JPH0437292Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、密着露光法に使用する露光装置に関
し、特に、パターンを有し、中心に貫通孔を設け
た基準板により、中心に貫通孔を設けた原板に所
望する被エツチング部を形成するための露光装置
である。

〔従来の技術〕

従来、この種の装置としては、第９図に示すも
のがあつた。すなわち、この露光装置１は上側本
体２の下部に形成された凹陥部３に嵌合固定され
た枠状の基準板ホルダー４と、第１真空室５と、
この第１真空室５を真空にするための排気管６
（後記する紫外線を遮断しない位置に設けられて
いる。）と、第１真空室５を形成するための上壁
７とを具備し、また下側本体８の上部に形成され
た凹陥部３に嵌合固定され、基準板ホルダー４と
近接又は接触する枠状の原板ホルダー１０と、第
２真空室１１と、この第２真空室１１を真空にす
るための排気管１２と、第２真空室１１を形成す
るための下壁１３とを具備している。さらに、基
準板ホルダー４と原板ホルダー１０との相対向す
るそれぞれの面には、基準板と原板とを位置決め
するための断面Ｌ字状で枠状の切欠部１４，１５
が形成され、またこの切欠部１４，１５の基準板
と原板が当接する面にはオーリング１４１，１５
１が設けられている。

次に、この露光装置１を用いて、原板に被エツ
チング部を形成する方法を、光情報記録媒体用の
情報用溝を設けた基板を例にとり、下記に述べ
る。なお、光情報記録媒体とは、光学的に情報の
記録、再生、または消去を行うものであつて、例
えば再生専用又は書き換え可能なものであり、後
記する情報用溝を一主表面に形成した透光性基板
と、この一主表面に積層されたTeからなる記録
層とからなるものを２枚用意し、この２枚を、記
録層を相対向させてサンドイツチ状に製作したも
のである。また、情報用溝とは、情報の記録再生
を行う光のトラツキングを容易にする同心状又は
スパイラル状の案内溝（プレグルーブ）やトラツ
ク番号、セクター番号等を示すための小陥部（プ
レピツト）を意味する。

先ず、基準板１６として、直径130mm、厚さ2.3
mmで、中心に直径15^+0.02 ₀mmの貫通孔１６１を設け
た石英ガラスからなる円板状のガラス板の一主表
面に、膜厚700Åで巾が0.8μmであり、間隔が
1.6μmで同心円状に形成したクロムからなるパタ
ーンを設けたものを準備し、一方、光情報記録媒
体用基板となる原板１７として、直径130mm、厚
さ1.2mmで、中心に直径15^+0.02 ₀mmの貫通孔１７１
を設けたソーダライムガラスからなる円板状のガ
ラス板の一主表面に、膜厚1000Åのフオトレジス
トを塗布したものを準備する。次に、基準板１６
を原板１７のそれぞれの貫通孔１６１，１７１を
封止し（封止手段は図示せず。）、次に、基準板１
６を、パターンを原板ホルダー１０側に向けて、
基準板ホルダー４の切欠部１４に配置し、排気管
６により第１真空室５内の空気を排気し、真空吸
着する。一方、原板１７を、そのフオトレジスト
を基準板ホルダー４側に向けて、原板ホルダー１
０の切欠部１５に配置し、排気管１２により第２
真空室１１内の空気を排気し、真空吸着する。次
に、基準板１６を原板１７とを当接し、（このと
き、上側本体２と下側本体８とはオーリング１８
を介して接し、このオーリング１８により第３真
空室を形成する。）、第１真空室５と第２真空室１
１とを大気圧に戻し、第３真空室を、上側本体２
内に設けられた排気管１９により真空にする。こ
れにより基準板１６と原板１７とは密接する。上
壁７の上方から紫外線を照射して、パターンをフ
オトレジストに転写する。次に、第３真空室を大
気圧にし、基準板１６と原板１７とをそれぞれ真
空吸着し、基準板１６と原板１７とを離間し、第
２真空室１１を大気圧に戻し、原板１７を原板ホ
ルダー１０から取り外す。次に、この原板１７を
現像し、レジストパターンをマスクとして、ソー
ダライムガラスからなるガラス板をエツチング
し、同心円状のプレグルーブである情報用溝（被
エツチング部）を形成し、光情報記録媒体用基板
を制作していた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の露光装置では、単に基準
板ホルダー４と原板ホルダー１０のそれぞれの切
欠部１４，１５を、基準板１６を原板１７との位
置決めに用いていたため、基準板１６のパター
ン、例えば前述のような同心円状のパターンを、
原板１７の貫通孔１７１に対して、偏心量を低く
抑えて、原板１７に転写することができなかつ
た。すなわち、原板１７に所望する精度、例えば
偏心精度で被エツチング部を形成することはでき
なかつた。このことは、例えば、前述のように制
作された光情報記録媒体用基板を有する光情報記
録媒体は、基板の情報用溝が貫通孔に対して偏心
していることから、光学ヘツドの追従性が劣る欠
点となつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、前述した問題点を除去するためにな
されたもので、その特徴は、所望する被エツチン
グ部を形成するためのパターンを有し、中心に貫
通孔を設けた基準板を保持する基準板ホルダー
と、前記パターンにより所望する被エツチング部
が形成される、感光性材料を主表面に塗布し、か
つ中心に貫通孔を設けた原板を保持する原板ホル
ダーと、前記基準板と前記原板とを挾持する、第
１挾持具と第２挾持具とを備え、前記第１挾持具
と前記第２挾持具とには、それぞれ前記基準板と
前記原板の貫通孔の開口を塞ぐ大きさの塞ぎ表面
を有する第１挾持部と第２挾持部とを備え、かつ
前記第１挾持部と前記第２挾持部の少なくとも一
方に、前記基準板と前記原板の貫通孔に挿入され
る、前記基準板のパターンを前記原板の貫通孔に
対して所望する位置に位置決めするための凸部を
設けている露光装置である。

〔実施例〕

本考案の露光装置の一実施例を第１図〜第５図
に基づき説明し、他の実施例を第６図〜第８図に
基づき説明する。なお、従来の装置と同一構成部
材のものに対しては同一符号を以て示し、その説
明を省略する。

〔実施例 １〕 本例の露光装置を第１図〜第５図に基づき説明
する。なお、第１図は基準板ホルダーと原板ホル
ダーとが離間した状態の露光装置を示す縦断面図
であり、第２図ａは本例での基準板を示す部分断
面図であり、同図ｂは本例での原板を示す部分断
面図であり、第３図は第１挾持具を示す図であ
り、同図ａは平面図、同図ｂは同図ａのX₃−X₃
線断面図、第４図は第２挾持具を示す図であり、
同図ａは平面図、同図ｂは同図ａのX₄−X₄線断
面図、及び第５図は基準板ホルダーと原板ホルダ
ーとが近接した状態の露光装置を示す縦断面図で
ある。

先ず、本例の露光装置２０を第１図、第３図及
び第４図に基づき説明する。

本例の露光装置２０は、従来の装置１に、第１
挾持具２１と第２挾持具２２とを具備させたもの
である。この第１挾持具２１は、第３図に示すよ
うに、円板状のもの（材質はSUS303であり、直
径25mm、厚さ５mmである。）であり、その中央に
ねじを挿入するための穴２１１を設け、後記する
基準板２３と原板２６とを挾持したとき基準板に
当接する表面に、オーリングを挿着するための環
状凹部２１２，２１３が形成されている。一方、
第２挾持具２２（材質はSUS303である。）は、
第４図に示すように、円柱状支持部２２１（直径
10mm）と、第１挾持具２１と共に基準板と原板を
挾持する第２挾持部２２２（直径25mm、厚さ５
mm）と、基準板と原板の貫通孔に挿入し、これら
を同心的に配設するための凸部２２３（直径
14.985mm、厚さ3.5mm）を備えている。そして、
円柱状支持部２２１、第２挾持部２２２及び凸部
２２３を順に一体成形しており、かつ同心円状に
構成されている。また、この第２挾持部２２２の
原板と当接する面には、オーリングを挿着する環
状凹部２２４が形成され、かつ凸部２２３には、
ねじを挿入する穴２２５が形成されている。さら
に、第２挾持具２２は、第１図に示すように下壁
１３のほぼ中央に固設されている。

次に、本例にて使用する基準板と原板につい
て、第２図に基づき説明する。

基準板２３は、直径130mm、厚さ2.3mmで中心に
直径15^+0.02 ₀mmの貫通孔２４１を設けた石英ガラス
からなる円板状のガラス板２４と、このガラス板
２４の一主表面に凹部２５１（巾0.8μmで、後記
する情報用溝を形成するためのところ）を同心円
状に1.6μm間隔で設けられたクロムからなるパタ
ーン２５が被着されている。なお、この凹部２５
１と貫通孔２４１との偏心量は12μmで製作され
ており、この製作方法は周知の電子線描画方法で
ある。

次に、原板２６は、光情報記録媒体用基板、す
なわち情報用溝を有する基板を製作するときの原
板であり、直径130mm、厚さ1.2mmで中心に直径
15^+0.02 ₀mmの貫通孔２７１を設けたソーダライムガ
ラスからなるガラス板２７の一主表面に電子ビー
ム蒸着法により情報用溝を設けるためのシリコン
酸化物膜２８（膜厚1000Å）を被着し、次に、こ
のシリコン酸化物膜２８上に、この膜２８と後記
するフオトレジスト２９（感光性材料）との付着
力を強化するためのヘキサメチルジシラザン薄膜
（図示せず。）を被覆し、この薄膜上にスピンコー
ト法により、ポジ型のフオトレジスト２９（例え
ば、ヘキスト社製のAZ−1350で、膜厚は1000Å
である。）を塗布したものである。

次に、前述した露光装置２０、基準板２３及び
原板２６により、情報用溝を設けた光情報記録媒
体用基板の製作方法を、第１図〜第５図に基づき
説明する。

先ず、第２挾持具２２の凸部２２３に、原板２
６のフオトレジスト２９を基準板ホルダー４方向
に向け、原板２６の貫通孔２７１を通し、原板２
６を第２挾持具２２の第２挾持部２２２の表面に
載置するとともに、原板ホルダー１０の切欠部１
５の表面に載置する。なお、第２挾持部２２２の
表面と切欠部１５の表面とは、原板２６を変形さ
せないために同一の高さとしている。次に、原板
２６と同様に、基準板２３のパターン２５を原板
ホルダー１０方向に向けて、凸部２２３に基準板
２３の貫通孔２４１を通し、原板２６上に載置す
る。このときも、第１図に示すように、基準板２
３の表面と凸部２２３の上表面とは実質的に同一
の高さとなつている。次に、第１挾持具２１の環
状凹部２１２，２１３を第２挾持具２２側へ向
け、第１挾持具２１の穴２１１と第２挾持具２２
の穴２２５とをほぼ一致させて、載置する。次
に、穴２１１，２２５にねじ３０を嵌合挿入す
る。したがつて、基準板２３と原板２６の貫通孔
２４１，２７１の直径よりも、第１挾持具２１の
基準板２３に接する表面及び第２挾持具２２の第
２挾持部２２２の原板２６に接する表面の直径
が、それぞれ大きいことから、貫通孔２４１，２
７１の開口を塞ぎ、基準板２３と原板２６を挾持
する。すなわち、これらの表面は塞ぎ表面とな
る。また、第１挾持具２１は、第２挾持具２２の
第２挾持部２２２に対応することから、第１挾持
部とみなすことができる。なお、第１挾持具２１
と第２挾持具２２の環状凹部２１２，２１３，２
２４に、オーリング３１をそれぞれ挿着してから
挾持される。

次に、第５図に示すように基準板ホルダー４を
原板ホルダー１０に接近させ、基準板ホルダー４
の切欠部１４表面を基準板２３に当接させ、基準
板ホルダー４と原板ホルダー１０とで基準板２３
と原板２６とをさらに保持する。このとき、オー
リング１８によつて第３真空室３２が形成され
る。次に、第３真空室３２を、排気管１９により
排気して真空にし、基準板２３と原板２６とを密
接させる。次に、従来と同様に紫外線を照射し、
基準板２３のパターン２５を原板２６のフオトレ
ジスト２９に転写し、第３真空室３２を大気圧に
戻し、基準板ホルダー４を離間し、第１挾持具２
１を取り外し、原板２６を第２挾持具２２から取
り外す。

次に、この原板２６をAZ専用デベロツパで現
像し、レジストパターンを形成し、容量型ドライ
エツチング装置内に収容し、CF₄ガスによりシリ
コン酸化物膜２８をエツチングし、巾0.8μm、深
さ700Åの情報用溝を間隔1.6μmで、原板２６の
貫通孔２７１に対して、同心円状に形成する。次
に、レジストパターンをO₂ガスにより、レジス
トを灰化処理して除去し、情報用溝を設けた光情
報記録媒体用基板を製作する。

以上のとおり、本例によつて製作された情報用
溝は、基準板と原板とが第２挾持具の凸部に精度
よく挿入されていることから、基準板のパターン
は、原板に偏心量を少なくして転写される。した
がつて、本例によつて形成された、20枚の光情報
記録媒体の情報用溝の貫通孔に対する偏心量は
35μm（標準偏差12μm）であり、良好な値となつ
た。また、第１挾持具及び第２挾持具の塞ぎ表面
により、基準板及び原板を挾持し、貫通孔を塞い
でいるので、第３真空室の真空も良好に保持する
ことができることから、基準板と原板との密接性
を良好にすることができ、正確にパターンを転写
することができる。したがつて、本例による光情
報記録媒体用基板で製作された光情報記録媒体は
光学ヘツドの追従性にすぐれ、トラツキングを確
実にできる。

〔実施例 ２〕 本例を第６図〜第８図に基づき説明する。な
お、第６図は基準板ホルダーと原板ホルダーとが
離間した状態の露光装置を示す縦断面図であり、
第７図は第１挾持具を示す図であり、同図ａは平
面図、同図ｂは同図ａのX₇−X₇線断面図であり、
第８図は第２挾持具を示す図であり、同図ａは平
面図、同図ｂは同図ａのX₈−X₈線断面図である。
また、本例と前記実施例と相違するところは、第
１挾持具及び第２挾持具の形状と、原板の貫通孔
の寸法であり、他は実質的に同一であることか
ら、相違するところのみ説明し、他は省略する。

先ず、原板２６の貫通孔２７１は、直径10^+0.02 ₀
mmである。次に、第１挾持具４１は、直径25mm、
厚さ５mmの第１挾持部４１１と、直径14.985mm、
厚さ2.3mmの第１凸部４１２とを具備し、この第
１挾持部４１１と第１凸部４１２とは同心円状に
配置され一体成形されている。また、この第１挾
持具４１は、その中心にねじ用の穴４１３と、基
準板２３が当接する第１挾持部４１１の表面にオ
ーリングを挿着する環状凹部４１４とが形成され
ている。

次に、第２挾持具４２は、直径25mm、厚さ５mm
の第２挾持部４２１と、直径9.986mm、厚さ1.2mm
の第２凸部４２２とを具備し、かつ中心には、第
１挾持具４１の第１凸部４１２と、第２挾持具４
２の第２凸部４２２とが同心円状に配置されるよ
うにねじ用の穴４２３が設けられている。さら
に、オーリング挿着用の環状凸部４２４が形成さ
れている。

この第１挾持具４１と第２挾持具４２とを用い
て、基準板２３と原板２６とを挾持する方法は、
次のとおりである。先ず、第２挾持具４２の第２
凸部４２２を原板２６の貫通孔２７１に挿入し
て、塞ぎ表面である第２挾持部４２１の表面に原
板２６を載置し、この原板２６上に基準板２３を
載置する。次に、この基準板２３の貫通孔２４１
に、第１挾持具４１の第１凸部４１２を挿入し
て、第１挾持具４１及び第２挾持具４２のそれぞ
れにねじを嵌挿し、挾持する。

この装置によつて、前記実施例と同様に光情報
記録媒体用基板を製作する方法は、先ず、前述し
た第１挾持具４１と第２挾持具４２とにより挾持
された基準板２３と原板２６とを、原板２６を下
にし、原板ホルダー１０の切欠部１５表面に載置
する。次に前記実施例と同様にパターンをフオト
レジストに転写し、基準板２３と原板２６とを原
板ホルダー１０が取り外す。次に、前述した挾持
方法と逆の工程により原板２６を取り外し、前記
実施例と同様にして光情報記録媒体用基板を製作
する。

以上、本例によれば、前記実施例と同様の効果
があり、さらに、貫通孔の大きさが、基準板と原
板とで異なつても適用することができる。

本考案は、前記実施例１，２に限らず、下記の
ものであつてもよい。前記実施例では、第１真空
室及び第２真空室を設けた装置であるが、実質的
に使用しないことから、設けても設けなくてもよ
い。しかしながら、基準板又は原板の保持を確実
にするためには、真空室により、真空吸着をした
方がよい。また、基準板及び原板の外形状及び貫
通孔の形状は断面円状に限らず多角形等の他の形
状でもよく、この貫通孔の形状に対応して、第１
挾持具又は第２挾持具の凸部の形状は、適宜決定
できる。また、第１、第２挾持具のそれぞれの挾
持部の大きさは、貫通孔の開口を閉塞できる大き
さを有すればよく、その形状は限定されない。ま
た、挾持具の凸部の厚さは、実施例１のときは基
準板と原板との厚さの合計と実質的に等しく、一
方実施例２のときは第１凸部が基準板の厚さと、
第２凸部が原板の厚さとそれぞれ実質的に等しく
し、基準板の厚さと原板の厚さとの合計と等しく
したが、これは、基準板及び原板の変形を防止
し、原板内の被エツチング部（情報用溝）の巾の
ばらつきを防止するためであり、このばらつきを
精度よく抑える必要がなければ、前記実施例に限
定されない。なお、前記実施例２のときは、例え
ば第２挾持具の第２凸部の厚さを、基準板と原板
との合計厚さ内で変動させ、その変動分を第１挾
持具の第１凸部の厚さに加味して、基準板と原板
との合計の厚さと、各凸部の合計厚さとを実質的
に等しくしてもよい。さらに、本考案は、光情報
記録媒体用基板を製作するときのみならず、エン
コーダ等の貫通孔を有するものにも適用すること
ができ、また、貫通孔に対して同心状の情報用溝
以外にも、所望する位置を必要とする被エツチン
グ部の形成にも適用できる。

〔考案の効果〕

本考案によれば、基準板のパターンを、貫通孔
を有する原板の感光性材料に、位置精度をよくし
て転写することができ、その結果、貫通孔に対
し、精度よく被エツチング部を形成することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本考案の一実施例を示す図で
あり、第１図は基準板ホルダーと原板ホルダーと
が離間した状態の露光装置を示す縦断面図であ
り、第２図ａは本例での基準板を示す部分断面図
であり、同図ｂは本例での原板を示す部分断面図
であり、第３図は第１挾持具を示す図であり、同
図ａは平面図、同図ｂは同図ａのX₃−X₃線断面
図、第４図は第２挾持具を示す図であり、同図ａ
は平面図、同図ｂは同図ａのX₄−X₄線断面図、
及び第５図は基準板ホルダーと原板ホルダーとが
近接した状態の露光装置を示す縦断面図である。
第６図〜第８図は本考案の他の実施例を示す図で
あり、第６図は基準板ホルダーと原板ホルダーと
が離間した状態の露光装置を示す縦断面図であ
り、第７図は第１挾持具を示す図であり、同図ａ
は平面図、同図ｂは同図ａのX₇−X₇線断面図で
あり、第８図は第２挾持具を示す図であり、同図
ａは平面図、同図ｂは同図ａのX₈−X₈線断面図
である。第９図は、従来の露光装置を示す縦断面
図である。 ４……基準板ホルダー、１０……原板ホルダ
ー、２１，４１……第１挾持具、２２，４２……
第２挾持具、２３……基準板、２５……パター
ン、２６……原板、２９……フオトレジスト、３
０……ねじ、２２１……円柱状支持部、２２２…
…第２挾持部、２２３……凸部、２４１，２７１
……貫通孔、４１１……第１挾持部、４１２……
第１凸部、４２１……第２挾持部、４２２……第
２凸部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 所望する被エツチング部を形成するためのパ
   ターンを有し、中心に貫通孔を設けた基準板を
   保持する基準板ホルダーと、前記パターンによ
   り所望する被エツチング部が形成される、感光
   性材料を主表面に塗布し、かつ中心に貫通孔を
   設けた原板を保持する原板ホルダーと、前記基
   準板と前記原板とを挾持する、第１挾持具と第
   ２挾持具とを備え、前記第１挾持具と前記第２
   挾持具とには、それぞれ前記基準板と前記原板
   の貫通孔の開口を塞ぐ大きさの塞ぎ表面を有す
   る第１挾持部と第２挾持部とを備え、かつ前記
   第１挾持部と前記第２挾持部の少なくとも一方
   に、前記基準板と前記原板の貫通孔に挿入され
   る、前記基準板のパターンを前記原板の貫通孔
   に対して所望する位置に位置決めするための凸
   部を設けていることを特徴とする露光装置。 (2) 原板が光情報記録媒体用基板の原板であり、
   かつ被エツチング部が情報用溝であることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の
   露光装置。