JP6927790B2 - 検査方法及び検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、検査方法及び検査装置に関し、特に、ウェハの上面上にパターンが形成されたウェハの検査方法及び検査装置に関する。

例えば、特許文献１〜４には、ウェハの上面上にパターンが形成されたウェハの欠陥を検査する検査装置が記載されている。

特開２００２−０７４３３４号公報 特開２００９−０７４９５２号公報 特開２００６−０３０２１５号公報 特開２００３−１９７６９９号公報

ウェハの上面上にパターンが形成されたウェハの欠陥を検査する場合に、パターンと、欠陥との分離が困難な場合がある。

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、パターンが形成されたウェハの欠陥を検査する際に、パターンと、欠陥との分離を容易にし、パターンが形成されたウェハの欠陥を高精度で検査することができる検査方法及び検査装置を提供する。

本発明に係る検査方法は、上面に直交する回転軸を中心に回転するテーブルの前記上面上に、所定のパターンが形成されたウェハを支持し、前記ウェハが支持された前記テーブルを回転させ、前記テーブルの回転角度をセンスし、前記ウェハの表面を照明した表面照明光が、前記表面によって反射した表面反射光を集光することによって、前記ウェハの周縁に沿った周方向を一方の辺とし、前記周方向に直交する径方向を他方の辺とした前記表面の画像を撮像し、撮像した前記表面の画像データを処理する際に、前記回転角度に基づいて前記表面の画像が前記表面に平行な面内で回転するように前記画像データを処理し、前記所定のパターンのデータを除去した前記画像データから欠陥を検出する。このような構成により、パターンが形成されたウェハの欠陥を検査する際に、パターンと、欠陥との分離を容易にし、パターンが形成されたウェハの欠陥を高精度で検査することができる。

また、検査方法は、前記テーブル１０の前記上面１１上に支持された前記ウェハの端部を照明する端部照明光で前記端部を照明し、前記端部照明光が前記端部によって反射した端部反射光を対物レンズで集光し、前記対物レンズにより集光された前記端部反射光を検出することによって前記端部の画像を撮像し、オートフォーカス光学系により、前記端部の画像の焦点が合う前記対物レンズの位置であって、前記対物レンズの光軸方向における位置を導き、前記オートフォーカス光学系が導いた前記位置に前記対物レンズを移動させ、前記端部の画像のデータに、所定の付加データを付加する。このような構成とすることにより、パターンが形成されたウェハの欠陥をさらに高精度で検査することができる。

また、前記付加データを、前記表面の画像を撮像したときの前記回転角度、前記端部の画像を撮像したときの前記端部の位置、及び、前記光軸方向における前記対物レンズの位置のうち少なくとも１つを含むようにする。このような構成により、偏芯量と端部の位置とを対応付けることができる。

さらに、一方向に並んだ複数の画素によって、前記端部を前記回転軸方向に沿って撮像する。このような構成により、ウェハの偏芯量を精度よく測定することができる。

前記ウェハを一回転させたときの前記光軸方向における前記対物レンズの位置に基づいて、前記回転軸と前記ウェハとの偏芯量を算出する。このような構成により、偏芯量を低コストで測定することができる。

また、前記偏芯量に基づいて前記テーブルを移動させることにより、前記偏芯量を補正する。このような構成により、偏芯量を精度よく補正することができる。

本発明に係る検査装置は、上面に直交する回転軸を中心に回転するテーブルと、所定のパターンが形成されたウェハが前記上面上に支持された前記テーブルの回転角度をセンスするセンサと、前記ウェハの表面を照明する表面照明光が、前記表面によって反射した表面反射光を検出することによって、前記ウェハの周縁に沿った周方向を一方の辺とし、前記周方向に直交する径方向を他方の辺とした前記表面の画像を撮像する表面画像取得部と、前記表面画像取得部が撮像した前記表面の画像の画像データを処理して欠陥を検出する制御部と、を備え、前記制御部は、前記回転角度に基づいて前記表面の画像が前記表面に平行な面内で回転するように前記画像データを処理し、前記所定のパターンのデータを除去した前記画像データから欠陥を検出する。このような構成とすることにより、パターンが形成されたウェハの欠陥を検査する際に、パターンと、欠陥との分離を容易にし、パターンが形成されたウェハの欠陥を高精度で検査することができる。

また、検査装置は、前記回転軸を中心に前記テーブルを回転させる第１駆動部と、前記ウェハの端部を照明する端部照明光を生成する光源と、前記端部照明光が前記端部によって反射した端部反射光を集光する対物レンズと、前記対物レンズを前記対物レンズの光軸方向に移動させる第２駆動部と、前記対物レンズにより集光された前記端部反射光を検出することによって前記端部の画像を撮像する撮像部と、前記撮像部において前記端部の画像の焦点が合う前記光軸方向における前記対物レンズの位置を導くオートフォーカス光学系と、を備え、前記制御部は、前記第１駆動部及び前記第２駆動部を制御し、前記オートフォーカス光学系が導いた前記位置に前記対物レンズを移動させ、前記画像のデータに、所定の付加データを付加させる。このような構成とすることにより、パターンが形成されたウェハの欠陥をさらに高精度で検査することができる。

さらに、前記付加データは、前記表面の画像を撮像した時の前記回転角度、前記端部の画像を撮像したときの前記端部の位置、及び、前記光軸方向における前記対物レンズの位置のうち少なくとも１つを含む。このような構成とすることにより、偏芯量と端部の位置とを対応付けることができる。

前記撮像部は、一方向に並んだ複数の画素を含み、前記複数の画素は、前記端部を前記回転軸方向に沿って撮像する。このような構成とすることにより、ウェハの偏芯量を精度よく測定することができる。

また、前記制御部は、前記ウェハを一回転させたときの前記光軸方向における前記対物レンズの位置に基づいて、前記回転軸と前記ウェハとの偏芯量を算出する。このような構成により、偏芯量を低コストで測定することができる。

さらに、前記テーブルを移動させる移動手段をさらに有し、前記制御部は、前記偏芯量に基づいて前記テーブルを移動させる。このような構成とすることにより、偏芯量を精度よく補正することができる。

本発明によれば、パターンが形成されたウェハの欠陥を検査する際に、パターンと、欠陥との分離を容易にし、パターンが形成されたウェハの欠陥を高精度で検査する検査方法及び検査装置を提供することができる。

実施形態１に係る検査装置を例示した構成図である。 実施形態１に係るウェハに形成されたパターンにおけるスクライブラインを例示した平面図である。 実施形態１に係る検査方法を例示したフローチャート図である。 （ａ）〜（ｆ）は、実施形態１に係る検査方法において、ウェハの表面の画像を例示した図である。 （ａ）〜（ｅ）は、実施形態１に係る検査方法において、撮像した画像の画像データを処理する過程を例示した図である。 実施形態１に係る検査方法において、画像データを処理する過程を例示したフローチャート図である。 実施形態２に係る検査装置の概要を例示した構成図である。 実施形態２に係る検査装置を例示した構成図である。 実施形態２に係る光学系を例示した構成図である。 実施形態２に係る検査方法を例示したフローチャート図である。 実施形態２に係る検査方法により測定した偏芯量を例示したグラフであり、横軸は回転角度で示した端部の位置であり、縦軸は光軸上の対物レンズの位置が示す偏芯量である。 実施形態２に係る検査方法により補正した偏芯量を例示したグラフであり、横軸は回転角度で示した端部の位置であり、縦軸は対物レンズの光軸における位置が示す偏芯量である。

以下、本実施形態の具体的構成について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施の形態を示すものであって、本発明の範囲が以下の実施の形態に限定されるものではない。以下の説明において、同一の符号が付されたものは実質的に同様の内容を示している。

（実施形態１）
本実施形態に係る検査装置１の構成の概要を説明する。図１は、実施形態１に係る検査装置を例示した構成図である。図１に示すように、本実施形態に係る検査装置１は、テーブル１０、θ軸モータ１５、制御部３０、センサ８９、光学系９０及び表面画像取得部９３を備えている。検査装置１は、テーブル１０の上面１１上に支持したウェハ４０の欠陥を検査する装置である。

テーブル１０は、上面１１を有し、上面１１上にウェハ４０を支持する。例えば、上面１１にウェハ４０を吸着させてウェハ４０を支持する。テーブル１０は、上面１１に直交する回転軸１４を有している。テーブル１０は、回転軸１４を中心にして回転する。これにより、上面１１上に支持されたウェハ４０も、回転軸１４を中心にして回転する。回転軸１４を通り、回転軸１４に直交する方向を、径方向とよぶ。

θ軸モータ１５（第１駆動部）は、回転軸１４を中心にテーブル１０を回転させる。θ軸モータ１５は、例えば、テーブル１０の下方に設けられている。θ軸モータ１５の駆動は、制御部３０からの制御信号により制御されている。

センサ８９は、テーブル１０に取付けられている。センサ８９は、例えば、テーブル１０に取付けられたエンコーダである。センサ８９は、テーブル１０の回転角度をセンスする。センサ８９は、センスしたテーブル１０の回転角度の情報を、制御部３０に対して出力する。

光学系９０は、光源９１及び対物レンズ９２を有している。また、光学系は、複数のレンズ及びハーフミラー等の光学部材を有している。

光源９１は、ウェハ４０の表面４１を照明する照明光（以下、表面照明光という。）を生成する。光源９１は、例えば、キセノンランプである。なお、光源９１は、キセノンランプに限らない。対物レンズ９２は、表面照明光がウェハ４０の表面４１によって反射した反射光（以下、表面反射光という。）を集光する。対物レンズ９２の光軸９９は、例えば、ウェハ４０の表面４１に直交する方向となっている。

表面画像取得部９３は、対物レンズ９２により集光した表面反射光を検出することによって、ウェハ４０の表面４１の画像を撮像する。表面画像取得部９３は、例えば、ウェハ４０の周縁に沿った周方向を一方の辺とし、周方向に直交する径方向を他方の辺とした表面４１の画像を撮像する。表面画像取得部９３は、例えば、撮像カメラにおけるイメージセンサである。表面画像取得部９３は、撮像したウェハ４０の表面４１の画像における画像データを制御部３０に出力する。

制御部３０は、表面画像取得部９３が撮像したウェハ４０の表面４１における画像の画像データを受け取る。そして、制御部３０は、受け取った画像の画像データを処理してウェハ４０の欠陥を検査する。例えば、制御部３０は、テーブル１０の回転角度に基づいて、画像がウェハ４０の表面４１に平行な面内で回転するように画像データを処理する。また、制御部３０は、ウェハ４０の表面４１に形成された所定のパターン９５のデータを除去した画像データから欠陥を検出する。

制御部３０は、表面画像取得部９３から受け取った表面４１の画像データに、所定の付加データを付加してもよい。例えば、制御部３０は、表面４１の画像データに、付加データとして、センサ８９によってセンスされたテーブル１０の回転角度を付加してもよい。

複数のレンズ及びハーフミラー等の光学部材は、光源９１により生成された表面照明光をウェハ４０の表面４１に導くとともに、ウェハ４０の表面４１で反射し、対物レンズ６０で集光された表面反射光を表面画像取得部９３まで導いている。

ウェハ４０は、表面４１及び裏面４２を有している。裏面４２がテーブル１０の上面１１に接している。ウェハ４０の表面４１には、パターン９５が形成されている。パターン９５は、例えば、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等の回路、金属配線、スクライブライン９６を含んでいる。このように、テーブル１０の上面１１上に支持されたウェハ４０には、スクライブライン９６を含む所定のパターン９５が形成されている。

図２は、実施形態１に係るウェハ４０の表面４１に形成されたパターン９５を例示した平面図である。図２に示すように、例えば、ウェハ４０の表面４１に形成されたパターン９５は、スクライブライン９６を含んでいる。また、ウェハ４０の端部４５の一部には、ノッチ４９が形成されている。ウェハ４０の中心４３からノッチ４９に向かう方向をＵ方向とし、Ｕ方向に直交する方向をＶ方向とする。スクライブライン９６は、例えば、Ｕ方向に平行なライン９６ｕがＶ方向に間隔を空けて並んで形成され、Ｖ方向に平行なライン９６ｖがＵ方向に間隔を空けて並んで形成されている。

次に、実施形態１に係る検査装置１の動作として、検査装置１を用いたウェハ４０の検査方法を説明する。図３は、実施形態１に係る検査方法を例示したフローチャート図である。

まず、図３のステップＳ１１及び図１に示すように、テーブル１０の上面１１上に所定のパターン９５が形成されたウェハ４０を支持する。例えば、テーブル１０の上面１１に吸着させて、ウェハ４０を上面１１上に支持する。テーブル１０は、上面１１に直交する回転軸１４を有し、回転軸１４を中心に回転する。

次に、図３のステップＳ１２に示すように、ウェハ４０が上面１１上に支持されたテーブル１０を回転させる。例えば、θ軸モータ１５を駆動させて、テーブル１０を、回転軸１４を中心にして回転させる。

このとき、図３のステップＳ１３に示すように、テーブル１０の回転角度をセンサ８９によってセンスする。例えば、図２に示すように、ウェハ４０の中心４３と、ノッチ４９とを結ぶ直線を基準線４７とする。また、ウェハ４０の中心４３と、ウェハ４０の表面４１における撮像する領域を示す撮像領域９７ｂとを結ぶ線を撮像線９８とする。センサ８９は、撮像線９８と、基準線４７との間の角度を回転角度としてセンスする。センサ８９は、センスした回転角度を制御部３０に出力する。

次に、図３のステップＳ１４に示すように、ウェハ４０の表面４１を表面照明光で照明する。例えば、光源９１が生成した表面照明光を用いて、パターン９５が形成されたウェハ４０の表面４１を照明する。

そして、図３のステップＳ１５に示すように、ウェハ４０の表面４１を照明した表面照明光が、ウェハ４０の表面４１によって反射した表面反射光を集光する。例えば、対物レンズ９２を用いて、表面反射光を集光する。

これによって、図３のステップＳ１６に示すように、ウェハ４０の表面４１の画像を撮像する。例えば、図２に示すように、ウェハ４０の表面４１の撮像領域９７ａ〜９７ｆ等における画像を撮像する。ウェハ４０の表面４１の画像は、ウェハ４０の周縁に沿った周方向を一方の辺とし、周方向に直交する径方向を他方の辺となっている。

図４（ａ）〜（ｆ）は、実施形態１に係る検査方法において、ウェハ４０の表面４１の画像を例示した図であり、図２の撮像領域９７ａ〜９７ｆの画像を例示している。図４（ａ）〜（ｆ）に示すように、撮像領域９７ａ〜９７ｆにおける画像は、ウェハ４０の周縁に沿った周方向を一方の辺とし、周方向に直交する径方向を他方の辺としている。例えば、図４（ａ）〜（ｆ）において、下辺を周方向の一方の辺とし、左辺を径方向の他方の辺としている。撮像領域９７ａ〜９７ｆにおける画像には、パターン９５が含まれている。パターン９５は、スクライブライン９６を有している。スクライブライン９６が、Ｕ方向に平行なライン９６ｕ及びＶ方向に平行なライン９６ｖを有している場合には、ライン９６ｕ及びライン９６ｖは、テーブル１０の回転角度に基づいて、撮像領域９７ａ〜９７ｆの一方の辺及び他方の辺に対して傾いている。

例えば、図２に示すように、基準線４７上の撮像領域９７ａにおける画像は、Ｕ方向に延びたライン９６ｕ及びＶ方向に延びたライン９６ｖを含んでいる。撮像領域９７ａは、基準線４７上に位置しているので、ライン９６ｕは、径方向の他方の辺（左辺）に平行であり、ライン９６ｖは、周方向の一方の辺（下辺）に平行となっている。

これに対して、回転角度が４５°の撮像線９８上の撮像領域９７ｂにおける画像において、ライン９６ｕは、周方向の一方の辺（下辺）に対して４５°傾き、ライン９６ｖは、径方向の他方の辺（左辺）に対して４５°傾いている。このように、撮像領域９７が撮像位置に位置したときのテーブル１０の回転角度に基づいて、ライン９６ｕ及びライン９６ｖの傾きは、異なっている。

次に、図３のステップＳ１７に示すように、撮像した表面の画像の画像データを処理する。具体的には、制御部３０は、撮像領域９７が撮像された位置におけるテーブル１０の回転角度に基づいて、画像がウェハ４０の表面４１に平行な面内で回転するように画像データを処理する。

図５（ａ）〜（ｅ）は、実施形態１に係る検査方法において、画像データを処理する過程を例示した図である。図６は、実施形態１に係る検査方法において、画像データの処理方法を例示したフローチャート図である。

図５（ａ）に示すように、ウェハ４０の表面４１の画像は、ウェハ４０の周縁に沿った周方向を一方の辺（下辺）とし、周方向に直交する径方向を他方の辺（左辺）としている。この場合には、撮像された画像の画像データに含まれるパターン９５のうち、ライン９６ｕ及びライン９６ｖは、一方の辺（下辺）及び他方の辺（左辺）に対して、テーブル１０の回転角度に基づいて、傾いている。

まず、図６のステップＳ２１及び図５（ｂ）に示すように、制御部３０は、画像データを回転角度に基づいて、ウェハ４０の表面４１に平行な面内で回転するように処理する。そうすると、画像におけるライン９６ｕ及びライン９６ｖは、回転角度だけ回転するようになる。これにより、ライン９６ｕ及びライン９６ｖは、一方の辺（下辺）及び他方の辺（左辺）に平行または直交するようになる。また、ライン９６ｕ及びライン９６ｖに限らず、ウェハ４０において、Ｕ方向及びＶ方向に平行または直交するパターン９５も、一方の辺（下辺）及び他方の辺（左辺）に平行または直交するようになる。

次に、図６のステップＳ２２及び図５（ｃ）に示すように、一方の辺（下辺）及び他方の辺（左辺）に平行または直交する所定のパターン９５を抽出する。すなわち、ウェハ４０におけるＵ方向及びＶ方向に平行または直交するパターン９５を抽出する。所定のパターン９５には、ライン９６ｕ及びライン９６ｖも含まれている。なお、所定のパターン９５には、ライン９６ｕ及びライン９６ｖ以外のパターン９５であって、Ｕ方向及びＶ方向に延びたＬＳＩ、金属配線等のパターン９５が含まれてもよい。

次に、図６のステップＳ２３及び図５（ｄ）に示すように、制御部３０は、図６のステップＳ２２及び図５（ｃ）で抽出したパターン９５を除去する。これにより、画像データから、所定のパターン９５のデータが除去される。

そして、図６のステップＳ２４及び図５（ｅ）に示すように、ステップＳ２１において回転させた回転角度だけ逆方向に回転させて、画像データを元に戻す。このようにして、制御部３０は、画像データを処理する。これにより、所定のパターン９５のデータが除去された画像データを得ることができる。

次に、図３のステップＳ１８に示すように、制御部３０は、ウェハ４０の画像データからウェハ４０の欠陥を検出する。ウェハ４０の画像データは、所定のパターン９５のデータを除去したものである。よって、ウェハ４０の欠陥を、パターン９５と混同せず、パターン９５と分離させて検出することができる。ウェハ４０の欠陥は、例えば、表面反射光による明視野観察に基づいた画像データの解析で行う。なお、ウェハ４０の欠陥の検出は、明視野観察に基づいた解析に限らない。

次に、実施形態１に係る検査装置１及び検査方法の効果を説明する。
実施形態１に係る検査装置１は、テーブル１０の回転角度に基づいて、所定のパターン９５が形成されたウェハ４０の画像を、ウェハ４０の表面４１に平行な面内で回転するように画像データを処理し、所定のパターン９５のデータを除去した画像データから欠陥を検出している。スクライブライン９６及びパターン９５の多くは、Ｕ方向及びＶ方向に沿って配置されているので、パターン９５が形成されたウェハ４０の欠陥を検査する際に、パターン９５と、欠陥との分離を容易にし、パターン９５が形成されたウェハ４０の欠陥を高精度で検査することができる。

また、表面４１の画像が撮像された位置におけるテーブル１０の回転角度は、画像の撮像時に、センサ８９から制御部３０に出力されている。よって、画像の処理を短時間で行うことができ、ウェハ４０の欠陥の検出時間を短縮することができる。

（実施形態２）
次に、実施形態２に係る検査装置及び検査方法を説明する。図７は、実施形態２に係る検査装置の概要を例示した構成図である。図７に示すように、本実施形態に係る検査装置２は、テーブル１０、θ軸モータ１５、制御部３０の他、光学系２０、Ｚ軸モータ２５を備えている。検査装置２は、テーブル１０に支持したウェハ４０の偏芯量を測定し、偏芯量を補正する装置である。

テーブル１０は、上面１１に垂直な方向の回転軸１４を有し、上面１１上にウェハ４０を支持することは、実施形態１と同様である。

ウェハ４０は、表面４１及び裏面４２を有し、裏面４２が上面１１に接している。ウェハ４０は、ウェハ４０の中心４３を通り、表面４１及び裏面４２に直交する中心軸４４を有している。ウェハ４０がテーブル１０上に保持された場合に、ウェハ４０の中心４３と、テーブル１０の回転軸１４との間に位置のズレが生じる場合がある。このように、回転軸１４に対して中心４３がズレることを偏芯しているという。例えば、回転軸１４と、中心４３との間の偏芯量は１００μｍである。

θ軸モータ１５（第１駆動部）は、回転軸１４を中心にテーブル１０を回転させる。θ軸モータ１５は、例えば、テーブル１０の下方に設けられている。θ軸モータ１５の駆動は、制御部３０からの制御信号により制御されている。

センサ８９は、例えば、エンコーダであり、テーブル１０に取付けられている。センサ８９は、テーブル１０の回転角度をセンサする。センサ８９は、センスしたテーブル１０の回転角度の情報を、制御部３０に対して出力する。

光学系２０は、光源５０、対物レンズ６０、撮像部７０及びオートフォーカス光学系８０を有している。また、光学系２０は、複数のレンズ及びハーフミラー等の光学部材を有している。

光源５０は、ウェハ４０の端部４５を照明する照明光（以下、端部照明光という。）を生成する。光源５０は、例えば、キセノンランプである。なお、光源５０は、キセノンランプに限らない。対物レンズ６０は、端部照明光が端部４５によって反射した反射光（以下、端部反射光という。）を集光する。対物レンズ６０の光軸６４は、テーブル１０の回転軸１４に直交する径方向となっている。径方向のうち、対物レンズ６０の光軸６４と略一致した方向をＺ軸方向とよぶ。Ｚ軸方向をフォーカス方向ともいう。Ｚ軸方向のうち、回転軸１４から対物レンズ６０へ向かう方向を＋Ｚ軸方向とし、その逆方向を−Ｚ軸方向とする。

対物レンズ６０には、Ｚ軸モータ２５（第２駆動部）が取り付けられている。Ｚ軸モータ２５は、対物レンズ６０を光軸６４方向、すなわち、Ｚ軸方向に移動させる。Ｚ軸モータ２５の駆動は、制御部３０からの制御信号により制御されている。また、Ｚ軸モータ２５は、光軸６４方向における対物レンズ６０の位置に関する情報を、例えば、エンコーダにより、制御部３０に対して出力する。

撮像部７０は、対物レンズ６０により集光した端部反射光を検出することによって、ウェハ４０の端部４５の画像を撮像する。撮像部７０は、例えば、撮像カメラにおけるイメージセンサである。撮像部７０は、撮像した端部４５の画像を制御部３０に出力する。

オートフォーカス光学系８０は、撮像部７０においてウェハ４０の端部４５の画像の焦点（ピント）が合う位置であって、光軸６４方向における対物レンズ６０の位置を導き出す。そして、オートフォーカス光学系８０は、導き出した対物レンズ６０の位置の情報を制御部３０に対して出力する。

複数のレンズ及びハーフミラー等の光学部材は、光源５０により生成された端部照明光をウェハ４０の端部４５に導くとともに、端部４５で反射し、対物レンズ６０で集光された端部反射光を撮像部７０まで導いている。

制御部３０は、θ軸モータ１５及びＺ軸モータ２５の駆動を制御する。制御部３０は、θ軸モータ１５を駆動させて、テーブル１０を所定の回転速度で回転させる。これにより、制御部３０は、画像を撮像したときのウェハ４０の端部４５の位置を導く出すことができる。また、制御部３０は、オートフォーカス光学系８０から対物レンズ６０の位置の情報を受信する。そして、制御部３０は、Ｚ軸モータ２５を駆動させて、オートフォーカス光学系８０が導いた位置に対物レンズ６０を移動させる。

テーブル１０の回転に伴って、ウェハ４０も回転する。テーブル１０の回転軸１４と、ウェハ４０の中心４３とが偏芯している場合には、ウェハ４０の回転に伴って、Ｚ軸上における端部４５の位置が変化する。オートフォーカス光学系８０は、端部４５の画像の焦点（ピント）のズレ、または、補助光の照射等から、Ｚ軸上における端部４５の位置の変化を感知する。そして、オートフォーカス光学系８０は、端部４５の画像の焦点が合う対物レンズ６０の位置を導き、その位置の情報を制御部３０に出力する。制御部３０は、オートフォーカス光学系８０から受信した位置の情報に基づいて、対物レンズ６０の位置を移動させる。ウェハ４０が回転し続けることによって、Ｚ軸上の端部４５の位置が変化する。オートフォーカス光学系８０は、その変化に追随するように対物レンズ６０の位置を制御部３０に対して出力する。制御部３０は、オートフォーカス光学系８０から受信した位置に対物レンズ６０を追随させる。このようにして、制御部３０は、対物レンズ６０の位置のフィードバック制御を行う。

制御部３０は、また、撮像部７０から受信した端部４５の画像のデータに、所定の付加データを付加する。付加データは、例えば、画像を撮像したときのウェハ４０の端部４５の回転角度で示した位置及び光軸６４方向における対物レンズ６０の位置を含んでいる。また、制御部３０は、表面画像取得部９３から受信した表面４１の画像のデータに、所定の付加データを付加してもよい。付加データは、センサ８９によってセンスされたテーブル１０の回転角度を含んでいる。なお、付加データは、これらに限らない。制御部３０、例えば、ＰＣ（Personal Computer）である。光学系９０及び表面画像取得部９３の構成は、実施形態１と同様であるので説明を省略する。

次に、実施形態２に係る検査装置２の構成の詳細を説明する。図８は、実施形態２に係る検査装置２を例示した構成図である。図８に示すように、テーブル１０は、Ｒ軸テーブル１３、ガイド１６ａ及び１６ｂ、θ軸テーブル１７及び真空チャック１８を有している。また、制御部３０は、軸制御処理部３１、カメラ制御部３２、オートフォーカス制御部３３及びデータ処理部３４を有している。なお、図８においては、光学系９０及び表面画像取得部９３を省略している。

Ｒ軸テーブル１３は、ガイド１６ａ及び１６ｂ上に設けられている。ガイド１６ａ及び１６ｂは、例えば、ステージ上に固定され、対物レンズ６０の光軸６４方向と同じ方向、すなわち、Ｚ軸方向に延びている。Ｒ軸テーブル１３は、ガイド１６ａ及び１６ｂに沿って移動することにより、テーブル１０上に支持されたウェハ４０をＺ軸方向に沿って移動させることができる。このように、Ｒ軸テーブル１３は、テーブル１０を移動させる移動手段となるものである。なお、偏芯量を補正できるように移動できれば、ガイド１６ａ及び１６ｂの延びる方向、並びに、Ｒ軸テーブル１３の移動は、Ｚ軸方向に限らない。

Ｒ軸テーブル１３は、Ｒ軸モータ１２の駆動により移動する。Ｒ軸モータ１２の駆動は、Ｒ軸モータドライバ１９を介して、制御部３０における軸制御処理部３１により制御される。例えば、Ｒ軸テーブル１３の移動開始、移動停止、移動速度の変更は、Ｒ軸モータドライバ１９を介して、制御部３０がＲ軸モータ１２を制御することにより行われる。また、Ｒ軸モータ１２は、テーブル１０の位置に関する情報を、例えば、エンコーダにより、制御部３０に対して出力する。

θ軸テーブル１７は、Ｒ軸テーブル１３上に設けられている。θ軸テーブル１７は、テーブル１０における回転する部材であり、回転軸１４を中心にして回転する。θ軸テーブル１７は、θ軸モータ１５の駆動により回転する。

真空チャック１８は、θ軸テーブル１７上に設けられている。真空チャック１８は、テーブル１０の上面１１に載置されたウェハ４０を吸着して、ウェハ４０をテーブルに支持する。

θ軸モータ１５は、θ軸テーブル１７を回転させる。θ軸モータ１５の駆動は、θ軸モータドライバ１９ａを介して、制御部３０における軸制御処理部３１により制御される。例えば、θ軸テーブル１７の回転開始、回転停止、回転速度の変更は、θ軸モータドライバ１９ａを介して、制御部３０がθ軸モータ１５を制御することにより行われる。

ウェハ４０は、テーブル１０の上面１１上に、真空チャック１８により支持されている。ウェハ４０の裏面４２が真空チャック１８に吸着されている。ウェハ４０の表面４１において、回転軸１４との交点を回転中心４６とする。偏芯している場合には、中心４３と回転中心４６との間にはズレが生じている。

ウェハ４０の表面において、回転中心４６からノッチ４９の方向へ延ばした直線を基準線４７とする。ウェハ４０の任意の端部４５の位置を、その端部４５から回転中心４６までを結ぶ直線と、基準線４７との間の回転角度θによって規定する。したがって、ウェハ４０の端部４５は、全周にわたる０°〜３６０°までの回転角度θで対応付けることができる。

基準線４７に対応した端部４５の回転角度で示した位置は、０°である。基準線４７から３０°回転した直線に対応した端部４５の回転角度で示した位置は、３０°である。測定開始時に、基準線４７に対応した０°の回転角度で示した位置の端部４５を撮像したとする。そうすると、テーブル１０の回転に伴って、撮像する端部４５の回転角度で示した位置は、０°から回転角度θが増加する。そして、撮像する端部４５の回転角度で示した位置が３６０°になったとき、ウェハ４０は一回転したことになる。

軸制御処理部３１は、センサ８９による回転の情報から、表面４１及び端部４５の画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置情報を取得し、データ処理部３４に転送する。データ処理部３４は受信した位置の情報を付加データとして保存する。

ウェハ４０の端部４５にべベル面が形成されていてもよい。撮像部７０は、ベベル面を含めた端部４５を撮像してもよいし、ベベル面の間の端面を撮像してもよい。

光学系２０には、フォーカス移動軸２１が取り付けられている。フォーカス移動軸２１は、対物レンズ６０を、対物レンズ６０の光軸６４方向、すなわち、Ｚ軸方向に移動させる。フォーカス移動軸２１は、Ｚ軸モータ２５の駆動により作動する。Ｚ軸モータ２５の駆動は、モータドライバ２９を介して、制御部３０における軸制御処理部３１により制御される。例えば、フォーカス移動軸２１の移動開始、移動停止、移動速度の変更は、モータドライバ２９を介して、制御部３０がＺ軸モータ２５を制御することにより行われる。

図９は、実施形態２に係る光学系を例示した構成図である。図８及び９に示すように、光学系２０は、光源５０、対物レンズ６０、撮像部７０、オートフォーカス光学系８０並びにレンズ及びハーフミラー等の光学部材を有している。

光源５０で生成された端部照明光は、ハーフミラー２２ａで反射され、レンズ２３ａを透過する。例えば、レンズ２３ａはｆ８０のレンズである。レンズ２３ａを透過した端部照明光は、ハーフミラー２２ｂで反射され、レンズ２３ｂを透過する。例えば、レンズ２３ｂはｆ５０のレンズである。レンズ２３ｂを透過した端部照明光は、対物レンズ６０で集光されて、ウェハ４０の端部４５を照明する。例えば、対物レンズ６０は、ｆ２０である。

一方、ウェハ４０の端部４５で反射した端部反射光は、対物レンズ６０で集光される。そして、対物レンズ６０で集光された端部反射光は、レンズ２３ｂを透過し、ハーフミラー２２ｂに入射する。ハーフミラー２２ｂに入射した端部反射光の一部は、オートフォーカス光学系８０に入射する。

オートフォーカス光学系８０は、例えば、レンズ２３ｃ、ハーフミラー２２ｃ及びフォトダイオード（ＰＤ：Photodiode）２４ａ及び２４ｂを有し、位相差オートフォーカス方式で焦点を合わせる。

位相差オートフォーカス方式では、例えば、レンズ２３ｃから入った端部反射光をハーフミラー２２ｃで２つに分離し、フォトダイオード２４ａ及び２４ｂに導く。フォトダイオード２４ａ及び２４ｂで結像した２つの画像からピントの方向と量を判断する。これにより、対物レンズ６０を＋Ｚ軸方向または−Ｚ軸方向に移動させる量を導き出す。なお、オートフォーカス光学系８０は、位相差オートフォーカス方式に限らない。コントラスト方式、補助光方式、コンフォーカル方式でもよい。

このようにして、オートフォーカス光学系８０は、撮像部７０において端部４５の画像の焦点が合う対物レンズ６０の位置を導く。そして、オートフォーカス光学系８０は、導いた対物レンズ６０の位置を制御部３０のオートフォーカス制御部３３に出力する。オートフォーカス制御部３３は、オートフォーカス光学系８０から受信した対物レンズ６０の位置の情報を軸制御処理部３１に転送する。軸制御処理部３１は、受信した位置の情報に基づいて対物レンズ６０の位置を移動させる。ウェハ４０の回転に伴って、Ｚ軸上の端部４５の位置が変化する。その変化に追随するように、制御部３０は、対物レンズ６０の位置を移動させる。このようにして、制御部３０は、フィードバック制御を行う。

オートフォーカス制御部３３は、オートフォーカス光学系８０から受信した対物レンズ６０の位置の情報をデータ処理部３４に転送する。データ処理部３４は受信した対物レンズ６０の位置の情報を付加データとして保存する。

ハーフミラー２２ｂに入射した端部反射光の一部は、ハーフミラー２２ｂで反射する。そして、端部反射光は、レンズ２３ａを透過し、ハーフミラー２２ａに入射する。ハーフミラー２２ａに入射した端部反射光の一部は、ハーフミラー２２ａを透過し、撮像部７０に入射する。撮像部７０は、入射した端部反射光を検出する。これにより、撮像部７０は、端部４５の画像を取得する。

撮像部７０は、例えば、撮像カメラにおけるイメージセンサである。例えば、撮像部７０は、リニア状に一方向に並んだ複数の画素７１を含んでいる。例えば、リニア状に、１０２４ピクセルの画素７１が並んでいる。例えば、０番目から１０２３番目までの画素７１が並んでいる。一方向に並んだ複数の画素７１は、ウェハ４０の端部４５を回転軸１４方向に沿って撮像する。例えば、０番目の画素７１は、端部４５の回転軸１４方向に延びた領域の最も裏面４２側の部分を撮像し、１０２３番目の画素７１は、最も表面４１側の部分を撮像する。すなわち、小さい番号の画素７１ほど、裏面４２側の部分を撮像し、大きい番号の画素７１ほど、表面４１側の部分を撮像する。なお、小さい番号の画素７１ほど表面４１側の部分を撮像するようにしてもよい。このように、撮像部７０は、ウェハ４０の端部４５の回転軸１４方向に沿って延びた領域の画像を取得する。撮像部７０は、取得した画像の情報を制御部３０のカメラ制御部３２に出力する。

カメラ制御部３２は、撮像部７０が撮像した画像のデータを受信する。カメラ制御部３２は、受信した画像のデータをデータ処理部３４に転送する。カメラ制御部３２は、撮像部７０の撮像の開始、終了、その他の撮像に関する動作を制御する。

データ処理部３４は、端部４５の画像のデータに、付加データを付加する。画像データは、１０２４ピクセルの画素７１に対応したデータとなっている。ひとつの画素７１のデータは、例えば、１６ビットのデータとなっている。データ処理部３４は、画像のデータに数ピクセル分の付加データを付加する。例えば、データ処理部３４は、付加データとして、画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置（θ角度で対応付けられたデータ）と、対物レンズ６０の位置（フォーカス軸における位置のデータ）とを付加する。また、データ処理部３４は、ウェハ４０の表面４１の撮像領域を撮像したときの回転角度を付加する。データ処理部３４は、画像の撮像に同期させて、付加データを付加する。なお、付加データは、画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置及び対物レンズ６０の位置に限らない。

次に、実施形態に係る検査装置１の動作として、検査方法を説明する。図１０は、実施形態２に係る検査方法を例示したフローチャート図である。

まず、図１０のステップＳ３１及び図７〜図９に示すように、テーブル１０の上面１１上に、測定対象となるウェハ４０を支持する。例えば、真空チャック１８により、テーブル１０の上面１１上にウェハ４０を吸着させる。これにより、回転軸１４を有するテーブル１０上にウェハ４０が支持される。ウェハ４０の表面４１には、所定のパターン９５が形成されている。所定のパターン９５には、スクライブライン９６が含まれる。なお、ウェハ４０としては、シリコンウェハに限らない。

次に、図１０のステップＳ３２に示すように、ウェハ４０を支持したテーブル１０を回転させる。具体的には、制御部３０における軸制御処理部３１を起動させ、θ軸モータドライバ１９ａに対して、θ軸モータ１５を駆動させる制御信号を出力させる。これにより、θ軸モータドライバ１９ａは、θ軸モータ１５を駆動させて、テーブル１０の上面１１に直交する回転軸１４を中心に回転するテーブル１０を、所定の回転速度で回転させる。

制御部３０は、テーブル１０の回転角度をセンスするセンサ８９から、表面４１及び端部４５の画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置情報を取得する。例えば、軸制御処理部３１により、表面４１及び端部４５の画像を撮像したときの端部４５の位置情報を取得する。取得した位置情報をデータ処理部３４に転送し、付加データとして保存する。

θ軸テーブル１７の回転により、θ軸テーブル１７に支持されたウェハ４０も回転する。このとき、θ軸テーブル１７の回転軸１４と、ウェハ４０の中心４３との間にズレが発生する場合があり、このズレを偏芯量ということは上述したとおりである。

次に、光学系２０を構成する光学部材を所定の位置に配置させる。すなわち、光源５０により生成された端部照明光がウェハ４０の端部４５を照明するとともに、端部照明光が端部４５によって反射された端部反射光を対物レンズ６０で集光するようにする。また、対物レンズ６０の光軸６４を、テーブル１０の回転軸１４の径方向に合わせる。その方向をＺ軸方向とするとともに、対物レンズ６０をウェハ４０の端部４５に対向させる。

次に、図１０のステップＳ３３に示すように、ウェハ４０の端部４５を端部照明光で照明する。具体的には、光源５０を起動させて、端部照明光を生成し、テーブル１０の上面１１上に支持されたウェハ４０の端部４５を照明光で照明する。また、このとき、前述したように、ウェハ４０の表面４１を表面照明光で照明してもよい。

そして、図１０のステップＳ３４に示すように、端部照明光が端部４５によって反射した端部反射光を対物レンズ６０で集光する。このとき、表面照明光が表面４１によって反射した表面反射光を対物レンズ９２で集光してもよい。

次に、対物レンズ６０で集光された端部反射光の一部を、オートフォーカス光学系８０に到達させる。そして、端部４５の画像の焦点を合わせるオートフォーカスにより、撮像部７０において端部４５の画像の焦点が合う対物レンズ６０の位置を導く。そして、導いた対物レンズ６０の位置まで、対物レンズ６０を光軸６４方向、すなわちＺ軸方向に移動させる。

また、対物レンズ６０の位置の情報を取得する。例えば、オートフォーカス制御部３３により、撮像部７０において端部４５の画像の焦点が合う対物レンズ６０の位置の情報を取得する。取得した位置情報をデータ処理部３４に転送し、付加データとして保存する。

一方、対物レンズ６０で集光された端部反射光の一部を、撮像部７０に到達させる。そして、対物レンズ６０により集光した端部反射光を撮像部７０で検出することによって、図１０のステップＳ３５に示すように、ウェハ４０の端部４５の画像を撮像する。また、このとき、前述したように、ウェハ４０の表面４１の画像を撮像してもよい。

次に、撮像部７０が撮像した端部４５の画像のデータを制御部３０に出力する。そして、制御部３０において、撮像部７０から受信した端部４５の画像のデータに、所定の付加データを付加する。例えば、付加データとして、端部４５の画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置、及び、光軸６４方向における対物レンズ６０の位置を含むようにする。さらに、表面４１の画像を撮像したときの撮像領域の回転角度で示した位置を含むようにしてもよい。

また、実施形態２の検査装置２においても、実施形態１の検査装置１と同様に、所定のパターン９５のデータを除去した画像データから欠陥を検出する。

図１１は、実施形態２に係る検査方法により測定した偏芯量を例示したグラフであり、横軸は回転角度で示した端部の位置（角度θに対応した位置）であり、縦軸は光軸上の対物レンズの位置が示す偏芯量である。点線は、偏芯がない理想的な場合を示している。

図１１に示すように、回転角度で示した端部４５の位置によって、光軸６４上の対物レンズ６０の位置が変化している。例えば、図１１に示すように、０°及び１８０°の回転角度に対応した端部４５を撮像した時の対物レンズ６０の位置は、偏芯が小さい理想的な位置となっている。一方、９０°の回転角度に対応した端部４５を撮像した時の対物レンズ６０の位置は、＋Ｚ軸方向に大きく変化しており、２７０°の回転角度に対応した端部４５を撮像した時の対物レンズ６０の位置は、逆に−Ｚ軸方向に大きく変化している。

次に、図１０のステップＳ３６に示すように、偏芯量を算出する。具体的には、制御部３０は、ウェハ４０を一回転させたときの光軸６４方向における対物レンズ６０の位置に基づいて、回転軸１４とウェハ４０との偏芯量を算出する。例えば、制御部３０は、回転軸１４と中心４３との間の偏芯量として、対物レンズ６０の位置における（最大値＋最小値）／２の値を算出する。このようにして、検査装置２は、偏芯量を測定する。

次に、図１０のステップＳ３７に示すように、算出した偏芯量に基づきテーブル１０を移動させて、偏芯量を補正する。具体的には、制御部３０は、検査装置２で測定した偏芯量に基づいて、テーブル１０を移動させることにより偏芯量を補正する。制御部３０の軸制御処理部３１は、データ処理部３４に保存してある回転角度θに対応した端部４５の位置における偏芯量を打ち消すように、すなわち、回転角度θに対応した端部４５の位置における偏芯量と逆方向の移動量となるように、Ｒ軸テーブル１３を光軸６４方向に移動させる。例えば、９０°の回転角度に対応した端部４５が撮像する位置にきたときには、Ｒ軸テーブル１３を−Ｚ軸方向に移動させる。また、２７０°の回転角度に対応した端部４５が撮像する位置にきたときには、Ｒ軸テーブル１３を＋Ｚ軸方向に移動させる。Ｒ軸テーブル１３の駆動は、Ｒ軸モータドライバ１９を介して制御部３０により制御される。なお、フィードバック制御においては、Ｒ軸テーブルの駆動及びＺ軸方向への対物レンズ６０の駆動における応答の遅れ分を考慮した付加データを使用することができる。

図１２は、実施形態２に係る補正方法により補正した偏芯量を例示したグラフであり、横軸は回転角度で示した端部の位置であり、縦軸は対物レンズの光軸における位置が示す偏芯量である。図１２に示すように、偏芯量を打ち消すようにテーブル１０をＺ軸方向に移動させることにより、偏芯量を抑制することができる。

次に、実施形態２に係る検査装置２及び検査方法の効果を説明する。
ウェハ４０に存在する欠陥を検出するためには、欠陥の位置を精度よく検出することが重要である。検査装置２は、オートフォーカスにより導いた対物レンズ６０の位置から、ウェハ４０の偏芯量を算出している。これにより、ウェハ４０に存在する欠陥の位置を、偏芯量を考慮して高精度で検出することができる。

また、画像データに、欠陥を検出した撮像領域９７を撮像したときの位置を付加している。これにより、欠陥の位置を精度よく特定することができる。また、データの付加は、撮像と同時に行われるので、データの取得に要する時間を短縮することができる。

検査装置２は、オートフォーカスにより導いた対物レンズ６０の位置から、ウェハ４０の偏芯量を算出している。これにより、ウェハ４０の偏芯量を精度よくかつ低コストで測定することができる。

また、画像データに、端部４５の画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置と、光軸６４方向における対物レンズ６０の位置と、を付加している。これにより、端部４５の画像を撮像したときの端部４５の回転角度で示した位置と、光軸方向における対物レンズ６０の位置とを対応させることができる。また、データの付加は、撮像と同時に行われるので、データの取得に要する時間を短縮することができる。

さらに、撮像部７０は一方向に並んだ複数の画素７１を含むようにし、端部４５を回転軸１４方向に沿って撮像している。よって、端部４５を細かく撮像することができ、偏芯量の精度をより向上させることができる。

付加データに、端部４５の位置及び対物レンズ６０の位置以外のデータを付加することもでき、これにより、種々のデータを画像データに付加することができる。

検査装置２においては、ウェハの周囲を撮像する場合には、例えば、５２５枚の画像が撮像される。一方、１４μｍの幅のピクセルを１０２４個一列に配置した撮像部７０を６０ｋＨｚで動作させているので、５２５枚×１０２４ライン÷６０より、８．９６秒で１回転させることにより、ウェハ４０の端部４５の画像と、画像を撮像したときの端部４５の位置及び光軸６４方向における対物レンズ６０の位置を得ることができる。よって、偏芯量の測定に要する時間を短縮することができる。

また、検査装置２を、そのまま偏芯量の補正に用いることができるので、ウェハ４０の偏芯量の補正に要する時間を短縮することができる。また、検査装置２を用いて偏芯量を抑制したウェハ４０のスキャンをすることができる。

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態よる限定は受けない。

１、２ 検査装置
１０ テーブル
１１ 上面
１２ Ｒ軸モータ
１３ Ｒ軸テーブル
１４ 回転軸
１５ θ軸モータ（第１駆動部）
１６ａ、１６ｂ ガイド
１７ θ軸テーブル
１８ 真空チャック
１９ Ｒ軸モータドライバ
１９ａ θ軸モータドライバ
２０ 光学系
２１ フォーカス移動軸
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ ハーフミラー
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ レンズ
２４ａ、２４ｂ フォトダイオード
２５ Ｚ軸モータ（第２駆動部）
２９ モータドライバ
３０ 制御部
３１ 軸制御処理部
３２ カメラ制御部
３３ オートフォーカス制御部
３４ データ処理部
４０ ウェハ
４１ 表面
４２ 裏面
４３ 中心
４４ 中心軸
４５ 端部
４６ 回転中心
４７ 基準線
４９ ノッチ
５０ 光源
６０ 対物レンズ
６４ 光軸
７０ 撮像部
７１ 画素
８０ オートフォーカス光学系
８９ センサ
９０ 光学系
９１ 光源
９２ 対物レンズ
９３ 表面画像取得部
９５ パターン
９６ スクライブライン
９６ｕ、９６ｖ ライン
９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄ、９７ｅ、９７ｆ 撮像領域
９８ 撮像線
９９ 光軸

Claims (10)

1. 上面に直交する回転軸を中心に回転するテーブルの前記上面上に、所定のパターンが形成されたウェハを支持し、
   前記ウェハが支持された前記テーブルを回転させ、
   前記テーブルの回転角度をセンスし、
   前記ウェハの表面を照明した表面照明光が、前記表面によって反射した表面反射光を集光することによって、前記ウェハの周縁に沿った周方向を一方の辺とし、前記周方向に直交する径方向を他方の辺とした前記表面の画像を撮像し、
   撮像した前記表面の画像データを処理する際に、
   前記回転角度に基づいて前記表面の画像が前記表面に平行な面内で回転するように前記画像データを処理し、前記所定のパターンのデータを除去した前記画像データから欠陥を検出し、
   前記テーブルの前記上面上に支持された前記ウェハの端部を照明する端部照明光で前記端部を照明し、
   前記端部照明光が前記端部によって反射した端部反射光を対物レンズで集光し、
   前記対物レンズにより集光された前記端部反射光を検出することによって前記端部の画像を撮像し、
   オートフォーカス光学系により、前記端部の画像の焦点が合う前記対物レンズの位置であって、前記対物レンズの光軸方向における位置を導き、
   前記オートフォーカス光学系が導いた前記位置に前記対物レンズを移動させ、
   前記端部の画像のデータに、所定の付加データを付加する、
   検査方法。
2. 前記付加データを、前記表面の画像を撮像したときの前記回転角度、前記端部の画像を撮像したときの前記端部の位置、及び、前記光軸方向における前記対物レンズの位置のうち少なくとも１つを含むようにする、
   請求項１に記載の検査方法。
3. 一方向に並んだ複数の画素によって、前記端部を前記回転軸方向に沿って撮像する、
   請求項１または２に記載の検査方法。
4. 前記ウェハを一回転させたときの前記光軸方向における前記対物レンズの位置に基づいて、前記回転軸と前記ウェハとの偏芯量を算出する、
   請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査方法。
5. 前記偏芯量に基づいて前記テーブルを移動させることにより、前記偏芯量を補正する、
   請求項４に記載の検査方法。
6. 上面に直交する回転軸を中心に回転するテーブルと、
   所定のパターンが形成されたウェハが前記上面上に支持された前記テーブルの回転角度をセンスするセンサと、
   前記ウェハの表面を照明する表面照明光が、前記表面によって反射した表面反射光を検出することによって、前記ウェハの周縁に沿った周方向を一方の辺とし、前記周方向に直交する径方向を他方の辺とした前記表面の画像を撮像する表面画像取得部と、
   前記表面画像取得部が撮像した前記表面の画像の画像データを処理して欠陥を検出する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、
   前記回転角度に基づいて前記表面の画像が前記表面に平行な面内で回転するように前記画像データを処理し、前記所定のパターンのデータを除去した前記画像データから欠陥を検出し、
   前記回転軸を中心に前記テーブルを回転させる第１駆動部と、
   前記ウェハの端部を照明する端部照明光を生成する光源と、
   前記端部照明光が前記端部によって反射した端部反射光を集光する対物レンズと、
   前記対物レンズを前記対物レンズの光軸方向に移動させる第２駆動部と、
   前記対物レンズにより集光された前記端部反射光を検出することによって前記端部の画像を撮像する撮像部と、
   前記撮像部において前記端部の画像の焦点が合う前記光軸方向における前記対物レンズの位置を導くオートフォーカス光学系と、
   をさらに備え、
   前記制御部は、
   前記第１駆動部及び前記第２駆動部を制御し、
   前記オートフォーカス光学系が導いた前記位置に前記対物レンズを移動させ、
   前記画像のデータに、所定の付加データを付加させる、
   検査装置。
7. 前記付加データは、前記表面の画像を撮像した時の前記回転角度、前記端部の画像を撮像したときの前記端部の位置、及び、前記光軸方向における前記対物レンズの位置のうち少なくとも１つを含む、
   請求項６に記載の検査装置。
8. 前記撮像部は、
   一方向に並んだ複数の画素を含み、
   前記複数の画素は、前記端部を前記回転軸方向に沿って撮像する、
   請求項６または７に記載の検査装置。
9. 前記制御部は、前記ウェハを一回転させたときの前記光軸方向における前記対物レンズの位置に基づいて、前記回転軸と前記ウェハとの偏芯量を算出する、
   請求項６〜８のいずれか一項に記載の検査装置。
10. 前記テーブルを移動させる移動手段をさらに有し、
    前記制御部は、前記偏芯量に基づいて前記テーブルを移動させる、
    請求項９に記載の検査装置。

Images