JPH04345015A - レジストの除去方法とこれに用いる硬化型感圧性接着剤および接着シ―ト類 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】この発明は、半導体の製造や回路
の作製などにおいて、不用となつた物品上のレジストを
除去する方法と、これに用いる硬化型感圧性接着剤およ
びそのシ―ト状物、テ―プ状物などの接着シ―ト類に関
する。 【０００２】 【従来の技術】半導体のデバイス製造において、シリコ
ンウエハ上にレジスト材を塗布し、所定のパタ―ンに露
光・現像後、回路が形成される。回路形成後、レジスト
材は除去され、つぎの回路を形成するため、再度レジス
ト材を塗布するというサイクルが行われる。また、各種
基板に回路を形成するためにも、レジストのパタ―ン形
成が通常行われる。この際不用になつたレジスト材の除
去は、アツシヤ―（灰化手段）や溶剤で行われるのが一
般的である。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レジス
ト材の除去にアツシヤ―を用いると、その作業に長時間
を要したり、レジスト材中の不純物イオンがウエハに注
入されるおそれがある。また、溶剤を用いると、作業環
境に問題を生じる。 【０００４】したがつて、この発明は、不用となつた物
品上のレジストを、上記従来とは全く異なる方法で、簡
単かつ確実に除去することを目的としている。 【０００５】 【課題を解決するための手段】この発明者らは、レジス
ト材の除去に際し、特定の硬化型感圧性接着剤を用いた
接着シ―ト類を応用することにより、レジスト材中の不
純物イオンがウエハに注入されたり、作業環境を害する
といつた問題を生じることなく、レジスト材を簡単にか
つ確実に除去できることを知り、この発明を完成するに
至つた。 【０００６】すなわち、この発明は、レジストパタ―ン
が存在する物品上に、レジスト材との親和性が良好な硬
化型感圧性接着剤を用いた接着シ―ト類を貼り付け、上
記接着剤の硬化後にこの接着シ―ト類とレジスト材とを
一体にはく離することを特徴とするレジストの除去方法
に係るものである。 【０００７】また、この発明は、上記方法に用いる接着
剤として、感圧接着性ポリマ―に、分子内に不飽和二重
結合を１個以上有し、かつレジスト材との親和性が良好
な不揮発性化合物を含ませたことを特徴とする硬化型感
圧性接着剤に係るものであり、さらに、この接着剤をフ
イルム基材上に設けてシ―ト状、テ―プ状としたことを
特徴とする接着シ―ト類に係るものである。 【０００８】 【発明の構成・作用】この発明のレジストの除去方法に
おいては、まず、レジストパタ―ンが存在する物品上に
、レジスト材との親和性が良好な硬化型感圧性接着剤を
用いた接着シ―ト類を貼り付ける。このとき、レジスト
材と上記接着剤とは一体化されるが、この一体化を促進
するために、上記貼り付け時に加熱・加圧するのが好ま
しい。一体化は、レジストパタ―ンが消えて接着剤中に
レジスト材が完全に取り込まれる場合と、レジストパタ
―ンが残りレジスト材中に接着剤の一部成分が入り込む
場合とがあるが、そのいずれであつてもよい。 【０００９】ここで用いる感圧性接着剤は、物品上のレ
ジスト材との親和性が良好で、かつ加熱や光照射より硬
化する接着剤であり、この目的に特にかなつた接着剤と
して、感圧接着性ポリマ―に、分子内に不飽和二重結合
を１個以上有し、かつレジスト材との親和性が良好な不
揮発性化合物を含ませたことを特徴とする硬化型感圧性
接着剤が好ましく用いられる。 【００１０】この硬化型感圧性接着剤においては、感圧
接着性ポリマ―に基づく良好な感圧接着機能を有し、ま
たレジスト材との親和性の良好な上記の不揮発性化合物
がレジスト材と接着剤との前記一体化に寄与し、かつそ
の分子内に含まれる不飽和二重結合の作用で加熱や光照
射より重合硬化する機能を有している。 【００１１】上記の感圧接着性ポリマ―としては、一般
の感圧性接着剤に適用される公知の各種ポリマ―がいず
れも使用可能であるが、特に好ましいポリマ―として、
アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル
酸アルキルエステルを主モノマ―としたアクリル系ポリ
マ―を推奨できる。 【００１２】このアクリル系ポリマ―は、上記の主モノ
マ―、つまりアクリル酸またはメタクリル酸と炭素数が
通常１２以下のアルコ―ルとのエステルのほか、必要に
よりカルボキシル基ないし水酸基を有するモノマ―や、
その他の改質用モノマ―を用いて、これらを常法により
溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などの方法で
重合させることにより、得ることができる。 【００１３】上記のカルボキシル基含有モノマ―として
は、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン
酸などが、水酸基含有モノマ―としては、ヒドロキシエ
チルアクリレ―ト、ヒドロキシプロピルアクリレ―トな
どが、それぞれ用いられる。これらのカルボキシル基な
いし水酸基含有のモノマ―の使用量は、全モノマ―中通
常２０重量％以下の割合とされているのがよい。 【００１４】また、上記その他の改質用モノマ―として
は、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、スチレン、アク
リロニトリル、アクリルアミド、グリシジルメタクリレ
―トなどが用いられる。これらの改質用モノマ―の使用
量は、前記の主モノマ―との合計量中通常５０重量％以
下の割合とされているのがよい。 【００１５】このようなモノマ―から構成されるアクリ
ル系ポリマ―の分子量は、重量平均分子量で、通常３０
万〜２００万であるのが好ましい。分子量が低すぎると
これに前記の不揮発性化合物を配合したときに低粘度と
なつて、保存中に流れるなどの不都合を生じやすく、ま
た高くなりすぎると取り扱い上の問題を生じやすい。ま
た、このアクリル系ポリマ―は、レジストはく離時の作
業性を勘案して、そのガラス転移点が２５０度Ｋ以下で
あるのが好ましい。これより高くなると、硬化後に硬く
なりすぎてはく離が重くなる傾向がみられる。ただし、
このような高いガラス転移点を有するアクリル系ポリマ
―の使用をすべて排除しようというものではなく、場合
により使用可能である。 【００１６】また、上記のアクリル系ポリマ―にて代表
される感圧接着性ポリマ―に配合するべき不揮発性化合
物は、既述のように、レジストパタ―ンが存在する物品
上に貼り付けられたのち、この化合物の作用でレジスト
材と接着剤が一体化し、その後硬化するという機能を有
する。したがつて、この不揮発性化合物としては、分子
内に熱や光などで硬化できる不飽和二重結合を１個以上
有するとともに、レジスト材との親和性が良好であるこ
とが要求され、さらに感圧接着性ポリマ―との相溶性が
よく保存時に流れ出ないことも望まれる。 【００１７】ここで、レジスト材との親和性が良好とい
うのは、レジスト材を溶解もしくは膨潤する現象が顕著
であることを指し、レジスト材中に移行・拡散する現象
も含まれる。この目安として、溶剤を十分乾燥したレジ
スト材を不揮発性化合物中に浸漬し、１３０℃に２４時
間保存したときに、レジスト材が溶解するか、または取
り出されたレジスト材の重量が２倍以上になる、つまり
レジスト材の不揮発性化合物に対する膨潤度が２以上と
なる程度でよい。また、この化合物が不揮発性であると
は、接着剤の塗布乾燥工程などにおいてこの化合物が簡
単に揮散してしまうことがないことを意味している。 【００１８】このような不揮発性化合物としては、たと
えば、フエノキシポリエチレングリコ―ル（メタ）アク
リレ―ト、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレ―ト、
ポリエチレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ―ト、ポリ
プロピレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ―ト、トリメ
チロ―ルプロパントリ（メタ）アクリレ―ト、ジペンタ
エリスリト―ルヘキサ（メタ）アクリレ―ト、ウレタン
（メタ）アクリレ―ト、エポキシ（メタ）アクリレ―ト
、オリゴエステル（メタ）アクリレ―トなどが挙げられ
、これらの中から、用いる感圧接着性ポリマ―の種類、
対象とされるレジスト材に応じて、その一種または二種
以上を選択使用する。 【００１９】この不揮発性化合物の使用量としては、感
圧接着性ポリマ―１００重量部に対して、通常２０〜２
００重量部とするのがよい。この使用量が過少となると
、レジストのはく離効果が十分でなく、また過多となる
と、保存時に接着剤が流れだすため、好ましくない。 【００２０】このような感圧接着性ポリマ―と不揮発性
化合物とを含む硬化型感圧性接着剤は、ウエハなどの物
品に貼り付ける際の作業性の点から、上記ポリマ―を架
橋して凝集力を高めておくが好ましい。たとえば、感圧
接着性ポリマ―としてカルボキシル基ないし水酸基含有
モノマ―を共重合させたアクリル系ポリマ―を用い、こ
のポリマ―の上記官能基と反応する多官能性化合物、た
とえばポリイソシアネ―ト、ポリエポキシ、各種金属塩
、キレ―ト化合物などを接着剤中に含ませておき、シ―
ト状などの成形段階で上記の反応を促進させて、上記ポ
リマ―の架橋を行わせるようにすればよい。 【００２１】上記の多官能性化合物の使用量としては、
感圧接着性ポリマ―１００重量部に対して通常２０重量
部以下とし、この範囲内で上記ポリマ―の分子量が低け
れば多く、高ければ少なくなるように、適宜選択すれば
よい。多官能性化合物の使用量が多すぎると、接着力が
低下するため、好ましくない。 【００２２】また、硬化型感圧性接着剤には、上記の多
官能性化合物の使用と同じ目的で微粉シリカなどの充て
ん剤を含ませるようにしてもよい。さらに、この接着剤
中には、粘着付与樹脂、着色剤、老化防止剤などの公知
の各種添加剤を必要に応じて含ませることができる。こ
れらの使用量は、通常の使用量でよい。 【００２３】このような各種成分を含ませうる硬化型感
圧性接着剤には、さらにその硬化手段に応じた重合開始
剤が添加される。たとえば、熱硬化の場合は、ベンゾイ
ルパ―オキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの
加熱によりラジカルを発生する熱重合開始剤が用いられ
、紫外線などの光硬化の場合は、ベンゾイン、ベンゾイ
ンエチルエ―テル、ジベンジルなどの光照射によりラジ
カルを発生する光重合開始剤が用いられる。これらの重
合開始剤は、感圧接着性ポリマ―１００重量部に対して
、通常０．１〜１０重量部の範囲で使用される。 【００２４】このように構成される硬化型感圧性接着剤
は、その初期弾性率、つまり硬化前の弾性率が通常０．
５〜５０ｇ／ｍｍ２　程度であつて、かつこれが硬化後
に５倍以上となる、特にこの硬化後の弾性率が３〜４０
０ｇ／ｍｍ２　程度となるように調整されているのが望
ましい。 【００２５】このような弾性率に調整されていると、硬
化前の感圧接着特性と硬化後のレジストはく離性とに共
に好結果が得られるためである。弾性率の調整は、感圧
接着性ポリマ―の種類、これに添加する前記の不揮発性
化合物やその他の配合成分の使用量、多官能性化合物に
よる架橋の度合、硬化条件などを適宜選択することによ
り、容易に行うことが可能である。 【００２６】なお、上記の弾性率は、断面積５ｍｍ２　
の接着剤を、標線距離１０ｍｍとして、２３℃±２℃の
温度下で、５０ｍｍ／分の引張速度で引張試験を行い、
応力−歪み曲線を得、初期の傾きから求める方法で、測
定される値を意味する。 【００２７】このような硬化型感圧性接着剤は、前記の
使用に際し、場合によりこれ単独でシ―ト状やテ―プ状
などに成形されることもあるが、通常はフイルム基材を
用いてこの上に乾燥後の厚さが約１０〜１８０μｍとな
るように塗着され、レジスト除去用の接着シ―ト類とさ
れる。フイルム基材としては、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリエチレンテレフタレ―トなどからなる厚さ
が通常約１２〜１００μｍの樹脂フイルムが用いられ、
特に接着剤の硬化を光照射にて行う場合は、紫外線など
の光を透過するものが選択使用される。 【００２８】この発明のレジストの除去方法において、
レジストパタ―ンが存在する物品上に、既述のように、
上記構成の硬化型感圧性接着剤を用いた接着シ―ト類を
貼り付け、レジスト材と上記接着剤とを一体化させたの
ちは、加熱または光照射などによる所定の硬化処理に供
される。ウエハなどの物品に与える熱的影響を考慮に入
れる場合は、光照射による硬化処理が特に好適で、その
照射量は、紫外線では３００〜３０００ｍｊ／ｃｍ２　
の範囲とするのがよい。 【００２９】この硬化処理により、上記接着剤はレジス
ト材と一体化した状態で硬化して、その弾性率が前記の
如く著しく増大し、これに伴つてレジスト材とウエハな
どの物品との接着力が大きく低下する。その結果、この
硬化後に接着シ―ト類をはく離することにより、物品上
のレジスト材は、上記接着シ―ト類と一体となつて、簡
単にかつ完全にはく離除去される。 【００３０】このようにレジスト材をはく離除去する方
法によると、アツシヤ―を用いる従来方法のような作業
の長時間化や、レジスト材中の不純物イオンがウエハに
注入されるといつた心配がなく、また溶剤を用いる従来
方法におけるような作業環境の悪化といつた心配も特に
ない。 【００３１】 【発明の効果】以上のように、この発明においては、ウ
エハなどの物品上のレジストに、特定の硬化型感圧性接
着剤を用いた接着シ―ト類を貼り付け、上記接着剤の硬
化後にこの接着シ―ト類とレジストとを一体にはく離処
理するものであるため、レジスト材中の不純物イオンが
ウエハに注入されたり、作業環境を害するといつた問題
を一切生じることなく、簡単かつ確実にレジストの除去
目的を達成できる。 【００３２】 【実施例】つぎに、この発明の実施例を記載してより具
体的に説明する。なお以下、部とあるのは重量部を意味
する。 【００３３】実施例１ アクリル酸ｎ−ブチル８０部、アクリル酸エチル１５部
、アクリル酸５部からなるモノマ―混合物を、酢酸エチ
ル１５０部、アゾビスイソブチロニトリル０．１部を用
いて、窒素気流下６０℃にて１２時間溶液重合を行い、
重量平均分子量が５６万、ガラス転移点が２３１度Ｋの
アクリル系ポリマ―の溶液を得た。 【００３４】このアクリル系ポリマ―の溶液２５０部に
、ウレタンアクリレ―ト（共栄社油脂化学工業株式会社
製の商品名ＵＡ−１０１Ｈ）１００部、ベンジルジメチ
ルケタ―ル３部、ジフエニルメタンジイソシアネ―ト３
部を均一に混合し、硬化型感圧性接着剤溶液とした。 【００３５】つぎに、この硬化型感圧性接着剤溶液を、
厚さが５０μｍのポリエステルフイルム上に、乾燥後の
厚さが５０μｍとなるように塗布し、１５０℃で１０分
乾燥して、レジスト除去用の接着テ―プを作製した。 【００３６】比較例１ 実施例１のアクリル系ポリマ―の溶液２５０部に、ジフ
エニルメタンジイソシアネ―ト３部を均一に混合して、
感圧性接着剤溶液を調製したのち、この溶液を実施例１
と同様にポリエステルフイルム上に塗布して、レジスト
除去用の接着テ―プを作製した。 【００３７】実施例２ アクリル酸２−エチルヘキシル６０部、アクリル酸ブチ
ル３０部、酢酸ビニル５部、アクリル酸５部よりなるモ
ノマ―混合物を、実施例１と同様の方法で重合して、重
量平均分子量が６２万、ガラス転移点が２０７度Ｋのア
クリル系ポリマ―の溶液を得た。 【００３８】このアクリル系ポリマ―の溶液２５０部に
、オリゴエステルアクリレ―ト（東亜合成化学工業株式
会社製の商品名アロニツクスＭ−５４００）１００部、
ベンジルジメチルケタ―ル５部、トリレンジイソシアネ
―ト３部を均一に混合して、硬化型感圧性接着剤溶液を
得、この溶液を実施例１と同様にポリエステルフイルム
上に塗布して、レジスト除去用の接着テ―プを作製した
。 【００３９】上記の実施例１，２および比較例１の各接
着テ―プにつき、その感圧性接着剤の初期弾性率を調べ
た結果、また特に実施例１，２の両接着テ―プにつき高
圧水銀ランプを用いて紫外線を１０００ｍｊ／ｃｍ２　
の照射量で照射し硬化させたのちの上記弾性率を調べた
結果は、つぎのとおりであつた。 【００４０】 　　　　　　　　　　　　　　　　初期弾性率（ｇ／ｍ
ｍ２　）　　　　硬化後の弾性率（ｇ／ｍｍ２　）　　
　　　　実施例１　　　　　　　　　　９．５　　　　
　　　　　　　　　　　　　　１１０．５　　　　　　
　　実施例２　　　　　　　　　　５．３　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　８０．２　　　　　　　
　比較例１　　　　　　　　１３．４　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　―　　　　【００４１】
実施例３ 実施例１の接着テ―プを、シリコンウエハの表面にノボ
ラツクとキノンジアジドからなるレジストを塗布し露光
・現像したパタ―ン上に、１００℃の加熱ロ―ルで加熱
圧着して、貼り付けたのち、高圧水銀ランプを用いて、
紫外線を１０００ｍｊ／ｃｍ２　の照射量で照射して、
感圧性接着剤を硬化させた。 【００４２】この硬化後、接着テ―プをはく離したとこ
ろ、上記のレジストは接着テ―プと一体にはく離除去さ
れた。シリコンウエハの表面を蛍光顕微鏡で観察したが
、レジスト材の存在は全く認められなかつた。 【００４３】実施例４ 実施例２の接着テ―プを用い、実施例３と同様にしてレ
ジストのはく離除去処理を行つたところ、実施例１と同
様の良好な結果が得られた。 【００４４】比較例２ 比較例１の接着テ―プを用い、実施例３と同様にしてレ
ジストのはく離処理を行つてみたところ、接着テ―プだ
けがはく離され、レジストはシリコンウエハの表面にほ
とんど残つていた。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　レジストパタ―ンが存在する物品上に
   、レジスト材との親和性が良好な硬化型感圧性接着剤を
   用いた接着シ―ト類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に
   この接着シ―ト類とレジスト材とを一体にはく離するこ
   とを特徴とするレジストの除去方法。
2. 【請求項２】　　感圧接着性ポリマ―に、分子内に不飽
   和二重結合を１個以上有し、かつレジスト材との親和性
   が良好な不揮発性化合物を含ませたことを特徴とするレ
   ジスト除去用の硬化型感圧性接着剤。
3. 【請求項３】　　感圧接着性ポリマ―が、アクリル酸ア
   ルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエ
   ステルを主モノマ―としたアクリル系ポリマ―からなる
   請求項２に記載のレジスト除去用の硬化型感圧性接着剤
   。
4. 【請求項４】　　感圧接着性ポリマ―を架橋させるため
   の多官能性化合物を含む請求項２または請求項３に記載
   のレジスト除去用の硬化型感圧性接着剤。
5. 【請求項５】　　熱重合開始剤または光重合開始剤を含
   む請求項２〜請求項４のいずれかに記載のレジスト除去
   用の硬化型感圧性接着剤。
6. 【請求項６】　　初期弾性率が硬化後に５倍以上となる
   請求項２〜請求項５のいずれかに記載のレジスト除去用
   の硬化型感圧性接着剤。
7. 【請求項７】　　フイルム基材上に請求項２〜請求項６
   のいずれかに記載の硬化型感圧性接着剤を設けたことを
   特徴とするレジスト除去用の接着シ―ト類。