JP2009175001A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009175001A JP2009175001A JP2008013856A JP2008013856A JP2009175001A JP 2009175001 A JP2009175001 A JP 2009175001A JP 2008013856 A JP2008013856 A JP 2008013856A JP 2008013856 A JP2008013856 A JP 2008013856A JP 2009175001 A JP2009175001 A JP 2009175001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- pattern
- correct pattern
- alignment
- correct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【解決手段】複雑領域探索部134は、正解パターン画像から探索した小領域の位置およびその小領域の画像を位置合わせ用パターンとして位置合わせ用パターン保存部135に保存し、位置合わせ部136は、位置合わせ用パターンとして保存された小領域の画像を位置合わせ用パターン保存部135から読み出し、検査対象画像と正解パターン画像との小領域間での画像の位置ずれ量に基づいて、検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせを行い、欠陥検出部137は、正解パターン画像保存部132に保存された正解パターン画像と、位置合わせ部136にて位置合わせのための処理が行われた検査対象画像との比較結果に基づいて、検査対象の欠陥を検出する。
【選択図】 図1
Description
また、正解パターン画像と検査対象画像とのマッチングをとる際の演算量を低減するために、これらの画像内の小領域のみでマッチングをとる方法がある。
一方、図7(b)のような状態をなくすため、小領域の位置をパターンごとに変更すると、モニタ上に表示された登録画像をユーザが見ながら、パターンの位置を指定するという作業が必要となり、ユーザの負担が増大するという問題もあった。
そこで、本発明の目的は、ユーザにかかる負担の増大を抑制しつつ、画像内の小領域のみで画像間の位置合わせを精度よく行うことが可能な欠陥検査装置を提供することである。
前記撮像手段にて撮像された正解パターン画像を保存する正解パターン画像保存手段と、前記撮像手段にて撮像された検査対象画像を保存する検査画像保存手段と、前記正解パターン画像に対して予め定められた小領域ごとにパターンの複雑さを示す特徴量を算出し、前記パターンの複雑さが所定値以上の小領域を前記正解パターン画像から探索する複雑領域探索手段と、前記複雑領域探索手段にて探索された小領域の位置および前記小領域の画像を保存する位置合わせ用パターン保存手段と、前記小領域の位置における前記検査対象画像と、前記正解パターン画像における小領域の画像との位置ずれ量に基づいて、前記検査対象画像と前記正解パターン画像との位置合わせを行う位置合わせ手段と、前記位置合わせ手段にて位置あわせされた検査対象画像と正解パターン画像の比較結果に基づいて、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成を示すブロックである。
図1において、この欠陥検査装置には、正解パターンおよび検査対象パターンを撮像する撮像部11、良品サンプルや検査対象を撮像位置に搬送する搬送部12、正解パターン画像と検査対象画像との比較結果に基づいて検査対象の欠陥を検出する画像処理部13、撮像部11、搬送部12および画像処理部13が協調して動作するように全体を制御する全体制御部14が設けられ、全体制御部14には、操作情報や検査情報をユーザに提供するユーザインターフェース141および検査結果などの情報を記憶する記憶装置142に接続されている。
また、搬送部12には、サンプル123を水平面内で移動させるXYステージ121およびXYステージ121の移動を制御するステージコントローラ122が設けられている。
そして、検査対象の欠陥検出を行う場合、実際の検査に先立ち、正解パターンとして良品(欠陥がないことが確認されている対象物)のサンプル123をXYステージ121上に載置する。そして、良品のサンプル123がXYステージ121上に載置されると、ステージコントローラ122はXYステージ121を移動させることにより、良品のサンプル123を対物レンズ113の焦点位置に搬送する。そして、良品のサンプル123が対物レンズ113の焦点位置に搬送されると、光源111から出射された照明光がレンズ115、ハーフミラー116を介して対物レンズ113に導かれ、良品のサンプル123が照明される。そして、良品のサンプル123にて反射された照明光は、対物レンズ113およびハーフミラー116を介してイメージセンサ114に導かれる。
なお、画像処理部13は、正解パターン画像を正解パターン画像保存部132に保存する場合、ノイズの除去や特徴画像への変換など検査に必要な前処理を行うようにしてもよい。
また、照明光学系112は、対物レンズ113の光軸と同軸の明視野照明を構成する方法について説明したが、検査対象の表面状態や検出結果に応じて暗視野照明や透過照明を構成するようにしてもよい。また、光源111は、白色光源、単色可視光源または赤外光源であってもよい。また、イメージセンサ114は、エリアセンサやラインセンサなどの撮像素子を用いるようにしてもよい。
図2および図3において、複雑領域探索部134は、正解パターン画像Gの左上に矩形状の小領域Rを設定する(ステップS11)。そして、複雑領域探索部134は、図3に示すように、正解パターン画像Gの左上から右方向に所定の画素づつずらしながら、小領域Rのパターンの複雑さを計算し、正解パターン画像Gの右端に達すると、正解パターン画像Gの下方向に所定の画素だけずらした状態で左端に戻り、正解パターン画像Gの左端から右方向に所定の画素づつずらしながら、小領域Rのパターンの複雑さを計算するという処理を正解パターン画像Gの右下に達するまで繰り返す(ステップS12〜S17)。そして、複雑領域探索部134は、正解パターン画像G全体について小領域Rのパターンの複雑さを計算すると、そのパターンの複雑さが最大の小領域Rを選択し(ステップS18)、位置合わせ用パターンとして位置合わせ用パターン保存部135に保存する。
また、図2の方法では、小領域Rごとにパターンの複雑さを示す特徴量を算出するために、正解パターン画像Gの左上から右下に向かってジグザグ状に正解パターン画像Gを走査する方法について説明したが、正解パターン画像Gの右上から左下に向かってジグザグ状に正解パターン画像Gを走査するようにしてもよいし、正解パターン画像G全体が走査できればどのような経路で正解パターン画像Gを走査するようにしてもよい。
また、複雑領域探索部134で行われる処理は、正解パターン画像G全体が走査されるため、計算量が多くなるが、小領域Rの位置およびその小領域Rの画像を位置合わせ用パターン保存部135に一旦保存ずれば、検査時にその都度更新する必要はなく、検査全体の処理時間に及ぼす影響をわずかに抑えることができる。
なお、検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせ方法として、一般的に知られているパターンマッチングの手法(例えば、検査対象画像と正解パターン画像との小領域間での正規化相互相関による一致度の判定処理や、検査対象画像と正解パターン画像との小領域間での残差の総和による一致度の判定処理など)によって検査対象画像の中から位置合わせ用パターンに相当する部分を探索し、検査対象画像と正解パターン画像との小領域間での位置ずれが補正されるように検査対象画像を変換することができる。
なお、正解パターン画像と検査対象画像との比較結果に基づいて、検査対象の欠陥を検出する方法としては、2値化処理を行った後に排他的論理和をとる方法や、濃淡画像のまま差分をとる方法などの公知の方法を用いることができる。
図4において、この欠陥検査装置には、図1の複雑領域探索部134の代わりに複雑領域探索部234が設けられ、複雑領域探索部234は、正解パターン画像に対して予め定められた小領域ごとにパターンの複雑さを示す特徴量を算出し、そのパターンの複雑さが所定値以上の複数の小領域を正解パターン画像から探索することができる。
また、図4の欠陥検査装置には、図1の位置合わせ部136の代わりに複数の位置合わせ部236が設けられ、位置合わせ部236は、複数の小領域の位置における検査対象画像と、正解パターン画像における複数の小領域の画像とを比較し、それらの画像間で最も一致度の互い小領域の位置における検査対象画像と、正解パターン画像における小領域の画像との位置ずれ量に基づいて、検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせを行うことができる。
図5(a)において、図4の複雑領域探索部234は、パターンの複雑さが所定値以上の小領域として複数の小領域301、302、303を正解パターン画像から探索し、位置合わせ用パターン保存部135a〜135nにそれぞれ保存することができる。
そして、位置合わせ部236は、パターンマッチングの手法によって各小領域301、302、303のパターンに相当する部分を検査対象画像の中から探索し、検査対象画像の各小領域301、302、303のパターンに相当する部分と、正解パターン画像における小領域301、302、303のパターンとを比較する。
これにより、検査対象画像に存在する欠陥Kによって検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせ精度が劣化するのを防止することができ、検査対象画像に欠陥Kが存在する場合においても、検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせを精度よく行うことができる。
111 光源
112 照明光学系
113 対物レンズ
114 イメージセンサ
115 レンズ
116 ハーフミラー
12 搬送部
121 XYステージ
122 ステージコントローラ
123 検査対象
13 画像処理部
131 AD変換部
132 正解パターン画像保存部
133 検査画像保存部
134、234 複雑領域探索部
135、135a〜135b 位置合わせ用パターン保存部
136、236 位置合わせ部
137 欠陥検出部
14 全体制御部
141 ユーザインターフェース
142 記憶装置
Claims (3)
- 正解パターンおよび検査対象パターンを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された正解パターン画像を保存する正解パターン画像保存手段と、
前記撮像手段にて撮像された検査対象画像を保存する検査画像保存手段と、
前記正解パターン画像に対して予め定められた小領域ごとにパターンの複雑さを示す特徴量を算出し、前記パターンの複雑さが所定値以上の小領域を前記正解パターン画像から探索する複雑領域探索手段と、
前記複雑領域探索手段にて探索された小領域の位置および前記小領域の画像を保存する位置合わせ用パターン保存手段と、
前記小領域の位置における前記検査対象画像と、前記正解パターン画像における小領域の画像との位置ずれ量に基づいて、前記検査対象画像と前記正解パターン画像との位置合わせを行う位置合わせ手段と、
前記位置合わせ手段にて位置あわせされた検査対象画像と正解パターン画像の比較結果に基づいて、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記複雑領域探索手段は、前記正解パターン画像の一端から他端まで所定ピッチで前記小領域を移動させながら、前記小領域ごとにパターンの複雑さを示す特徴量を算出し、前記パターンの複雑さが所定値以上の小領域を前記正解パターン画像から探索することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記複雑領域探索手段は、前記パターンの複雑さが所定値以上の小領域を前記正解パターン画像から複数探索し、
前記位置合わせ用パターン保存手段は、前記複雑領域探索手段にて探索された複数の小領域の位置および前記複数の小領域の画像を保存し、
前記位置合わせ手段は、前記複数の小領域の位置における前記検査対象画像と、前記正解パターン画像における複数の小領域の画像とをそれぞれ比較し、それらの画像間で最も一致度の互い小領域の位置における前記検査対象画像と、前記正解パターン画像における前記小領域の画像との位置ずれ量に基づいて、前記検査対象画像と前記正解パターン画像との位置合わせを行うことを特徴とする請求項1または2記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008013856A JP2009175001A (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008013856A JP2009175001A (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009175001A true JP2009175001A (ja) | 2009-08-06 |
Family
ID=41030244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008013856A Pending JP2009175001A (ja) | 2008-01-24 | 2008-01-24 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009175001A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07147309A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
JPH07146249A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
JPH10325806A (ja) * | 1997-05-26 | 1998-12-08 | Nec Corp | 外観検査方法及び装置 |
JP2000161932A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Hitachi Ltd | 回路パターンの検査方法及び検査装置 |
JP2000346627A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Toray Eng Co Ltd | 検査装置 |
JP2003223630A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Hitachi Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
JP2004349515A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Hitachi High-Technologies Corp | Sem式外観検査装置,レビュー装置、およびアライメント座標設定方法 |
JP2006132947A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置および検査方法 |
JP2008153572A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検査装置 |
-
2008
- 2008-01-24 JP JP2008013856A patent/JP2009175001A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07147309A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
JPH07146249A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-06 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
JPH10325806A (ja) * | 1997-05-26 | 1998-12-08 | Nec Corp | 外観検査方法及び装置 |
JP2000161932A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Hitachi Ltd | 回路パターンの検査方法及び検査装置 |
JP2000346627A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Toray Eng Co Ltd | 検査装置 |
JP2003223630A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Hitachi Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
JP2004349515A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Hitachi High-Technologies Corp | Sem式外観検査装置,レビュー装置、およびアライメント座標設定方法 |
JP2006132947A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置および検査方法 |
JP2008153572A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検査装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10366485B2 (en) | Positioning method, visual inspection apparatus, program, computer readable recording medium, and visual inspection method | |
JP2017096750A (ja) | 位置決め方法、位置決め装置、プログラムおよびコンピュータ可読記録媒体 | |
JP2011163766A (ja) | 画像処理方法および画像処理システム | |
CN109580658B (zh) | 检查方法及检查装置 | |
US20150043805A1 (en) | Image processing system, image processing method, and computer-readable recording medium | |
JP2000266691A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2006276454A (ja) | 画像補正方法、およびこれを用いたパターン欠陥検査方法 | |
JP2005265661A (ja) | 画像処理方法およびその装置 | |
US20120050518A1 (en) | Inspecting apparatus and inspection method | |
CN111146105A (zh) | 一种缺陷检查的装置和方法 | |
JP5331771B2 (ja) | 検査装置 | |
JP6927790B2 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2009192358A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2005351631A (ja) | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 | |
JP5178781B2 (ja) | センサ出力データの補正装置及びセンサ出力データの補正方法 | |
JP2009175001A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2009080004A (ja) | 検査装置 | |
JP2014062837A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥レビュー装置 | |
KR20180116406A (ko) | 검사용 정보 생성 장치, 검사용 정보 생성 방법, 및 결함 검사 장치 | |
JP2009222513A (ja) | 欠陥検出装置、および欠陥検出方法 | |
JP2007292606A (ja) | 表面検査装置 | |
US20150355105A1 (en) | Inspection Apparatus | |
JP4357666B2 (ja) | パターン検査方法および装置 | |
JP2009188175A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
KR20170022785A (ko) | 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20101115 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120918 |