JP2009147259A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハの表面を撮像する撮像手段40を少なくとも備えた検査装置1において、撮像手段40は、エリア撮像とライン撮像とを選択的に切り替える撮像範囲設定機能を有する撮像素子を含み、エリア撮像によるアライメント機能と、ライン撮像によって取得したウェーハ表面の画像情報からストリートの側方に形成された電極付近の異物の付着状態を検査する検査機能とを有する。
【選択図】図2
Description
2:チャックテーブル
3:検査装置
30:ラインセンサ 30a:エレメント列
31:表示手段 32:記憶手段 33:判定手段
4:アライメント兼検査手段 40:撮像手段
5:カセット載置テーブル 5a:カセット
6:搬出手段
7:仮置きテーブル
8:搬送手段
80:レール 81:移動部 82:吸着部
9:チャックテーブル駆動手段
90:ボールネジ 91:ガイドレール 92:モータ 93:スライド板
94:回転駆動部
10:割り出し送り手段
100:ボールネジ 101:ガイドレール 102:パルスモータ
103:スライド板 104:昇降手段
W:ウェーハ
S:ストリート D:デバイス B:ボンディングパッド G:切削溝
Claims (5)
- 複数のデバイスがストリートによって区画されて形成されたウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像する撮像手段とを少なくとも備えた検査装置であって、
該撮像手段は、エリア撮像とライン撮像とを選択的に切り替えて使用可能な撮像範囲設定機能を有する撮像素子を含み、
該エリア撮像によるアライメント機能と、
該ライン撮像によって取得したウェーハ表面の画像情報から該ストリートの側方に形成された電極付近の異物の付着状態を検査する検査機能と
を有する検査装置。 - 前記撮像手段とは別に、前記検査機能を有するラインセンサを別途備えた請求項1に記載の検査装置。
- 前記撮像素子は、前記撮像範囲設定機能を有するカラー撮像素子である請求項1に記載の検査装置。
- 前記ストリートの側方に形成された電極の良否を判定する判定手段が含まれる請求項1、2または3に記載の検査装置。
- 前記撮像手段の走査方向をX軸方向、該X軸方向に直交する前記ストリートの幅方向をY軸方向とした場合に、
前記チャックテーブルを該X軸方向に移動させるチャックテーブル駆動手段と、
前記検査手段を該Y軸方向に移動させる割り出し送り手段と、
複数のウェーハが収容されたカセットが載置されるカセット載置テーブルと、
該カセットからウェーハを搬出する搬出手段と、
該搬出手段によって搬出されたウェーハが仮置きされる仮置きテーブルと、
該仮置きテーブルに仮置きされたウェーハを該チャックテーブルに搬送する搬送手段と
が含まれる請求項1、2、3または4に記載の検査装置。
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