JPH0430556Y2 - - Google Patents

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JPH0430556Y2
JPH0430556Y2 JP1986112207U JP11220786U JPH0430556Y2 JP H0430556 Y2 JPH0430556 Y2 JP H0430556Y2 JP 1986112207 U JP1986112207 U JP 1986112207U JP 11220786 U JP11220786 U JP 11220786U JP H0430556 Y2 JPH0430556 Y2 JP H0430556Y2
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JP
Japan
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protrusions
linear motion
bed
intermediate table
motion rolling
Prior art date
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JP1986112207U
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JPS6319295U (ja
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は精密に移動位置を決めることのでき
る位置決めテーブル(直角2軸位置決めテーブル
はXYテーブルともいう)に関するものである。
従来の技術 この種の位置決めテーブルは、ボールねじとス
テツピングモータを使用したものや駆動方法を手
動装置にしたものなど、各種の形式のものが実施
されているが、その多くは1軸用と2軸用とで部
品の共通化が図られていないため部品点数が多
く、さらに、テーブルの外にモータなどの駆動装
置を固着するため、装置が大型化し、高価なもの
となつた。また、複雑な形状であるため、位置決
めテーブルとしての精度も不安定なものであつ
た。
考案の目的 本考案は、従来の位置決めテーブルの欠点を解
消し、1軸用と2軸用との転用容易で、構造簡単
で、精度が高く、しかも安価な位置決めテーブル
を提供することを目的とする。
問題点を解決ための手段 本考案はこの要求に十分対応するために、次の
構成を有する。
(1) テーブル、中間テーブル、ベツドおよび4組
の同一種類、同一形状の2本の軌道台と転動体
群とを有する直線運動転がり軸受の組み合せか
らなり、前記テーブルの下面には間隔を存して
平行に2本の突起部が突設され、前記中間テー
ブルの上面には前記テーブル下面の2本の突起
部にそれぞれ対峙して2本の突起部が平行に突
設され、前記テーブル下面の2本の突起部には
それぞれ前記直線運動転がり軸受の一方の軌道
台が固着され、前記中間テーブル上面の2本の
突起部にはそれぞれ前記直線運動転がり軸受の
他方の軌道台が前記一方の軌道台と対峙して固
着され、前記テーブルは、前記対峙するテーブ
ル側軌道台、中間テーブル側軌道台および前記
両軌道台に挟持される転動体群により形成され
る2組の直線運動転がり軸受を介して、該直線
運動転がり軸受の摺動方向に中間テーブル上を
摺動自在とされ、また前記中間テーブルの下面
には、前記テーブル下面の2本の突起部と同一
間隔で同一断面形状の2本の突起部が、前記中
間テーブルの上面の2本の突起部と直角方向に
平行して突設され、前記ベツドの上面には、前
記中間テーブル下面の2本の突起部とそれぞれ
対峙して、前記中間テーブル上面の2本の突起
部と同一間隔で同一断面形状の2本の突起部が
それぞれ突設され、前記中間テーブル下面の2
本の突起部にはそれぞれ直線運動転がり軸受の
一方の軌道台が固着され、前記ベツド上面の2
本の突起部にはそれぞれ前記直線運動転がり軸
受の他方の軌道台が前記一方の軌道台と対峙し
て固着され、前記中間テーブルは、前記対峙す
る中間テーブル側軌道台、ベツド側軌道台およ
び前記両軌道台に挟持される転動体群により形
成される2組の直線運動転がり軸受を介して、
該直線運動転がり軸受の摺動方向すなわち前記
テーブル、中間テーブル間の直線運動転がり軸
受の摺動方向と直角方向に、ベツド上を摺動自
在とされ、かつ前記テーブルおよびベツドが、
前記テーブル側の軌道台、ベツド側の軌道台お
よび転動体群からなる2組の直線運動転がり軸
受を介して、中間テーブルを用いることなく、
直接摺動自在に装着可能とされている位置決め
テーブル。
(2) 前記位置決めテーブルの駆動装置として、テ
ーブルと中間テーブルとの間および中間テーブ
ルとベツドとの間に、それぞれ同一形状、同一
形式のリニアパルスモータが設けられている前
記第(1)項記載の位置決めテーブル。
(3) テーブル上面とベツド下面との面形状が略正
方形とされている前記(1)項記載の位置決めテー
ブル。
実施例 第1図〜第4図は本考案の実施例を示すもの
で、第1図は本考案の実施例を示す2軸用位置決
めテーブルの斜視図、第2図は第1図中A−A線
断面図、第3図は第1図のテーブル、中間テーブ
ル、ベツドのみを示す分解斜視図、第4図は第3
図のテーブルとベツドおよび2組の直線運動転が
り軸受を使つて1軸用中間テーブルとした斜視図
である。
第1図は、本考案の実施例を示す2軸用位置決
めテーブルである。テーブル1はその摺動方向で
あるY方向に直角な断面でコ字状に形成されてお
り、下面両側端の突起部1a,1aにはそれぞれ
内側にクロスローラ直線運動軸受4,4の一方の
軌道台4b,4bが固着されている。クロスロー
ラ直線運動軸受4,4の他方の軌道台4c,4c
は中間テーブル3の上面の、前記突起部1aの内
側の摺動方向(Y方向)に対峙して突出形成され
た突起部3a,3aの外側にそれぞれ前記軌道台
4b,4bと対峙して固着されている。
中間テーブル3の上面の前記突起部3a,3a
の中間の摺動方向(Y方向)には、リニアパルス
モータのスケール部6が埋め込まれている。中間
テーブル3の下面とベツド2の上面の関係は、テ
ーブル1の下面と中間テーブル3の上面の関係を
そのままに、90°回転させた状態と同一になつて
いる。すなわち、中間テーブル3の下面には、前
記突起部3a,3aと直角方向に、両端に前記突
起部1a,1aと同大の突起部3b,3bが前記
突起部1a,1aと等間隔に断面コ字状に垂設さ
れ、前記突起部3b,3bのそれぞれの内側には
前記軌道台4b,4bが固着されている。ベツド
2の上面には前記突起部3a,3aと同大の突起
部2a,2aが前記突起部3a,3aと等間隔に
突設され、前記突起部2a,2aのそれぞれの外
側には前記軌道台4c,4cが固着されている。
クロスローラ直線運動軸受4は軌道台4b,4
cおよび該軌道台4b,4cに挟持される円筒こ
ろ4a群により形成される。
前記中間テーブル3は、2組の平行なクロスロ
ーラ直線運動軸受4,4を介して、ベツド2上を
X方向に摺動自在とされ、前記テーブル1は、2
組の平行な別のクロスローラ直線運動軸受4,4
を介して中間テーブル上を、前記X方向と直角方
向であるY方向に摺動自在とされている、従つて
テーブル1はベツド2に対しXYの2方向に摺動
することができるようになつている。
第2図は第1図中A−A線断面図である。テー
ブル1の下面中央には、Y方向にリニアパルスモ
ータのスライダー部5が取付けられ、中間テーブ
ル3の上面の突起部3a,3aの中間のY方向に
取付けられたスケール6aとの間にわずかな隙間
が形成されている。
さらに、中間テーブル3の下面中央には、X方
向にリニアパルスモータのスライダー部5が取付
けられ、ベツド2の上面中央のX方向に取付けら
れたスケール部6のスケール6aとの間でわずか
な隙間を形成している。
各スライダー部5とスケール部6との間の隙間
は、それぞれの摺動方向であるX方向またはY方
向の両側に取付けられたクロスローラ直線運動軸
受4,4の仕上および取付の精度が大きく影響す
る。リニアパルスモータは駆動装置としての作用
だけを担当する。
クロスローラ直線運動軸受4は、長尺状の軌道
台4bおよび4cの対峙する壁面に形成された軌
道溝間に円筒ころ4a群を相隣る円筒ころ4aの
それぞれの軸心を直交させて配列したものを示し
たが、ボールを転動体とした直線運動軸受であつ
てもよい。
さらに、図面で示した有限の直線運動軸受だけ
でなく、無限に直線運動する転がり軸受を用いる
ことも容易に可能である。
スライダー部5は、同一形式、形状の公知なも
ので構成されており、第2図に示すごとく、主要
部品としては、コア5bの周囲をコイル5aが巻
かれ、コア5bの前記スケール6と反対側にはマ
グネツト5cが固着されている。これら全体は固
定板5dに固定され、固定板5dはボルトにより
中間テーブル3やテーブル1の下面中央に固着さ
れている。
第3図は第1図のクロスローラ直線運動軸受
4、スライダー部5およびスケール部6を取り除
き、テーブル1、中間テーブル3、ベツド2のみ
を示す分解斜視図である。これら三つの部材1,
2,3の各突起部1a,2a,3aおよび3bの
位置関係を示したものである。
第1図〜第3図は、X,Y2軸の位置決めテー
ブルを構成するときの各部材の位置関係を示した
ものである。1軸用の位置決めテーブルにすると
きは、中間テーブル3を取り除き、テーブル1を
90°回転させて、ベツド2と直接組合わせるだけ
で良く、この実施例として、組合わされた1軸用
位置決めテーブルを第4図に示した。
2軸の位置決めテーブルと1軸の位置決めテー
ブルの部品点数がこれにより著しく、減少させる
ことができ、安価であると共に、リニアパルスモ
ータを駆動装置にしているため、テーブルの寸法
範囲内にすべてが収納でき、小形化が図れる。
さらにテーブルやベツドを略正方形にすれば、
クロスローラ直線運動軸受をもX方向、Y方向い
ずれでも同一長のものを共用でき、製造、準備し
ておく部品点数をより少なくすることができる。
また前記位置決めテーブルを倒置し、テーブル
1を下にベツド2を上にして用いることができる
ことは勿論である。
効 果 本考案は次の効果を有する。
位置決めテーブルの生産において、1軸用
と2軸用との共通部品化が図れ、市販の2本の
軌道台と転動体群とからなる直線運動転がり軸
受を適宜組み合せて用いることができ、生産管
理が容易となるだけでなく、安価に位置決めテ
ーブルを提供できる。
形状が従来のものに比べて単純となり、保
守・修理が容易である。
精度的にも安定化する。
位置決めテーブルが軽量化・小形化できる。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第4図は、本考案の実施例を示すもの
で、第1図は本考案の実施例を示す2軸用位置決
めテーブルの斜視図、第2図は第1図中A−A線
断面図、第3図は第1図のテーブル、中間テーブ
ル、ベツドのみを示す分解斜視図、第4図は第3
図のテーブルとベツドを使つて1軸用位置決めテ
ーブルとした斜視図である。 1……テーブル、1a,2a,3a,3b……
突起部、2……ベツド、3……中間テーブル、4
……クロスローラ直線運動軸受、4a……円筒こ
ろ、4b,4c……軌道台、5……スライダー
部、5a……コイル、5b……コア、5c……マ
クネツト、5d……固定板、6……スケール部、
6a……スケール。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 テーブル、中間テーブル、ベツドおよび4組
    の同一種類、同一形状の2本の軌道台と転動体
    群とを有する直線運動転がり軸受の組合せ、か
    らなり、前記テーブルの下面には間隔を存して
    平行に2本の突起部が突設され、前記中間テー
    ブルの上面には前記テーブル下面の2本の突起
    部にそれぞれ対峙して2本の突起部が平行に突
    設され、前記テーブル下面の2本の突起部には
    それぞれ前記直線運動転がり軸受の一方の軌道
    台が固着され、前記中間テーブル上面の2本の
    突起部にはそれぞれ前記直線運動転がり軸受の
    他方の軌道台が前記一方の軌道台と対峙して固
    着され、前記テーブルは、前記対峙するテーブ
    ル側軌道台、中間テーブル側軌道台および前記
    両軌道台に挟持される転動体群により形成され
    る2組の直線運動転がり軸受を介して、該直線
    運動転がり軸受の摺動方向に中間テーブル上を
    摺動自在とされ、また前記中間テーブルの下面
    には、前記テーブル下面の2本の突起部と同一
    間隔で同一断面形状の2本の突起部が、前記中
    間テーブルの上面の2本の突起部と直角方向に
    平行して突設され、前記ベツドの上面には、前
    記中間テーブル下面の2本の突起部とそれぞれ
    対峙して、前記中間テーブル上面の2本の突起
    部と同一間隔で同一断面形状の2本の突起部が
    それぞれ突設され、前記中間テーブル下面の2
    本の突起部にはそれぞれ直線運動転がり軸受の
    一方の軌道台が固着され、前記ベツド上面の2
    本の突起部にはそれぞれ前記直線運動転がり軸
    受の他方の軌道台が前記一方の軌道台と対峙し
    て固着され、前記中間テーブルは、前記対峙す
    る中間テーブル側軌道台、ベツド側軌道台およ
    び前記両軌道台に挟持される転動体群により形
    成される2組の直線運動転がり軸受を介して、
    該直線運動転がり軸受の摺動方向すなわち前記
    テーブル、中間テーブル間の直線運動転がり軸
    受の摺動方向と直角方向に、ベツド上を摺動自
    在とされ、かつ前記テーブルおよびベツドが、
    前記テーブル側の軌道台、ベツド側の軌道台お
    よび転動体群からなる2組の直線運動転がり軸
    受を介して、中間テーブルを用いることなく、
    直接摺動自在に装着可能とされていることを特
    徴とする位置決めテーブル。 2 前記位置決めテーブルの駆動装置として、テ
    ーブルと中間テーブルとの間および中間テーブ
    ルとベツドとの間に、それぞれ同一形状、同一
    形式のリニアパルスモータが設けられている実
    用新案登録請求の範囲第1項記載の位置決めテ
    ーブル。 3 テーブル上面とベツド下面との面形状が略正
    方形とされている実用新案登録請求の範囲第1
    項記載の位置決めテーブル。
JP1986112207U 1986-07-22 1986-07-22 Expired JPH0430556Y2 (ja)

Priority Applications (1)

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JP1986112207U JPH0430556Y2 (ja) 1986-07-22 1986-07-22

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986112207U JPH0430556Y2 (ja) 1986-07-22 1986-07-22

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Publication Number Publication Date
JPS6319295U JPS6319295U (ja) 1988-02-08
JPH0430556Y2 true JPH0430556Y2 (ja) 1992-07-23

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ID=30992862

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1986112207U Expired JPH0430556Y2 (ja) 1986-07-22 1986-07-22

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52104247A (en) * 1976-02-27 1977-09-01 Nippon Chemical Ind Cross motion stage
JPS5325979A (en) * 1976-08-21 1978-03-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Cross travelling loading bed
JPS56137207A (en) * 1980-03-31 1981-10-27 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Measuring apparatus for two-dimensional coordinate

Patent Citations (3)

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JPS56137207A (en) * 1980-03-31 1981-10-27 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Measuring apparatus for two-dimensional coordinate

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JPS6319295U (ja) 1988-02-08

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