JPH04282408A - 位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は平坦な形状の被加工物
の外形を使用して、幅寄せ方式で被加工物の位置決めを
行なう位置決め装置、たとえば液晶表示素子用ガラス基
板やプリント基板の露光装置、印刷装置等の位置決め装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来の位置決め装置を示す斜視図
である。図において、１は吸着盤、２は吸着盤１の上に
載せられたガラス基板、３ａは昇降可能に設けられた円
柱状の基準ピンで、基準ピン３ａはエアシリンダ（図示
せず）により昇降され、また基準ピン３ａはガラス基板
２の短辺側に１個、長辺側に２個配置されている。３ｂ
はガラス基板２の基準ピン３ａに対向した辺側に設けら
れた円柱状の押し当てピン、４ａ、４ｂは押し当てピン
３ｂを移動するためのエアシリンダ、１ａは吸着盤１の
上面に設けられたガラス基板固定用の吸着溝、５は真空
排気装置、６は圧縮空気供給装置、７は吸着溝１ａと真
空排気装置５、圧縮空気供給装置６とを選択的に接続す
る方向切換弁、８は方向切換弁７と真空排気装置５とを
接続する管路に接続された真空度検出器である。

【０００３】この位置決め装置においては、基準ピン３
ａを下降し、押し当てピン３ｂを退避させた状態で、基
準ピン３ａを上昇し、つぎに吸着盤１上にガラス基板２
を搬送し、方向切換弁７で吸着溝１ａと圧縮空気供給装
置６とを接続するとともに、エアシリンダ４ａ、４ｂを
伸長すると、ガラス基板２は吸着盤１に設けられた吸着
溝１ａから吹き出す空気によって浮き上がった状態とな
り、押し当てピン３ｂによって基準ピン３ａ側に幅寄せ
される。つぎに、この幅寄せ状態で方向切換弁７で吸着
溝１ａと真空排気装置５とを接続すれば、ガラス基板２
が吸着溝１ａより真空吸着されて、ガラス基板２が吸着
盤１に固定され位置決めされる。このとき、ガラス基板
２の吸着確認は真空度検出器８にて行なう。つぎに、基
準ピン３ａを下降し、押し当てピン３ｂを退避させる。

【０００４】なお、従来技術に類似する技術はたとえば
特開昭５５−１０５５６２号公報に記載されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような位
置決め装置においては、ガラス基板２が正しく位置決め
されたか否かを確認することができない。

【０００６】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、被加工物が正しく位置決めされたか否か
を確認することができる位置決め装置を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
、この発明においては、平坦な形状の被加工物の外形を
使用して、幅寄せ方式で上記被加工物の位置決めを行な
う位置決め装置において、吸着盤の上記被加工物の辺部
内側に対応する部分に位置検出用の吸着溝を設け、上記
吸着溝と真空排気装置とを接続し、上記吸着溝と上記真
空排気装置とを接続する管路に真空度検出器を接続する
。

【０００８】

【作用】この位置決め装置においては、被加工物が正し
く位置決めされていないときには、吸着溝の少なくとも
一部が大気と連通するから、真空度検出器で検出された
真空度が上がらない。

【０００９】

【実施例】図１はこの発明に係る位置決め装置を示す斜
視図、図２は図１に示された位置決め装置の一部を示す
斜視図である。図において、１ｂは吸着盤１に設けられ
た位置検出用の吸着溝で、吸着溝１ｂは方向切換弁７に
接続されている。そして、吸着溝１ｂはガラス基板２の
辺部内側に対応する部分に設けられている。すなわち、
ガラス基板２にＣ０．２ｍｍの面とりを施してあるとき
には、吸着溝１ｂの外側部をガラス基板２の外縁より０
．２ｍｍ内側に位置させる。また、吸着溝１ｂの加工精
度は±０．０２ｍｍにしている。

【００１０】この位置決め装置においては、方向切換弁
７で吸着溝１ａ、１ｂと真空排気装置５とを接続し、ガ
ラス基板２を吸着溝１ａ、１ｂより真空吸着したときに
、ガラス基板２が正しく位置決めされていないと、吸着
溝１ｂの少なくとも一部が大気と連通するから、真空度
検出器８で検出された真空度が上がらない。したがって
、ガラス基板２が正しく位置決めされたか否かを確認す
ることができるから、露光作業、印刷作業等を正しく行
なうことができるので、パターンずれ等の不良が発生す
ることがない。そして、真空度検出器８で検出された真
空度が上がらない場合には、再度位置決め作業を行ない
、所定回数位置決め作業を行なっても真空度検出器８で
検出された真空度が上がらないときには、異常と判定し
て、そのガラス基板２を吸着盤１上から除去し、他のガ
ラス基板２を吸着盤１上に搬送する。

【００１１】なお、上述実施例においては、被加工物が
ガラス基板２の場合について説明したが、被加工物がガ
ラス基板２以外の場合にもこの発明を適用することがで
きる。また、上述実施例においては、昇降可能な基準ピ
ン３ａを用いたが、固定の基準ピンを用いてもよい。ま
た、上述実施例においては、円柱状の基準ピン３ａ、円
柱状の押し当てピン３ｂを用いたが、断面がだ円形等の
基準ピン、押し当てピンを用いてもよい。また、上述実
施例においては、吸着溝１ｂの加工精度を±０．０２ｍ
ｍにしたが、吸着溝１ｂの加工精度を高くすれば、ガラ
ス基板２が正しく位置決めされたか否かをより確実に確
認することができ、位置決め精度は±０．００５ｍｍま
で可能であることを確認している。

【００１２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る位
置決め装置においては、被加工物が正しく位置決めされ
ていないときには、真空度検出器で検出された真空度が
上がらないから、被加工物が正しく位置決めされたか否
かを確認することができる。このように、この発明の効
果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る位置決め装置を示す斜視図であ
る。

【図２】図１に示された位置決め装置の一部を示す斜視
図である。

【図３】従来の位置決め装置を示す斜視図である。

【符号の説明】

１…吸着盤 １ａ、１ｂ…吸着溝 ２…ガラス基板 ３ａ…基準ピン ３ｂ…押し当てピン ４ａ、４ｂ…エアシリンダ ５…真空排気装置 ６…圧縮空気供給装置 ７…方向切換弁 ８…真空度検出器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】平坦な形状の被加工物の外形を使用して、
   幅寄せ方式で上記被加工物の位置決めを行なう位置決め
   装置において、吸着盤の上記被加工物の辺部内側に対応
   する部分に位置検出用の吸着溝を設け、上記吸着溝と真
   空排気装置とを接続し、上記吸着溝と上記真空排気装置
   とを接続する管路に真空度検出器を接続したことを特徴
   とする位置決め装置。