JPH04351283A - レーザー加工装置 - Google Patents
レーザー加工装置Info
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- JPH04351283A JPH04351283A JP3124126A JP12412691A JPH04351283A JP H04351283 A JPH04351283 A JP H04351283A JP 3124126 A JP3124126 A JP 3124126A JP 12412691 A JP12412691 A JP 12412691A JP H04351283 A JPH04351283 A JP H04351283A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被加工物にレーザース
ポットを形成してこのスポットにより熱加工を行うレー
ザー加工装置、特に、該加工装置を構成する光学部材の
光軸合わせを容易にすると共に前記スポットを形成する
レーザー光のエネルギー損失の低減を図ることができる
装置に関する。
ポットを形成してこのスポットにより熱加工を行うレー
ザー加工装置、特に、該加工装置を構成する光学部材の
光軸合わせを容易にすると共に前記スポットを形成する
レーザー光のエネルギー損失の低減を図ることができる
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のレーザー加工装置１の構成
図である。図３において、２はレーザー光発光媒体３と
、全反射鏡４と、透過性反射鏡としての出射鏡５と、媒
体３と鏡４及び５とを収容した筐体６とからなるレーザ
ー発振器、７は入射レンズとしての凹レンズ８と出射レ
ンズとしての凸レンズ９とからなり、レンズ８に入射さ
れる円形断面を有する平行光束としてのレーザー発振器
２が出射する該発振器２の出射光２ａをこの光２ａの直
径よりも太い直径の円形断面を有する平行光束１０にし
て出射するビームエキスパンダ、１１は光束１０を被加
工物１２に集光してここにレーザースポット１３を形成
するようにした集光レンズで、レーザー加工装置１は上
述の発振器２とエキスパンダ７とレンズ１１とを備えた
加工装置である。レーザー加工装置１においては上述の
構成によってエネルギー密度の高いレーザースポット１
３を得て、このスポット１３により被加工物１２に対し
て熱加工が行われる。
図である。図３において、２はレーザー光発光媒体３と
、全反射鏡４と、透過性反射鏡としての出射鏡５と、媒
体３と鏡４及び５とを収容した筐体６とからなるレーザ
ー発振器、７は入射レンズとしての凹レンズ８と出射レ
ンズとしての凸レンズ９とからなり、レンズ８に入射さ
れる円形断面を有する平行光束としてのレーザー発振器
２が出射する該発振器２の出射光２ａをこの光２ａの直
径よりも太い直径の円形断面を有する平行光束１０にし
て出射するビームエキスパンダ、１１は光束１０を被加
工物１２に集光してここにレーザースポット１３を形成
するようにした集光レンズで、レーザー加工装置１は上
述の発振器２とエキスパンダ７とレンズ１１とを備えた
加工装置である。レーザー加工装置１においては上述の
構成によってエネルギー密度の高いレーザースポット１
３を得て、このスポット１３により被加工物１２に対し
て熱加工が行われる。
【０００３】加工装置１ではスポット１３によって熱加
工を行うので、このスポット１３におけるエネルギー密
度が高い程、またスポット１３の直径ｄが小さい程上記
熱加工に好都合であることは明らかで、このためレーザ
ー加工装置１ではスポット径ｄをできるだけ小さくする
必要がある。ところが、一般に、直径Ｄの円形断面を有
するレーザー光を焦点距離ｆの集光レンズで被加工物の
表面上に集光して得られるレーザースポットの直径をｄ
とすると、レーザー光発振媒体の熱レンズ効果、レーザ
ー光の発振モード及び該レーザー光の波長に依存する係
数をＫとして、これらのＤとｆとｄとＫとの間に（１）
式の関係があることが公知である。そこで、ｄを小さく
するために焦点距離ｆを短くすると、集光レンズと被加
工物との間の距離Ｘが短くなるので被加工物の表面の凹
凸が激しいと熱加工がやり難く、またレーザースポット
で被加工物を走査して熱加工をする場合距離Ｘが短いと
レーザースポットの走査範囲が狭くなって矢張り熱加工
がやり難いので、通常、レーザー光の直径Ｄを大きくす
ることによってスポット径ｄを小さくすることが行われ
ていて、こういう理由から加工装置１ではビームエキス
パンダ７が設けられている。 ｄ＝Ｋ・ｆ／Ｄ ……………………………………
………………………（１）
工を行うので、このスポット１３におけるエネルギー密
度が高い程、またスポット１３の直径ｄが小さい程上記
熱加工に好都合であることは明らかで、このためレーザ
ー加工装置１ではスポット径ｄをできるだけ小さくする
必要がある。ところが、一般に、直径Ｄの円形断面を有
するレーザー光を焦点距離ｆの集光レンズで被加工物の
表面上に集光して得られるレーザースポットの直径をｄ
とすると、レーザー光発振媒体の熱レンズ効果、レーザ
ー光の発振モード及び該レーザー光の波長に依存する係
数をＫとして、これらのＤとｆとｄとＫとの間に（１）
式の関係があることが公知である。そこで、ｄを小さく
するために焦点距離ｆを短くすると、集光レンズと被加
工物との間の距離Ｘが短くなるので被加工物の表面の凹
凸が激しいと熱加工がやり難く、またレーザースポット
で被加工物を走査して熱加工をする場合距離Ｘが短いと
レーザースポットの走査範囲が狭くなって矢張り熱加工
がやり難いので、通常、レーザー光の直径Ｄを大きくす
ることによってスポット径ｄを小さくすることが行われ
ていて、こういう理由から加工装置１ではビームエキス
パンダ７が設けられている。 ｄ＝Ｋ・ｆ／Ｄ ……………………………………
………………………（１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】レーザー加工装置１で
は上述の理由でエキスパンダ７が設けられているのでこ
の場合レーザー発振器２とエキスパンダ７と集光レンズ
１１との三者間の光軸合わせが必要であるが、加工装置
１においては発振器出射光２ａが通常赤外線領域の不可
視光であるので上記の光軸調整作業は極めて面倒な作業
で、したがって、加工装置１には上記三者間の光軸合わ
せが面倒であるという問題点がある。そうして、また、
加工装置１においては、発振器出射光２ａのエネルギー
がエキスパンダ７における両レンズ８，９によって減衰
させられるので、レーザー光のエネルギー損失が大きい
という問題点もある。
は上述の理由でエキスパンダ７が設けられているのでこ
の場合レーザー発振器２とエキスパンダ７と集光レンズ
１１との三者間の光軸合わせが必要であるが、加工装置
１においては発振器出射光２ａが通常赤外線領域の不可
視光であるので上記の光軸調整作業は極めて面倒な作業
で、したがって、加工装置１には上記三者間の光軸合わ
せが面倒であるという問題点がある。そうして、また、
加工装置１においては、発振器出射光２ａのエネルギー
がエキスパンダ７における両レンズ８，９によって減衰
させられるので、レーザー光のエネルギー損失が大きい
という問題点もある。
【０００５】本発明の目的は、レーザー発振器とビーム
エキスパンダとを一体化することによって上述の光軸調
整作業の容易化を図り、かつレーザー発振器の出射鏡に
ビームエキスパンダの入射レンズの機能を兼ねさせるこ
とによってレーザー光のエネルギー損失の低減を図るこ
とにある。
エキスパンダとを一体化することによって上述の光軸調
整作業の容易化を図り、かつレーザー発振器の出射鏡に
ビームエキスパンダの入射レンズの機能を兼ねさせるこ
とによってレーザー光のエネルギー損失の低減を図るこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、
に、本発明によれば、
【０００７】１）被加工物側の面が球状凹面状に形成さ
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光
束にする凸レンズと、前記平行光束を前記被加工物に集
光する集光レンズとを備えるようにレーザー加工装置を
構成し、また、
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光
束にする凸レンズと、前記平行光束を前記被加工物に集
光する集光レンズとを備えるようにレーザー加工装置を
構成し、また、
【０００８】２）被加工物側の面が球状凹面状に形成さ
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されて該レーザー発振器の出射光が入射され
かつ前記出射光の光軸を含む一つの仮想平面で切断した
場合平行光束状の断面形状を呈するレンズ出射光を出射
するシリンドリカル凸レンズと、前記レンズ出射光を前
記被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレーザー
スポットを形成するシリンドリカル集光レンズとを備え
るようにレーザー加工装置を構成し、また、
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されて該レーザー発振器の出射光が入射され
かつ前記出射光の光軸を含む一つの仮想平面で切断した
場合平行光束状の断面形状を呈するレンズ出射光を出射
するシリンドリカル凸レンズと、前記レンズ出射光を前
記被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレーザー
スポットを形成するシリンドリカル集光レンズとを備え
るようにレーザー加工装置を構成し、また、
【０００９
】３）被加工物側の面がシリンドリカル凹面状に形成さ
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光
束にするシリンドリカル凸レンズと、前記平行光束を前
記被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレーザー
スポットを形成するシリンドリカル集光レンズとを備え
るようにレーザー加工装置を構成する。
】３）被加工物側の面がシリンドリカル凹面状に形成さ
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光
束にするシリンドリカル凸レンズと、前記平行光束を前
記被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレーザー
スポットを形成するシリンドリカル集光レンズとを備え
るようにレーザー加工装置を構成する。
【００１０】
【作 用】上記のように構成すると、レーザー発振器
の出射鏡と凸レンズまたはシリンドリカル凸レンズとで
ビームエキスパンダが形成されかつこのエキスパンダと
レーザー発振器とが一体化されることになって、したが
って、このように一体化されたレーザー発振器と集光レ
ンズまたはシリンドリカル集光レンズとの両者間だけで
光軸合わせをすればよいので光軸調整作業の容易なレー
ザー加工装置が得られることになり、また、この場合、
エキスパンダで生じるレーザー光のエネルギー損失は該
エキスパンダの出射レンズで発生する損失だけであるか
ら、上記エネルギー損失の少ないレーザー加工装置が得
られることになる。
の出射鏡と凸レンズまたはシリンドリカル凸レンズとで
ビームエキスパンダが形成されかつこのエキスパンダと
レーザー発振器とが一体化されることになって、したが
って、このように一体化されたレーザー発振器と集光レ
ンズまたはシリンドリカル集光レンズとの両者間だけで
光軸合わせをすればよいので光軸調整作業の容易なレー
ザー加工装置が得られることになり、また、この場合、
エキスパンダで生じるレーザー光のエネルギー損失は該
エキスパンダの出射レンズで発生する損失だけであるか
ら、上記エネルギー損失の少ないレーザー加工装置が得
られることになる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の一実施例の構成図で、本図の
図３と異なる所は、図３におけるレーザー発振器出射鏡
５に対応した出射鏡１４が、この出射鏡１４における被
加工物１２の側のレーザー光反射被膜が設けられていな
い面１４ａが球状凹面状に形成されて平凹レンズになっ
ていることと、この出射鏡１４とレーザー光発光媒体３
と全反射鏡４と筐体６とからなるレーザー発振器１５の
出射光としての出射鏡１４から出射されるレーザー光１
５ａを平行光束１０にするように凸レンズ９が配置され
て、さらにこのレンズ９が結合部材１６によってレーザ
ー発振器１５に固定されていることで、図１における１
７はレンズ９が固定されたレーザー発振器１５と集光レ
ンズ１１とを備えたレーザー加工装置である。加工装置
１７は上述のように構成されているので、この場合、出
射鏡１４とレンズ９とで図３のビームエキスパンダ７に
対応したビームエキスパンダ１８が構成されていること
は明らかであり、さらにこの場合、レーザー発振器１５
とレンズ９との光軸合わせを予め行ってレンズ９を固定
した発振器１５と集光レンズ１１との両者間だけで光軸
合わせをすればよいこともまた明らかで、したがって、
加工装置１７はレーザー発振器２とエキスパンダ７と集
光レンズ１１との三者間での光軸合わせを必要とする加
工装置１に比べて光軸調整作業の容易な装置であるとい
うことになる。そうして、また、加工装置１７は上述の
ように構成されていて加工装置１におけるレンズ８が不
要であるので、この装置１７が加工装置１の場合よりも
レーザー光のエネルギー損失の少ない装置であることは
明らかである。
図３と異なる所は、図３におけるレーザー発振器出射鏡
５に対応した出射鏡１４が、この出射鏡１４における被
加工物１２の側のレーザー光反射被膜が設けられていな
い面１４ａが球状凹面状に形成されて平凹レンズになっ
ていることと、この出射鏡１４とレーザー光発光媒体３
と全反射鏡４と筐体６とからなるレーザー発振器１５の
出射光としての出射鏡１４から出射されるレーザー光１
５ａを平行光束１０にするように凸レンズ９が配置され
て、さらにこのレンズ９が結合部材１６によってレーザ
ー発振器１５に固定されていることで、図１における１
７はレンズ９が固定されたレーザー発振器１５と集光レ
ンズ１１とを備えたレーザー加工装置である。加工装置
１７は上述のように構成されているので、この場合、出
射鏡１４とレンズ９とで図３のビームエキスパンダ７に
対応したビームエキスパンダ１８が構成されていること
は明らかであり、さらにこの場合、レーザー発振器１５
とレンズ９との光軸合わせを予め行ってレンズ９を固定
した発振器１５と集光レンズ１１との両者間だけで光軸
合わせをすればよいこともまた明らかで、したがって、
加工装置１７はレーザー発振器２とエキスパンダ７と集
光レンズ１１との三者間での光軸合わせを必要とする加
工装置１に比べて光軸調整作業の容易な装置であるとい
うことになる。そうして、また、加工装置１７は上述の
ように構成されていて加工装置１におけるレンズ８が不
要であるので、この装置１７が加工装置１の場合よりも
レーザー光のエネルギー損失の少ない装置であることは
明らかである。
【００１２】図２は図１に実施例を示した本発明とは異
なる別の本発明の一実施例の構成図で、図２の図１と異
なるところは、レンズ９のかわりに長さ方向が本図の紙
面に垂直になるように配置されたシリンドリカル凸レン
ズ１９が、さらに、部材１６によってレーザー発振器１
５に固定されて発振器出射光１５ａが入射されかつ出射
光１５ａの光軸を含む一つの仮想平面としての図２の紙
面で切断した場合平行光束状の断面形状を呈するレンズ
出射光２０を出射するように配置されていることと、レ
ンズ出射光２０を被加工物１２に集光してこの被加工物
１２に図２の紙面に垂直な直線状のレーザースポット２
１を形成するシリンドリカル集光レンズ２２が集光レン
ズ１１のかわりに設けられていることであって、２３は
レンズ１９が固定されたレーザー発振器１５とレンズ２
２とを備えたレーザー加工装置である。加工装置２３は
上述のように構成されているので、この装置２３が図１
に示した加工装置１７と同様に光軸調整作業が容易でか
つレーザー光のエネルギー損失の少ないレーザー加工装
置であることは明らかである。
なる別の本発明の一実施例の構成図で、図２の図１と異
なるところは、レンズ９のかわりに長さ方向が本図の紙
面に垂直になるように配置されたシリンドリカル凸レン
ズ１９が、さらに、部材１６によってレーザー発振器１
５に固定されて発振器出射光１５ａが入射されかつ出射
光１５ａの光軸を含む一つの仮想平面としての図２の紙
面で切断した場合平行光束状の断面形状を呈するレンズ
出射光２０を出射するように配置されていることと、レ
ンズ出射光２０を被加工物１２に集光してこの被加工物
１２に図２の紙面に垂直な直線状のレーザースポット２
１を形成するシリンドリカル集光レンズ２２が集光レン
ズ１１のかわりに設けられていることであって、２３は
レンズ１９が固定されたレーザー発振器１５とレンズ２
２とを備えたレーザー加工装置である。加工装置２３は
上述のように構成されているので、この装置２３が図１
に示した加工装置１７と同様に光軸調整作業が容易でか
つレーザー光のエネルギー損失の少ないレーザー加工装
置であることは明らかである。
【００１３】図２においてはレーザー発振器１５の出射
鏡１４を平凹レンズとしたが、図２において出射鏡１４
の被加工物１２側の面１４ａをシリンドリカル凹面状に
形成することによっても、レーザー加工装置２３の場合
と同様に、被加工物１２にレーザースポット２１を形成
しかつ光軸調整作業が容易でしかもレーザー光のエネル
ギー損失の少ないレーザー加工装置が得られることは明
らかである。
鏡１４を平凹レンズとしたが、図２において出射鏡１４
の被加工物１２側の面１４ａをシリンドリカル凹面状に
形成することによっても、レーザー加工装置２３の場合
と同様に、被加工物１２にレーザースポット２１を形成
しかつ光軸調整作業が容易でしかもレーザー光のエネル
ギー損失の少ないレーザー加工装置が得られることは明
らかである。
【００１４】
【発明の効果】上述したように、本発明においては、
【
００１５】１）被加工物側の面が球状凹面状に形成され
た出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発振
器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光束
にする凸レンズと、前記平行光束を被加工物に集光する
集光レンズとを備えるようにレーザー加工装置を構成し
、また、
００１５】１）被加工物側の面が球状凹面状に形成され
た出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発振
器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光束
にする凸レンズと、前記平行光束を被加工物に集光する
集光レンズとを備えるようにレーザー加工装置を構成し
、また、
【００１６】２）被加工物側の面が球状凹面状に形成さ
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されて該レーザー発振器の出射光が入射され
かつ前記出射光の光軸を含む一つの仮想平面で切断した
場合平行光束状の断面形状を呈するレンズ出射光を出射
するシリンドリカル凸レンズと、レンズ出射光を被加工
物に集光してこの被加工物に直線状のレーザースポット
を形成するシリンドリカル集光レンズとを備えるように
レーザー加工装置を構成し、また、
れた出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発
振器に固定されて該レーザー発振器の出射光が入射され
かつ前記出射光の光軸を含む一つの仮想平面で切断した
場合平行光束状の断面形状を呈するレンズ出射光を出射
するシリンドリカル凸レンズと、レンズ出射光を被加工
物に集光してこの被加工物に直線状のレーザースポット
を形成するシリンドリカル集光レンズとを備えるように
レーザー加工装置を構成し、また、
【００１７】３）被加工物側の面がシリンドリカル凹面
状に形成された出射鏡を有するレーザー発振器と、この
レーザー発振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射
光を平行光束にするシリンドリカル凸レンズと、前記平
行光束を被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレ
ーザースポットを形成するシリンドリカル集光レンズと
を備えるようにレーザー加工装置を構成した。
状に形成された出射鏡を有するレーザー発振器と、この
レーザー発振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射
光を平行光束にするシリンドリカル凸レンズと、前記平
行光束を被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレ
ーザースポットを形成するシリンドリカル集光レンズと
を備えるようにレーザー加工装置を構成した。
【００１８】このため、上記のように構成すると、レー
ザー発振器の出射鏡と凸レンズまたはシリンドリカル凸
レンズとでビームエキスパンダが形成されかつこのエキ
スパンダとレーザー発振器とが一体化されることになっ
て、したがって、このように一体化されたレーザー発振
器と集光レンズまたはシリンドリカル集光レンズとの両
者間だけで光軸合わせをすればよいので光軸調整作業の
容易なレーザー加工装置が得られることになり、また、
この場合、エキスパンダで生じるレーザー光のエネルギ
ー損失は該エキスパンダの出射レンズで発生する損失だ
けであるから、上記エネルギー損失の少ないレーザー加
工装置が得られることになってさらに従来のビームエキ
スパンダ７を構成するレンズ８が不要であるから、本発
明にはエネルギー消費効率のよいレーザー加工装置を経
済的に製作できるという効果がある。
ザー発振器の出射鏡と凸レンズまたはシリンドリカル凸
レンズとでビームエキスパンダが形成されかつこのエキ
スパンダとレーザー発振器とが一体化されることになっ
て、したがって、このように一体化されたレーザー発振
器と集光レンズまたはシリンドリカル集光レンズとの両
者間だけで光軸合わせをすればよいので光軸調整作業の
容易なレーザー加工装置が得られることになり、また、
この場合、エキスパンダで生じるレーザー光のエネルギ
ー損失は該エキスパンダの出射レンズで発生する損失だ
けであるから、上記エネルギー損失の少ないレーザー加
工装置が得られることになってさらに従来のビームエキ
スパンダ７を構成するレンズ８が不要であるから、本発
明にはエネルギー消費効率のよいレーザー加工装置を経
済的に製作できるという効果がある。
【図１】本発明の実施例の構成図
【図２】図１に実施例を示した本発明とは別の本発明の
実施例の構成図
実施例の構成図
【図３】従来のレーザー加工装置の構成図
９ 凸レンズ
１０ 平行光束
１１ 集光レンズ
１２ 被加工物
１４ 出射鏡
１４ａ 球状凹面
１５ レーザー発振器
１５ａ レーザー光（出射光）
１７ レーザー加工装置
１９ シリンドリカル凸レンズ
２０ レンズ出射光
２１ レーザースポット
２２ シリンドリカル集光レンズ２３ レ
ーザー加工装置
ーザー加工装置
Claims (3)
- 【請求項１】被加工物側の面が球状凹面状に形成された
出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発振器
に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を平行光束に
する凸レンズと、前記平行光束を前記被加工物に集光す
る集光レンズとを備えたことを特徴とするレーザー加工
装置。 - 【請求項２】被加工物側の面が球状凹面状に形成された
出射鏡を有するレーザー発振器と、このレーザー発振器
に固定されて該レーザー発振器の出射光が入射されかつ
前記出射光の光軸を含む一つの仮想平面で切断した場合
平行光束状の断面形状を呈するレンズ出射光を出射する
シリンドリカル凸レンズと、前記レンズ出射光を前記被
加工物に集光してこの被加工物に直線状のレーザースポ
ットを形成するシリンドリカル集光レンズとを備えたこ
とを特徴とするレーザー加工装置。 - 【請求項３】被加工物側の面がシリンドリカル凹面状に
形成された出射鏡を有するレーザー発振器と、このレー
ザー発振器に固定されかつ該レーザー発振器の出射光を
平行光束にするシリンドリカル凸レンズと、前記平行光
束を前記被加工物に集光してこの被加工物に直線状のレ
ーザースポットを形成するシリンドリカル集光レンズと
を備えたことを特徴とするレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3124126A JPH04351283A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3124126A JPH04351283A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | レーザー加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04351283A true JPH04351283A (ja) | 1992-12-07 |
Family
ID=14877573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3124126A Pending JPH04351283A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04351283A (ja) |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP3124126A patent/JPH04351283A/ja active Pending
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