の側孔とよりなるドレイン孔を具えたこ
   とを特徴とする平面研磨用砥石。 ２ 側孔が取付け板に近接して設けられた実用新
   案登録請求の範囲第１項記載の平面研磨用砥
   石。