JPH0641100U

JPH0641100U - 高速遮断弁

Info

Publication number: JPH0641100U
Application number: JP8192592U
Authority: JP
Inventors: 孝仁小松; 元治丸下
Original assignee: 石川島播磨重工業株式会社
Priority date: 1992-11-02
Filing date: 1992-11-02
Publication date: 1994-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】高速遮断弁のゲートをパワー密度の高いＳＯ
Ｒ光に耐え得るように構成する。【構成】ゲート３８の少くともＳＯＲ光が照射される
部分３８ｂをＸ線透過率が高い材料で構成する。これに
より、大パワーのＳＯＲ光２９が照射されてもエネルギ
ー吸収量が小さく、したがって発熱量が小さいので溶け
ることなく使用できる。また、ゲート３８の少くともＳ
ＯＲが照射される部分３８ｂはＸ線透過率の高い材料で
構成されているので、ゲート３８全体をＴｉで構成した
場合に比べて機械的強度が弱くなり、高速遮断動作によ
る衝撃や空気流入時の衝撃波により板材３８ｂに亀裂が
入るおそれがある。そこで、ビームチャンネル２６のチ
ャンバー壁面のゲート３８の表面を臨む位置に覗き窓４
６，４８を設けるようにしている。これによれば、ゲー
ト３８中央部の板材３６ｂにおける亀裂の有無を確認す
ることができるので、板材３８ｂが破断に至るのを未然
に防止することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＳＯＲ（シンクロトロン放射光）装置のビームチャンネル（光取り出しライン）等に配設される高速遮断弁（ＦＣＶ：Fast Closing Valve，ＦＧＶ：Fast Gate Vaive ）に関し、ゲートをパワー密度の高いＳＯＲ光に耐え得るように構成したものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待されている。ＳＯＲ光装置の概要を図２に示す。ＳＯＲ光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを与えられながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光２９は光取り出しライン２６（ビームチャンネル）を通して出射されて、例えば露光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。

【０００３】光取り出しライン２６の途中には、その端部からの空気流入事故に備えて衝撃波遅延管３０が配設されており、空気流入があった時にその流入を遅延して、上流側にある高速遮断弁３２を閉じることにより、蓄積リング２２への空気の流入を阻止する。

【０００４】高速遮断弁３２のゲートは、従来においては高速遮断動作による衝撃や空気流入時の衝撃波に十分耐え得るように、機械的強度が高いＴｉを用いて構成されていた。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ＳＯＲ光パワーが８ＧｅＶ等の大型ＳＯＲ装置の場合、高速遮断弁のゲートをＴｉで構成すると、ＴｉはＳＯＲ光の吸収率が高いため、ゲートを閉じた時にゲートがＳＯＲ光照射によって溶けて破損するおそれがあった。

【０００６】この考案は前記従来の技術における問題点を解決して、ゲートをパワー密度の高いＳＯＲ光に耐え得るように構成した高速遮断弁を提供しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案は、ＳＯＲ光が導かれるビームチャンネルに配置され、ゲートの少くとも前記ＳＯＲ光が照射される部分をＸ線透過率の高い金属で構成してなるものである。

【０００８】また、この考案はさらに前記ゲートが配置される直前または直後のビームチャンネルを構成するチャンバー壁面の当該ゲート表面を臨む位置に覗き窓を設けてなるものである。

【０００９】

【作用】

この考案によれば、ゲートの少くともＳＯＲ光が照射される部分をＸ線透過率が高い材料で構成したので、大パワーのＳＯＲ光に対してもエネルギー吸収量が小さく、したがって発熱量が小さいので溶けることなく使用できる。

【００１０】また、ゲートの少くともＳＯＲが照射される部分をＸ線透過率の高い材料で構成したので、Ｔｉを用いた場合に比べて機械的強度が弱くなり、高速遮断動作による衝撃や空気流入時の衝撃波により亀裂が入るおそれがあるが、この考案によればビームチャンネルのチャンバー壁面のゲート表面を臨む位置に覗き窓を設けたので、亀裂の有無を確認することができ、これにより、ゲートが破断に至るのを未然に防止することができる。

【００１１】

【実施例】

この考案の一実施例を図１（ａ）に側面断面図で示す。また、図１（ａ）の高速遮断弁３２の正面図を図１（ｂ）に示す。図１（ａ）において、ビームチャンネル２６にはその上流側からＳＯＲ光２９が導かれる。ビームチャンネル２６には、ゲートバルブ３４、高速遮断弁３２、ゲートバルブ３５が配設されている。また、ゲートバルブ３５の下流側には衝撃波遅延管（ＡＤＬ）が配設され、さらにその下流のビームチャンネル２６の終端部にはＢｅ窓が装着され、このＢｅ窓を介してＳＯＲ光２９が出射される。ビームチャンネル２６の終端部付近には、その内部圧力の上昇を検知する圧力検知手段が配設されている。ポート３７は真空引き口で、通常は蓋３９で閉じられている。

【００１２】高速遮断弁３２は、中央部に開口部３６を有し、この開口部３６からＳＯＲ光２９をビームチャンネル２６の下流側に出射する。高速遮断弁３２はゲート３８を具えている。ゲート３８はロッド４０を介して駆動部４２に連結されている。駆動部４２はロッド４０に対しばねにより下方への付勢力を与えるとともに、空気圧でばね力に抗して上方への付勢力を与えられるように構成されている。そして、通常時は、ばね力に抗して空気圧でゲート３８を上方に移動させて（符号３８′で示す位置）、ＳＯＲ光２９を下流に導く。Ｂｅ窓の破損等による空気流入時には、前記圧力検知手段の圧力上昇検知により、衝撃波が衝撃波遅延管で遅延されている間に、駆動部４２は空気圧を一気に抜いて、ばね力によりゲート３８を高速で下方に移動させて開口部３６を閉じる。これにより、ビームチャンネル２６の下流側からの撃波はゲート３８で遮断され、上流の蓄積リングへの空気流入を防止することができる。高速遮断弁３２が動作したら、その後ゲートバルブ３４，３５を閉じてビームチャンネル２６内を完全に閉じる。

【００１３】ゲート３８は、外側のＳＯＲ光２９が照射されない部分３８ａが機械的強度の強いＴｉ等の枠で構成され、この枠３８ａ内のＳＯＲ光２９が照射される部分３８ｂがフィルター材に用いられるＢｅ，Ａｌ等の板材で構成され、枠３８ａに板材３８ｂを気密にはめ込んで構成されている。Ｂｅ，Ａｌ等はＴｉに比べて機械的強度は弱いが、Ｘ線透過率は高い。

【００１４】以上の構成によれば、ゲート３８の少くともＳＯＲ光が照射される部分３８ｂをＸ線透過率が高い材料で構成したので、大パワーのＳＯＲ光２９が照射されてもエネルギー吸収量が小さく、したがって発熱量が小さいので溶けることなく使用できる。また、外枠３８ａをＴｉで構成したので、ゲート３８全体をＢｅ，Ａｌ等で構成した場合に比べて耐衝撃力を高めることができる。

【００１５】ただし、ゲート３８の少くともＳＯＲが照射される部分３８ｂはＸ線透過率の高い材料で構成されているので、ゲート３８全体をＴｉで構成した場合に比べて機械的強度が弱くなり、高速遮断動作による衝撃や空気流入時の衝撃波により板材３８ｂに亀裂が入るおそれがある。そこで、図１では、ビームチャンネル２６のチャンバー壁面のゲート３８の表面を臨む位置に覗き窓４６，４８を設けるようにしている。これによれば、ゲート３８中央部の板材３６ｂにおける亀裂の有無を確認することができるので、板材３８ｂが破断に至るのを未然に防止することができる。板材３８ｂに亀裂が確認されたら、ゲートバルブ３４，３５を閉じ、高速遮断弁３２を閉じて、ゲート３８を交換する。

【００１６】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、ゲートの少くともＳＯＲ光が照射される部分をＸ線透過率が高い材料で構成したので、大パワーのＳＯＲ光に対してもエネルギー吸収量が小さく、したがって発熱量が小さいので溶けることなく使用できる。

【００１７】また、ゲートの少くともＳＯＲが照射される部分をＸ線透過率の高い材料で構成したので、Ｔｉを用いた場合に比べて機械的強度が弱くなり、高速遮断動作による衝撃や空気流入時の衝撃波により亀裂が入るおそれがあるが、この考案によればビームチャンネルのチャンバー壁面のゲート表面を臨む位置に覗き窓を設けたので、亀裂の有無を確認することができ、これにより、ゲートが破断に至るのを未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す図である。

【図２】ＳＯＲ装置の概要を示す平面図である。

【符号の説明】

２６ビームチャンネル２９ＳＯＲ光３２高速遮断弁３８ゲート３８ｂＳＯＲ光が照射される部分４６，４８覗き窓

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ＳＯＲ光が導かれるビームチャンネルに配
置され、ゲートの少くとも前記ＳＯＲ光が照射される部
分をＸ線透過率の高い金属で構成してなる高速遮断弁。
【請求項２】前記ゲートが配置される直前または直後の
ビームチャンネルを構成するチャンバー壁面の当該ゲー
ト表面を臨む位置に覗き窓を設けてなる請求項１記載の
高速遮断弁。