JPH04282500A - Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 - Google Patents
Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置Info
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- JPH04282500A JPH04282500A JP3069248A JP6924891A JPH04282500A JP H04282500 A JPH04282500 A JP H04282500A JP 3069248 A JP3069248 A JP 3069248A JP 6924891 A JP6924891 A JP 6924891A JP H04282500 A JPH04282500 A JP H04282500A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＳＯＲ光（シンクロ
トロン放射光）装置において、ＳＯＲ光を出射するため
の窓装置に関し、ＳＯＲ光の透過率を向上させてＳＯＲ
光出射強度を高めたものである。
トロン放射光）装置において、ＳＯＲ光を出射するため
の窓装置に関し、ＳＯＲ光の透過率を向上させてＳＯＲ
光出射強度を高めたものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光
装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における
診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待
されている。
装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における
診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待
されている。
【０００３】ＳＯＲ光装置の概要を図２に示す。ＳＯＲ
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏
向電磁石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続
ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ
光２９は光取り出しライン２６を通して出射されて、例
えば露光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光
源等として利用される。
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏
向電磁石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続
ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ
光２９は光取り出しライン２６を通して出射されて、例
えば露光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光
源等として利用される。
【０００４】従来における光取り出しライン２６の構造
を図３に示す。光取り出しライン２６の途中には、斜入
射ミラー３０が配設されている。斜入射ミラー３０は、
無酸素銅，ＳｉＣ，Ａｕ，Ｐｔ等の平面鏡で構成され、
ＳＯＲ光２９を反射して光取り出しライン２６端部の窓
３２から出射させる。
を図３に示す。光取り出しライン２６の途中には、斜入
射ミラー３０が配設されている。斜入射ミラー３０は、
無酸素銅，ＳｉＣ，Ａｕ，Ｐｔ等の平面鏡で構成され、
ＳＯＲ光２９を反射して光取り出しライン２６端部の窓
３２から出射させる。
【０００５】斜入射ミラー３０は軸３４を支点として、
上下方向に揺動自在に支持されている。斜入射ミラー３
０の端部にはミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付
けられている。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカ
ム４２の回転により上下方向に動作し、斜入射ミラー３
０を上下方向に揺動して、ＳＯＲ光２９を上下方向に揺
動させる。蓄積リング２２（図２）から出射されたＳＯ
Ｒ光２９は本来垂直方向の広がりが小さいが、この斜入
射ミラー３０の揺動により垂直方向に拡大されて、ＬＳ
Ｉ露光用の露光面積が確保される。
上下方向に揺動自在に支持されている。斜入射ミラー３
０の端部にはミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付
けられている。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカ
ム４２の回転により上下方向に動作し、斜入射ミラー３
０を上下方向に揺動して、ＳＯＲ光２９を上下方向に揺
動させる。蓄積リング２２（図２）から出射されたＳＯ
Ｒ光２９は本来垂直方向の広がりが小さいが、この斜入
射ミラー３０の揺動により垂直方向に拡大されて、ＬＳ
Ｉ露光用の露光面積が確保される。
【０００６】ＳＯＲ光２９の出射用窓３２は、内部の高
真空と外部の低真空を遮断しながらＳＯＲ光２９を出射
する働きを有するもので、ＳＯＲ光２９の透過率が高く
かつ機械的強度が強いベリリウム等の薄板が使用される
。
真空と外部の低真空を遮断しながらＳＯＲ光２９を出射
する働きを有するもので、ＳＯＲ光２９の透過率が高く
かつ機械的強度が強いベリリウム等の薄板が使用される
。
【０００７】従来の窓３２は、図４に示すように、全露
光範囲に対応した面積を有するものが用いられていた。 この窓３２では、全露光範囲に対応する面積を有するた
め、機械的強度を確保するためには板厚を厚くしなけれ
ばならず、ＳＯＲ光２９の透過率が低く、出射光強度が
十分に得られなかった。
光範囲に対応した面積を有するものが用いられていた。 この窓３２では、全露光範囲に対応する面積を有するた
め、機械的強度を確保するためには板厚を厚くしなけれ
ばならず、ＳＯＲ光２９の透過率が低く、出射光強度が
十分に得られなかった。
【０００８】そこで、従来装置におけるこのような欠点
を解決して、板厚を薄くしても機械的強度が十分確保さ
れるようにして、ＳＯＲ光の透過率を向上させて出射光
強度を高めた窓装置として、本出願人の出願に係る特願
平２−２３９４７６号（発明の名称「ＳＯＲ光装置にお
けるＳＯＲ光出射用窓装置」）の明細書および図面に記
載の窓装置が提案されている。
を解決して、板厚を薄くしても機械的強度が十分確保さ
れるようにして、ＳＯＲ光の透過率を向上させて出射光
強度を高めた窓装置として、本出願人の出願に係る特願
平２−２３９４７６号（発明の名称「ＳＯＲ光装置にお
けるＳＯＲ光出射用窓装置」）の明細書および図面に記
載の窓装置が提案されている。
【０００９】これは光取り出しラインの端部にベローズ
を介して窓部を上下方向に揺動自在に取り付けて、ＳＯ
Ｒ光の揺動に同期して窓部を揺動するようにしたもので
ある。これによれば、窓は全露光範囲よりも狭い面積で
済むので、板厚を薄くしても機械的強度を確保でき、Ｓ
ＯＲ光の透過率を高めて出射強度を高めることができる
。
を介して窓部を上下方向に揺動自在に取り付けて、ＳＯ
Ｒ光の揺動に同期して窓部を揺動するようにしたもので
ある。これによれば、窓は全露光範囲よりも狭い面積で
済むので、板厚を薄くしても機械的強度を確保でき、Ｓ
ＯＲ光の透過率を高めて出射強度を高めることができる
。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前記特願平２−２３９
４７６号の明細書および図面に記載の窓装置によれば光
取り出しラインの途中にベローズを介挿するので、光取
り出しラインの構成が複雑になるとともに、長期間にわ
たる揺動によりベローズが破れて光取り出しラインの真
空を破壊するおそれがあった。
４７６号の明細書および図面に記載の窓装置によれば光
取り出しラインの途中にベローズを介挿するので、光取
り出しラインの構成が複雑になるとともに、長期間にわ
たる揺動によりベローズが破れて光取り出しラインの真
空を破壊するおそれがあった。
【００１１】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、窓装置を揺動させることなく（つまり、
光取り出しラインの途中にベローズを介挿することなく
）窓を小面積にかつ薄くできるようにして、ＳＯＲ光の
出射強度を高めるようにしたＳＯＲ光装置におけるＳＯ
Ｒ光出射用窓装置を提供しようとするものである。
点を解決して、窓装置を揺動させることなく（つまり、
光取り出しラインの途中にベローズを介挿することなく
）窓を小面積にかつ薄くできるようにして、ＳＯＲ光の
出射強度を高めるようにしたＳＯＲ光装置におけるＳＯ
Ｒ光出射用窓装置を提供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明は、ＳＯＲ光装
置の光取り出しラインに配設されてこの光取り出しライ
ンを真空封止して蓄積リングから放射されるＳＯＲ光を
直接取り出す金属製窓と、この金属製窓の外側に配設さ
れて、この金属製窓の外側の面と大気とを遮断する内部
に不活性ガスが充填されたキャビティと、このキャビテ
ィ内に配設されて前記金属製窓から取り出されたＳＯＲ
光を上下方向に揺動させる斜入射ミラーと、この斜入射
ミラーを揺動させるミラー揺動機構と、前記キャビティ
の一部に配設されて前記斜入射ミラーで反射されたＳＯ
Ｒ光を大気中に出射する前記金属製窓よりも薄いＸ線マ
スク基板材料で作られたＸ線マスクメンブレン窓とを具
備してなるものである。
置の光取り出しラインに配設されてこの光取り出しライ
ンを真空封止して蓄積リングから放射されるＳＯＲ光を
直接取り出す金属製窓と、この金属製窓の外側に配設さ
れて、この金属製窓の外側の面と大気とを遮断する内部
に不活性ガスが充填されたキャビティと、このキャビテ
ィ内に配設されて前記金属製窓から取り出されたＳＯＲ
光を上下方向に揺動させる斜入射ミラーと、この斜入射
ミラーを揺動させるミラー揺動機構と、前記キャビティ
の一部に配設されて前記斜入射ミラーで反射されたＳＯ
Ｒ光を大気中に出射する前記金属製窓よりも薄いＸ線マ
スク基板材料で作られたＸ線マスクメンブレン窓とを具
備してなるものである。
【００１３】
【作用】この発明によれば、ＳＯＲ光は金属製窓からキ
ャビティに入り、斜入射ミラーで揺動されてＸ線マスク
メンブレン窓を通って大気中に出射される。したがって
、斜入射ミラーでＳＯＲ光が揺動される手前に金属製窓
が配置されているので、金属製窓は上下方向に狭い小面
積のものですみ、ＳＯＲ光出射強度を高めることができ
る。しかも、窓部は揺動が不要なので、ベローズが不要
になり、構成が簡単になる。また、この発明によれば、
金属製窓の外側にキャビティを形成して不活性ガスを充
填したので、金属製窓は大気に触れず、腐食が防止され
て、強度を長期間保つことができる。したがって、金属
製窓および露光対象を前記従来装置のように密閉容器中
に収容して露光しなくてすみ、大気中での露光ができる
ので、露光作業効率が良好となる。
ャビティに入り、斜入射ミラーで揺動されてＸ線マスク
メンブレン窓を通って大気中に出射される。したがって
、斜入射ミラーでＳＯＲ光が揺動される手前に金属製窓
が配置されているので、金属製窓は上下方向に狭い小面
積のものですみ、ＳＯＲ光出射強度を高めることができ
る。しかも、窓部は揺動が不要なので、ベローズが不要
になり、構成が簡単になる。また、この発明によれば、
金属製窓の外側にキャビティを形成して不活性ガスを充
填したので、金属製窓は大気に触れず、腐食が防止され
て、強度を長期間保つことができる。したがって、金属
製窓および露光対象を前記従来装置のように密閉容器中
に収容して露光しなくてすみ、大気中での露光ができる
ので、露光作業効率が良好となる。
【００１４】また、Ｘ線マスクメンブレン窓は、例えば
窒化シリコンや窒化ボロン等のＸ線マスク基板材料の薄
板で構成され、ベリリウム等の金属製窓のようには酸化
されにくいので、大気中にさらされても問題はない。ま
た、Ｘ線マスク基板材料は、ベリリウム等の金属製窓に
比べて単位厚さ当りのＸ線透過率は低く、強度も弱いが
、キャビティ内は不活性ガスが充填されていて真空では
ないので、Ｘ線マスクメンブレン窓は薄く（例えばベリ
リウム窓の１／１０程度の厚さに）形成することができ
、ＳＯＲ光の減衰を低く抑えることができる。
窒化シリコンや窒化ボロン等のＸ線マスク基板材料の薄
板で構成され、ベリリウム等の金属製窓のようには酸化
されにくいので、大気中にさらされても問題はない。ま
た、Ｘ線マスク基板材料は、ベリリウム等の金属製窓に
比べて単位厚さ当りのＸ線透過率は低く、強度も弱いが
、キャビティ内は不活性ガスが充填されていて真空では
ないので、Ｘ線マスクメンブレン窓は薄く（例えばベリ
リウム窓の１／１０程度の厚さに）形成することができ
、ＳＯＲ光の減衰を低く抑えることができる。
【００１５】なお、キャビティ内に外部から不活性ガス
を流す流路を形成して、不活性ガスを流すようにすれば
、金属製窓の冷却を行なうこともできる。また、真空中
でないので、斜入射ミラーの揺動部にグリースを使うこ
とができ揺動部がかみ合って動かなくなる等の故障も発
生しにくくなる。
を流す流路を形成して、不活性ガスを流すようにすれば
、金属製窓の冷却を行なうこともできる。また、真空中
でないので、斜入射ミラーの揺動部にグリースを使うこ
とができ揺動部がかみ合って動かなくなる等の故障も発
生しにくくなる。
【００１６】
【実施例】この発明の一実施例を図１に示す。光取り出
しライン２６の端部にはフランジ４２を介して窓板４３
が取り付けられている。窓板４３にはベリリウム窓４４
がはめ込まれている。ベリリウム窓４４はベリリウムの
薄板（例えば厚さ１０μｍ）で構成され、光取り出しラ
イン２６を真空封止した状態でＳＯＲ光２９を取り出す
。ＳＯＲ光２９は上下方向の幅が狭くかつ揺動する手前
なので、ベリリウム窓４４は、図５に正面図で示すよう
に、上下方向の幅が従来のもの（図４）よりも狭く形成
されている。したがって、面積が小さいので、薄く（例
えば１０μｍ位の厚さに）形成しても強度を確保するこ
とができ、ＳＯＲ光２９の透過率を高めることができる
。
しライン２６の端部にはフランジ４２を介して窓板４３
が取り付けられている。窓板４３にはベリリウム窓４４
がはめ込まれている。ベリリウム窓４４はベリリウムの
薄板（例えば厚さ１０μｍ）で構成され、光取り出しラ
イン２６を真空封止した状態でＳＯＲ光２９を取り出す
。ＳＯＲ光２９は上下方向の幅が狭くかつ揺動する手前
なので、ベリリウム窓４４は、図５に正面図で示すよう
に、上下方向の幅が従来のもの（図４）よりも狭く形成
されている。したがって、面積が小さいので、薄く（例
えば１０μｍ位の厚さに）形成しても強度を確保するこ
とができ、ＳＯＲ光２９の透過率を高めることができる
。
【００１７】窓板４３の外側にはフランジ４６を介して
キャビティ４８が連結されている。キャビティ４８内に
は斜入射ミラー３０が配設されている。斜入射ミラー３
０は、無酸素銅，ＳｉＣ，Ａｕ，Ｐｔ等の平面鏡で構成
され、ＳＯＲ光２９を反射してキャビティ４８の端部方
向に導く。キャビティ４８はＳＯＲ光２９の光路に沿っ
て途中で屈曲している。
キャビティ４８が連結されている。キャビティ４８内に
は斜入射ミラー３０が配設されている。斜入射ミラー３
０は、無酸素銅，ＳｉＣ，Ａｕ，Ｐｔ等の平面鏡で構成
され、ＳＯＲ光２９を反射してキャビティ４８の端部方
向に導く。キャビティ４８はＳＯＲ光２９の光路に沿っ
て途中で屈曲している。
【００１８】斜入射ミラー３０は軸３４を支点として、
上下方向に揺動自在に支持されている。斜入射ミラー３
０の端部にはミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付
けられている。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカ
ム４２の回転により上下方向に動作し、斜入射ミラー３
０を上下方向に揺動して、ＳＯＲ光２９を上下方向に揺
動させて上下方向の必要な露光面積を確保する。
上下方向に揺動自在に支持されている。斜入射ミラー３
０の端部にはミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付
けられている。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカ
ム４２の回転により上下方向に動作し、斜入射ミラー３
０を上下方向に揺動して、ＳＯＲ光２９を上下方向に揺
動させて上下方向の必要な露光面積を確保する。
【００１９】キャビティ７４内には大気圧または大気圧
より減圧された不活性ガスとしてＸ線透過率の高いヘリ
ウムガス８０が配管８１から流されて、ベリリウム窓４
４を冷却している。また、ベリリウム窓４４は大気と遮
断されているので、ＳＯＲ光により加熱されても腐食す
ることはない。
より減圧された不活性ガスとしてＸ線透過率の高いヘリ
ウムガス８０が配管８１から流されて、ベリリウム窓４
４を冷却している。また、ベリリウム窓４４は大気と遮
断されているので、ＳＯＲ光により加熱されても腐食す
ることはない。
【００２０】キャビティ４８の端部には、フランジ８２
を介して窓板８４が取り付けられている。窓板８４には
Ｘ線マスクメンブレン窓７６が設けられている。Ｘ線マ
スクメンブレン窓７６は例えば窒化シリコン、窒化ボロ
ン等の腐食をしないまたはしにくいＸ線マスク基板材料
で作られ、その厚さはヘリウムガスを封止するのに必要
な厚さだけあればよく、例えば１μｍ程度にすることが
できる。キャビティ４８を通過してきたＳＯＲ光２９は
Ｘ線マスクメンブレン窓７６から出射され、大気中に置
かれた露光対象（ＬＳＩ基板等）７８に照射されて、露
光が行なわれる。
を介して窓板８４が取り付けられている。窓板８４には
Ｘ線マスクメンブレン窓７６が設けられている。Ｘ線マ
スクメンブレン窓７６は例えば窒化シリコン、窒化ボロ
ン等の腐食をしないまたはしにくいＸ線マスク基板材料
で作られ、その厚さはヘリウムガスを封止するのに必要
な厚さだけあればよく、例えば１μｍ程度にすることが
できる。キャビティ４８を通過してきたＳＯＲ光２９は
Ｘ線マスクメンブレン窓７６から出射され、大気中に置
かれた露光対象（ＬＳＩ基板等）７８に照射されて、露
光が行なわれる。
【００２１】Ｘ線メンブレン窓７６は、図６に正面図で
示すように、上下方向の幅がＳＯＲ光２９の揺動範囲（
つまり、全露光範囲）より少し広く形成されている。 したがって、面積は大きいが、キャビティ４８内は真空
でないので、強度的には問題ない。
示すように、上下方向の幅がＳＯＲ光２９の揺動範囲（
つまり、全露光範囲）より少し広く形成されている。 したがって、面積は大きいが、キャビティ４８内は真空
でないので、強度的には問題ない。
【００２２】キャビティ４８には、ヘリウムガス８０の
出口ポート９０，９２が設けらている。上流の出口ポー
ト９０は、斜入射ミラー３０から出るガスや、揺動軸３
４のグリースガスを排出するものである。すなわち、こ
れらのガスはキャビティ４８内の長い距離にわたって存
在するとＳＯＲ光２９の強度を低下させるので、下流に
流れないように斜入射ミラー３０の直後の出口ポート９
０から排出させてＳＯＲ光２９の強度低下を最小限にす
る。下流の出口ポート９２は上流の出口ポート９０で排
出しきれなかった分を排出する。
出口ポート９０，９２が設けらている。上流の出口ポー
ト９０は、斜入射ミラー３０から出るガスや、揺動軸３
４のグリースガスを排出するものである。すなわち、こ
れらのガスはキャビティ４８内の長い距離にわたって存
在するとＳＯＲ光２９の強度を低下させるので、下流に
流れないように斜入射ミラー３０の直後の出口ポート９
０から排出させてＳＯＲ光２９の強度低下を最小限にす
る。下流の出口ポート９２は上流の出口ポート９０で排
出しきれなかった分を排出する。
【００２３】なお、ベリリウム窓４４が万一破損した場
合に備えて、ベリリウム窓４４よりも手前の光取り出し
ライン２６にＦＣＶ（高速遮断弁）およびＡＤＬ（衝撃
波遅延管）を挿入して、蓄積リング中に空気が入り込む
のを防止するとよい。また、ＡＤＬに代えて、図７に示
すように、ベリリウム窓４４の手前の光取り出しライン
２６にベリリウムの超薄板（例えば１μｍ位の厚さ）を
複数段に設けて（各段間は真空）、ベリリウム窓４４（
例えば１０μｍ位の厚さ）が破れた場合に、これら超薄
板が順次破れていくようにして、全部破れるまでに時間
をかせいで、その間にＦＣＶを遮断するように構成する
こともできる。
合に備えて、ベリリウム窓４４よりも手前の光取り出し
ライン２６にＦＣＶ（高速遮断弁）およびＡＤＬ（衝撃
波遅延管）を挿入して、蓄積リング中に空気が入り込む
のを防止するとよい。また、ＡＤＬに代えて、図７に示
すように、ベリリウム窓４４の手前の光取り出しライン
２６にベリリウムの超薄板（例えば１μｍ位の厚さ）を
複数段に設けて（各段間は真空）、ベリリウム窓４４（
例えば１０μｍ位の厚さ）が破れた場合に、これら超薄
板が順次破れていくようにして、全部破れるまでに時間
をかせいで、その間にＦＣＶを遮断するように構成する
こともできる。
【００２４】
【変更例】前記実施例では、金属製窓４４にベリリウム
を用いた場合について説明したが、真空封止が可能で、
かつＳＯＲ光を透過し、かつ大気中でＳＯＲ光が照射さ
れると腐食を生じるような各種金属材料を金属製窓に用
いた場合にもこの発明を適用することができる。
を用いた場合について説明したが、真空封止が可能で、
かつＳＯＲ光を透過し、かつ大気中でＳＯＲ光が照射さ
れると腐食を生じるような各種金属材料を金属製窓に用
いた場合にもこの発明を適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、斜入射ミラーでＳＯＲ光が揺動される手前に金属製窓
が配置されているので、金属製窓は上下方向に狭い小面
積のものですみ、ＳＯＲ光出射強度を高めることができ
る。しかも、窓部は揺動が不要なので、ベローズが不要
になり、構成が簡単になる。また、この発明によれば、
金属製窓の外側にキャビティを形成して不活性ガスを充
填したので、金属製窓は大気に触れず、腐食が防止され
て、強度を長期間保つことができる。したがって、金属
製窓および露光対象を前記従来装置のように密閉容器中
に収容して露光しなくてすみ、大気中での露光ができる
ので、露光作業効率が良好となる。
、斜入射ミラーでＳＯＲ光が揺動される手前に金属製窓
が配置されているので、金属製窓は上下方向に狭い小面
積のものですみ、ＳＯＲ光出射強度を高めることができ
る。しかも、窓部は揺動が不要なので、ベローズが不要
になり、構成が簡単になる。また、この発明によれば、
金属製窓の外側にキャビティを形成して不活性ガスを充
填したので、金属製窓は大気に触れず、腐食が防止され
て、強度を長期間保つことができる。したがって、金属
製窓および露光対象を前記従来装置のように密閉容器中
に収容して露光しなくてすみ、大気中での露光ができる
ので、露光作業効率が良好となる。
【００２６】また、Ｘ線マスクメンブレン窓は、例えば
窒化シリコンや窒化ボロン等のＸ線マスク基板材料の薄
板で構成され、ベリリウム等の金属製窓のようには酸化
されにくいので、大気中にさらされても問題はない。ま
た、Ｘ線マスク基板材料は、ベリリウム等の金属製窓に
比べて単位厚さ当りのＸ線透過率は低く、強度も弱いが
、キャビティ内は不活性ガスが充填されていて真空では
ないので、Ｘ線マスクメンブレン窓は薄く（例えばベリ
リウム窓の１／１０程度の厚さに）形成することができ
、ＳＯＲ光の減衰を低く抑えることができる。
窒化シリコンや窒化ボロン等のＸ線マスク基板材料の薄
板で構成され、ベリリウム等の金属製窓のようには酸化
されにくいので、大気中にさらされても問題はない。ま
た、Ｘ線マスク基板材料は、ベリリウム等の金属製窓に
比べて単位厚さ当りのＸ線透過率は低く、強度も弱いが
、キャビティ内は不活性ガスが充填されていて真空では
ないので、Ｘ線マスクメンブレン窓は薄く（例えばベリ
リウム窓の１／１０程度の厚さに）形成することができ
、ＳＯＲ光の減衰を低く抑えることができる。
【００２７】なお、キャビティ内に外部から不活性ガス
を流す流路を形成して、不活性ガスを流すようにすれば
、金属製窓の冷却を行なうこともできる。また、真空中
でないので、斜入射ミラーの揺動部にグリースを使うこ
とができ（ガス発生の問題がないため）揺動部がかみ合
って動かなくなる等の故障も発生しにくくなる。
を流す流路を形成して、不活性ガスを流すようにすれば
、金属製窓の冷却を行なうこともできる。また、真空中
でないので、斜入射ミラーの揺動部にグリースを使うこ
とができ（ガス発生の問題がないため）揺動部がかみ合
って動かなくなる等の故障も発生しにくくなる。
【図１】 この発明の一実施例を示す光取り出しライ
ンの縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック
図である。
ンの縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック
図である。
【図２】 ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。
【図３】 従来の光取り出しラインの構造を示す縦断
面図である。
面図である。
【図４】 図３の窓３２の形状を示す正面図である。
【図５】 図１のベリリウム窓４４の形状を示す正面
図である。
図である。
【図６】 図１のＸ線マスクメンブレン窓７６の形状
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図７】 ベリリウムの超薄板による衝撃波遅延構造
を示す光取り出しラインの縦断面図である。
を示す光取り出しラインの縦断面図である。
１ ＳＯＲ光装置
２６ 光取り出しライン
２９ ＳＯＲ光
３０ 斜入射ミラー
３６ ミラー揺動機構
４４ ベリリウム窓（金属製窓）
４６ ベローズ
４８ キャビティ
７６ Ｘ線マスクメンブレン窓
７８ 露光対象
８０ ヘリウムガス（不活性ガス）
Claims (1)
- 【請求項１】ＳＯＲ光装置の光取り出しラインに配設さ
れてこの光取り出しラインを真空封止して蓄積リングか
ら放射されるＳＯＲ光を直接取り出す金属製窓と、この
金属製窓の外側に配設されて、この金属製窓の外側の面
と大気とを遮断する内部に不活性ガスが充填されたキャ
ビティと、このキャビティ内に配設されて前記金属製窓
から取り出されたＳＯＲ光を上下方向に揺動させる斜入
射ミラーと、この斜入射ミラーを揺動させるミラー揺動
機構と、前記キャビティの一部に配設されて前記斜入射
ミラーで反射されたＳＯＲ光を大気中に出射する前記金
属製窓よりも薄いＸ線マスク基板材料で作られたＸ線マ
スクメンブレン窓とを具備してなるＳＯＲ光装置におけ
るＳＯＲ光出射用窓装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3069248A JPH04282500A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3069248A JPH04282500A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04282500A true JPH04282500A (ja) | 1992-10-07 |
Family
ID=13397255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3069248A Pending JPH04282500A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04282500A (ja) |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP3069248A patent/JPH04282500A/ja active Pending
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