JPH04302810A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH04302810A JPH04302810A JP3121971A JP12197191A JPH04302810A JP H04302810 A JPH04302810 A JP H04302810A JP 3121971 A JP3121971 A JP 3121971A JP 12197191 A JP12197191 A JP 12197191A JP H04302810 A JPH04302810 A JP H04302810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- groove
- magnetic
- magnetic layer
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 129
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 abstract 7
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- BYFGZMCJNACEKR-UHFFFAOYSA-N aluminium(i) oxide Chemical compound [Al]O[Al] BYFGZMCJNACEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録再生装置に使
用する薄膜磁気ヘッドに関するものである。
用する薄膜磁気ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図7は、従来の薄膜磁気ヘッド10の要
部拡大断面図である。同図において、11は非磁性絶縁
基板、12は下部磁性体層、13はギャップ層、14は
第1の絶縁層、15は第1のコイル層、16は第2の絶
縁層、17は第2のコイル層、18は第3の絶縁層、1
9は上部磁性体層、20は保護層である。
部拡大断面図である。同図において、11は非磁性絶縁
基板、12は下部磁性体層、13はギャップ層、14は
第1の絶縁層、15は第1のコイル層、16は第2の絶
縁層、17は第2のコイル層、18は第3の絶縁層、1
9は上部磁性体層、20は保護層である。
【0003】図8は従来の薄膜磁気ヘッド10の製造工
程(工程1〜工程3)を、図9は製造工程(工程4〜工
程6)を示す要部断面工程図である。
程(工程1〜工程3)を、図9は製造工程(工程4〜工
程6)を示す要部断面工程図である。
【0004】以下、図8、図9を用いて製造工程を説明
する。 工程1、ガラス或いはセラミックスなどの耐磨耗性の材
料からなる非磁性絶縁基板11上にアモルファスなどの
材料からなる下部磁性体層12を形成する。 工程2、下部磁性体層12上にSiO2 、Al2 O
3 などの材料からなり、ヘッドギャップを構成するギ
ャップ層13を形成する。さらに、このギャップ層13
上には絶縁体層である第1の絶縁層14を形成する。 工程3、第1の絶縁層14上の所定の位置に第1のコイ
ル層15を形成する。この第1のコイル層15を覆うよ
うに第2の絶縁層16を形成する。 工程4、第2の絶縁層16上に前工程3と同様にして第
2のコイル層17を形成する。この第2のコイル層17
を覆うように第3の絶縁層18を形成する。 工程5、第3の絶縁層18上に上部磁性体層19を形成
する。この結果、下部磁性体層12と上部磁性体層19
とで磁気ループを形成することができる。工程6、さら
に、上部磁性体層19を覆うように、樹脂あるいは低融
点ガラスな どの材料からなる保護層2
0を形成する。
する。 工程1、ガラス或いはセラミックスなどの耐磨耗性の材
料からなる非磁性絶縁基板11上にアモルファスなどの
材料からなる下部磁性体層12を形成する。 工程2、下部磁性体層12上にSiO2 、Al2 O
3 などの材料からなり、ヘッドギャップを構成するギ
ャップ層13を形成する。さらに、このギャップ層13
上には絶縁体層である第1の絶縁層14を形成する。 工程3、第1の絶縁層14上の所定の位置に第1のコイ
ル層15を形成する。この第1のコイル層15を覆うよ
うに第2の絶縁層16を形成する。 工程4、第2の絶縁層16上に前工程3と同様にして第
2のコイル層17を形成する。この第2のコイル層17
を覆うように第3の絶縁層18を形成する。 工程5、第3の絶縁層18上に上部磁性体層19を形成
する。この結果、下部磁性体層12と上部磁性体層19
とで磁気ループを形成することができる。工程6、さら
に、上部磁性体層19を覆うように、樹脂あるいは低融
点ガラスな どの材料からなる保護層2
0を形成する。
【0005】上記は下部磁性体層12と上部磁性体層1
9との層間に二層のコイル層15、17を設けた従来の
薄膜磁気ヘッド10の一例を説明したが、この薄膜磁気
ヘッド10を構成する各層の形成には、スパッタリング
や蒸着などの薄膜形成技術や、イオンミリングやドライ
エッチングなどの薄膜加工技術などの手法が用いられて
いる。
9との層間に二層のコイル層15、17を設けた従来の
薄膜磁気ヘッド10の一例を説明したが、この薄膜磁気
ヘッド10を構成する各層の形成には、スパッタリング
や蒸着などの薄膜形成技術や、イオンミリングやドライ
エッチングなどの薄膜加工技術などの手法が用いられて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した薄膜磁気ヘッ
ド10において、磁気ループを形成する下部磁性体層1
2と上部磁性体層19の各々の厚さは、磁気飽和を避け
るために、例えば数10μm程度に厚くする必要がある
。しかし、この程度の厚さになると、下部磁性体層12
、上部磁性体層19にパターンニングする場合、パター
ン精度は±5〜10μm程度になって精度が非常に悪く
なるものである。
ド10において、磁気ループを形成する下部磁性体層1
2と上部磁性体層19の各々の厚さは、磁気飽和を避け
るために、例えば数10μm程度に厚くする必要がある
。しかし、この程度の厚さになると、下部磁性体層12
、上部磁性体層19にパターンニングする場合、パター
ン精度は±5〜10μm程度になって精度が非常に悪く
なるものである。
【0007】従って、下部磁性体層12、上部磁性体層
19をパターンニングすることにより、薄膜磁気ヘッド
10のトラック幅を形成する場合、高い精度のトラック
幅を得ることが困難であるという問題があった。
19をパターンニングすることにより、薄膜磁気ヘッド
10のトラック幅を形成する場合、高い精度のトラック
幅を得ることが困難であるという問題があった。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたものであり、非磁性絶縁基板上に
少なくとも、下部磁性体層と、ギャップ層と、第1の絶
縁層と、コイル導体層と、第2の絶縁層と、上部磁性体
層と、保護層とを順次積層してなる薄膜ヘッドにおいて
、少なくとも前記下部磁性体層または前記上部磁性体層
が、トラック幅と同一の溝幅からなる第1の溝と、前記
第1の溝と直交する第2の溝とに充填された磁性体層か
らなることを特徴とする薄膜磁気ヘッドを提供しようと
するものである。
決するためになされたものであり、非磁性絶縁基板上に
少なくとも、下部磁性体層と、ギャップ層と、第1の絶
縁層と、コイル導体層と、第2の絶縁層と、上部磁性体
層と、保護層とを順次積層してなる薄膜ヘッドにおいて
、少なくとも前記下部磁性体層または前記上部磁性体層
が、トラック幅と同一の溝幅からなる第1の溝と、前記
第1の溝と直交する第2の溝とに充填された磁性体層か
らなることを特徴とする薄膜磁気ヘッドを提供しようと
するものである。
【0009】
【実施例】図1は本発明の薄膜磁気ヘッド50の一実施
例の要部拡大断面図である。
例の要部拡大断面図である。
【0010】同図において、本発明の薄膜磁気ヘッド5
0は非磁性絶縁基板51、下部磁性体層52、ギャップ
層53、第1の絶縁層54、第1のコイル層55、第2
の絶縁層56、第2のコイル層57、第3の絶縁層58
、上部磁性体層59、保護層60から構成されているが
、従来の薄膜磁気ヘッド10との相違は下部磁性体層5
2と上部磁性体層59の構成が異なる点である。
0は非磁性絶縁基板51、下部磁性体層52、ギャップ
層53、第1の絶縁層54、第1のコイル層55、第2
の絶縁層56、第2のコイル層57、第3の絶縁層58
、上部磁性体層59、保護層60から構成されているが
、従来の薄膜磁気ヘッド10との相違は下部磁性体層5
2と上部磁性体層59の構成が異なる点である。
【0011】以下、下部磁性体層52と上部磁性体層5
9について図2〜図3と併せて説明する。
9について図2〜図3と併せて説明する。
【0012】下部磁性体層52は非磁性絶縁基板51上
に形成した互いに直交する第1の溝52a,第2の溝5
2bに磁性体層52cを充填したものである。
に形成した互いに直交する第1の溝52a,第2の溝5
2bに磁性体層52cを充填したものである。
【0013】図2は非磁性絶縁基板51上に形成した互
いに直交する第1の溝52a,第2の溝52bを示す拡
大要部斜視図、図3は図2の第1の溝52a,第2の溝
52bに磁性体層52cを充填した下部磁性体層52の
拡大要部斜視図で、61はテープ摺動面,tはトラック
幅である。
いに直交する第1の溝52a,第2の溝52bを示す拡
大要部斜視図、図3は図2の第1の溝52a,第2の溝
52bに磁性体層52cを充填した下部磁性体層52の
拡大要部斜視図で、61はテープ摺動面,tはトラック
幅である。
【0014】非磁性絶縁基板51は従来の薄膜磁気ヘッ
ド10と同様にガラス或いはセラミックスなどの耐磨耗
性の材料からなり、この非磁性絶縁基板51上には、ダ
イシングソーやレーザまたは各種エッチング法などを用
いて第1の溝52a,第2の溝52bが形成されている
。この第1の溝52aはトラック幅(例えば19μm)
相当、第2の溝52bは磁路長(例えば300μm)相
当の溝幅からなり、各々の溝深さWは数10μmである
。また、第1の溝52aの一端はテープ摺動面61に露
出してトラック幅tを形成している。
ド10と同様にガラス或いはセラミックスなどの耐磨耗
性の材料からなり、この非磁性絶縁基板51上には、ダ
イシングソーやレーザまたは各種エッチング法などを用
いて第1の溝52a,第2の溝52bが形成されている
。この第1の溝52aはトラック幅(例えば19μm)
相当、第2の溝52bは磁路長(例えば300μm)相
当の溝幅からなり、各々の溝深さWは数10μmである
。また、第1の溝52aの一端はテープ摺動面61に露
出してトラック幅tを形成している。
【0015】この第1の溝52a,第2の溝52bを満
たすように溝の深さにほぼ等しい厚さのアモルファス、
センダスト、パーマロイなどの材料からなる磁性体層5
2cを充填し、図3に示すように非磁性絶縁基板51の
表面と同一面になるように磁性体層52cをラッピング
する。
たすように溝の深さにほぼ等しい厚さのアモルファス、
センダスト、パーマロイなどの材料からなる磁性体層5
2cを充填し、図3に示すように非磁性絶縁基板51の
表面と同一面になるように磁性体層52cをラッピング
する。
【0016】本発明は、この磁性体層52cを下部磁性
体層52として用いるものである。
体層52として用いるものである。
【0017】上述したように、非磁性絶縁基板51上に
ダイシングソーやレーザまたは各種エッチング法などを
用いて加工された第1の溝52a,第2の溝52bは溝
深さWを任意の深さに容易に加工可能であり、従って磁
気飽和を防止するために充填する磁性体層52cの厚さ
を厚くすることができことができると共に、第1の溝5
2aの溝幅がトラック幅tを形成するためパターンニン
グを必要としないものである。
ダイシングソーやレーザまたは各種エッチング法などを
用いて加工された第1の溝52a,第2の溝52bは溝
深さWを任意の深さに容易に加工可能であり、従って磁
気飽和を防止するために充填する磁性体層52cの厚さ
を厚くすることができことができると共に、第1の溝5
2aの溝幅がトラック幅tを形成するためパターンニン
グを必要としないものである。
【0018】さらに、上部磁性体層59においても下部
磁性体層52と略同様に形成することができる。
磁性体層52と略同様に形成することができる。
【0019】図4は本発明の薄膜磁気ヘッド50の製造
工程(工程1〜工程2)を、図5は製造工程(工程3〜
工程6)を示す要部断面工程図である。
工程(工程1〜工程2)を、図5は製造工程(工程3〜
工程6)を示す要部断面工程図である。
【0020】以下、図4、図5を用いて製造工程を説明
する。 工程1、ガラス或いはセラミックスなどの耐磨耗性の材
料からなる非磁性絶縁基板51上にダイシングソーやレ
ーザまたは各種エッチング法などを用いて第1の溝52
a,第2の溝52bを加工する。この第1の溝52a,
第2の溝52bにアモルファスなどの材料からなる磁性
体層52cを充填した後、非磁性絶縁基板51の表面と
同一面になるように磁性体層52cをラッピングして下
部磁性体層52とする。 工程2、磁性体層52c4埋め込んだ非磁性絶縁基板5
1上にSiO2、Al2 O3 などの材料からなり、
ヘッドギャップを構成するギャップ層53を形成する。 さらに、このギャップ層53上には絶縁体層である第1
の絶縁層54を形成する。 工程3、第1の絶縁層54上の所定の位置に第1のコイ
ル層55を形成する。この第1のコイル層55を覆うよ
うに第2の絶縁層56を形成する。 工程4、第2の絶縁層56上に前工程3と同様にして第
2のコイル層57を形成する。この第2のコイル層57
を覆うように第3の絶縁層58を形成する。 工程5、第3の絶縁層58上に第1の保護層59aを形
成する。この第1の保護層59a上にレーザまたは各種
エッチング法などを用いて第1の溝59b,第2の溝5
9cを加工する。この第1の溝59b,第2の溝59c
にアモルファスなどの材料からなる磁性体層59dを充
填して上部磁性体層59とする。
する。 工程1、ガラス或いはセラミックスなどの耐磨耗性の材
料からなる非磁性絶縁基板51上にダイシングソーやレ
ーザまたは各種エッチング法などを用いて第1の溝52
a,第2の溝52bを加工する。この第1の溝52a,
第2の溝52bにアモルファスなどの材料からなる磁性
体層52cを充填した後、非磁性絶縁基板51の表面と
同一面になるように磁性体層52cをラッピングして下
部磁性体層52とする。 工程2、磁性体層52c4埋め込んだ非磁性絶縁基板5
1上にSiO2、Al2 O3 などの材料からなり、
ヘッドギャップを構成するギャップ層53を形成する。 さらに、このギャップ層53上には絶縁体層である第1
の絶縁層54を形成する。 工程3、第1の絶縁層54上の所定の位置に第1のコイ
ル層55を形成する。この第1のコイル層55を覆うよ
うに第2の絶縁層56を形成する。 工程4、第2の絶縁層56上に前工程3と同様にして第
2のコイル層57を形成する。この第2のコイル層57
を覆うように第3の絶縁層58を形成する。 工程5、第3の絶縁層58上に第1の保護層59aを形
成する。この第1の保護層59a上にレーザまたは各種
エッチング法などを用いて第1の溝59b,第2の溝5
9cを加工する。この第1の溝59b,第2の溝59c
にアモルファスなどの材料からなる磁性体層59dを充
填して上部磁性体層59とする。
【0021】この結果、本発明の薄膜磁気ヘッド50は
下部磁性体層52と上部磁性体層59とで磁気ループを
形成することができる。 工程6、さらに、上部磁性体層59を覆うように、樹脂
あるいは低融点ガラスなどの材料からなる第2の保護層
60を形成する。
下部磁性体層52と上部磁性体層59とで磁気ループを
形成することができる。 工程6、さらに、上部磁性体層59を覆うように、樹脂
あるいは低融点ガラスなどの材料からなる第2の保護層
60を形成する。
【0022】図6は上記製造工程にて製造された本発明
の薄膜磁気ヘッド50のテープ摺接面近傍の拡大斜視図
である。
の薄膜磁気ヘッド50のテープ摺接面近傍の拡大斜視図
である。
【0023】上述したように、下部磁性体層52と上部
磁性体層59を形成する第1の溝52a、59b、第2
の溝52b、59cはダイシングソーやレーザまたは各
種エッチング法などを用いて加工するので溝深さは任意
の深さに容易に加工可能であり、従って充填する磁性体
層52c、59dの厚さを厚くすることができ磁気飽和
を防止することができると共にトラック幅tを形成する
ためのパターンニングを必要としないものである。
磁性体層59を形成する第1の溝52a、59b、第2
の溝52b、59cはダイシングソーやレーザまたは各
種エッチング法などを用いて加工するので溝深さは任意
の深さに容易に加工可能であり、従って充填する磁性体
層52c、59dの厚さを厚くすることができ磁気飽和
を防止することができると共にトラック幅tを形成する
ためのパターンニングを必要としないものである。
【0024】
【発明の効果】上述したように、非磁性絶縁基板上に少
なくとも、下部磁性体層と、ギャップ層と、第1の絶縁
層と、コイル導体層と、第2の絶縁層と、上部磁性体層
と、保護層とを順次積層してなる薄膜ヘッドにおいて、
少なくとも前記下部磁性体層または前記上部磁性体層が
、トラック幅と同一の溝幅からなる第1の溝と、前記第
1の溝と直交する第2の溝とに充填された磁性体層から
なることにより、磁気飽和の防止のために下部磁性体層
と上部磁性体層の厚さを容易に厚くでき、且つ加工工数
が低減できる薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
なくとも、下部磁性体層と、ギャップ層と、第1の絶縁
層と、コイル導体層と、第2の絶縁層と、上部磁性体層
と、保護層とを順次積層してなる薄膜ヘッドにおいて、
少なくとも前記下部磁性体層または前記上部磁性体層が
、トラック幅と同一の溝幅からなる第1の溝と、前記第
1の溝と直交する第2の溝とに充填された磁性体層から
なることにより、磁気飽和の防止のために下部磁性体層
と上部磁性体層の厚さを容易に厚くでき、且つ加工工数
が低減できる薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
【図1】本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の要部拡大
断面図である。
断面図である。
【図2】非磁性絶縁基板上に形成した互いに直交する第
1の溝,第2の溝を示す拡大要部斜視図である。
1の溝,第2の溝を示す拡大要部斜視図である。
【図3】第1の溝,第2の溝に磁性体層を充填した下部
磁性体層の拡大要部斜視図である。
磁性体層の拡大要部斜視図である。
【図4】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造工程(工程1〜
工程3)を示す要部断面工程図である。
工程3)を示す要部断面工程図である。
【図5】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造工程(工程4〜
工程6)を示す要部断面工程図である。
工程6)を示す要部断面工程図である。
【図6】本発明の薄膜磁気ヘッドのテープ摺接面近傍の
拡大斜視図である。
拡大斜視図である。
【図7】従来の薄膜磁気ヘッドの要部拡大断面図である
。
。
【図8】従来の薄膜磁気ヘッドの製造工程(工程1〜工
程3)を示す要部断面工程図である。
程3)を示す要部断面工程図である。
【図9】従来の薄膜磁気ヘッドの製造工程(工程4〜工
程6)を示す要部断面工程図である。
程6)を示す要部断面工程図である。
50 本発明の薄膜磁気ヘッド
51 非磁性絶縁基板
52 下部磁性体層
52a 第1の溝
52b 第2の溝
52c 磁性体層
53 ギャップ層
54 第1の絶縁層
55 第1のコイル層
56 第2の絶縁層
57 第2のコイル層
58 第3の絶縁層
59 上部磁性体層
59a 第1の保護層
59b 第1の溝
59c 第2の溝
59d 磁性体層
60 第2の保護層
61 テープ摺動面
t トラック幅
G ギャップ
W 溝深さ
Claims (1)
- 【請求項1】非磁性絶縁基板上に少なくとも、下部磁性
体層と、ギャップ層と、絶縁層と、コイル導体層と、絶
縁層と、上部磁性体層と、保護層とを順次積層してなる
薄膜ヘッドにおいて、少なくとも前記下部磁性体層また
は前記上部磁性体層が、トラック幅と同一の溝幅からな
る第1の溝と、前記第1の溝と直交する第2の溝とに充
填された磁性体層からなることを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3121971A JPH04302810A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 薄膜磁気ヘッド |
US07/859,011 US5276579A (en) | 1991-03-29 | 1992-03-30 | High accuracy track width thin-film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3121971A JPH04302810A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04302810A true JPH04302810A (ja) | 1992-10-26 |
Family
ID=14824400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3121971A Pending JPH04302810A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5276579A (ja) |
JP (1) | JPH04302810A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8331058B2 (en) | 2004-05-28 | 2012-12-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for providing a write head with an improved pole tip to improve overwrite and/or adjacent track interference |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5502287A (en) * | 1993-03-10 | 1996-03-26 | Raychem Corporation | Multi-component cable assembly |
WO1995034891A1 (en) | 1994-06-10 | 1995-12-21 | Conner Peripherals, Inc. | Low profile mechanism for biased driving of driven roller in tape cartridge |
US6456460B1 (en) | 1998-03-20 | 2002-09-24 | Seagate Technology Llc | Track width definition by patterning of shared pole for integrated thin film/magnetoresistive head |
US6434814B1 (en) * | 1998-12-16 | 2002-08-20 | International Business Machines Corporation | Method of manufacturing a magnetic head including a read head with read track width defining layer that planarizes the write gap layer of a write head |
US7641851B2 (en) * | 2003-12-23 | 2010-01-05 | Baxter International Inc. | Method and apparatus for validation of sterilization process |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4517616A (en) * | 1982-04-12 | 1985-05-14 | Memorex Corporation | Thin film magnetic recording transducer having embedded pole piece design |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP3121971A patent/JPH04302810A/ja active Pending
-
1992
- 1992-03-30 US US07/859,011 patent/US5276579A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8331058B2 (en) | 2004-05-28 | 2012-12-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for providing a write head with an improved pole tip to improve overwrite and/or adjacent track interference |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5276579A (en) | 1994-01-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0514322B2 (ja) | ||
JPH04302810A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
JPH02766B2 (ja) | ||
JPH0345446B2 (ja) | ||
JP2902900B2 (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
JPH0118495B2 (ja) | ||
JPH0346884B2 (ja) | ||
JPS6337811A (ja) | ヨ−クタイプ磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘツド | |
JP2743491B2 (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
JP2572213B2 (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPH03252906A (ja) | 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド | |
JP2664380B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
JPS60226007A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPH03252909A (ja) | 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド用溝構造磁性基板 | |
JPH03100910A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
JPS60246012A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPS6247814A (ja) | ダブルアジマス薄膜磁気ヘツド | |
JPH0370284B2 (ja) | ||
JPH027213A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
JPS6260115A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘツド及びその製造方法 | |
JPH0457205A (ja) | 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド | |
JPS5837832A (ja) | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
JPS6226618A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPS62110612A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPH04341907A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |