JPH04298085A - 圧電性磁器の製造方法 - Google Patents
圧電性磁器の製造方法Info
- Publication number
- JPH04298085A JPH04298085A JP3087945A JP8794591A JPH04298085A JP H04298085 A JPH04298085 A JP H04298085A JP 3087945 A JP3087945 A JP 3087945A JP 8794591 A JP8794591 A JP 8794591A JP H04298085 A JPH04298085 A JP H04298085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- porcelain
- green sheet
- surface area
- specific surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 6
- 229910020698 PbZrO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020684 PbZr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017895 Sb2 O3 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電フィルタ素子や圧
電受話器などに用いられる圧電性磁器の製造方法に関す
るものである。
電受話器などに用いられる圧電性磁器の製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、圧電フィルタ素子においては、
近年、映像信号や音声信号など通信情報量の大容量化に
伴い伝播周波数が広帯域化している。このように伝播周
波数広帯域化により、遅延時間が少なく、入力出力の位
相差が少ない郡遅延時間平坦型広帯域フィルタが求めら
れ、該フィルタに適した圧電性磁器組成物の開発が強く
要求されている。
近年、映像信号や音声信号など通信情報量の大容量化に
伴い伝播周波数が広帯域化している。このように伝播周
波数広帯域化により、遅延時間が少なく、入力出力の位
相差が少ない郡遅延時間平坦型広帯域フィルタが求めら
れ、該フィルタに適した圧電性磁器組成物の開発が強く
要求されている。
【０００３】また、圧電受話器などに用いられる発音体
においては、磁器厚みが７０μｍ程度で、耐湿信頼に優
れ、音圧レベルが良好な圧電性磁器組成物の開発が強く
要求されている。
においては、磁器厚みが７０μｍ程度で、耐湿信頼に優
れ、音圧レベルが良好な圧電性磁器組成物の開発が強く
要求されている。
【０００４】本発明者らは、圧電フィルタ素子や圧電発
音体用の圧電性磁器組成物として、複合酸化物ＰｂＺｒ
Ｏ３ 、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮｂＳｂ）Ｏ３
から成る圧電性磁器組成物において、ｘＰｂＺｒＯ３
＋ｙＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／
３Ｓｂ２（１−ａ）／３）Ｏ３ で表した時、０．２≦
ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ≦０．５２０、０．４３０
≦ｙ≦０．５１０、０．０２≦ｚ≦０．０８（ただし、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）の組成組成物を提案した。
音体用の圧電性磁器組成物として、複合酸化物ＰｂＺｒ
Ｏ３ 、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮｂＳｂ）Ｏ３
から成る圧電性磁器組成物において、ｘＰｂＺｒＯ３
＋ｙＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／
３Ｓｂ２（１−ａ）／３）Ｏ３ で表した時、０．２≦
ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ≦０．５２０、０．４３０
≦ｙ≦０．５１０、０．０２≦ｚ≦０．０８（ただし、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）の組成組成物を提案した。
【０００５】
【従来技術の課題】上述の圧電磁器組成物から成る仮焼
粉体をグリーンシートに作成して、焼成するにあたり、
仮焼粉体の製造やグリーンシートの製造によって、焼結
後の圧電磁器に反りが発生してしまい、さらには磁器に
クラックが発生してしまうという問題点があった。
粉体をグリーンシートに作成して、焼成するにあたり、
仮焼粉体の製造やグリーンシートの製造によって、焼結
後の圧電磁器に反りが発生してしまい、さらには磁器に
クラックが発生してしまうという問題点があった。
【０００６】そこで、本発明者らは、鋭意研究を重ね、
圧電磁器の仮焼粉体の比表面積を特定し、また仮焼粉体
をグリーンシートに作成した時の嵩密度を特定すること
により、焼成後の圧電磁器に反りが発生しない良好な圧
電磁器が得られることを知見した。
圧電磁器の仮焼粉体の比表面積を特定し、また仮焼粉体
をグリーンシートに作成した時の嵩密度を特定すること
により、焼成後の圧電磁器に反りが発生しない良好な圧
電磁器が得られることを知見した。
【０００７】本発明は、上述の知見に基づくものであり
、その目的は焼成後の圧電磁器に反り、クラックが発生
しない圧電磁器の製造方法を提供することにある。
、その目的は焼成後の圧電磁器に反り、クラックが発生
しない圧電磁器の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための技術的な手段】上述の課題を解
決するために、本発明は、ＰＺＴ系に鉛複合酸化物を加
えた圧電性磁器組成物から成る圧電性磁器の製造方法で
あって、合成された仮焼粉末からグリーンシートに加工
する工程において、仮焼粉末の比表面積を２〜４ｍ２
／ｇとし、且つグリーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃ
ｍ３ 以上とすることを特徴とする圧電性磁器の製造方
法である。特に、上述の圧電性磁器組成物として、複合
酸化物ＰｂＺｒＯ３ 、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮ
ｂＳｂ）から成り、一般式ｘＰｂＺｒＯ３ ＋ｙＰｂＴ
ｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／３Ｓｂ２（
１−ａ）／３）Ｏ３ で表した時、０．２≦ａ≦０．８
、０．４５０≦ｘ≦０．５２０、０．４３０≦ｙ≦０．
５１０、０．０２≦ｚ≦０．０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ
＝１）の圧電性磁器組成物である。
決するために、本発明は、ＰＺＴ系に鉛複合酸化物を加
えた圧電性磁器組成物から成る圧電性磁器の製造方法で
あって、合成された仮焼粉末からグリーンシートに加工
する工程において、仮焼粉末の比表面積を２〜４ｍ２
／ｇとし、且つグリーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃ
ｍ３ 以上とすることを特徴とする圧電性磁器の製造方
法である。特に、上述の圧電性磁器組成物として、複合
酸化物ＰｂＺｒＯ３ 、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮ
ｂＳｂ）から成り、一般式ｘＰｂＺｒＯ３ ＋ｙＰｂＴ
ｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／３Ｓｂ２（
１−ａ）／３）Ｏ３ で表した時、０．２≦ａ≦０．８
、０．４５０≦ｘ≦０．５２０、０．４３０≦ｙ≦０．
５１０、０．０２≦ｚ≦０．０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ
＝１）の圧電性磁器組成物である。
【０００９】
【作用】以上のように本発明によれば、前記圧電性磁器
粉体の比表面積を２〜４ｍ２ ／ｇとすることにより、
焼成温度である９００〜１２００℃において反り量が０
．１〜０．２ｍｍとすることができる。
粉体の比表面積を２〜４ｍ２ ／ｇとすることにより、
焼成温度である９００〜１２００℃において反り量が０
．１〜０．２ｍｍとすることができる。
【００１０】比表面積を２ｍ２ ／ｇ未満であると磁器
の焼結反応が充分に達成できず、磁器を破断した時に、
粒界で破断してしまい、機械的な強度が低下してしまう
。
の焼結反応が充分に達成できず、磁器を破断した時に、
粒界で破断してしまい、機械的な強度が低下してしまう
。
【００１１】また、比表面積を４ｍ２ ／ｇを越えると
、磁器収縮の起こらない温度領域（９００〜１１００℃
）焼成過程であっても焼成条件に関係しない反りが最大
１〜１．５ｍｍも生じてしまう。
、磁器収縮の起こらない温度領域（９００〜１１００℃
）焼成過程であっても焼成条件に関係しない反りが最大
１〜１．５ｍｍも生じてしまう。
【００１２】このように反りが発生すると、例えば圧電
磁器の表面に電極を形成するために、電極印刷を施した
時、そのスキージなどの押圧力により圧電磁器にクラッ
クが発生してしまい、製造歩留を大きく低下する。
磁器の表面に電極を形成するために、電極印刷を施した
時、そのスキージなどの押圧力により圧電磁器にクラッ
クが発生してしまい、製造歩留を大きく低下する。
【００１３】また、前記圧電性磁器組成物からなるグリ
ーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にとする
ことにより、反り量が０．１〜０．２ｍｍとすることが
できる。
ーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にとする
ことにより、反り量が０．１〜０．２ｍｍとすることが
できる。
【００１４】嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 未満では、圧
電性磁器粉体の比表面積にも関係するが、圧電性磁器組
成物粉体からグリーンシートを形成したとしても、反り
量を小さくすることが困難となってしまう。
電性磁器粉体の比表面積にも関係するが、圧電性磁器組
成物粉体からグリーンシートを形成したとしても、反り
量を小さくすることが困難となってしまう。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
【００１６】出発材料として純度９９．０％以上のＰｂ
３ Ｏ４ 、ＺｒＯ２ 、ＴｉＯ２ 、ＳｎＯ２ 、Ｎ
ｂ２ Ｏ５ 、Ｓｂ２ Ｏ３ の各粉末をｘＰｂＺｒＯ
３ ＋ｙＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２
ａ／３Ｓｂ２（１−ａ）／３）Ｏ３ のｘ、ｙ、ｚ、ａ
の値が０．２≦ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ≦０．５２
０、０．４３０≦ｙ≦０．５１０、０．０２≦ｚ≦０．
０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）になるように秤量し、
ボールミルにて湿式混合後乾燥して、これを９００〜１
０００℃で３時間仮焼した。得られた仮焼焼結体をボー
ルミルにて２４時間湿式粉砕して、仮焼粉末を形成する
。
３ Ｏ４ 、ＺｒＯ２ 、ＴｉＯ２ 、ＳｎＯ２ 、Ｎ
ｂ２ Ｏ５ 、Ｓｂ２ Ｏ３ の各粉末をｘＰｂＺｒＯ
３ ＋ｙＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２
ａ／３Ｓｂ２（１−ａ）／３）Ｏ３ のｘ、ｙ、ｚ、ａ
の値が０．２≦ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ≦０．５２
０、０．４３０≦ｙ≦０．５１０、０．０２≦ｚ≦０．
０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）になるように秤量し、
ボールミルにて湿式混合後乾燥して、これを９００〜１
０００℃で３時間仮焼した。得られた仮焼焼結体をボー
ルミルにて２４時間湿式粉砕して、仮焼粉末を形成する
。
【００１７】次に、仮焼粉末に有機系粘結剤を添加して
スラリー状にし、引き上げ法による成型機によりグリー
ンシートを作製する。
スラリー状にし、引き上げ法による成型機によりグリー
ンシートを作製する。
【００１８】しかる後、グリーンシートを２枚圧着して
、厚み９０μｍ、直径３０．７ｍｍに成型した。この成
型体を脱バイして、酸素雰囲気でピーク温度９００〜１
３４０℃、６時間焼成した。その結果、厚み７０μｍ、
直径２５．７ｍｍの圧電性磁器焼結体が得られた。
、厚み９０μｍ、直径３０．７ｍｍに成型した。この成
型体を脱バイして、酸素雰囲気でピーク温度９００〜１
３４０℃、６時間焼成した。その結果、厚み７０μｍ、
直径２５．７ｍｍの圧電性磁器焼結体が得られた。
【００１９】ここで、仮焼粉末の比表面積は、ボールミ
ルによる粉砕により制御でき、その比表面積を１．５〜
７．５ｍ２ ／ｇとして、焼結後の圧電磁器の反り量を
測定した。その結果が図１である。
ルによる粉砕により制御でき、その比表面積を１．５〜
７．５ｍ２ ／ｇとして、焼結後の圧電磁器の反り量を
測定した。その結果が図１である。
【００２０】図１から理解できるように、比表面積が４
ｍ２ ／ｇを越えると、反り量が０．２ｍｍ以上となっ
てしまう。
ｍ２ ／ｇを越えると、反り量が０．２ｍｍ以上となっ
てしまう。
【００２１】また、比表面積が２ｍ２ ／ｇ未満では反
り量が小さくなるものの、圧電磁器焼結体の強度が低下
してしまう。即ち、圧電性磁器焼結体を破断したときに
、その破断が焼結体の粒界で発生してしまう。
り量が小さくなるものの、圧電磁器焼結体の強度が低下
してしまう。即ち、圧電性磁器焼結体を破断したときに
、その破断が焼結体の粒界で発生してしまう。
【００２２】ここで、このような圧電磁器は、実際上に
は、表面の研磨加工、両面に銀ペーストによる電極を形
成して分極処理する必要があるが、反り量が０．２ｍｍ
以上となると、表面の研磨加工や電極形成工程において
、圧電磁器にクラックが発生してしまうことが極めて多
い。
は、表面の研磨加工、両面に銀ペーストによる電極を形
成して分極処理する必要があるが、反り量が０．２ｍｍ
以上となると、表面の研磨加工や電極形成工程において
、圧電磁器にクラックが発生してしまうことが極めて多
い。
【００２３】また、破断モードが粒界である場合には、
圧電磁器の強度が大きく低下してしまうとともに、例え
ば圧電性発音体においては、耐湿性能が低下してしまう
ことがある。
圧電磁器の強度が大きく低下してしまうとともに、例え
ば圧電性発音体においては、耐湿性能が低下してしまう
ことがある。
【００２４】即ち、反り量が小さく、クラックの発生を
低減でき、さらに強度が良好な圧電磁器を得るには、仮
焼粉末の比表面積を２．０〜４．０ｍ２ ／ｇに設定す
ることが重要である。
低減でき、さらに強度が良好な圧電磁器を得るには、仮
焼粉末の比表面積を２．０〜４．０ｍ２ ／ｇに設定す
ることが重要である。
【００２５】さらに、この仮焼粉末をグリーンシートに
作成した時、その嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上とす
ることが、反りを低減させるためには有効な手段である
。 スラリー状の仮焼粉末をグリーンシートとするために、
押し出し成型による方法、引き上げによる方法があるが
、通常、押し出し成型によるグリーンシートの嵩密度は
４．８前後であり、引き上げによる方法によるグリーン
シートの嵩密度は３．６ｃｍ３ となる。
作成した時、その嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上とす
ることが、反りを低減させるためには有効な手段である
。 スラリー状の仮焼粉末をグリーンシートとするために、
押し出し成型による方法、引き上げによる方法があるが
、通常、押し出し成型によるグリーンシートの嵩密度は
４．８前後であり、引き上げによる方法によるグリーン
シートの嵩密度は３．６ｃｍ３ となる。
【００２６】グリーンシートの嵩密度を４．８以上にす
るには、成型したグリーンシートを複数枚重ね圧着した
り、圧延ロールにより、グリーンシートを加圧すること
により達成できる。
るには、成型したグリーンシートを複数枚重ね圧着した
り、圧延ロールにより、グリーンシートを加圧すること
により達成できる。
【００２７】図２は、グリーンシートの嵩密度と焼成後
の圧電磁器の反り量の関係を示す関係図である。図中、
線Ａは仮焼粉末の比表面積が２．１ｍ２ ／ｇであり、
線Ｂは仮焼粉末の比表面積が３．８ｍ２ ／ｇであり、
線Ｃは仮焼粉末の比表面積が５．６ｍ２ ／ｇの特性図
である。
の圧電磁器の反り量の関係を示す関係図である。図中、
線Ａは仮焼粉末の比表面積が２．１ｍ２ ／ｇであり、
線Ｂは仮焼粉末の比表面積が３．８ｍ２ ／ｇであり、
線Ｃは仮焼粉末の比表面積が５．６ｍ２ ／ｇの特性図
である。
【００２８】図から明らかなように、特に比表面積が４
．０ｍ２ ／ｇ以下の仮焼粉末でグリーンシートを作成
して、嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にすれば、焼結
後の圧電磁器の反り量を０．２ｍｍ以下にすることがで
き、さらに、嵩密度を５．１ｇ／ｃｍ３ 以上すれば、
反り量が０．１ｍｍ以下の良好な圧電磁器が達成できる
。
．０ｍ２ ／ｇ以下の仮焼粉末でグリーンシートを作成
して、嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にすれば、焼結
後の圧電磁器の反り量を０．２ｍｍ以下にすることがで
き、さらに、嵩密度を５．１ｇ／ｃｍ３ 以上すれば、
反り量が０．１ｍｍ以下の良好な圧電磁器が達成できる
。
【００２９】即ち、反りの発生を低減させる圧電磁器を
得るには、仮焼粉末の比表面積が４．０ｍ２ ／ｇ以下
となるように粉砕し、さらにこの仮焼粉末から作成する
グリーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にす
ることが重要である。
得るには、仮焼粉末の比表面積が４．０ｍ２ ／ｇ以下
となるように粉砕し、さらにこの仮焼粉末から作成する
グリーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にす
ることが重要である。
【００３０】以上のように郡遅延時間の平坦な広帯域の
圧電フィルタに適した圧電性磁器組成物を得るために、
また、磁器厚みが７０μｍ程度で、耐湿信頼に優れ、音
圧レベルが良好な圧電受話器の圧電発音体に適した圧電
性磁器組成物を得るためには、複合酸化物ＰｂＺｒＯ３
、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮｂＳｂ）から成る圧
電性磁器組成物において、一般式ｘＰｂＺｒＯ３ ＋ｙ
ＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／３Ｓ
ｂ２（１−ａ）／３）Ｏ３ で表した時、ｘ、ｙ、ｘ、
ａの夫々の値を０．２≦ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ≦
０．５２０、０．４３０≦ｙ≦０．５１０、０．０２≦
ｚ≦０．０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）とし、さらに
、焼結後の磁器の反りを低減し、それに派生するクラッ
クの発生を防止する製造方法として、上述の組成物の仮
焼粉末の比表面積を０．４ｍ２ ／ｇ以下として、さら
にこの仮焼粉末から作成されるグリーンシートの嵩密度
を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にすることで達成される。
圧電フィルタに適した圧電性磁器組成物を得るために、
また、磁器厚みが７０μｍ程度で、耐湿信頼に優れ、音
圧レベルが良好な圧電受話器の圧電発音体に適した圧電
性磁器組成物を得るためには、複合酸化物ＰｂＺｒＯ３
、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮｂＳｂ）から成る圧
電性磁器組成物において、一般式ｘＰｂＺｒＯ３ ＋ｙ
ＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／３Ｓ
ｂ２（１−ａ）／３）Ｏ３ で表した時、ｘ、ｙ、ｘ、
ａの夫々の値を０．２≦ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ≦
０．５２０、０．４３０≦ｙ≦０．５１０、０．０２≦
ｚ≦０．０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）とし、さらに
、焼結後の磁器の反りを低減し、それに派生するクラッ
クの発生を防止する製造方法として、上述の組成物の仮
焼粉末の比表面積を０．４ｍ２ ／ｇ以下として、さら
にこの仮焼粉末から作成されるグリーンシートの嵩密度
を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上にすることで達成される。
【００３１】
【効果】以上詳述したように、本発明の製造方法では、
焼成後の圧電磁器に反り、クラックが発生せず、郡遅延
時間の平坦な広帯域の圧電フィルタや耐湿信頼に優れ、
音圧レベルが良好な圧電受話器の圧電発音体に適した圧
電性磁器が得られる。
焼成後の圧電磁器に反り、クラックが発生せず、郡遅延
時間の平坦な広帯域の圧電フィルタや耐湿信頼に優れ、
音圧レベルが良好な圧電受話器の圧電発音体に適した圧
電性磁器が得られる。
【図１】本発明による比表面積と磁器の反り量との関係
を示す特性図である。
を示す特性図である。
【図２】本発明による嵩密度と磁器の反り量との関係を
示す特性図である。
示す特性図である。
Claims (2)
- 【請求項１】ＰＺＴ系に鉛複合酸化物を加えた圧電性磁
器組成物から成る圧電性磁器の製造方法であって、合成
された仮焼粉末からグリーンシートに加工する工程にお
いて、仮焼粉末の比表面積を２〜４ｍ２ ／ｇとし、且
つグリーンシートの嵩密度を４．８ｇ／ｃｍ３ 以上と
することを特徴とする圧電性磁器の製造方法。 - 【請求項２】請求項１の圧電性磁器組成物がＰｂＺｒＯ
３ 、ＰｂＴｉＯ３ 、Ｐｂ（ＳｎＮｂＳｂ）から成り
、一般式ｘＰｂＺｒＯ３ ＋ｙＰｂＴｉＯ３ ＋ｚＰｂ
（Ｓｎ１／３、Ｎｂ２ａ／３Ｓｂ２（１−ａ）／３）Ｏ
３ で表した時、０．２≦ａ≦０．８、０．４５０≦ｘ
≦０．５２０、０．４３０≦ｙ≦０．５１０、０．０２
≦ｚ≦０．０８（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）であること
を特徴とする圧電性磁器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3087945A JPH04298085A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | 圧電性磁器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3087945A JPH04298085A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | 圧電性磁器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04298085A true JPH04298085A (ja) | 1992-10-21 |
Family
ID=13929033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3087945A Pending JPH04298085A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | 圧電性磁器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04298085A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100248193B1 (ko) * | 1997-07-23 | 2000-03-15 | 김춘호 | 압전 세라믹체 및 그 제조방법 |
| JP2003046158A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Kyocera Corp | 圧電素子用部材 |
| JP2003069102A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Kyocera Corp | 圧電素子用部材 |
| US8040024B2 (en) * | 2008-03-05 | 2011-10-18 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoceramic material, piezoelectric element and non-resonance knock sensor |
| WO2016031994A1 (ja) * | 2014-08-29 | 2016-03-03 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 |
-
1991
- 1991-03-26 JP JP3087945A patent/JPH04298085A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100248193B1 (ko) * | 1997-07-23 | 2000-03-15 | 김춘호 | 압전 세라믹체 및 그 제조방법 |
| JP2003046158A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-14 | Kyocera Corp | 圧電素子用部材 |
| JP2003069102A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Kyocera Corp | 圧電素子用部材 |
| US8040024B2 (en) * | 2008-03-05 | 2011-10-18 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoceramic material, piezoelectric element and non-resonance knock sensor |
| WO2016031994A1 (ja) * | 2014-08-29 | 2016-03-03 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 |
| JP6082161B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2017-02-15 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 |
| EP3085677A4 (en) * | 2014-08-29 | 2017-11-22 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic plate, plate-shaped substrate and electronic component |
| US10177300B2 (en) | 2014-08-29 | 2019-01-08 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic, manufacturing method therefor, and electronic component |
| US10297744B2 (en) | 2014-08-29 | 2019-05-21 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic plate, plate-shaped substrate and electronic component |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114133243A (zh) | 一种高介电常数高压电应变发射型压电陶瓷材料及制备方法 | |
| JPH04298085A (ja) | 圧電性磁器の製造方法 | |
| JP2884635B2 (ja) | 圧電セラミックスおよびその製造方法 | |
| CA1088219A (en) | Piezoelectric substrate fabrication process | |
| JP3974952B2 (ja) | 圧電体の製造方法 | |
| JP2884631B2 (ja) | 圧電セラミックスとその製造方法 | |
| JPH0812424A (ja) | 圧電磁器組成物とその製造方法 | |
| JPS6132838B2 (ja) | ||
| JP2866986B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH08293635A (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2881424B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2789374B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPS6211518B2 (ja) | ||
| JP2841911B2 (ja) | Ｐｚｔ系セラミックス組成物 | |
| JPH0437076A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH0745882A (ja) | 圧電素子 | |
| JP3616967B2 (ja) | 圧電性磁器 | |
| JP3189380B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP4179029B2 (ja) | 圧電セラミックの製造方法 | |
| JP3084401B1 (ja) | 高性能圧電セラミックスとその製造方法 | |
| JPS6022516B2 (ja) | 音響機器用圧電磁器 | |
| JP2007258597A (ja) | 圧電体の分極方法 | |
| JPH05139828A (ja) | 圧電磁器の製造方法 | |
| JPH07277820A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2001089235A (ja) | 圧電セラミックスの製造方法 |