SU861037A1 - Устройство дл двухсторонней обработки плоских поверхностей - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области абразивной обработки и может быть использовано в электронной промышленности дл  шлифовки и полировки полупроводниковых пластин или стекол фотошаблонов.

Известно устройство дл  двусторонней обработки плоских поверхностей деталей между двум  притирами, во враш;аюшемс  верхнем из которых по его периферии выполнена кольцева  канавка с каналами в ее дниш,е дл  подачи абразивной суспензии в зону обработки 1.

Недостатками этого устройства  вл ютс  периодичность подачи абразивной суспензии в рабочую зону, неравномерность смачивани  шлифовальников, обусловленна  зависимостью в значительной степени от числа оборотов враш,ени  шлнфовальника.

Периодичность подачи суспензии из каждого питаюш,его канала приводит к разнотолш ,инности сло  абразивной суспензии на шлифовальниках, что отрицательно сказываетс  на качестве обработанных поверхностей и скорости обработки, особенно это про вл етс  при химико-механической полировке .

и,елью насто ш,его нзобретени   вл етс  повышение качества обработки.

Указанна  цель достигаетс  тем, что днище канавки выполнено в виде секторов с

винтовой поверхпостью, заканчнваюш,ейс  отверстием канала дл  распределени  абразивной суспензии с одной стороны, а с другой - вертикальной плоскостью, касательной к образуюш,ей отверсти  близлежашего канала, при этом сечение каналов дл  подачи абразивной суспензии выполнено регулируемым. Боковые стенки кольцевой канавки выполнены с наклоном к цент10 ру верхнего притира.

Такое конструктивное исполнение верхнего врашаюшегос  притира в устройстве дл  двусторонней обработки позвол ет использовать силы инерции, возникающие при враш,ении абразивной суспензии по винтовой линии, чем достигаетс  повышенное давление в зоне отверсти  питающего канала , способствующее прокачиванию абразивной суспензии в рабочую зону, расположенную между верхним и нижним притирами , и расходовать поданную в кольцевую канавку дозу абразивной суспензии только за один полный оборот притира и тем самым обеспечить непрерывную подачу суспензии в рабочую зону, в результате чего увеличиваетс  эффективность распределени  абразивной суспензии на рабочие поверхности устройства и тем самым повы30 шаетс  качество обработки.

На фиг. 1 изображено устройство дл  двусторонней обработки в разрезе; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - сечение по А-А фиг. 2 (развертка).

Устройство содержит 1 и верхНИИ 2 притирочные диски, установленные с возможностью вращени  в противоположные стороны. По периферии верхнего притирочного диска 2 выполнена кольцева  канавка 3 (желоб). В днинде 4 канавки 3 выполнены сквозные каналы 5 дл  распределени  абразивной суспензии в зону обработки . Количество таких каналов 5 равно четырем, но может быть практически любым и выбираетс  из условий техпроцесса и рабочих характеристик станка. Днище 4 канавки 3 выполнено в виде секторов 6 с винтовой новерхностью, с одной стороны заканчивающейс  отверстием питающего (распределительного) канала 5, а с другой - вертикальной плоскостью 7, касательной к отверстию близлежащего канала 5. Сечение питающих каналов 5 выполнено регулируемым, дл  чего каждый канал 5 снабжен регулировочной иглой 8. Боковые ..стенки 9кольцевой канавки 3 выполнены с наклоном к центру верхнего притирочного диска 2. Вертикальна  плоскость 7 по высоте изготовлени  ниже краев кольцевой канавки 3 на 5-15 мм. Угол наклона сектора с винтовой поверхностью выбираетс  и практически находитс  в пределах от 3 до 7

Работает устройство следующим образом .

После того, как сепаратор с пластинами размещаетс  между дисками 1 и 2 и последним сообщаетс  вращательное движение , абразивна  суспензи  из бачка по трубопроводу подаетс  в кольцевую канавку 3. Суспензи , попада  на винтовую новерхность сектора 6, скатываетс  под действием собственного веса Р и центробежной силы F в направлении результирующей силы R, т. е. к питающему каналу 5. При этом вертикальна  плоскость 7 задерживает поток суспензии, в результате чего в зоне питающего канала 5 создаетс  повыщенное давление , способствующее проталкиванию суспензии в рабочую зону меледу верхним 2 и нижним 1 нритирочными дисками. С помощью регулирующих игл 8 выбираетс  такое сечение питающего канала 5 (такой расход), при котором объем абразивной

суспензии, поступившей из бачка в кольцевую канавку 3, расходуетс  полностью за один полный оборот верхнего притира 2, что обеспечивает ненрерывную подачу абразивной суспензии в рабочую зону.

В случае широкой рабочей полосы питающие каналы могут быть расположены в два или три р да, при этом соответственно может быть увеличено и количество кольцевых канавок (желобов). Использование предложенного устройства в производстве полупроводниковых приборов, в частности, на операции химико-механической полировки кремниевых пластин, позволит уменьшить процент брака пластин за счет уменьшени  растравливани  обрабатываемых поверхностей пластин, что достигаетс  увеличением равномерности распределени  суспензии по полировальникам.

Использование предложенного устройства позволит увеличить срок службы тканевых нритиров и уменьшить нроцент брака обработанных деталей по толщине за счет стабилизации скорости съема кремни  в процессе его обработки.

Claims (2)

1.Устройство дл  двусторонней обработки плоских поверхностей деталей между двум  притирами, во вращающемс  верхнем из которых по его периферии выполнена кольцева  канавка с каналами в ее днище дл  подачи абразивной суспензии в зону обработки, отличающеес  тем, что, с целью новыщени  качества обработки , днище канавки вынолнено в виде секторов с винтовой поверхностью, заканчивающейс  с одной стороны отверстием канала, а с другой - вертикальной плоскостью, касательной к образующей отверсти  близлежащего канала, а сечение каналов дл  распределени  абразивной суснензии выполнено регулируемым.

2.Устройство поп. 1, отличающеес  тем, что боковые стенки кольцевой канавки выполнены с наклоном к оси верхнего притира .

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Каталог фирмы ФРГ Peter Wolters, Maschinenfabrik G mb HCO, D-2370 Rendsburg (West - germany), станок модели AL-2.

2

Фиг.г