JPH04348260A

JPH04348260A - パターン検査方法及び装置

Info

Publication number: JPH04348260A
Application number: JP3120913A
Authority: JP
Inventors: Shunji Maeda; 俊二前田; Hitoshi Kubota; 仁志窪田; Hiroshi Makihira; 牧平　坦; Takashi Hiroi; 高志広井
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1991-05-27
Filing date: 1991-05-27
Publication date: 1992-12-03
Anticipated expiration: 2014-09-27
Also published as: JP2954381B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は被検査パターンの欠陥を
検出する外観検査装置に係り、特に半導体ウェハや液晶
ディスプレイなどのパターンの外観検査に好適なパター
ン検出方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の検査装置は特開昭５９−
１９２９４３号に記載のように、被検査パターンを等速
度で移動させつつ、ラインセンサ等の撮像素子により被
検査パターンの画像を検出し、検出した画像信号と一定
の時間遅らせた画像信号との位置ずれを定めた時間ごと
に補正してこれらを比較することにより、不一致を欠陥
として認識するものであった。ラインセンサとしては、
１次元のＣＣＤラインセンサや最近では時間遅延積分型
（Ｔｉｍｅ　ＤｅｌａｙＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）ＣＣ
Ｄイメージセンサが使われており、比較的高い倍率の対
物レンズを介して対象パターンの像を検出している。な
お、ＴＤＩイメージセンサは、複数の１次元イメージセ
ンサを２次元に配列した構造を有し、各１次元イメージ
センサの出力を定めた時間遅延しては対象の同一位置を
撮像した隣接する１次元イメージセンサの出力と加算し
ていくことにより、検出光量の増加を図ったものである
。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような構
成では、対象とする多層パターンの各層が重なりあい、
高段差や凹凸を有する結果、高倍の対物レンズでは焦点
深度が不足し、イメージセンサに結像する狭い範囲のパ
ターンしか像として検出されず、ほかの大部分はぼけて
しまうという課題があった。従って、従来法では焦点が
合った１部のパターンしか正確に検査されず、焦点が合
わないほかの大部分のパターンは欠陥の検出感度が低く
、信頼性の高い検査を実現することはできないという課
題を有していた。

【０００４】本発明の目的は、１層或いは多層パターン
を対象に信頼性の高い検査を行うため、高段差のパター
ンでも正確に焦点の合った高精度な画像検出、及び高感
度な比較を実現する外観検査方法及び装置を提供するこ
とにある。

【０００５】また、本発明の他の目的は、極めて高速の
外観検査方法及び装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このため、本発明では次
のような考えを実現することで上記目的を達成した。

【０００７】■複数の１次元イメージセンサを２次元に
配列した構造を有し、各１次元イメージセンサの出力を
定めた時間遅延しては対象の同一位置を撮像した隣接す
る１次元イメージセンサの出力と加算していく機能を有
するＴＤＩイメージセンサと称されるイメージセンサを
使用し、これを斜めに傾けて配置する。

【０００８】■傾ける向きは、ＴＤＩイメージセンサの
中心を支点にして内部の複数１次元イメージセンサの長
手方向と直交する方向とする。

【０００９】■傾ける量は対象の凹凸に対応する量とす
る。

【００１０】■対象或いはＴＤＩイメージセンサを移動
し、その位置に同期してＴＤＩイメージセンサを駆動す
る。

【００１１】■上記■〜■により対象の画像を検出し、
これをすでに検出したパターン或いは基準パターンと並
列に位置ずれ補正を行って比較する。

【００１２】

【作用】上記した手段■〜■によれば、ＴＤＩイメージ
センサ内部の各１次元イメージセンサは光軸に垂直な方
向で少しづつ異なる位置（Ｚ位置）に結像する。さらに
手段■により、各１次元イメージセンサは光軸に平行な
方向で同一位置（Ｘ位置）をずれることなく検出するこ
とができる。このため、対象に高段差や凹凸があっても
いずれかの１次元イメージセンサ面に対象が結像し、そ
の結果鮮明な、大きな振幅の信号出力が得られる。欠陥
の有無は、いずれかの１次元イメージセンサ出力の値に
反映される。ＴＤＩイメージセンサのもつ信号の加算機
能によって、この鮮明な大振幅の信号と他のぼけた小振
幅の信号が加算される。上記した手段■によりこれらの
加算信号が比較されるが、欠陥を捕らえたいずれかの１
次元イメージセンサ出力信号はぼけることなく振幅が大
きく、正常部との違いが大きいため、加算された信号を
比較すれば欠陥の存在を検出することが可能である。実
際には、各１次元イメージセンサは移動方向と直行する
方向で、像の結像に起因して若干の倍率誤差（Ｙ位置）
が生じるが、これも手段■により相殺されるので問題に
ならない。また、並列に位置ずれ補正を行い比較するこ
とにより高速に検査できる。これらの結果として、各層
が重なって凹凸のできた多層パターンでも、各層に焦点
の合った高精度なパターン検出と高い感度の比較が短時
間でできる。従って、従来にくらべ飛躍的に欠陥検出性
能を向上させることができる。

【００１３】

【実施例】以下本発明の実施例を図１から図４を用いて
説明する。図１は本発明の１実施例を示すパターン検査
装置である。同図において、５は時間遅延積分型（Ｔｉ
ｍｅＤｅｌａｙ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）ＣＣＤイメ
ージセンサであり、このＴＤＩイメージセンサは複数の
１次元イメージセンサを２次元に配列した構造を有し、
各１次元イメージセンサの出力を定めた時間遅延しては
対象の同一位置を撮像した隣接する１次元イメージセン
サの出力と加算していくことにより、検出光量の増加を
図ったものである。この種のイメージセンサの概念は本
発明等が実用新案（知本受付２１８４００５８１、出願
番号調査中）において記載したものと同一である。この
種のＴＤＩイメージセンサとしてカナダ国のダルサ社製
のものや米国レチコン社のものがある。このＴＤＩイメ
ージセンサ５を、同図に示すように光軸に垂直な面に対
しθだけ傾けて配置する。傾ける向きは、ＴＤＩイメー
ジセンサの中心を支点にして内部の複数１次元イメージ
センサの長手方向（Ｙ方向）と直交する方向とする。傾
ける量は対象の凹凸に対応する量とする。例えばＬＳＩ
ウェハの多層パターンでは１〜３μｍ程度の凹凸がある
ので使用する対物レンズ４の倍率Ｍの２乗をかけた量、
即ち４０倍の対物レンズでは１６００倍をかけた量であ
る１．６〜４．８ｍｍだけＴＤＩイメージセンサを傾け
る。勿論この量は使用する自動焦点機構（図示せず）の
性能にも依存し、これをカバーする範囲だけ勾配を設け
るのがよい。即ち、対象によって焦点合わせ精度が良く
ない場合、傾き量θも若干大きくする。このように傾け
て配置したＴＤＩイメージセンサのたとえば内部の１次
元イメージセンサの走査をＹ方向の走査に一致させ、こ
れにより、被検査パターンであるＬＳＩウェハ１を対物
レンズ４を介して１次元に検出可能にするとともに、Ｘ
Ｙテーブル６によりＬＳＩウェハ１を上記ＴＤＩイメー
ジセンサ５の主走査と直交する方向、即ちＸ方向に移動
させることによって被検査パターンを２次元の画像とし
て検出可能にしている。なお、ＬＳＩウェハ１は照明用ランプ３により照明され
ている。ＸＹテーブル６にはリニアスケール８が搭載さ
れており、ウェハの実際の位置を正確に検出できる。タ
イミング発生回路９によりリニアスケール８の出力信号
から画素を示すスタートタイミング信号を発生し、ＴＤ
Ｉイメージセンサ５はこのスタートタイミング信号によ
り一定距離移動するたびに駆動される。例えば、画素寸
法が０．１５μｍである場合、ウェハがＸ方向に０．１
５μｍだけ移動するたびにスタートタイミング信号を発
生させ、イメージセンサを駆動する。

【００１４】上記した構成にすれば、図２に位置関係を
示すようにＴＤＩイメージセンサ内部の各１次元イメー
ジセンサ５−１〜５−ｍは光軸に垂直な方向で少しづつ
異なる位置（Ｚ位置）に結像する。１次元イメージセン
サ５−ｋは時刻ＴｉでＡ層上面に結像している。ＬＳＩ
ウェハ１がＸ方向に移動すると、時刻Ｔｊで隣接する１
次元イメージセンサに上記Ａ層上面の同一位置が結像す
る。このように各１次元イメージセンサに対象の同一位
置（Ｘ位置）がずれることなく検出される。このため、
対象に高段差や凹凸があってもいずれかの１次元イメー
ジセンサ面に対象が結像する。その結果、鮮明な大きな
振幅の信号出力が得られ、欠陥の有無はいずれかの１次
元イメージセンサ出力の値に反映される。ＴＤＩイメー
ジセンサのもつ信号の加算機能によって、これらすべて
の結像面の信号が加算される。図３（ａ）に示すように
対象が３層のパターンの場合、最も下層にパターン欠陥
があった場合、従来は例えば中間層のみに焦点が合って
おり、図３（ｂ）のように中間層のパターンのみが検出
信号波形のコントラストがおおきかったが、本発明では
３層すべてが同等のコントラストを示す。従って、下層
に欠陥がある場合、従来は図３（ｂ）のようにコントラ
ストが小さく正常部との違いが明確でなかったが、本発
明では図３（ｃ）のように正常部との違いを明確にする
ことができる。

【００１５】図１において、上記ＴＤＩイメージセンサ
５は例えば８個の複数画像信号を並列に出力する。これ
らの複数の出力信号は遅延メモリ７によりウェハ１を１
チップ分移動する時間だけ遅らせる。これにより、ＴＤ
Ｉイメージセンサ５の出力信号と遅延メモリ７の出力信
号は、隣接するチップ２ａと２ｂの画像信号に相当する
。これらの複数の出力信号を、並列に各Ｃｈａｎｎｅｌ
ごとに比較し、欠陥を高速に検出する。次に、１ｃｈａ
ｎｎｅｌ分の処理内容を説明する。画像信号をエッジ検
出回路１１ａ、１１ｂに入力し被検査パターンのパター
ンエッジを検出する。エッジ検出回路１１ａ、１１ｂは
、例えば暗いパターンエッジを検出する微分オペレータ
が搭載される。そして、２値化回路１２ａ、１２ｂで上
記検出されたパターンエッジが２値化される。次に、２
２は不一致検出回路であり、図４に示す如き構成をして
いる。即ち、不一致検出回路２２は、一方の２値化回路
１２ａの出力から画像信号をＴＤＩイメージセンサの１
走査分遅延させるシフトレジスタ２６ａ〜２６ｆ及びシ
リアルイン・パラレルアウトのシフトレジスタ２７ａ〜
２７ｇにより７×７画素（範囲は任意）の２次元局部画
像を切り出す。また他方の２値化回路１２ｂの出力は、
上記と同様のシフトレジスタ２８ａ〜２８ｃ、及び２９
により遅延させ、その出力を上記２次元局部画像の中心
位置と同期させている。ついで、上記シフトレジスタ２
９の出力と、上記局部画像の各ビット出力をＥＸＯＲ回
路３０ａ〜３０ｎで排他的論理和をとって不一致画素を
検出し、カウンタ３１ａ〜３０ｎでこの不一致画素の個
数を計算する。またこのカウンタ３１ａ〜３１ｎは上記
ＴＤＩイメージセンサ５のＮ走査毎にゼロクリアして、
その直前に値を読み出して上記ＴＤＩイメージセンサ５
の画素数Ｍと走査数Ｎとの相乗積のエリアＭ×Ｎ内での
不一致画素がわかるようにしている。上記局部画像の各
ビット出力は上記シフトレジスタ２９の出力に対してＸ
、Ｙ方向に±３画素の範囲で、１画素毎にシフトされた
ものであるから、上記カウンタ３１ａ〜３１ｎではＸ、
Ｙ方向に±３画素入力パターンをシフトしたときの、各
シフト量における不一致画素数がカウントされる。従っ
て、最小値や極小値など不一致画素数が特徴的な値をも
つカウンタがどれかを調べれば、画像の不一致が小さい
最適な位置合せが可能になる。勿論、不一致画素数が定
めた値より小さいカウンタを求め、満たすものを最適な
位置としてもよい。

【００１６】上記のようにしてカウンタ３１ａ〜３１ｎ
がＸ、Ｙ方向に±３画素入力パターンをシフトしたとき
の各シフト量における不一致画素数をカウントしたとき
、最小値検出回路３２がカウントした値を読み出し、最
小値や極小値をもつカウンタを選択して、上記ＴＤＩイ
メージセンサ５がＹ方向に走査するシフト量３４ａ、３
４ｂと、これと直角なＸ方向に走査するシフト量３３ａ
、３３ｂとを出力する。

【００１７】２３ａ、２３ｂは遅延回路であり、上記Ｔ
ＤＩイメージセンサ５の内部１次元イメージセンサの画
素数Ｍと位置合せに要する上記ＴＤＩイメージセンサ５
の走査回数Ｎとの相乗積に相当するエリアＭ×Ｎ内の上
記レジスタにより構成され、上記２値化回路１２ａ、１
２ｂよりの出力を遅延させるようにしている。

【００１８】２４は位置合せ回路であり、図５に示すよ
うに、上記最小値検出回路３２から上記ＴＤＩイメージ
センサ５のＸ方向に走査するときのシフト量３３ａ、３
３ｂが選択回路３５に入力されたとき、該選択回路３５
が上記一方の遅延回路２３ａ及び上記ＴＤＩイメージセ
ンサ５の一走査分だけ遅延させるシフトレジスタ３６ａ
〜３６ｆの出力から、最適なシフト位置を選択してレジ
スタ３７ａ、３７ｂに入力される。選択回路３８ａ、３
８ｂ、が上記最小検出回路３２からの上記ＴＤＩイメー
ジセンサ５のＹ方向に走査するときのシフト量３４ａ、
３４ｂにより、上記ＴＤＩイメージセンサ５のＹ方向の
最適なシフト位置を選択する。従って、上記選択回路３
８ａ、３８ｂの出力には、不一致量が最小或いは極小に
なるシフト位置に対する局部画像が抽出される。上記他
方の遅延回路２３ｂの出力からも、上記シフトレジスタ
３９ａ〜３９ｃ及び４０の出力を用いて、上記シフトレ
ジスタ２９（図４参照）の出力と同一量だけ遅延させた
位置に画像を同期抽出する。この状態では上記選択回路
３８ａ、３８ｂから出力される局部画像は、上記シフト
レジスタ４０から出力される局部画像に対し、位置ズレ
のない最適なシフト位置になっている。

【００１９】このようにして最適なシフト位置が決定さ
れると、欠陥判定回路２５が共通に表れる不一致を欠陥
とする。図６は上記欠陥判定回路２５を示す。同図は２
点のシフト位置の場合を示すが、上記選択回路３８ａの
出力と上記シフトレジスタ４０の出力との不一致をＥＸ
ＯＲ回路が検出し、同時に、上記選択回路３８ｂの出力
シフトレジスタ４０の出力との不一致をＥＸＯＲ回路４
３が検出し、上記ＥＸＯＲ回路４２の出力の論理積をＡ
ＮＤ回路４４によりとる。そして判定器４５が上記ＡＮ
Ｄ回路４４の出力信号をサイズにより欠陥かどうかを判
定して出力する。

【００２０】このように、エッジ検出回路１１、２値化
回路１２、不一致検出回路２２、遅延回路２３、位置合
せ回路２４、欠陥判定回路２５等により、各チャンネル
（Ｃｈａｎｎｅｌ）毎に欠陥を検出することが可能であ
る。この実施例では各チャンネル毎に完全に独立に処理
したが、共通化ができる。位置合せを共通化した検査装
置の例を図７に示す。図７に示したパターン検査装置に
おいて、チャンネル２から８は各チャンネルごとに不一
致画素数検出回路４８において図９に示すようにカウン
タ３１により各チャンネル毎の不一致画素数を算出し、
チャンネル１の不一致検出回路４７において、図８に示
すようにこれらを加算器４６により合計し、この加算器
４６の出力を最小値検出回路で処理する。このようにす
れば、より広い範囲の画像を取り扱えるため位置ずれ補
正の精度が向上する。これはパターン密度の小さい場所
を検査するためには特に有効である。また、チャンネル
１、２、７、８は上記のような構成にし、それ以外は遅
延回路２３、位置合せ回路２４、欠陥判定回路２５のみ
として不一致検出を省略してもよい。

【００２１】上記実施例では、２値化回路１２を用いて
２値化した画像を使用した欠陥検出について説明したが
、図１、図７においては２値化回路１２をｔｈｒｕにし
濃淡画像そのものを用いて欠陥検出してもよい。（図１
、７では点線のように結線される。この場合、２値化回
路１２の出力は不一致検出回路２２にのみ結線される。）この場合、濃淡の違いが大きい領域を欠陥とすること
になる。このような構成にすれば、正常部と異なる欠陥の信号を
より精度良く検出できる。また、実際には、各１次元イ
メージセンサは移動方向と直行する方向で、像の結像に
起因して若干の倍率誤差（Ｙ位置）が生じるが、これも
比較により相殺されるので問題にならない。このように
、ＴＤＩイメージセンサは検出光量を増加することを目
的とするものであるが、焦点深度を増加させることに極
めて有効であり、その結果として、各層が重なって凹凸
のできた多層パターンでも、各層に焦点の合った高精度
なパターン検出と高い感度の比較ができる。特に、微細
な欠陥がどの層にあってもこれを検出できる。従って、
従来にくらべ飛躍的に欠陥検出性能を向上させることが
できる。

【００２２】以上実施例を用いて詳細を述べたが、個々
の構成要素は既存の技術で実現可能である。また、一つ
のＴＤＩイメージセンサを用いて検査する方式について
述べたが、２つのＴＤＩイメージセンサを用いて同時に
検出した画像を比較検査する方式にも適用できる。

【００２３】また、本発明等がすでに提案した方式、す
なわち特開昭６１−６５４４４に記載したように、検出
した画像から手本パターンを作成し、そのパターンを被
検査チップの回路パターンと比較して欠陥を検出しても
よい。また、設計データを用いて比較する方式の場合は
、各層のＺ方向の位置関係により生じるぼけの違いを特
別に考慮する必要がなく、各層の上下関係だけを考慮し
、これらが同じ平面上にあるとして一様なかつ簡単な処
理で正確な比較ができる。

【００２４】

【発明の効果】以上述べたように、各層が重なって凹凸
のできた多層パターンでも、焦点が合った高精度なパタ
ーン検出と高感度の比較ができ、従来にくらべ飛躍的に
欠陥検出性能を向上した外観検査方法及び装置を提供す
ることが可能になる。特に、微細な欠陥がどの層にあっ
てもこれを検出できる。また、高速の外観検査が実現で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示すパターン検査装置を示す
図である。

【図２】ＴＤＩイメージセンサによる結像関係を示す図
である。

【図３】検出信号波形の例を示す図である。

【図４】不一致検出回路を示す図である。

【図５】位置合せ回路を示す図である。

【図６】欠陥判定回路を示す図である。

【図７】他の実施例を示すパターン検査装置を示す図で
ある。

【図８】不一致検出回路を示す図である。

【図９】不一致画素数検出回路を示す図である。

【符号の説明】

１…ウェハ２…チップ３…照明光４…対物レンズ５…ＴＤＩイメージセンサ６…ステージ７…遅延メモリ８…リニアスケール９…タイミング発生回路１１…エッジ検出回路１２…２値化回路２２…不一致検出回路２３…遅延回路２４…位置合せ回路２５…欠陥判定回路２６〜２９…シフトレジスタ３０…ＥＸＯＲ回路３１…カウンタ３２…最小値検出回路３６、３７、３９、４０…シフトレジスタ４５…判定器４６…加算器４７…不一致検出回路４８…不一致検出画素数検出回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査パターンの画像を検出し、この画像
を比較して不一致を欠陥と判定するパターン検査方法に
おいて、パターン検出器として複数の１次元イメージセ
ンサを２次元に配列した構造を有し、各１次元イメージ
センサの出力を定めた時間遅延しては、対象の同一位置
を撮像した隣接する１次元イメージセンサの出力と加算
する機能を有するイメージセンサを斜めに傾けて配置し
、このイメージセンサの出力信号を比較することを特徴
とするパターン検査方法。
【請求項２】傾ける向きは、イメージセンサの内部の複
数１次元イメージセンサの長手方向と直交する方向とす
ることを特徴とする請求項１記載のパターン検査方法。
【請求項３】傾ける量は対象の凹凸に対応する量とする
ことを特徴とする請求項２記載のパターン検査方法。
【請求項４】対象のパターン或いはイメージセンサを移
動し、その移動位置に同期してイメージセンサを駆動す
ることを特徴とする請求項２記載のパターン検査方法。
【請求項５】同一となるように形成されたパターンの画
像を検出し、この画像を比較して不一致を欠陥と判定す
るパターン検査において、並列に複数の出力が可能なイ
メージセンサよりの出力信号を定めた時間遅らせた信号
と比較し、不一致画素数をそれぞれ独立に算出し、これ
らの結果より位置ずれ量を求め、定めた時間ごとに位置
ずれを補正することを特徴とするパターン検査方法。
【請求項６】イメージセンサとして複数の１次元イメー
ジセンサを２次元に配列した構造を有し、各１次元イメ
ージセンサの出力を定めた時間遅延しては対象の同一位
置を撮像した隣接する１次元イメージセンサの出力と加
算する機能を有するイメージセンサであることを特徴と
する請求項５記載のパターン検査方法。
【請求項７】イメージセンサを斜めに傾けて配置するこ
とを特徴とする請求項６記載のパターン検査方法。
【請求項８】傾ける向きは、イメージセンサの内部の複
数１次元イメージセンサの長手方向と直交する方向とす
ることを特徴とする請求項７記載のパターン検査方法。
【請求項９】傾ける量は対象の凹凸に対応する量とする
ことを特徴とする請求項８記載のパターン検査方法。
【請求項１０】対象のパターン或いはイメージセンサを
移動し、その移動位置に同期してイメージセンサを駆動
することを特徴とする請求項７記載のパターン検査方法
。
【請求項１１】被検査パターンの画像を検出し、この画
像を比較して不一致を欠陥と判定するパターン検査装置
において、パターン検出器として複数の１次元イメージ
センサを２次元に配列した構造を有し、各１次元イメー
ジセンサの出力を定めた時間遅延しては対象の同一位置
を撮像した隣接する１次元イメージセンサの出力と加算
する機能を有するイメージセンサを斜めに傾けて配置し
、このイメージセンサの出力信号を比較する手段を設け
たことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項１２】傾ける向きは、イメージセンサの内部の
複数１次元イメージセンサの長手方向と直交する方向と
することを特徴とする請求項１１記載のパターン検査装
置。
【請求項１３】傾ける量は対象の凹凸に対応する量とす
ることを特徴とする請求項１２記載のパターン検査装置
。
【請求項１４】対象のパターン或いはイメージセンサを
移動し、その移動位置に同期してイメージセンサを駆動
することを特徴とする請求項１２記載のパターン検査装
置。
【請求項１５】同一となるように形成されたパターンの
画像を検出し、この画像を比較して不一致を欠陥と判定
するパターン検査装置において、画像信号の不一致画素
数算出手段と位置ずれ量算出手段と位置ずれ補正手段を
有し、並列に複数の出力が可能なイメージセンサよりの
出力信号を定めた時間遅らせた信号と比較し、不一致画
素数をそれぞれ独立に算出し、これらの結果より位置ず
れ量を求め、定めた時間ごとに位置ずれを補正すること
を特徴とするパターン検査装置。
【請求項１６】イメージセンサとして複数の１次元イメ
ージセンサを２次元に配列した構造を有し、各１次元イ
メージセンサの出力を定めた時間遅延しては対象の同一
位置を撮像した隣接する１次元イメージセンサの出力と
加算する機能を有するイメージセンサであることを特徴
とする請求項１５記載のパターン検査装置。
【請求項１７】イメージセンサを斜めに傾けて配置する
ことを特徴とする請求項１６記載のパターン検査装置。
【請求項１８】傾ける向きは、イメージセンサの内部の
複数１次元イメージセンサの長手方向と直交する方向と
することを特徴とする請求項１７記載のパターン検査装
置。
【請求項１９】傾ける量は対象の凹凸に対応する量とす
ることを特徴とする請求項１８記載のパターン検査装置
。
【請求項２０】対象のパターン或いはイメージセンサを
移動し、その位置に同期してイメージセンサを駆動する
ことを特徴とする請求項１７記載のパターン検査装置。