KR20180116406A

KR20180116406A - 검사용 정보 생성 장치, 검사용 정보 생성 방법, 및 결함 검사 장치

Info

Publication number: KR20180116406A
Application number: KR1020187027971A
Authority: KR
Inventors: 다카히로 우라노; 도시후미 혼다; 다카시 히로이; 노부아키 히로세
Original assignee: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
Priority date: 2016-05-23
Filing date: 2016-05-23
Publication date: 2018-10-24
Also published as: US11041815B2; WO2017203554A1; US20190154593A1

Abstract

검사용 정보 생성 장치는, 검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하는 설계 정보 취득부와, 상기 설계 정보를 이용하여, 복수의 후보 영역을 추출하는 후보 영역 추출부와, 상기 복수의 후보 영역의 화상을 촬상하는 촬상부와, 상기 복수의 후보 영역의 상기 화상을 이용하여, 상기 복수의 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 산출하는 유사도 산출부와, 상기 유사도 또는 거리를 이용하여, 상기 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 검사용 정보로서 결정하는 영역 결정부를 구비한다.

Description

검사용 정보 생성 장치, 검사용 정보 생성 방법, 및 결함 검사 장치

본 발명은 검사용 정보 생성 장치, 검사용 정보 생성 방법, 및 결함 검사 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼, 액정 디스플레이, 및 하드디스크 자기 헤드 등의 박막 디바이스는 다수의 가공 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 박막 디바이스의 제조에 있어서는, 수율 향상 및 안정화를 목적으로 하여, 몇 가지 일련의 공정마다 외관 검사가 실시된다.

특허문헌 1에는, 복수의 거의 동일 형상의 구조물이 배열된 피검사 대상물의 표면에 있어서, 참조 화상과 검사 화상을 바탕으로 결함을 검출하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는, 참조 화상을 인접 다이로부터 선택하는 다이 비교 방식과, 다이 내의 주기 패턴으로부터 선택하는 셀 비교 방식을 조합하여 고감도화를 실현하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 3에는, 설계 정보를 이용하여 식별한 반복 패턴부를 고감도로 검사하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 4에는, 다이 내에 복수 형성된 동일 레이아웃의 코어끼리를 비교함으로써 고감도화를 실현하는 방법이 개시되어 있다.

일본국 특개2000-105203호 공보 일본국 특개2002-313861호 공보 일본국 특개2012-063209호 공보 일본국 특표2010-529684호 공보

피검사 대상물인 반도체 웨이퍼에서는, CMP(Chemical Mechanical Polishing)에 의한 평탄화 등에 의한 막두께의 미묘한 차이, 패턴의 굵기, 및 표면 거칠기의 불균일 등에 의해, 인접 다이간의 화상에 국소적인 명도의 차이가 발생할 경우가 있다. 이에 대하여, 종래 방식에서는, 다이 내에 형성된 유사 레이아웃의 영역을 참조 화상으로서 사용함으로써, 상기의 국소적인 명도의 차이에 대응해 왔다.

참조 화상으로서 사용하는 유사 레이아웃의 영역을 설정하기 위해, 반도체 웨이퍼의 설계 정보가 이용된다. 그러나, 설계 정보 상에 있어서 유사한 레이아웃이었다고 해도, 촬상된 화상이 유사하지 않을 경우가 있다. 예를 들면, 광학식의 웨이퍼 검사 장치의 경우, 하층 패턴이나 주변 패턴으로부터의 산란광의 영향을 받기 쉽다. 이 경우, 결함 검출시의 화상끼리가 유사하지 않아, 허위 보고의 발생이나 결함의 간과가 발생할 가능성이 있다.

그래서, 본 발명은 상기 과제를 고려하여, 참조 화상으로서 사용하는 영역을 적절하게 설정하는 기술을 제공한다.

예를 들면, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구범위에 기재된 구성을 채용한다. 본원은 상기 과제를 해결하는 수단을 복수 포함하고 있지만, 그 일례를 들면, 검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하는 설계 정보 취득부와, 상기 설계 정보를 이용하여, 복수의 후보 영역을 추출하는 후보 영역 추출부와, 상기 복수의 후보 영역의 화상을 촬상하는 촬상부와, 상기 복수의 후보 영역의 상기 화상을 이용하여, 상기 복수의 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 산출하는 유사도 산출부와, 상기 유사도 또는 거리를 이용하여, 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 검사용 정보로서 결정하는 영역 결정부를 구비하는 검사용 정보 생성 장치가 제공된다.

또한, 다른 예에 의하면, 상기 검사용 정보 생성 장치와, 상기 검사용 정보를 저장하는 기억부와, 결함 검출을 행하는 결함 검출부를 구비하고, 상기 촬상부가, 상기 검사용 정보를 이용하여 상기 검사 영역의 제1 화상과 상기 참조 영역의 제2 화상을 촬상하고, 상기 결함 검출부가, 상기 제1 화상과 상기 제2 화상을 이용하여 결함 검출을 행하는 결함 검사 장치가 제공된다.

또한, 다른 예에 의하면, 설계 정보 취득부에 의해, 검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하는 스텝과, 후보 영역 추출부에 의해, 상기 설계 정보를 이용하여, 복수의 후보 영역을 추출하는 스텝과, 촬상부에 의해, 상기 복수의 후보 영역의 화상을 촬상하는 스텝과, 유사도 산출부에 의해, 상기 복수의 후보 영역의 상기 화상을 이용하여, 상기 복수의 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 산출하는 스텝과, 영역 결정부에 의해, 상기 유사도 또는 거리를 이용하여, 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 검사용 정보로서 결정하는 스텝을 포함하는 검사용 정보 생성 방법이 제공된다.

본 발명에 의하면, 참조 화상으로서 사용하는 영역을 적절하게 설정할 수 있다. 또한, 본 발명에 관련되는 추가적인 특징은, 본 명세서의 기술, 첨부 도면으로부터 분명해지는 것이다. 또한, 상기한 것 이외의, 과제, 구성 및 효과는, 이하의 실시예의 설명에 의해 분명해진다.

도 1은 결함 검사 장치의 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 2는 암시야 조명에 의한 촬상부의 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 3은 검사용 정보 생성부의 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 4는 후보 영역 추출부에서 추출되는 후보 영역의 일례를 나타낸 도면.
도 5a는 설계 정보의 일례를 나타낸 도면.
도 5b는 후보 영역의 촬상 화상의 일례를 나타낸 도면.
도 6은 결함 검출부의 구성의 일례를 나타낸 도면.
도 7은 검사용 정보의 결정과 결함 검출의 절차의 일례를 나타낸 도면.
도 8은 검사용 정보 생성부에 관한 유저 인터페이스의 일례를 나타낸 도면.
도 9는 결함 검출부에 관한 유저 인터페이스의 일례를 나타낸 도면.
도 10a는 후보 영역의 어긋남 보정의 일례를 나타낸 도면.
도 10b는 후보 영역의 어긋남 보정의 일례를 나타낸 도면.
도 11은 결함 검출부에서의 화상 어긋남을 보정하는 방법의 일례를 나타낸 도면.
도 12a는 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상의 어긋남을 보정하는 방법의 일례를 나타낸 도면.
도 12b는 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상의 어긋남을 보정하는 방법의 일례를 나타낸 도면.
도 13은 주사 위치의 조정의 일례를 나타낸 도면.
도 14는 후보 영역 추출의 효율화의 일례를 나타낸 도면.
도 15는 유사도 산출의 일례를 나타낸 도면.
도 16a는 주사 위치에 의존하지 않은 유사도 산출의 일례를 나타낸 도면.
도 16b는 주사 위치에 의존하지 않은 유사도 산출의 일례를 나타낸 도면.
도 17은 후보 영역의 그룹마다의 참조 영역 결정의 일례를 나타낸 도면.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 이용하여 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시예는 일례이며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 변형 실시하는 것이 가능하다. 또한, 1개의 예시적인 태양과 함께 도시 또는 기술되는 특색을, 다른 태양의 특색과 조합해도 된다.

[실시예 1]

이하에 있어서, 본 발명의 결함 검사 기술(결함 검사 방법 및 결함 검사 장치)의 실시예 1을 도 1∼도 9를 참조하여 설명한다. 본 실시예에서는, 패턴 검사 기술의 일례로서, 반도체 웨이퍼를 대상으로 한 암시야 조명에 의한 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법을 설명한다.

도 1은, 결함 검사 장치의 구성의 일례를 나타낸 도면이다. 결함 검사 장치는, 시료 표면에 존재하는 미소한 결함을 검사하는 장치이다. 결함 검사 장치는, 검사용 정보 생성부(101)와, 결함 검출부(102)와, 촬상부(103)와, 통신 버스(104)와, 제어부(105)와, 기억부(106)와, GUI(Graphical User Interface)(107)를 구비한다.

검사용 정보 생성부(101)는, 검사용 정보를 생성하는 처리부이다. 촬상부(103)는, 시료 표면의 화상을 촬상한다. 결함 검출부(102)는, 검사 영역의 화상(제1 화상)과 참조 영역의 화상(제2 화상)을 이용하여 시료 표면의 결함을 검출하는 처리부이다. 제어부(105)는, 결함 검사 장치에 있어서의 상기의 구성 요소를 제어하는 처리부이다.

또한, 각 처리부(101, 102, 105)는, 예를 들면, 범용의 컴퓨터(정보 처리 장치)에 의해 구성되어도 된다. 당해 정보 처리 장치는, 중앙 연산 처리 장치와, 보조 기억 장치와, 주기억 장치를 구비해도 된다. 예를 들면, 중앙 연산 처리 장치는, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서로 구성되어 있다. 예를 들면, 보조 기억 장치는 하드디스크이며, 주기억 장치는 메모리이다. 각 처리부(101, 102, 105)의 처리는, 그것들의 처리에 대응하는 프로그램 코드를 메모리에 저장하고, 프로세서가 각 프로그램 코드를 실행함으로써 실현되어도 된다.

검사용 정보 생성부(101)는, 통신 버스(104)를 통해 기억부(106)로부터 검사 대상의 시료의 설계 정보를 수취한다. 검사용 정보 생성부(101)는, 복수의 후보 영역을 추출한다. 여기에서의 복수의 후보 영역은, 검사 영역 및 복수의 참조 영역의 후보를 포함한다. 검사용 정보 생성부(101)는, 촬상부(103)에서 취득한 복수의 후보 영역의 화상을 이용하여 산출한 유사도에 의거하여, 복수의 후보 영역으로부터, 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 결정한다.

GUI(107)는, 마우스나 키보드 등의 입력 장치와, 디스플레이 등의 출력 장치를 구비한다. 유저는, GUI(107)를 통해, 결정한 참조 영역 및 유사도 등의 정보를 확인하고, 필요에 따라 그것들의 정보에 수정을 가할 수 있다. 또한, 결정한 검사 영역 및 참조 영역의 조합의 정보는 검사용 정보로서 기억부(106)에 저장된다.

결함 검출부(102)는, 촬상부(103)에서 취득한 화상을 수취하고, 기억부(106)에 저장되어 있는 검사용 정보를 이용하여, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상의 비교 결과로부터 결함을 검출한다. 유저는, GUI(107)를 통해 결함 검출의 결과를 확인할 수 있다.

또한, 검사용 정보 생성부(101)와 결함 검출부(102)는, 같은 하드웨어로 실현되어도 되고, 별개의 하드웨어로 실현되어도 된다.

도 2는, 암시야 조명에 의한 촬상부(103)의 구성의 일례를 나타낸 도면이다. 촬상부(103)는, 스테이지(220)와, 메커니컬 컨트롤러(230)와, 조명 광학계(조명부(240-1, 240-2))와, 검출 광학계(상방 검출계(250-1), 사방(斜方) 검출계(250-2))와, 이미지 센서(260-1, 260-2)와, AD 회로(270-1, 270-2)와, 화상 버퍼(280)를 구비한다.

상방 검출계(250-1)는, 공간 주파수 필터(251) 및 검광자(252)를 포함한다. 시료(210)는, 예를 들면 반도체 웨이퍼 등의 피검사물이다. 스테이지(220)는, 시료(210)를 탑재하고 있고, XY 평면 내의 이동, 회전(θ), 및 Z 방향(XY 평면에 대하여 수직 방향)으로의 이동이 가능하다. 메커니컬 컨트롤러(230)는, 스테이지(220)를 구동하는 컨트롤러이다.

제어부(105)의 제어에 의해, 조명부(240-1, 240-2)의 광이 시료(210)에 조사된다. 시료(210)로부터의 산란광을, 상방 검출계(250-1) 및 사방 검출계(250-2)로 결상시킨다. 결상된 광학상은, 각각, 이미지 센서(260-1, 260-2)에 의해 수광된다. 이미지 센서(260-1, 260-2)의 신호는, 각각, AD 회로(270-1, 270-2)를 통해 디지털 변환되고, 화상 신호로서 화상 버퍼(280)에 저장된다. 검사용 정보 생성부(101) 및 결함 검출부(102)는, 화상 버퍼(280)를 통해 촬상부(103)에서 촬상된 화상을 취득할 수 있다.

이때, 시료(210)는, X-Y-Z-θ 구동의 스테이지(220)에 탑재되어 있다. 메커니컬 컨트롤러(230)가 스테이지(220)를 XY 방향으로 구동시키면서, 상방 검출계(250-1) 및 사방 검출계(250-2)가 산란광을 검출한다. 이에 따라, 시료(210)의 2차원 화상을 얻을 수 있다.

조명부(240-1, 240-2)의 조명 광원은, 레이저를 이용해도 되고, 램프를 이용해도 된다. 또한, 각 조명 광원의 파장은, 단파장이어도 되고, 또한 광대역의 파장의 광(백색광)이어도 된다. 단파장의 광을 이용할 경우, 검출하는 화상의 분해능을 높이기(미세한 결함을 검출하기) 위해, 자외 영역의 파장의 광(Ultra Violet Light: UV광)을 이용해도 된다. 레이저를 광원으로서 이용할 경우, 그것이 단파장의 레이저일 경우에는, 가(可)간섭성을 저감하는 수단을 조명부(240-1, 240-2)의 각각에 구비하는 것도 가능하다.

이미지 센서(260-1, 260-2)로서, 복수의 1차원 이미지 센서를 2차원으로 배열하여 구성한 시간 지연 적분형의 이미지 센서(Time Delay Integration Image Sensor: TDI 이미지 센서)를 채용해도 된다. 스테이지(220)의 이동과 동기하여 각 1차원 이미지 센서가 검출한 신호를 다음 단(段)의 1차원 이미지 센서에 전송하여 가산함으로써, 비교적 고속이고 고감도로 2차원 화상을 얻을 수 있다. 이 TDI 이미지 센서로서 복수의 출력 탭을 구비한 병렬 출력 타입의 센서를 이용해도 된다. 이에 따라, 센서로부터의 출력을 병렬로 처리할 수 있고, 보다 고속의 검출이 가능해진다. 또한, 이미지 센서(260-1, 260-2)로서, 이면 조사형의 센서를 이용해도 된다. 이 경우, 표면 조사형의 센서를 이용했을 경우와 비교하여 검출 효율을 높게 할 수 있다.

도 3은, 검사용 정보 생성부(101)의 구성의 일례를 나타낸 도면이다. 검사용 정보 생성부(101)는, 설계 정보 취득부(101-1)와, 후보 영역 추출부(101-2)와, 유사도 산출부(101-3)와, 영역 결정부(101-4)를 구비한다.

설계 정보 취득부(101-1)는, 기억부(106)에 저장되어 있는 검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하고, 후보 영역 추출부(101-2)에 전송한다. 후보 영역 추출부(101-2)는, 설계 정보로부터 반복 패턴을 갖는 복수의 영역을 후보 영역으로서 추출한다. 추출되는 반복 패턴은, 메모리 셀 등의 비교적 주기가 짧은 패턴이어도 되고, 주변 회로부 및 로직(logic) 영역 등을 포함하는 비교적 주기가 긴 반복 패턴이어도 된다. 또한, 추출되는 패턴은, 동일 패턴의 영역이 복수 존재하고 있으면, 주기적이지 않아도 된다.

촬상부(103)는, 후보 영역 추출부(101-2)로부터 복수의 후보 영역의 정보를 수취하고, 복수의 후보 영역의 화상을 촬상한다. 유사도 산출부(101-3)는, 촬상부(103)로부터 복수의 후보 영역의 화상을 수취하고, 복수의 후보 영역간의 유사도를 산출한다. 유사도 산출부(101-3)는, 촬상부(103)에서 촬상된 복수의 후보 영역에 대응하는 화상을 이용하여, 유사도를 산출한다. 유사도는, 복수의 후보 영역간의 제곱 평균 평방근(RMS) 또는 정규화 상호 상관(NCC) 등으로부터 산출된다. 또한, 다른 예로서, 유사도는, 후보 영역의 화상으로부터 추출한 에지 등의 정보에 의거하여, 적어도 1개의 특징점을 결정하고, 결정한 특징점의 주변 영역에 한정하여 산출되어도 된다. 또한, 유사도를 산출하는 전(前)처리로서, 촬상된 복수의 후보 영역의 화상의 위치 어긋남을 보정하기 위해, 복수의 후보 영역의 화상간의 위치 맞춤을 실시해도 된다.

영역 결정부(101-4)는, 유사도 산출부(101-3)로부터 수취한 복수의 후보 영역간의 유사도에 의거하여, 복수의 후보 영역으로부터, 임의의 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 영역을 참조 영역으로서 결정한다. 영역 결정부(101-4)는, 참조 영역을, 유사도가 높은 순으로 선택해도 된다. 또한, 영역 결정부(101-4)는, 참조 영역을, 소정의 값 이상의 유사도를 가지는 복수의 후보 영역으로부터, 거리가 가까운 순으로 선택해도 된다. 또한, 참조 영역은, 검사 영역을 포함하는 다이와 다른 다이의 후보 영역으로부터 선택되어도 된다. 또한, 검사 영역에 대응하는 후보 영역이 존재하지 않을 경우(검사 영역이 다이 내에서 유니크한 패턴)나, 소정의 값 이상의 유사도를 가지는 후보 영역이 존재하지 않을 경우, 참조 영역은, 인접하는 다이의 검사 영역과 같은 위치의 영역으로부터 선택되어도 된다. 또한, 촬상부(103)가 복수의 검출 광학계(250-1, 250-2)를 가질 경우, 검출 광학계마다, 다른 참조 영역이 선택되어도 된다.

또한, 검사 영역과 대응하는 참조 영역을, GUI(107)에 표시해도 된다. 유저는, GUI(107)를 통해 참조 영역을 확인하고, 수정해도 된다. 영역 결정부(101-4)는, 검사 영역과 참조 영역의 조합의 정보를 검사용 정보로서 기억부(106)에 저장한다. 검사용 정보는, 검사 영역과 참조 영역의 위치 및 형상 정보를 포함한다. 검사용 정보는, 텍스트 좌표 데이터 및 화상 데이터 등의 임의 형식으로 기억부(106)에 저장된다. 또한, 유사도 산출부(101-3)는, 산출한 복수의 후보 영역간의 유사도를 기억부(106)에 저장해도 된다.

도 4는, 후보 영역 추출부(101-2)에서 추출되는 후보 영역의 일례를 나타내는 도면이다. 도 4의 시료(401) 위에는, 동일한 패턴을 가지는 다이(402-1, 402-2, 402-3)가 존재한다. 후보 영역 추출부(101-2)는, 설계 정보를 이용하여, 다이 내에 있어서 동일한 패턴을 가지는 복수의 후보 영역(403-1, 403-2, 403-3)을 추출한다. 여기에서는, 403-1을 검사 영역으로 하고, 검사 영역(403-1)과 후보 영역(403-2, 403-3) 각각과의 유사도가 높다고 가정한다. 이 경우, 영역 결정부(101-4)는, 검사 영역(403-1)에 대하여 후보 영역(403-2, 403-3)을 참조 영역으로서 결정한다.

또한, 도 4의 예에 있어서, 다이(402-1)에는, 유니크한 패턴을 가지는 영역(404)이 포함된다. 영역(404)이 검사 영역일 경우, 영역 결정부(101-4)는, 예를 들면, 인접하는 다이(402-2)의 같은 위치의 영역(404-1)을 참조 영역으로서 결정해도 된다.

도 5a는, 설계 정보 취득부(101-1)에서 취득하는 설계 정보와, 후보 영역의 일례를 나타내고, 도 5b는, 후보 영역에 대응하는 위치의 촬상 화상의 일례를 나타낸다.

501은, 다이 내의 임의 영역에 대응하는 설계 정보이다. 또한, 설계 정보는, 텍스트 좌표 데이터, GDS 데이터, OASIS 데이터, HSS 데이터, 화상 데이터 등 임의의 형식으로 입력된다. 예를 들면, 후보 영역 추출부(101-2)가, 영역(501-1, 501-2)을 후보 영역으로서 추출했다고 가정한다. 화상(502-1)은, 영역(501-1)에 대응하는 위치를 촬상부(103)에서 촬상한 화상의 예이며, 화상(502-2)은, 영역(501-2)에 대응하는 위치를 촬상부(103)에서 촬상한 화상의 예이다.

유사도 산출부(101-3)는, 화상(502-1, 502-2) 전체를 이용하여, 후보 영역간의 유사도를 산출해도 된다. 또한, 다른 예로서, 유사도 산출부(101-3)는, 화상(502-1, 502-2) 내의 복수의 부분 영역(503-1, 503-2)을 이용하여, 후보 영역간의 유사도를 산출해도 된다.

도 6은, 결함 검출부(102)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다. 결함 검출부(102)는, 검사용 정보 취득부(102-1)와, 화상 분배부(102-2)와, 결함 판정부(102-3)를 구비한다.

검사용 정보 취득부(102-1)는, 기억부(106)에 저장되어 있는 검사용 정보(검사용 정보 생성부(101)에 의해 생성된 검사용 정보)를 취득한다. 화상 분배부(102-2)는, 촬상부(103)에서 촬상된 화상으로부터, 검사용 정보에 의거하여 검사 영역에 대응하는 화상과 검사 영역에 대응하는 참조 영역의 화상을 잘라낸다. 화상 분배부(102-2)는, 잘라낸 검사 영역의 화상 및 참조 영역의 화상을 결함 판정부(102-3)에 전송한다.

결함 판정부(102-3)는, 수취한 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상을 이용하여, 결함 판정을 행한다. 결함 판정부(102-3)는, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상을, 화소 단위 또는 서브 화소 단위로 위치 맞춤을 행한다. 그 후, 결함 판정부(102-3)는, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상 사이의 차분(差分)을 구하고, 차분값이 소정의 임계값 이상인지를 판정한다. 결함 판정부(102-3)는, 차분값이 소정의 임계값 이상일 경우, 그 부분을 결함으로서 검출한다. 여기에서, 결함 판정부(102-3)는, 복수의 참조 영역의 화상으로부터 평균 참조 화상(Golden 화상)을 생성하고, 평균 참조 화상과 검사 영역의 화상 사이의 차분을 이용하여 결함 판정을 행해도 된다. 또한, 결함 판정부(102-3)는, 복수의 검출 광학계에서 얻어진 검사 영역의 화상을 통합하고, 또한, 복수의 검출 광학계에서 얻어진 참조 영역의 화상을 통합하여 결함 판정을 행해도 된다.

또한, 결함 판정부(102-3)는, 전처리로서, 검사 영역 및 참조 영역과, 실제로 촬상된 화상 사이의 어긋남을 보정해도 된다.

또한, 결함 판정부(102-3)는, 복수의 연산부로 구성되어도 된다. 화상 분배부(102-2)는, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상의 각각을 복수의 부분으로 분할하고, 분할한 각 부분을 각각의 연산부에 분배해도 된다. 이 경우, 화상 분배부(102-2)는, 대응하는 검사 영역의 부분 및 참조 영역의 부분을 같은 연산부(프로세서)에 분배한다.

도 7은, 결함 검사 장치에 있어서의 검사용 정보의 결정과, 검사용 정보를 이용한 결함 검출의 절차의 일례를 나타내는 도면이다. 또한, 이후의 설명에서는, 도 3 및 도 6에서 나타낸 기능 블록을 주어로서 설명을 행하지만, 이들 기능 블록의 처리는, 메모리 등을 이용하여 프로세서가 소정의 프로그램을 실행함으로써 행해지기 때문에, 프로세서를 주어로 한 설명으로 해도 된다.

검사용 정보의 결정에 대해서 설명한다. 설계 정보 취득부(101-1)는, 기억부(106)로부터 설계 정보를 읽어들인다(701). 다음으로, 후보 영역 추출부(101-2)는, 설계 정보로부터 반복 패턴을 갖는 영역을 복수의 후보 영역으로서 추출한다(702). 다음으로, 촬상부(103)가, 복수의 후보 영역의 화상을 촬상한다(703). 다음으로, 유사도 산출부(101-3)가, 복수의 후보 영역의 화상을 이용하여, 복수의 후보 영역간의 유사도를 산출한다(704). 다음으로, 영역 결정부(101-4)가, 유사도에 의거하여, 검사 영역에 대응하는 참조 영역을 결정한다(705). 다음으로, 영역 결정부(101-4)가, 검사 영역과 참조 영역의 조합의 정보를 검사용 정보로서 기억부(106)에 저장한다(706).

검사용 정보를 이용한 결함 검출에 대해서 설명한다. 검사용 정보 취득부(102-1)는, 기억부(106)로부터 검사용 정보를 읽어들인다(707). 다음으로, 촬상부(103)가 화상을 취득한다(708). 다음으로, 화상 분배부(102-2)가, 검사용 정보를 이용하여, 취득한 화상으로부터 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상을 잘라내고, 잘라낸 화상을 결함 판정부(102-3)에 분배한다(709). 결함 판정부(102-3)는, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상 사이의 위치 보정을 행한다(710). 결함 판정부(102-3)는, 위치 보정된 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상을 이용하여, 결함 판정을 행한다(711). 결함 판정부(102-3)는, 결함 판정의 결과를 출력한다(712).

여기에서, 701부터 706까지의 검사용 정보 생성 절차와, 707부터 712까지의 결함 검출 절차는, 연속적으로 실시되지 않아도 된다. 또한, 701부터 706까지의 검사용 정보 생성과, 707부터 712까지의 결함 검출 절차는, 동일한 시료를 이용해도 되고, 설계 정보가 동일하면 서로 다른 시료여도 된다. 또한, 참조 영역 결정(705)은, 화상 분배(709)의 직전에 실시되어도 된다. 이 경우, 후보 영역간의 유사도가 검사용 정보로서 저장된다.

도 8은, 검사용 정보 생성부(101)에 관한 유저 인터페이스의 일례에 대해서 나타내는 도면이다. GUI(107)의 출력 장치에는, 후보 영역 확인 화면(801)이 표시된다. 후보 영역 확인 화면(801)은, 설계 정보 표시부(802)와, 촬상 화상 표시부(803)와, 후보 영역 정보 표시부(804)를 구비한다.

설계 정보 표시부(802)에는, 다이의 설계 정보가 표시된다. 또한, 설계 정보 표시부(802)에는, 그 다이에 있어서 추출된 후보 영역이, 반복 패턴의 그룹마다 표시된다. 도 8의 예에서는, 5개의 반복 패턴이 추출되어 있고, 추출된 패턴의 그룹의 정보가 설계 정보에 중첩되는 형식으로 표시된다. 일례로서, 그룹의 정보가 색 구분 또는 모양 구분된 형식으로 표시된다.

촬상 화상 표시부(803)에는, 다이의 정보나, 선택한 후보 영역의 그룹의 촬상 화상이 표시된다. 유저는, GUI(107)를 통해, 표시 그룹을 입력할 수 있다. 도 8의 예에서는, 그룹(3)이 선택되어 있다. 촬상 화상 표시부(803)에는, 지정한 그룹(3)의 후보 영역의 촬상 화상이 표시되어 있다. 또한, 유저는, 다이의 정보(다이의 인덱스)를 변경함으로써, 다른 다이의 촬상 화상을 촬상 화상 표시부(803)에 표시시킬 수 있다.

후보 영역 정보 표시부(804)에는, 지정한 그룹의 후보 영역간의 유사도 또는 거리의 테이블이 표시된다. 후보 영역 정보 표시부(804)에는, 지정한 그룹의 후보 영역간의 유사도가 매트릭스로 표시된다. 또한, 후보 영역 정보 표시부(804)에 있어서 「거리」의 라디오 버튼을 선택하면, 지정한 그룹의 후보 영역간의 거리가 매트릭스로 표시된다.

또한, 후보 영역 정보 표시부(804)에는, 각 검사 영역에 대응하는 참조 영역이 표시된다. 유저는, 후보 영역 정보 표시부(804)에 있어서, 최소 참조 영역 수를 지정할 수 있다. 이 예에서는, 최소 참조 영역 수가 「3」으로 설정되어 있기 때문에, 영역 결정부(101-4)는, 후보 영역간의 유사도 및 거리의 적어도 한쪽에 의거하여, 적어도 3개의 참조 영역을 결정한다. 예를 들면, 검사 영역 A에 대하여, 3개의 참조 영역(B, D, J)이 결정된다.

도 8의 후보 영역 확인 화면(801)에 의하면, 유저는, 육안으로 후보 영역간의 화상 유사성 및 거리를 확인할 수 있다. 또한, 후보 영역 확인 화면(801)은, 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 참조하면서, 유저 자신에 의해 참조 영역을 수정하는 인터페이스를 구비해도 된다.

종래에는, 설계 정보상에 있어서 유사한 레이아웃이었다고 해도, 결함 검출시의 화상끼리가 유사하지 않아, 허위 보고의 발생이나 결함의 간과가 발생한다는 과제가 있었다. 이에 대하여, 상기의 예에서는, 후보 영역의 촬상 화상을 취득하고, 후보 영역간의 유사도 또는 거리에 의거하여, 참조 화상으로서 사용하는 영역을 적절히 설정할 수 있다. 그 결과, 결함 검출에 있어서 허위 보고의 발생이나 결함의 간과를 방지할 수 있다.

도 9는, 결함 검출부(102)에 관한 유저 인터페이스의 일례에 대해서 나타내는 도면이다. GUI(107)의 출력 장치에는, 결함 검출 확인 화면(901)이 표시된다. 결함 검출 확인 화면(901)에는, 검사용 정보에 의거하는 결함 검출의 진척, 및 그 결과가 표시된다. 결함 검출 확인 화면(901)은, 웨이퍼 맵 표시부(902)와, 결함 정보 표시부(903)를 구비한다.

웨이퍼 맵 표시부(902)에 표시되는 소정의 개소(검사가 완료된 개소)를 선택하면, 선택한 개소의 다이의 정보(다이의 인덱스, 다이 좌표 등)가 표시됨과 함께, 결함 정보 표시부(903)에 검사 결과가 표시된다. 결함 정보 표시부(903)에는, 검사 영역에 관한 정보(다이의 인덱스, 좌표에 관한 정보, 및 촬상 화상)와, 참조 영역에 관한 정보(다이의 인덱스, 좌표에 관한 정보 및, 촬상 화상)가 표시된다. 추가적으로, 결함 정보 표시부(903)에는, 결함 검출부(102)에서의 처리의 결과인 Golden 화상 및 차분 화상이 표시되어도 된다.

이 구성에 의하면, 유저는, 검사 영역 및 참조 영역의 패치 화상, 그리고, 결함 판정부에서의 처리의 결과인 Golden 화상 및 차분 화상을 확인할 수 있다. 또한, 검사 영역의 위치 및 참조 영역의 위치로서, 다이의 인덱스나, 다이 내 좌표를 확인할 수 있다.

[실시예 2]

도 10a 및 도 10b는, 후보 영역의 어긋남 보정의 일례를 나타내는 도면이다. 스테이지나 광학계의 조정 상황에 따라서는, 복수의 후보 영역의 촬상 화상간에 위치의 오차가 생길 경우가 있다. 위치의 오차를 포함한 상태의 촬상 화상에서는, 본래의 유사도보다 낮은 값이 되어버리기 때문에, 유사도 산출부(101-3)는, 유사도를 산출하기 전에 후보 영역의 촬상 화상의 위치 보정을 행해도 된다.

설계 정보에 의거하여 추출된 후보 영역(1001, 1003)에 대하여, 촬상부(103)는, 후보 영역(1001, 1003)보다 넓은 영역의 화상을 촬상한다. 일례로서, 촬상부(103)는, 상정되는 최대 오차만큼 넓은 영역(1002, 1004)을 촬상한다(도 10a). 여기에서는, 영역(1002)에 대응하는 촬상 화상은 1006이며, 영역(1004)에 대응하는 촬상 화상은 1008이다(도 10b). 유사도 산출부(101-3)는, 넓은 영역의 촬상 화상(1006, 1008) 내에서, 후보 영역(1005, 1007)의 위치를 보정한다.

유사도 산출부(101-3)는, 각각의 촬상 화상(1006, 1008)으로부터 위치를 이동하면서 잘라낸 후보 영역 화상(1005, 1007)의 유사도가 가장 높아지도록 위치를 조정하고, 그 위치에서의 유사도를 후보 영역간의 유사도로 해도 된다. 또한, 다른 예로서, 유사도 산출부(101-3)는, 각각의 촬상 화상(1006, 1008)으로부터 잘라낸 부분 화상을 이용하여 유사도의 산출을 행해도 된다.

[실시예 3]

도 11은, 결함 검출부(102)에서의 화상 어긋남을 흡수하는 방법의 일례를 나타내는 도면이다. 화상 분배부(102-2)는, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상을 잘라내지만, 스테이지나 광학계의 조정 상태에 따라서는, 잘라내려는 화상 영역과, 실제로 잘라내지는 화상 영역에 어긋남이 발생할 경우가 있다. 본래의 검사 영역 또는 참조 영역이 아닌 영역을 포함하는 화상은, 패턴이 유사하지 않은 영역을 포함할 경우가 있다. 이는, 검사 화상과 참조 화상 사이에서 다른 부분을 결함으로서 검출하는 결함 판정 방법에 있어서 오검출의 원인이 되어버린다.

이 과제를 해결하기 위해, 화상 분배부(102-2)는, 검사 영역 또는 참조 영역의 화상에 대하여, 상정되는 어긋남량만큼, 좁은 영역을 잘라내도 된다. 예를 들면, 화상 분배부(102-2)는, 검사 영역의 화상(1102)으로부터, 상정되는 어긋남량만큼, 좁은 영역(1101)을 잘라낸다. 또한, 화상 분배부(102-2)는, 참조 영역의 화상으로부터, 잘라낸 영역(1101)에 대응하는 영역(1103)을 잘라낸다. 화상 분배부(102-2)는, 잘라낸 영역(1101, 1103)을 결함 판정부(102-3)에 전송한다. 결함 판정부(102-3)는, 검사 영역의 화상의 부분 화상 및 참조 영역의 화상의 부분 화상을 이용하여 결함 검출을 행한다. 이에 따라, 잘라내려는 화상 영역과, 실제로 잘라내지는 화상 영역 사이에 어긋남이 생긴 경우에도, 오검출을 방지할 수 있다.

[실시예 4]

도 12a 및 도 12b는, 검사 영역의 화상과 참조 영역의 화상의 어긋남을 보정하는 방법의 일례를 나타내는 도면이다. 영역 결정부(101-4)는, 결정한 검사 영역 및 참조 영역의 내부 또는 주변의 부분 화상(1201-1, 1201-2, 1201-3)과, 이들 부분 화상의 위치 정보를 검사용 정보의 일부로서 기억부(106)에 저장한다(도 12a).

화상 분배부(102-2)는, 촬상부(103)에 의한 촬상 화상과, 기억부(106)에 저장되어 있는 부분 화상의 위치 맞춤을 행한다(1202-1, 1202-2, 1202-3). 화상 분배부(102-2)는, 얻어진 어긋남량과 부분 화상의 위치 정보에 의거하여, 위치 보정한 검사 영역(1205)을 결함 판정부(102-3)에 전송한다. 마찬가지로, 화상 분배부(102-2)는, 촬상부(103)에 의한 촬상 화상과 부분 화상의 위치 맞춤으로부터 얻어진 어긋남량 및 부분 화상의 위치 정보에 의거하여, 위치 보정한 참조 영역(1206)을 결함 판정부(102-3)에 전송한다.

또한, 부분 화상은, 에지 등의 패턴이 존재하는 장소에서 선택해도 되고, 상기 부분 화상의 위치 정보는, 검사 영역 및 참조 영역과 부분 화상의 상대적인 위치 관계를 나타내는 정보여도 된다.

[실시예 5]

도 13은, 주사 위치의 조정의 일례를 나타내는 도면이다. 촬상부(103)는, 검사 영역 및 참조 영역의 위치에 맞춰 주사 간격을 변경한다. 촬상부(103)는, 검사 영역의 주사 위치와 참조 영역의 주사 위치가 실질적으로 같아지도록 주사 간격을 조정해도 된다. 예를 들면, 촬상부(103)는, 검사 영역(1303)과 참조 영역(1304)의 같은 위치를 지나도록 주사 위치(1302)를 조정해도 된다. 검사 영역(1303)에 대응하는 참조 영역(1304)이, 주사 방향(1305)에 수직인 방향에 존재할 경우, 주사 위치(1302)의 조정에 의해, 각각의 주사에서 얻어지는 화상으로부터 검사 영역(1303)의 화상과 참조 영역(1304)의 화상을 잘라낼 수 있다.

상기의 조정이 행해질 경우, 복수회의 주사에서 얻어지는 화상을 서로 연결시키는 처리가 필요없어져, 검사 효율이 향상된다. 또한, 검사 영역과 참조 영역이 대응하는 위치를 이미지 센서의 시야의 같은 위치에서 촬상하는 것이 가능해지기 때문에, 시야 내에 있어서의 이미지 센서의 감도 불균일이나 조명의 강도 불균일 등의 영향을 받지 않고 결함 판정이 가능해진다.

[실시예 6]

도 14는, 후보 영역 추출의 효율화의 일례를 나타내는 도면이다. 후보 영역 추출에 요하는 시간의 단축이 필요할 경우, 후보 영역 추출부(101-2)는, 후보 영역을 수평 방향 또는 수직 방향으로 한정하여 탐색해도 된다. 이에 따라, 효율적으로 후보 영역의 추출이 가능해진다. 일례로서, 후보 영역 추출부(101-2)는, 영역(1402)에 대하여, 수직 방향에 존재하는 영역(1401)은 탐색 대상으로 하지 않고, 수평 방향에 존재하는 영역(1403)만을 후보 영역으로서 추출해도 된다.

[실시예 7]

도 15는, 후보 영역에 결함이 존재할 경우의 유사도 산출의 일례를 나타내는 도면이다. 유사도 산출부(101-3)가, 다이(1501-1) 내의 후보 영역(1502-1, 1503-1) 사이의 유사도를 산출했을 경우, 결함(1504)의 영향을 받아, 본래 유사해야 할 후보 영역(1502-1, 1503-1) 사이의 유사도가 낮게 산출될 경우가 있다.

그래서, 유사도 산출부(101-3)는, 후보 영역(1502-1, 1503-1)이 포함되는 구획(다이(1501-1))과 다른 구획(인접 다이(1501-2, 1501-3) 등)의 같은 위치의 후보 영역(1502-2, 1503-2) 사이의 유사도, 및 후보 영역(1502-3, 1503-3) 사이의 유사도를 산출해도 된다. 유사도 산출부(101-3)는, 다이(1501-1)에서 산출한 유사도와, 다이(1501-2)에서 산출한 유사도와, 다이(1501-3)에서 산출한 유사도 중의 대표값을 유사도로서 출력해도 된다. 예를 들면, 유사도 산출부(101-3)는, 복수의 유사도 중 최대 유사도를 그 후보 영역의 대표 유사도로서 출력해도 된다. 또한, 다른 예로서, 결함으로부터의 영향을 저감하기 위해, 유사도 산출부(101-3)는, 복수의 다이의 평균 화상을 사전에 산출하고, 평균 화상에 대하여 후보 영역간의 유사도의 산출을 실시해도 된다.

또한, 1504는, 결함에만 한정되는 것이 아니라, 전기 노이즈나 위치 맞춤의 실패 등을 원인으로 하는 유사도의 저하에 대해서도 상기의 방법으로 유사도의 산출이 가능하다.

[실시예 8]

도 16a 및 도 16b는, 주사 위치의 차이에 영향을 받기 어려운 참조 영역의 산출의 일례를 나타내는 도면이다. 도 16a의 직선(1601)은, 유사도 산출시의 촬상에 있어서의 주사의 경계를 나타낸다. 1602는, 주사의 폭을 나타낸다. 또한, 1603-1, 1603-2는, 후보 영역을 나타낸다.

유사도 산출부(101-3)는, 후보 영역을 주사의 폭보다 작은 영역(예를 들면, 주사의 폭(1602) 화소에 대하여, 64 화소폭의 소영역 등)으로 분할하고, 각각의 영역에서 유사도를 산출해도 된다. 도 16a에서는, 후보 영역(1603-1, 1603-2)이, 주사의 폭(1602)보다 작은 영역으로 분할되어 있다. 이에 따라, 한 번의 주사에 있어서 수직 방향의 시야 내에, 유사 후보 영역과 그렇지 않은 영역이 혼재해 있을 경우에도, 가능한 한 넓은 영역을 유사 영역으로서 결정할 수 있다. 도 16b에 나타내는 바와 같이, 주사의 폭(1602)을 유사도 산출의 최소 단위로 했을 경우, 주사의 위치에 따라서는, 후보 영역(1604) 중, 사선의 영역(1605)만이 다른 후보 영역과 유사해진다. 또한, 대응하는 소영역간의 어긋남 등에 대한 완건성을 확보하기 위해, 인접하는 소영역은 오버랩해 있어도 된다.

또한, 유사도 산출부(101-3)는, 검사용 정보로서, 상기 소영역마다의 유사도를 기억부(106)에 저장해도 된다. 화상 분배부(102-2)는, 소영역마다의 유사도에 의거하여, 검사 영역의 화상 및 참조 영역의 화상을 잘라내고, 결함 판정부(102-3)에 전송해도 된다.

이와 같이 주사의 폭을 고려한 작은 영역을 이용하여 유사도를 산출하고, 참조 영역을 결정함으로써, 유사도 산출시와 검사시에 주사하는 위치가 다를 경우에 있어서도, 가능한 한 넓은 다이 내의 유사 영역을 참조 영역으로서 이용한 결함 판정이 가능해진다. 또한, 검사용 정보를 작성한 후에, 검사 영역의 변경(예를 들면, 다이단(端)의 비검사 영역의 변경 등)에 의해 주사 위치가 변경되었을 경우에 있어서도, 검사용 정보를 수정할 필요가 없다.

여기에서는, 검사용 정보 작성시에 있어서의 주사 위치와 참조 영역의 결정에 대해서 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 결함 검출시의 주사 위치에 따라, 주사의 폭보다 작은 영역마다 검사 영역과 참조 영역의 조합을 정하고, 그 조합을 이용하여 결함 판정을 행해도 된다.

[실시예 9]

도 17은, 후보 영역의 그룹마다의 영역 결정의 일례를 나타내는 도면이다. 영역 결정부(101-4)는, 후보 영역간의 유사도를 바탕으로 검사 영역에 대응하는 참조 영역을 결정하지만, 이 참조 영역의 결정 방법 및 참조 영역의 수의 결정 방법 에 대해서 설명한다. 서로 다른 패턴의 반복 그룹에 속하는 후보 영역(1701, 1702)이 존재했을 경우, 영역 결정부(101-4)는, 그룹마다의 노이즈 특성이나, 패턴의 특징 등에 따라, 다른 수의 참조 영역을 결정해도 된다.

개수를 포함한 참조 영역의 결정 방법은, 상기한 바와 같이, 유사도를 이용해도 되고, 복수의 후보 영역에 있어서의 분산 또는 표준편차, 후보 영역 내의 배선(配線)의 밀도, 후보 영역간의 거리, 다이 내 또는 웨이퍼 내에서의 후보 영역의 위치 등에 의거하여 행해져도 된다. 이들의 정보는, 검사용 정보로서 기억부(106)에 저장되어도 된다. 또한, 영역 결정부(101-4)는, 도 16a에 나타낸 소영역마다 다른 수의 참조 영역을 결정해도 된다.

이상의 실시예 1∼9의 장치는, 검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하는 설계 정보 취득부(101-1)와, 설계 정보를 이용하여 복수의 후보 영역을 추출하는 후보 영역 추출부(101-2)와, 복수의 후보 영역의 화상을 촬상하는 촬상부(103)와, 복수의 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 산출하는 유사도 산출부(101-3)와, 유사도 또는 거리를 이용하여, 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 검사용 정보로서 결정하는 영역 결정부(101-4)를 구비한다. 이 구성에 의하면, 시료 표면에 존재하는 미소한 결함을 검사하는 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치에 있어서, 동일 다이 내 또는 인접 다이 내에 형성된 유사 영역을 참조 화상으로서 이용할 수 있고, 그 결과, 고감도의 결함 검사를 실현할 수 있다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것이 아니라, 다양한 변형예가 포함된다. 상기 실시예는 본 발명을 이해하기 쉽게 설명하기 위해 상세하게 설명한 것이며, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것이 아니다. 또한, 어떤 실시예의 구성의 일부를 다른 실시예의 구성으로 치환할 수도 있다. 또한, 어떤 실시예의 구성에 다른 실시예의 구성을 더할 수도 있다. 또한, 각 실시예의 구성의 일부에 대해서, 다른 구성을 추가·삭제·치환할 수도 있다.

예를 들면, 상기의 실시예에서는, 검사 장치로서 암시야 검사 장치에 의한 실시예를 나타냈지만, 명시야 검사 장치, SEM식 검사 장치 등, 모든 방식의 검사 장치에 적용할 수 있고, 복수의 화상 취득 조건으로서, 상기 복수의 방식의 검사 장치에 의해 화상 취득하고, 결함 판정을 실시할 수 있다.

상기의 처리부의 기능 등은, 프로세서가 각각의 기능을 실현하는 프로그램을 해석하고, 실행함으로써 소프트웨어로 실현해도 된다. 각 기능을 실현하는 프로그램, 테이블, 파일 등의 정보는, 다양한 타입의 비일시적인 컴퓨터 가독 매체(non-transitory computer readable medium)에 기억시키는 것이 가능하다. 비일시적인 컴퓨터 가독 매체로서는, 예를 들면, 플렉서블 디스크, CD-ROM, DVD-ROM, 하드디스크, 광디스크, 광자기 디스크, CD-R, 자기 테이프, 비휘발성의 메모리 카드, ROM 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기의 처리 장치의 기능 등은, 그것들의 일부 또는 전부를, 예를 들면 집적 회로로 설계하는 등에 의해 하드웨어로 실현해도 된다.

또한, 제어선이나 정보선은 설명상 필요하다고 생각되는 것을 나타내고 있으며, 제품상 반드시 모든 제어선이나 정보선을 나타내고 있다고는 할 수 없다. 실제로는 거의 모든 구성이 상호 접속되어 있다고 생각해도 된다.

101: 검사용 정보 생성부 101-1: 설계 정보 취득부
101-2: 후보 영역 추출부 101-3: 유사도 산출부
101-4: 영역 결정부 102: 결함 검출부
102-1: 검사용 정보 취득부 102-2: 화상 분배부
102-3: 결함 판정부 103: 촬상부
104: 통신 버스 105: 제어부
106: 기억부 107: GUI
210: 시료 220: 스테이지
230: 메커니컬 컨트롤러 240-1, 240-2: 조명부
250-1: 상방 검출계 250-2: 사방 검출계
251: 공간 주파수 필터 252: 검광자
260-1, 260-2: 이미지 센서 270-1, 270-2: AD 회로
280: 화상 버퍼

Claims

검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하는 설계 정보 취득부와,
상기 설계 정보를 이용하여, 복수의 후보 영역을 추출하는 후보 영역 추출부와,
상기 복수의 후보 영역의 화상을 촬상하는 촬상부와,
상기 복수의 후보 영역의 상기 화상을 이용하여, 상기 복수의 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 산출하는 유사도 산출부와,
상기 유사도 또는 거리를 이용하여, 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 검사용 정보로서 결정하는 영역 결정부를 구비하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 영역 결정부는, 상기 복수의 후보 영역으로부터 상기 유사도가 높은 순으로 상기 참조 영역을 결정하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 유사도 산출부는, 상기 후보 영역의 부분 화상을 이용하여 상기 유사도를 산출하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 촬상부는, 상기 후보 영역보다 넓은 영역의 화상을 촬상하고,
상기 유사도 산출부는, 상기 넓은 영역의 화상 내에서 상기 후보 영역의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 영역 결정부는, 상기 검사 영역의 내부 또는 주변의 부분 화상 및 상기 참조 영역의 내부 또는 주변의 부분 화상을 상기 검사용 정보로서 추출하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 후보 영역 추출부는, 상기 후보 영역을 추출하는 방향을 일방향으로 한정하여, 상기 후보 영역을 추출하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 유사도 산출부는, 상기 검사 영역이 포함되는 구획에 인접하는 구획의 영역을 이용하여, 상기 복수의 후보 영역간의 상기 유사도를 산출하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 유사도 산출부는, 상기 후보 영역을 주사의 폭보다 작은 영역으로 분할하고, 당해 분할된 영역을 이용하여 상기 유사도를 산출하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 있어서,
상기 영역 결정부는, 상기 후보 영역의 그룹마다 다른 수의 상기 참조 영역을 결정하는 것을 특징으로 하는 검사용 정보 생성 장치.
제1항에 기재된 검사용 정보 생성 장치와,
상기 검사용 정보를 저장하는 기억부와,
결함 검출을 행하는 결함 검출부를 구비하고,
상기 촬상부가, 상기 검사용 정보를 이용하여 상기 검사 영역의 제1 화상과 상기 참조 영역의 제2 화상을 촬상하고,
상기 결함 검출부가, 상기 제1 화상과 상기 제2 화상을 이용하여 결함 검출을 행하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
제10항에 있어서,
상기 결함 검출부가, 상기 제1 화상의 부분 화상과 상기 제2 화상의 부분 화상을 이용하여 결함 검출을 행하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
제10항에 있어서,
상기 기억부가, 상기 검사용 정보로서 상기 검사 영역의 내부 또는 주변의 부분 화상 및 상기 참조 영역의 내부 또는 주변의 부분 화상을 저장하고 있고,
상기 결함 검출부가, 상기 검사 영역의 상기 부분 화상 및 상기 참조 영역의 상기 부분 화상을 이용하여, 상기 제1 화상과 상기 제2 화상의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
제10항에 있어서,
상기 촬상부가, 상기 검사 영역의 주사 위치와 상기 참조 영역의 주사 위치가 실질적으로 같아지도록 주사 간격을 조정하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
설계 정보 취득부에 의해, 검사 대상의 시료의 설계 정보를 취득하는 스텝과,
후보 영역 추출부에 의해, 상기 설계 정보를 이용하여, 복수의 후보 영역을 추출하는 스텝과,
촬상부에 의해, 상기 복수의 후보 영역의 화상을 촬상하는 스텝과,
유사도 산출부에 의해, 상기 복수의 후보 영역의 상기 화상을 이용하여, 상기 복수의 후보 영역간의 유사도 또는 거리를 산출하는 스텝과,
영역 결정부에 의해, 상기 유사도 또는 거리를 이용하여, 검사 영역에 대응하는 적어도 1개의 참조 영역을 검사용 정보로서 결정하는 스텝을 포함하는 검사용 정보 생성 방법.