JPH04292465A - 窒化珪素焼結体およびその製造法 - Google Patents

窒化珪素焼結体およびその製造法

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JPH04292465A
JPH04292465A JP3080632A JP8063291A JPH04292465A JP H04292465 A JPH04292465 A JP H04292465A JP 3080632 A JP3080632 A JP 3080632A JP 8063291 A JP8063291 A JP 8063291A JP H04292465 A JPH04292465 A JP H04292465A
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silicon nitride
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Manabu Isomura
学 磯村
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は高温および低温における
酸化がともに少なく高強度の窒化珪素焼結体およびその
製造法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、希土類酸化物を5モル%以下含み
、粒界結晶相がアパタイト構造の結晶(以下、H相と記
す)と希土類のダイシリケート(以下、S相と記す)に
、ウォラストナイト構造の結晶(以下、K相と記す)ま
たはカスピディン構造の結晶(以下、J相と記す)に、
およびメリライト(以下、M相と記す)に結晶化した高
温高強度の窒化珪素焼結体が、それぞれ特開平1ー56
368 号公報、特開平1ー61357号公報および特
開平1ー61358 号公報において開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した窒化珪素焼結
体では、それぞれ高温での強度は高いものの低温での強
度が低下する場合があると考えられる。これは、我々の
研究によれば、高温高強度化には窒化珪素の粒界主結晶
がM、J、H相のような希土類酸化物のSiO2に対す
る比が大きくかつ窒素を含む結晶相であるのが望ましい
が、上述した技術に示されたこれらの結晶を粒界相に有
すると、大気中800 〜1000℃で粒界相の選択酸
化(以下、低温酸化と記す)がおこり、その際他の結晶
の析出により体積膨張し、クラックを生じ機械的特性を
損なう。最も酸化が激しい温度は、粒界相の組成や結晶
の種類により多少異なるが900 ℃前後である。
【0004】一方、上述した各公報には記載がないが一
般的に粒界の主結晶相がRe2SiO5 (以下、L相
と記す)やRe2Si2O7であると低温酸化しないが
、Re2SiO5 は安定して粒界主結晶として生成さ
せるのが難しく、Re2Si2O7が主結晶として生成
する粒界相組成では高温強度が発現できない問題があっ
た。さらに、大気中、1200℃以上の高温下で熱処理
し焼結体表面全体を酸化膜で覆う方法も知られているが
、焼結体の表面が荒れる等の問題があった。
【0005】本発明の目的は上述した課題を解消して、
高温での高強度は維持したまま低温酸化を防止して低温
での強度をも発現させることのできる窒化珪素焼結体お
よびその製造法を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の窒化珪素焼結体
は、粒界相が希土類元素化合物からなる窒化珪素焼結体
であって、焼結体表面の粒界相がJCPDS カードN
o.21ー1458と同一のX線回折パターンの結晶に
結晶化しており、焼結体内部は希土類元素(Re)−S
i−O−N からなる粒界相からなることを特徴とする
ものである。
【0007】また、本発明の窒化珪素焼結体の製造法は
、希土類元素(Re)−Si−O−N からなる粒界相
を有する窒化珪素焼結体を、酸化性雰囲気中700 〜
1000℃で熱処理した後、窒素以外の不活性雰囲気中
900 〜1350℃で熱処理することにより、焼結体
表面の粒界相をJCPDS カードNo.21ー145
8と同一のX線回折パターンの結晶に結晶化することを
特徴とするものである。
【0008】
【作用】上述した窒化珪素焼結体の構成において、焼結
体内部は従来から高温高強度であるとして知られている
希土類元素(Re)−Si−O−N からなる粒界相を
有する焼結体のままとし、焼結体の表面の粒界相のみを
改質してJCPDS カードNo.21ー1458と同
一のX線回折パターンの結晶に結晶化させているため、
低温酸化の生じない高温高強度の窒化珪素焼結体を得る
ことができる。ここで「JCPDS カードNo.21
−1458と同一のX線回折パターンの化合物」とは、
これと同一の結晶構造を有するという意味である。よっ
て構成される希土類元素の種類により回折位置および強
度が若干異なることもあり得る。また、JCPDS カ
ードNo.21ー1458と同一のX線回折パターンの
結晶の一例としては、Re2SiO5からなるL相の結
晶がある。
【0009】また、上述した窒化珪素焼結体の製造法に
おいて、所定の窒化珪素焼結体を先ず酸化性雰囲気中7
00 〜1000℃で熱処理するのは、表面の粒界相に
酸素を供給するためである。酸素を供給していく過程で
粒界結晶は非晶質化し、その後酸化反応が進行しつつL
相(Re2SiO5 )の結晶化がはじまる。さらに酸
化を続けると粒界相が体積膨張しクラックを生じるため
、酸素の供給は粒界結晶が非晶質化する程度で止めてお
くのが良い。次に、窒素以外の不活性雰囲気中900 
〜1350℃で熱処理するのは、焼結体の表面にL相(
Re2SiO5 )の結晶を生成させるためである。窒
素以外の不活性雰囲気中で熱処理するのは、窒素中で熱
処理すると窒素が焼結体に供給され低温酸化する結晶が
生成してしまうためである。また、熱処理温度を900
 〜1350℃と限定するのは、900 ℃未満である
と結晶化に長時間を要し、1350℃を超えると窒化珪
素の分解が激しくなるためである。
【0010】
【実施例】以下、実際の例について説明する。 実施例 表1に示す希土類酸化物を添加してなり、表1に示す(
Re)−Si−O−N からなる種々の粒界結晶相を有
する窒化珪素焼結体を準備し、表1に示す条件の大気中
の熱処理および不活性雰囲気中の熱処理を行い、本発明
範囲内の試験No.1ー7と本発明範囲外の試験No.
8ー9の焼結体を得た。得られた焼結体の粒界相の結晶
相および大気中900 ℃×100hrsの酸化増量を
測定するとともに、熱処理前の焼結体の一部についても
比較のため同様の条件下での酸化増量を測定した。結果
を表1に示す。
【0011】なお、粒界結晶相は、CuKα線によるX
線回折の結果からもとめたものであり、表1記載のJは
カスピディン構造の結晶、Hはアパタイト構造の結晶、
LはRe2SiO5 (Re:希土類元素でJCPDS
 カードNo.21ー1458と同一のX線回折パター
ンの化合物)の結晶、Mはメリライト構造の結晶である
。粒界結晶相の割合は、βー Si2N4 を除く粒界
の各結晶の最強のピークであるJ相:(131)面、H
相:(211) 面、L相:(204) 面、M相:(
121) 面の積分強度の合計値に対する割合とした。
【0012】
【表1】
【0013】表1の結果から、本発明範囲内の試験No
.1ー7は、いずれ化の点で本発明を満たさない比較例
試験No.8−9と比べて、酸化増量がなく低温酸化を
起こしていないことがわかる。また、本発明試験No.
1ー7の熱処理前の結晶相と熱処理後の焼結体表面の結
晶相とは異なり、本発明における大気中での熱処理およ
び不活性雰囲気中での熱処理が表面のみにL相が形成で
きることがわかる。
【0014】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、焼結体内部は従来から高温高強度であるとし
て知られている希土類元素(Re)−Si−O−N か
らなる粒界相を有する焼結体のままとし、焼結体の表面
の粒界相のみを改質してJCPDS カードNo.21
ー1458と同一のX線回折パターンの結晶に結晶化さ
せているため、低温酸化の生じない高温高強度の窒化珪
素焼結体を得ることができる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  粒界相が希土類元素化合物からなる窒
    化珪素焼結体であって、焼結体表面の粒界相がJCPD
    S カードNo.21ー1458と同一のX線回折パタ
    ーンの結晶に結晶化しており、焼結体内部は希土類元素
    (Re)−Si−O−N からなる粒界相からなること
    を特徴とする窒化珪素焼結体。
  2. 【請求項2】  希土類元素(Re)−Si−O−N 
    からなる粒界相を有する窒化珪素焼結体を、酸化性雰囲
    気中700 〜1000℃で熱処理した後、窒素以外の
    不活性雰囲気中900 〜1350℃で熱処理すること
    により、焼結体表面の粒界相をJCPDS カードNo
    .21ー1458と同一のX線回折パターンの結晶に結
    晶化することを特徴とする窒化珪素焼結体の製造法。
JP3080632A 1991-03-20 1991-03-20 窒化珪素焼結体およびその製造法 Expired - Lifetime JPH0676260B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0848565A (ja) * 1994-04-05 1996-02-20 Natl Inst For Res In Inorg Mater 窒化ケイ素焼結体及びその製造法

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