JP2006132947A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
比較検査の性能向上のためには位置合せの精度向上。
【解決手段】
代表画素領域における代表注目画素の位置ずれ量を算出するときに、統計処理領域(投票対象領域)である代表画素領域の周辺に切り出される周辺画素領域群における各周辺注目画素の位置ずれ量を統計処理する(投票処理して集計する)ことによって得られる頻度の高い位置ずれ量を利用することで、位置合せの正解率を向上させる。
【選択図】 図2
Description
このように算出された評価関数Fが最小となる位置が位置ずれ最小と判断し、このときのB’(i,j)がA(i,j)と対応する(位置ずれが最小となる)注目画素となり、該注目画素における画素単位での位置ずれ量(X方向に−2、−1、0、+1、+2、Y方向に−2、−1、0、+1、+2)が算出されることになる。今回は3×3画素領域に対し、上下左右に±2の探索範囲を仮定したが、画素領域の大きさおよび、探索範囲は任意に設定してかまわない。
なお、画素単位での位置ずれ量算出およびサブピクセルでの位置ずれ量算出については、特開平10−318950号公報に具体的に記載されている。
100…照明光学系、101…光源、102…照射光学系、103…照射制御部、200…ステージ系、201…θステージ、202…Zステージ、203…Xステージ、204…Yステージ、205…ステージ制御部、300…検出系、301…対物レンズ、302…空間フィルタ、303…結像レンズ、304…センサ、400、400a〜400d…画像処理部、401…データ記憶部、402…画像切り出し部、403…画素単位位置合せ部、404…サブピクセル位置合せ部、405…ソート処理部、406…差分抽出回路、407…比較判定部、411…遅延メモリ、412…位置ずれ算出部、413…投票処理部(統計処理部)、414…加算回路、415、416、417…遅延メモリ、418…位置合せ部、420…しきい値設定部、421…しきい値、422…差分データ記憶部、423…最大最小除去部、424…二乗値算出部、425…二乗和算出部、426…標準偏差算出部、427…和算出部、428…平均値算出部、429…しきい値係数、430…しきい値算出部、431…最大値処理部、500…フーリエ変換面観察系、501…光路切り替え部、502…レンズ、503…カメラ、600…ウエハ観察系、601…ウエハ観察用対物レンズ、602…ウエハ観察用結象レンズ、603…カメラ、800…製造装置群、801…ホト工程、802…エッチング工程、803…成膜工程、804…CMP工程、1000…本発明を搭載した検査装置、1001…欠陥観察装置、1100…工程管理システム、1200…欠陥情報管理システム。
Claims (12)
- 複数のダイが配列された被検査対象から検出される検査画像信号を画像処理して欠陥データを出力する検査装置において、
検査ダイからの検査画像信号を取得し、参照ダイからの参照画像信号を取得する取得手段と、
該取得手段から取得される前記検査画像信号と前記参照画像信号との間の代表注目画素の周辺に切り出された位置ずれ算出領域毎の周辺注目画素における位置ずれ量を順次算出する位置ずれ量算出部と、
該位置ずれ量算出部において順次算出された位置ずれ量を統計処理領域に亘って統計処理することによって前記検査画像信号と前記参照画像信号との間の代表注目画素における位置ずれ量を求める統計処理部と、
該統計処理部で求められた代表注目画素における位置ずれ量に基づいて検査画像信号と参照画像信号とを位置合せする位置合せ部と、
該位置合せ部で位置合せされた検査画像信号と参照画像信号とに基づいて欠陥判定して欠陥データを出力する比較判定部とを
備えた画像処理装置を設けたことを特徴とする検査装置。 - 複数のダイが配列された被検査対象から検出される検査画像信号を画像処理して欠陥データを出力する検査装置において、
検査ダイからの検査画像信号を取得し、参照ダイからの参照画像信号を取得する取得手段と、
該取得手段から取得される前記検査画像信号及び前記参照画像信号の各々について代表注目画素の周辺における位置ずれ算出領域からの周辺検査画像信号群及び周辺参照画像信号群を順次統計処理領域に亘って切り出し、該順次切り出された周辺検査画像信号群と周辺参照画像信号群との間の周辺注目画素における位置ずれ量を順次算出する位置ずれ量算出部と、
該位置ずれ量算出部において順次算出された位置ずれ量を統計処理領域に亘って統計処理することによって検査画像信号と参照画像信号との間の前記代表注目画素における位置ずれ量を求める統計処理部と、
該統計処理部で求められた代表注目画素における位置ずれ量に基づいて検査画像信号と参照画像信号とを位置合せする位置合せ部と、
該位置合せ部で位置合せされた検査画像信号と参照画像信号とに基づいて欠陥判定して欠陥データを出力する比較判定部とを
備えた画像処理装置を設けたことを特徴とする検査装置。 - 前記画像処理装置の統計処理部において、前記代表注目画素における位置ずれ量を求める統計処理は、前記統計処理領域に亘る複数の周辺注目画素における位置ずれ量の最頻値を算出する処理で構成することを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記画像処理装置の統計処理部において、前記統計処理領域は、被検査対象を載置して移動するステージ系の精度に応じて設定するように構成したことを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記画像処理装置の統計処理部において、前記位置ずれ量算出部で位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出領域における明るさおよびコントラストが予め設定した条件を満たさない場合には前記位置ずれ量の統計処理を変更するように構成することを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記画像処理装置の統計処理部において、前記複数の周辺注目画素における位置ずれ量の最頻値が一定割合より多い場合と少ない場合とで前記代表注目画素における位置ずれ量の求め方を変えるように構成することを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 複数のダイが配列された被検査対象から検出される検査画像信号を画像処理して欠陥データを出力する検査方法において、
検査ダイからの検査画像信号を取得し、参照ダイからの参照画像信号を取得する取得ステップと、
該取得ステップから取得される前記検査画像信号と前記参照画像信号との間の代表注目画素の周辺に切り出された位置ずれ算出領域毎の周辺注目画素における位置ずれ量を順次算出する位置ずれ量算出ステップと、
該位置ずれ量算出ステップにおいて順次算出された位置ずれ量を統計処理領域に亘って統計処理することによって前記検査画像信号と前記参照画像信号との間の代表注目画素における位置ずれ量を求める統計処理ステップと、
該統計処理ステップで求められた代表注目画素における位置ずれ量に基づいて検査画像信号と参照画像信号とを位置合せする位置合せステップと、
該位置合せステップで位置合せされた検査画像信号と参照画像信号とに基づいて欠陥判定して欠陥データを出力する比較判定ステップとを有することを特徴とする検査方法。 - 複数のダイが配列された被検査対象から検出される検査画像信号を画像処理して欠陥データを出力する検査方法において、
検査ダイからの検査画像信号を取得し、参照ダイからの参照画像信号を取得する取得ステップと、
該取得ステップから取得される前記検査画像信号及び前記参照画像信号の各々について代表注目画素の周辺における位置ずれ算出領域からの周辺検査画像信号群及び周辺参照画像信号群を順次統計処理領域に亘って切り出し、該順次切り出された周辺検査画像信号群と周辺参照画像信号群との間の周辺注目画素における位置ずれ量を順次算出する位置ずれ量算出ステップと、
該位置ずれ量算出ステップにおいて順次算出された位置ずれ量を統計処理領域に亘って統計処理することによって検査画像信号と参照画像信号との間の前記代表注目画素における位置ずれ量を求める統計処理ステップと、
該統計処理ステップで求められた代表注目画素における位置ずれ量に基づいて検査画像信号と参照画像信号とを位置合せする位置合せステップと、
該位置合せステップで位置合せされた検査画像信号と参照画像信号とに基づいて欠陥判定して欠陥データを出力する比較判定ステップとを有することを特徴とする検査方法。 - 前記統計処理ステップにおいて、前記代表注目画素における位置ずれ量を求める統計処理は、前記統計処理領域に亘る複数の周辺注目画素における位置ずれ量の最頻値を算出する処理であることを特徴とする請求項7又は8記載の検査方法。
- 前記統計処理ステップにおいて、前記統計処理領域は、被検査対象を載置して移動するステージ系の精度に応じて設定することを特徴とする請求項7又は8記載の検査方法。
- 前記統計処理ステップにおいて、前記位置ずれ量算出ステップで位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出領域における明るさおよびコントラストが予め設定した条件を満たさない場合には前記位置ずれ量の統計処理を変更することを特徴とする請求項7又は8記載の検査方法。
- 前記統計処理ステップにおいて、前記複数の周辺注目画素における位置ずれ量の最頻値が一定割合より多い場合と少ない場合とで前記代表注目画素における位置ずれ量の求め方を変えることを特徴とする請求項7又は8記載の検査方法。
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