JPH0433097B2 - - Google Patents
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- JPH0433097B2 JPH0433097B2 JP1231313A JP23131389A JPH0433097B2 JP H0433097 B2 JPH0433097 B2 JP H0433097B2 JP 1231313 A JP1231313 A JP 1231313A JP 23131389 A JP23131389 A JP 23131389A JP H0433097 B2 JPH0433097 B2 JP H0433097B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/241—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
- H01J9/242—Spacers between faceplate and backplate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
- H01J11/12—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
-
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- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
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- H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J11/36—Spacers, barriers, ribs, partitions or the like
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はPDP（plasma display panel）の隔壁
製造方法に関するが、特にスクリーン印刷
（screen printing）方法を利用しないでPDPの隔
壁を製造する方法に関するものである。
製造方法に関するが、特にスクリーン印刷
（screen printing）方法を利用しないでPDPの隔
壁を製造する方法に関するものである。
一般的に、気体放電表示装置は２個のガラス基
板にてそれぞれ形成される上・下部の各々異なる
電極間に不活性ガスを封入し、上記電極に電圧を
印加するに従い発生されるガス放電を利用して数
字・文字等を現す表示素子であるが、画素を指定
して隣接画素との間のクロスストークを防止する
一方、両電極間の距離を一定に維持させるように
する為に隔壁を形成する。
板にてそれぞれ形成される上・下部の各々異なる
電極間に不活性ガスを封入し、上記電極に電圧を
印加するに従い発生されるガス放電を利用して数
字・文字等を現す表示素子であるが、画素を指定
して隣接画素との間のクロスストークを防止する
一方、両電極間の距離を一定に維持させるように
する為に隔壁を形成する。
上記の構造になる気体放電装置の先行技術であ
る日本公開特許58−150248号にては、隔壁を形成
するために通常のスクリーン印刷法を使用してい
る。
る日本公開特許58−150248号にては、隔壁を形成
するために通常のスクリーン印刷法を使用してい
る。
上記において言及した通常のスクリーン印刷に
よる従来のPDP隔壁形成方法を第２図に図示し
た工程に従つて説明すれば次の如くである。
よる従来のPDP隔壁形成方法を第２図に図示し
た工程に従つて説明すれば次の如くである。
即ち、第２図のイに図示したように、ガラス基
板３１の上にで電極製造用ITO（indium
tinoxide）膜３２を塗布し、上記ITO膜３２の上
に第２図ロに図示した如きスピンコーター（spin
coater）等を利用して感光剤
（PHOTORESISTOR）３３を塗布・乾燥させた
後、所定パターンの露光用マスクを利用して上記
感光剤３３を第２図のハのように露光現象する。
板３１の上にで電極製造用ITO（indium
tinoxide）膜３２を塗布し、上記ITO膜３２の上
に第２図ロに図示した如きスピンコーター（spin
coater）等を利用して感光剤
（PHOTORESISTOR）３３を塗布・乾燥させた
後、所定パターンの露光用マスクを利用して上記
感光剤３３を第２図のハのように露光現象する。
しかる後、上記感光剤３３に対してITOエツチ
ング溶液を使用すれば第２図のニに図示した如く
感光剤３３が露光された部分のITOだけが残り、
その外の部分はエツチングされる。
ング溶液を使用すれば第２図のニに図示した如く
感光剤３３が露光された部分のITOだけが残り、
その外の部分はエツチングされる。
このように形成される各ITO電極３４の間に隔
壁を形成するために上記ITO電極の上に残つてい
る感光剤を感光剤剥離溶液にいれて除去し（第２
図のホ参照）、感光剤３３が除去されたITO電極
３４の間にスクリーンマスクを利用してガラスペ
ーストで７乃至10回繰り返して印刷・乾燥するこ
とによつて第２図のヘのように隔壁３５を形成さ
せる。
壁を形成するために上記ITO電極の上に残つてい
る感光剤を感光剤剥離溶液にいれて除去し（第２
図のホ参照）、感光剤３３が除去されたITO電極
３４の間にスクリーンマスクを利用してガラスペ
ーストで７乃至10回繰り返して印刷・乾燥するこ
とによつて第２図のヘのように隔壁３５を形成さ
せる。
しかし、このような従来のスクリーン印刷によ
る隔壁形成方法においてはスクリーンマスクと
PDPのガラス基板との整列不一致により隔壁の
幅が一定に形成されないので、これに伴い電極の
上にガラスペーストが侵害されて放電特性が低下
すると云う問題点が提起されており、且つスクリ
ーンマスクの上にガラスペーストを印刷する技術
に諸般の問題もあつて改善の必要性があつた。ま
た、PDPセルの大きさによつてスクリーンマス
クの構造も一緒に変更させることを要する問題も
あつた。
る隔壁形成方法においてはスクリーンマスクと
PDPのガラス基板との整列不一致により隔壁の
幅が一定に形成されないので、これに伴い電極の
上にガラスペーストが侵害されて放電特性が低下
すると云う問題点が提起されており、且つスクリ
ーンマスクの上にガラスペーストを印刷する技術
に諸般の問題もあつて改善の必要性があつた。ま
た、PDPセルの大きさによつてスクリーンマス
クの構造も一緒に変更させることを要する問題も
あつた。
従つて、本発明はスクリーンマスクが無しに
PDP隔壁を正確な位置に形成させ、併せて製造
工程を簡単にして隔壁を製造する方法を提供する
のにその目的がある。
PDP隔壁を正確な位置に形成させ、併せて製造
工程を簡単にして隔壁を製造する方法を提供する
のにその目的がある。
上記した目的を達成するが為の本発明の隔壁を
製造する方法は、所定の形態を持つ透明電極が設
けられたガラス基板の上に乳剤が塗布さたフイル
ムを付着して乳剤層を形成する工程と、上記乳剤
層が透明電極の上にのみ所定の形態で形成される
よう紫外線を照射する工程と、紫外線照射工程の
後乳剤層を現像する工程と、現像工程の後のガラ
ス基板の上に隔壁製造用ガラスペーストを印刷・
乾燥及び熱処理する工程と、不必要な乳剤層並び
にガラスペーストを分離させるためにガラス基板
を超音波振動させる工程にてなる。
製造する方法は、所定の形態を持つ透明電極が設
けられたガラス基板の上に乳剤が塗布さたフイル
ムを付着して乳剤層を形成する工程と、上記乳剤
層が透明電極の上にのみ所定の形態で形成される
よう紫外線を照射する工程と、紫外線照射工程の
後乳剤層を現像する工程と、現像工程の後のガラ
ス基板の上に隔壁製造用ガラスペーストを印刷・
乾燥及び熱処理する工程と、不必要な乳剤層並び
にガラスペーストを分離させるためにガラス基板
を超音波振動させる工程にてなる。
以下、添付した図面により本発明の実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は本発明によるPDPの隔壁を製造する
方法を説明するための隔壁製造工程の順序を示す
図である。
方法を説明するための隔壁製造工程の順序を示す
図である。
本発明のPDP隔壁製造工程は、スクリーン印
刷法等によつてガラス基板１上に透明電極２を形
成させた後実施されるのであるが、先ず第１図の
イに図示されているように透明電極２が形成され
ているガラス基板１の上に乳剤が塗布されたフイ
ルムを付着した後、前記乳剤からフイルムを剥離
させて透明電極２が形成されたガラス基板１の上
に乳剤層３を形成される。
刷法等によつてガラス基板１上に透明電極２を形
成させた後実施されるのであるが、先ず第１図の
イに図示されているように透明電極２が形成され
ているガラス基板１の上に乳剤が塗布されたフイ
ルムを付着した後、前記乳剤からフイルムを剥離
させて透明電極２が形成されたガラス基板１の上
に乳剤層３を形成される。
上記のように形成された乳剤層３が透明電極２
の上にのみ残留されるよう波長が310nｍ〜460n
ｍである紫外線を利用して乳剤層３が形成された
ガラス基板１を60〜120秒ぐらい照射した後、現
像溶液にて現像させれば第１図ロに図示されてい
るようにガラス基板１の上に塗布されていた乳剤
層は除去されて透明電極２の上にのみ乳剤層３が
残留される。
の上にのみ残留されるよう波長が310nｍ〜460n
ｍである紫外線を利用して乳剤層３が形成された
ガラス基板１を60〜120秒ぐらい照射した後、現
像溶液にて現像させれば第１図ロに図示されてい
るようにガラス基板１の上に塗布されていた乳剤
層は除去されて透明電極２の上にのみ乳剤層３が
残留される。
このような状態において、隔壁製造用ガラスペ
ーストを第１図ハに図示したが如く印刷した後熱
処理する。
ーストを第１図ハに図示したが如く印刷した後熱
処理する。
上記した熱処理工程は第１図のハにて図示した
が如く、ガラス基板の上に印刷されたガラスペー
スト４を温度120〜600℃で１時間にわたつて乾燥
又は焼成することによつてガラス基板１の上にガ
ラスペースト４が固着するようにする。
が如く、ガラス基板の上に印刷されたガラスペー
スト４を温度120〜600℃で１時間にわたつて乾燥
又は焼成することによつてガラス基板１の上にガ
ラスペースト４が固着するようにする。
上記工程において、ガラスペースト４が熱処理
された場合、ガラスペースト４のガラス基板１に
対する接着力が乳剤層３の透明電極２に対する接
着力よりも強いので、このような状態のガラス基
板１を50KHz以上の超音波を利用して一定時間に
亘つて振動させ乳剤層３を透明電極２から分離さ
れるようにすると共に乳剤層３の上に形成された
ガラスペーストを除去するようにする。
された場合、ガラスペースト４のガラス基板１に
対する接着力が乳剤層３の透明電極２に対する接
着力よりも強いので、このような状態のガラス基
板１を50KHz以上の超音波を利用して一定時間に
亘つて振動させ乳剤層３を透明電極２から分離さ
れるようにすると共に乳剤層３の上に形成された
ガラスペーストを除去するようにする。
これに伴つて、第１図のニに図示された如くガ
ラス基板１の上に隔壁５が一定に形成される。
ラス基板１の上に隔壁５が一定に形成される。
このように本発明によるガラスペースト４は、
従来の方法であるスクリーンマスクの利用方法を
使用しなくても形成されることができる。
従来の方法であるスクリーンマスクの利用方法を
使用しなくても形成されることができる。
尚、スクリーンマスクを利用してガラスペース
トを複数回繰返して印刷する従来の方法は、隔壁
の整列不一致及び隔壁の幅の変化により惹き起こ
される問題があつたが、本発明によるガラスペー
スト４を形成するようにすれば上記の問題を解決
することができる。
トを複数回繰返して印刷する従来の方法は、隔壁
の整列不一致及び隔壁の幅の変化により惹き起こ
される問題があつたが、本発明によるガラスペー
スト４を形成するようにすれば上記の問題を解決
することができる。
以上において説明したが如く、本発明によれば
スクリーンマスクを通ず通じてガラスペーストを
繰返し印刷して隔壁を形成させる従来の方法を利
用した場合に発生する隔壁の整列不一致および不
正確さを解消して正確ながらも簡単にPDPの隔
壁を形成させることができ、且つ、また本発明に
於いては、スクリーンマスクを利用しない為に
PDPのセルの大きさに関係なく隔壁を製造し得
ると共に、電極もまた本発明による製造方法を形
成させることができる。
スクリーンマスクを通ず通じてガラスペーストを
繰返し印刷して隔壁を形成させる従来の方法を利
用した場合に発生する隔壁の整列不一致および不
正確さを解消して正確ながらも簡単にPDPの隔
壁を形成させることができ、且つ、また本発明に
於いては、スクリーンマスクを利用しない為に
PDPのセルの大きさに関係なく隔壁を製造し得
ると共に、電極もまた本発明による製造方法を形
成させることができる。
第１図は本発明による隔壁製造工程の順序を示
す図、第２図は従来のスクリーン印刷法による隔
壁製造工程の順序を示す図である。 １……ガラス基板、２……透明電極、３……乳
剤層、４……ガラスペースト、５……隔壁。
す図、第２図は従来のスクリーン印刷法による隔
壁製造工程の順序を示す図である。 １……ガラス基板、２……透明電極、３……乳
剤層、４……ガラスペースト、５……隔壁。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電極製造工程と隔壁製造工程とからなる通常
のプラズマ表示装置の製造方法において、透明電
極２が設置されたガラス基板１の上に乳剤が塗布
されたフイルムを利用して乳剤層３を形成する工
程と、前記乳剤層３が上記透明電極２の上にのみ
形成されるよう一定の露光条件にて紫外線を照射
する工程と現像工程、および上記の如く形成され
たガラス基板１の上に隔離製造用ガラスペートを
印刷して熱処理する工程と、上記透明電極２上の
乳剤層３と不必要なガラスペーストとを除去する
ために上記ガラス基板１を超音波振動させる工程
からなることを特徴とするPDPの隔壁製造方法。 ２ 乳剤層形成工程において、乳剤層３に対する
露光は波長が310nｍ〜460ｍｎの紫外線を利用し
て60〜120秒間実施し、熱処理工程において隔壁
製造用ガラスペーストに対する熱処理は120〜600
℃の温度で１時間に亘つて実施し、超音波振動工
程においてガラス基板１に対する超音波振動は
50KHz以上の超音波を利用して実施するのを特徴
とする請求の範囲第１項のPDPの隔壁製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR88P11870 | 1988-09-14 | ||
| KR8811870A KR910003693B1 (en) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | Pdp barrack manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02297833A JPH02297833A (ja) | 1990-12-10 |
| JPH0433097B2 true JPH0433097B2 (ja) | 1992-06-02 |
Family
ID=19277726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1231313A Granted JPH02297833A (ja) | 1988-09-14 | 1989-09-06 | Ｐｄｐの隔壁製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5116704A (ja) |
| JP (1) | JPH02297833A (ja) |
| KR (1) | KR910003693B1 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5198008A (en) * | 1990-11-09 | 1993-03-30 | National Semiconductor Corporation | Method of fabricating an optical interconnect structure |
| US5742117A (en) * | 1992-04-10 | 1998-04-21 | Candescent Technologies Corporation | Metallized high voltage spacers |
| US5532548A (en) * | 1992-04-10 | 1996-07-02 | Silicon Video Corporation | Field forming electrodes on high voltage spacers |
| US5477105A (en) * | 1992-04-10 | 1995-12-19 | Silicon Video Corporation | Structure of light-emitting device with raised black matrix for use in optical devices such as flat-panel cathode-ray tubes |
| GB2276270A (en) * | 1993-03-18 | 1994-09-21 | Ibm | Spacers for flat panel displays |
| US5382317A (en) * | 1994-02-18 | 1995-01-17 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of selectively applying a coating to a bilevel substrate |
| KR0154164B1 (ko) * | 1994-07-11 | 1998-12-01 | 김주용 | 반도체소자의 제조방법 |
| SG64844A1 (en) * | 1994-07-21 | 1999-05-25 | Sony Corp | Plasma-addressed display device |
| JPH0992134A (ja) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Dainippon Printing Co Ltd | ノズル塗布方法及び装置 |
| JP4036507B2 (ja) * | 1997-02-12 | 2008-01-23 | 大日本印刷株式会社 | プラズマディスプレイパネルの蛍光面形成方法 |
| KR100253704B1 (ko) * | 1997-06-25 | 2000-04-15 | 김영환 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| JPH11139846A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-05-25 | Shipley Far East Kk | 感光性ガラスペースト |
| US6352763B1 (en) | 1998-12-23 | 2002-03-05 | 3M Innovative Properties Company | Curable slurry for forming ceramic microstructures on a substrate using a mold |
| US6247986B1 (en) | 1998-12-23 | 2001-06-19 | 3M Innovative Properties Company | Method for precise molding and alignment of structures on a substrate using a stretchable mold |
| US6878333B1 (en) | 1999-09-13 | 2005-04-12 | 3M Innovative Properties Company | Barrier rib formation on substrate for plasma display panels and mold therefor |
| US6821178B2 (en) | 2000-06-08 | 2004-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Method of producing barrier ribs for plasma display panel substrates |
| US7033534B2 (en) * | 2001-10-09 | 2006-04-25 | 3M Innovative Properties Company | Method for forming microstructures on a substrate using a mold |
| US7176492B2 (en) * | 2001-10-09 | 2007-02-13 | 3M Innovative Properties Company | Method for forming ceramic microstructures on a substrate using a mold and articles formed by the method |
| KR20030073698A (ko) * | 2002-03-12 | 2003-09-19 | 문명술 | 인삼 동결 진공 건조장치 및 건조방법 |
-
1988
- 1988-09-14 KR KR8811870A patent/KR910003693B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1989
- 1989-09-06 JP JP1231313A patent/JPH02297833A/ja active Granted
- 1989-09-06 US US07/403,767 patent/US5116704A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02297833A (ja) | 1990-12-10 |
| US5116704A (en) | 1992-05-26 |
| KR910003693B1 (en) | 1991-06-08 |
| KR900005527A (ko) | 1990-04-14 |
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Legal Events
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