JPH0435908B2 - - Google Patents

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JPH0435908B2
JPH0435908B2 JP60217613A JP21761385A JPH0435908B2 JP H0435908 B2 JPH0435908 B2 JP H0435908B2 JP 60217613 A JP60217613 A JP 60217613A JP 21761385 A JP21761385 A JP 21761385A JP H0435908 B2 JPH0435908 B2 JP H0435908B2
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JP
Japan
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resin
metal substrate
semiconductor pellet
thermosetting resin
thermoplastic resin
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Kazuhiko Takahashi
Masahiro Takita
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Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
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Shindengen Electric Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は樹脂封止型半導体装置の構造に関する
ものである。従来の構造を第1図によつて説明す
る。aは平面図、bは断面図、cは説明図であ
る。1は銅等による金属基板、1aは取付孔、2
はシリコン等による半導体ペレツト、3は外装用
熱可塑性樹脂、4は半導体表面の活性化を防止す
るコート材(JCR)、5は金属基板1に半導体ペ
レツト2を固着する半田である。係る従来装置に
おいて、3のごとく外装用熱可塑性樹脂を用いた
場合、樹脂成形時においては第1図cの実線6に
しめす外形となる。しかして、その後の加熱によ
り体積を収縮し、点線7にしめす形状に変化す
る。この際、収縮による機械的ストレスが矢印に
図示するごとく半導体ペレツト2に加わり、該ペ
レツトを破損したり、信頼性に悪影響を及ぼす等
の欠点があつた。このような悪影響は熱可塑性樹
脂の内でも高耐熱性を有するPBT(ポリブチレン
テレフタレート)、PPS(ポリフエニレンサルフア
イド)又はPET(ポリエチレンテレフタレート)
等の結晶性樹脂に顕著である。
本発明は前記の従来装置の欠点を解消し、構造
簡単で高信頼度の樹脂封止型半導体装置を提供す
るものである。以下、図面を用いて、本発明を詳
述する。第2図は本発明を示す断面構造図であ
る。(要部のみを図示している)第2図以下いず
れも第1図と同一符号は同一部分を示している。
第2図において、熱硬化性樹脂8により、半導体
ペレツト2及びその固着部(半田部5)を被うよ
うになし、更に熱可塑性樹脂3で包囲している。
この熱硬化性樹脂8は次の3つの特性、 イ ワツクス等の離型材を含まない。
ロ 熱硬化後の曲げ強さが5Kg/mm2以上。
ハ 熱膨張係数が2.5×10-6/℃以下。
が必要である。
即ち、これらの特性をもつ熱硬化性樹脂8を用
いて被うと半導体ペレツト2を矢印で図示する機
械的ストレスから有効に守ることができる。熱硬
化性樹脂8は例えばシリコーン樹脂のようなゴム
状の軟かい樹脂では効果がない。又、熱硬化性樹
脂8が半導体ペレツト2を被う構造となるため、
8の熱膨張係5が大きいと2に悪影響を及ぼす。
そのため、実験にもとづき本発明の目的に適合す
る熱硬化性樹脂の特性条件イ、ロ、ハのごとく求
めた。第3図は本発明の実施例を示す断面構造図
である。(要部のみ図示する)9は半導体ペレツ
ト2をかこむように金属基板1上に形成した溝部
である。溝部9の断面はV形、U形等になし得
る。このように形成した溝部9に熱硬化性樹脂8
が充てんされるようにすることにより、8と1と
の結合性が高まる。従つて、外装用の熱可塑性樹
脂の成形後の収縮で生ずるストレスによる熱硬化
性樹脂8の金属基板1上での滑りを防止すること
ができ、半導体ペレツト2を更に有効に保護し得
るものである。第4図は更に本発明の他の実施例
を示す断面構造図である。(要部のみ図示する)
10は金属基板1に設けた複数個の貫通孔であ
り、半導体ペレツト2の周囲に4個以上設けるの
がよい。貫通孔10に熱可塑性樹脂3の一部を埋
め込むようになし、金属基板1に杭を設けるよう
にした。これにより、成形後の収縮によるストレ
スを低減し得るものである。第5図は更に本発明
の他の実施例を示す断面構造図である。(要部の
み図示する。)第5図においては半導体ペレツト
を複数個2−1,2−2、金属基板1上に設けた
ものである。本発明はダイオード、トランジス
タ、サイリスタ等、いずれの半導体装置にも適用
が可能である。
各実施例において、要部のみ図示したが、端
子、取付孔、接続線、表面処理など各部の変形、
付加、選択等は必要においてなし得るものであ
り、本発明の要旨に含まれるものである。
以上の説明から明らかなごとく、本発明によれ
ば構造簡単で、高信頼度の樹脂封止型半導体装置
を得ることができ、特に電力用半導体装置に最適
であり、産業上の効果、大なるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図a,b,cは従来装置の平面図、断面
図、説明図、第2図は本発明を説明する断面構造
図、第3図、第4図、第5図は本発明の実施例を
しめす断面構造図、1は金属基板、1aは取付
孔、2は半導体ペレツト、3は外装用熱可塑性樹
脂、4はコート材、5は半田、6は成形時の外
形、7は収縮時の外形、8は熱硬化性樹脂、9は
溝部、10は貫通孔である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 金属基板の片面に半導体ペレツトを半田付け
    固着し、該半導体ペレツト及びその固着部を熱硬
    化性樹脂で被い、更に外装用熱可塑性樹脂で包囲
    するようになし、前記熱硬化性樹脂が(イ)ワツクス
    等の離型材を含まない、(ロ)熱硬化後の曲げ強さが
    5Kg/mm2以上、(ハ)熱膨張係数が2.5×10-6/℃以
    下であり、又、前記半導体ペレツトをかこむよう
    に前記金属基板上に溝部を形成し、その溝部に前
    記熱硬化性樹脂の一部を充てんするようにして、
    前記外装用熱可塑性樹脂の加熱時における前記半
    導体ペレツトへの機械的ストレスを緩和するよう
    にしたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 2 金属基板に複数個の貫通孔を設け、該貫通孔
    に熱可塑性樹脂を埋め込むようにした特許請求の
    範囲第1項の樹脂封止型半導体装置。
JP21761385A 1985-09-30 1985-09-30 樹脂封止型半導体装置 Granted JPS6276747A (ja)

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Publication Number Publication Date
JPS6276747A JPS6276747A (ja) 1987-04-08
JPH0435908B2 true JPH0435908B2 (ja) 1992-06-12

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JPS6276747A (ja) 1987-04-08

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