JPH04277634A - 半導体素子樹脂封止方法及びその金型 - Google Patents
半導体素子樹脂封止方法及びその金型Info
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- JPH04277634A JPH04277634A JP3969891A JP3969891A JPH04277634A JP H04277634 A JPH04277634 A JP H04277634A JP 3969891 A JP3969891 A JP 3969891A JP 3969891 A JP3969891 A JP 3969891A JP H04277634 A JPH04277634 A JP H04277634A
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- Japan
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- resin
- mold
- lead frame
- semiconductor element
- leadframe
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 37
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 37
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームに搭載
された半導体素子を樹脂封止する半導体素子樹脂封止方
法及びその金型に関する。
された半導体素子を樹脂封止する半導体素子樹脂封止方
法及びその金型に関する。
【0002】
【従来の技術】図4(a)及び(b)は従来の半導体素
子樹脂封止方法及びその金型の一例を説明するための下
型の一部を示す上面図及びBB断面図、図5は図4の下
型を示す斜視図である。従来、リードフレームに搭載さ
れた半導体素子を樹脂封止する金型は、例えば、図4及
び図5に示すように、一面に複数個並べて窪み7が形成
されるとともに窪み7の列との間に湯溜りであるカル部
2aと窪み7と連結する溝であるランナ部3とが形成さ
れる下型1aと、この下型の窪み7と相対してキャビテ
ィをなす窪みが複数個並べて形成される上型とで構成さ
れている。
子樹脂封止方法及びその金型の一例を説明するための下
型の一部を示す上面図及びBB断面図、図5は図4の下
型を示す斜視図である。従来、リードフレームに搭載さ
れた半導体素子を樹脂封止する金型は、例えば、図4及
び図5に示すように、一面に複数個並べて窪み7が形成
されるとともに窪み7の列との間に湯溜りであるカル部
2aと窪み7と連結する溝であるランナ部3とが形成さ
れる下型1aと、この下型の窪み7と相対してキャビテ
ィをなす窪みが複数個並べて形成される上型とで構成さ
れている。
【0003】図6(a)及び(b)は金型より樹脂封止
構成体を取外す状態を示す断面図である。次に、上述し
た金型を使用して、リードフレームに搭載された半導体
素子の樹脂封止方法を説明する。まず、図4及び図5に
示すように、下型1aに半導体素子の搭載部が窪み7の
位置になるようにリードフレーム4を載せる。次に、下
型1aの上に上型を被せ、溶融樹脂をカル部2aを経て
、ランナ部3に流す。このことにより溶融樹脂はランナ
部3からゲート部8を経て、窪み7に注入される。所定
の時間経過後、上型と下型1aとを開き、図6(a)か
ら図6(b)に示すように、半導体素子が樹脂封止され
た外郭体5をリードフレーム4の片側を矢印に示す方向
に持ち上げ樹脂体6bの外郭体5側を折り、取外す。
構成体を取外す状態を示す断面図である。次に、上述し
た金型を使用して、リードフレームに搭載された半導体
素子の樹脂封止方法を説明する。まず、図4及び図5に
示すように、下型1aに半導体素子の搭載部が窪み7の
位置になるようにリードフレーム4を載せる。次に、下
型1aの上に上型を被せ、溶融樹脂をカル部2aを経て
、ランナ部3に流す。このことにより溶融樹脂はランナ
部3からゲート部8を経て、窪み7に注入される。所定
の時間経過後、上型と下型1aとを開き、図6(a)か
ら図6(b)に示すように、半導体素子が樹脂封止され
た外郭体5をリードフレーム4の片側を矢印に示す方向
に持ち上げ樹脂体6bの外郭体5側を折り、取外す。
【0004】このように取外された樹脂封止構成体を不
要な部分を取除き、半導体装置として完成していた。
要な部分を取除き、半導体装置として完成していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体素子樹脂封止方法及びその金型では、樹脂封止さ
れた樹脂封止構成体を金型より取外すときに、溶融樹脂
の金型への接着力が強く、リードフレームを変形させた
り、図6(b)に示すように、樹脂体であるゲート残り
9が外郭体5に付着したまま折れ残ることがある。この
ため、これらリードフレームを足したり、ゲート残り9
を取除いたりする工数を多分に浪費するといった問題が
ある。
半導体素子樹脂封止方法及びその金型では、樹脂封止さ
れた樹脂封止構成体を金型より取外すときに、溶融樹脂
の金型への接着力が強く、リードフレームを変形させた
り、図6(b)に示すように、樹脂体であるゲート残り
9が外郭体5に付着したまま折れ残ることがある。この
ため、これらリードフレームを足したり、ゲート残り9
を取除いたりする工数を多分に浪費するといった問題が
ある。
【0006】本発明の目的は、かかる問題を解消すべく
、リードフレームの変形やゲート残りを生ずることのな
い半導体素子樹脂封止方法及びその金型を提供すること
である。
、リードフレームの変形やゲート残りを生ずることのな
い半導体素子樹脂封止方法及びその金型を提供すること
である。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体素子樹脂
封止方法はリードフレームにおける半導体素子の搭載面
の一隅を切欠き、この切欠き部と下型の湯道であるゲー
ト部を含むランナ部領域と一致するように前記リードフ
レームを前記下型に載置した樹脂封止する工程と、樹脂
封止によって成形される樹脂封止構成体を前記リードフ
レーム面内で外側方向に引張り分割する工程とを含んで
構成される。
封止方法はリードフレームにおける半導体素子の搭載面
の一隅を切欠き、この切欠き部と下型の湯道であるゲー
ト部を含むランナ部領域と一致するように前記リードフ
レームを前記下型に載置した樹脂封止する工程と、樹脂
封止によって成形される樹脂封止構成体を前記リードフ
レーム面内で外側方向に引張り分割する工程とを含んで
構成される。
【0008】本発明の半導体素子樹脂封止用の金型は、
前記リードフレームの切欠き部に対応する位置に前記ゲ
ート部を含むランナ部が形成されているとともに前記ラ
ンナ部と連なるカル部の底面に窪み及び突起部のいずれ
かが形成される下型を有している。
前記リードフレームの切欠き部に対応する位置に前記ゲ
ート部を含むランナ部が形成されているとともに前記ラ
ンナ部と連なるカル部の底面に窪み及び突起部のいずれ
かが形成される下型を有している。
【0009】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a)及び(b)は本発明の半導体素子樹脂封
止方法及びその金型の一実施例を説明するための下型の
一部を示す上面図及びAA断面図、図2は図1の樹脂封
止用の金型で成形された樹脂封止構成体を示す平面図、
図3(a)及び(b)は樹脂封止構成体を分割する方法
を説明するための断面図である。
る。図1(a)及び(b)は本発明の半導体素子樹脂封
止方法及びその金型の一実施例を説明するための下型の
一部を示す上面図及びAA断面図、図2は図1の樹脂封
止用の金型で成形された樹脂封止構成体を示す平面図、
図3(a)及び(b)は樹脂封止構成体を分割する方法
を説明するための断面図である。
【0010】この金型は、図1に示すように、あらかじ
め切欠き部12が形成されるリードフレーム4aを載せ
る際に、リードフレーム4aに溶融樹脂が付着しないよ
うに、ゲート部8を含むランナ部3の上にリードフレー
ム4aが位置しないように、下型1のゲート部8とラン
ナ部3の形成される位置を限定したことである。また、
下型1のカル部2aの底に窪み11を設けたことである
。それ以外は、従来の金型と同じである。
め切欠き部12が形成されるリードフレーム4aを載せ
る際に、リードフレーム4aに溶融樹脂が付着しないよ
うに、ゲート部8を含むランナ部3の上にリードフレー
ム4aが位置しないように、下型1のゲート部8とラン
ナ部3の形成される位置を限定したことである。また、
下型1のカル部2aの底に窪み11を設けたことである
。それ以外は、従来の金型と同じである。
【0011】次に、この金型を使用して半導体素子を樹
脂封止する半導体素子樹脂封止方法を説明する。まず、
あらかじめ切欠き部2を形成したリードフレームを下型
に載せる。そして、切欠き部12とランナ部3と合うよ
うに位置決めする。次に、溶融樹脂を注入する。次に、
所定時間経過後、図2に示す樹脂封止構成体を下型1よ
り取外す。この樹脂封止構成体は、リードフレーム4a
と溶融樹脂と直接接触することがなく、窪み7及びカル
部2aには離形剤が塗布されているので容易に取外すこ
とが出来る。
脂封止する半導体素子樹脂封止方法を説明する。まず、
あらかじめ切欠き部2を形成したリードフレームを下型
に載せる。そして、切欠き部12とランナ部3と合うよ
うに位置決めする。次に、溶融樹脂を注入する。次に、
所定時間経過後、図2に示す樹脂封止構成体を下型1よ
り取外す。この樹脂封止構成体は、リードフレーム4a
と溶融樹脂と直接接触することがなく、窪み7及びカル
部2aには離形剤が塗布されているので容易に取外すこ
とが出来る。
【0012】次に、図3(a)に示すように、樹脂体6
aの面より突出する突起部10が挿入される凹み14を
もつ二枚の保持板13で樹脂封止構成体を挟み保持し、
図2に示す矢印の方向に引張ることにより、樹脂体6b
のゲート部における切欠き部で折れる。このことにより
半導体素子が封止された外郭体とリードフレーム4aの
構成体は二つに分離することが出来る。なお、樹脂体6
bはゲート部での形状が幅が狭く、切欠き効果の作用で
ゲート部で樹脂体6aは分離できるので、ゲート残りは
生じない。
aの面より突出する突起部10が挿入される凹み14を
もつ二枚の保持板13で樹脂封止構成体を挟み保持し、
図2に示す矢印の方向に引張ることにより、樹脂体6b
のゲート部における切欠き部で折れる。このことにより
半導体素子が封止された外郭体とリードフレーム4aの
構成体は二つに分離することが出来る。なお、樹脂体6
bはゲート部での形状が幅が狭く、切欠き効果の作用で
ゲート部で樹脂体6aは分離できるので、ゲート残りは
生じない。
【0013】また、上述した実施例では、下型1のカル
部2aの底に窪み11を設けたが、逆に、カル部の底に
突起部を設け、図3(b)に示すように、突起部15に
はめ合う凹み16を設けた保持板13aを使用しても同
様の効果が得られる。この場合は、突起部15の再研磨
がやり易く、金型のメンテナンスには有利である。
部2aの底に窪み11を設けたが、逆に、カル部の底に
突起部を設け、図3(b)に示すように、突起部15に
はめ合う凹み16を設けた保持板13aを使用しても同
様の効果が得られる。この場合は、突起部15の再研磨
がやり易く、金型のメンテナンスには有利である。
【0014】このような金型を使用して、半導体素子を
樹脂封止したところ、従来、リードフレームの変形する
確率が5分の1以下に減少し、ゲート残りも1/6以下
に減少することになった。
樹脂封止したところ、従来、リードフレームの変形する
確率が5分の1以下に減少し、ゲート残りも1/6以下
に減少することになった。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、複数個の
半導体素子を並べて搭載するリードフレームの一部を切
欠き、この切欠き部に対応する下型の位置に溶融樹脂が
流れるゲート部及びランナ部を設け、リードフレームに
溶融樹脂の付着を避け、そして、下型のカル部の底部に
窪みあるいは突起部を設け、この金型を使用して樹脂封
止して形成される樹脂封止構成体のカル部における樹脂
体に突起あるいは凹みを形成し、この突起あるいは凹み
を係止する手段をもつ保持体で前記この突起あるいは凹
みを形成し、この突起あるいは凹みを軽視する手段をも
つ保持体で前記樹脂封止構成体を挟み保持し、リードフ
レームと同一平面内で樹脂封止構成体を外側方向に引張
ることにより前記樹脂封止構成体を分割することによっ
て、ゲート部で形成される樹脂体に応力が集中する切欠
き効果の作用でゲート部の樹脂体部で折れる。従って、
リードフレームの変形及び樹脂のゲート残りが発生しな
い半導体素子樹脂封止方法及びその金型が得られるとい
う効果がある。
半導体素子を並べて搭載するリードフレームの一部を切
欠き、この切欠き部に対応する下型の位置に溶融樹脂が
流れるゲート部及びランナ部を設け、リードフレームに
溶融樹脂の付着を避け、そして、下型のカル部の底部に
窪みあるいは突起部を設け、この金型を使用して樹脂封
止して形成される樹脂封止構成体のカル部における樹脂
体に突起あるいは凹みを形成し、この突起あるいは凹み
を係止する手段をもつ保持体で前記この突起あるいは凹
みを形成し、この突起あるいは凹みを軽視する手段をも
つ保持体で前記樹脂封止構成体を挟み保持し、リードフ
レームと同一平面内で樹脂封止構成体を外側方向に引張
ることにより前記樹脂封止構成体を分割することによっ
て、ゲート部で形成される樹脂体に応力が集中する切欠
き効果の作用でゲート部の樹脂体部で折れる。従って、
リードフレームの変形及び樹脂のゲート残りが発生しな
い半導体素子樹脂封止方法及びその金型が得られるとい
う効果がある。
【図1】本発明の半導体素子樹脂封止方法及びその金型
の一実施例を説明するための下型の一部を示す上面図及
びAA断面図である。
の一実施例を説明するための下型の一部を示す上面図及
びAA断面図である。
【図2】図1の樹脂封止用の金型で成形された樹脂封止
構成体を示す平面図である。
構成体を示す平面図である。
【図3】樹脂封止構成体を分割する方法を説明するため
の断面図である。
の断面図である。
【図4】従来の半導体素子樹脂封止方法及びその金型の
一例を説明するための下型の一部を示す上面図及びBB
断面図である。
一例を説明するための下型の一部を示す上面図及びBB
断面図である。
【図5】図4の下型を示す斜視図である。
【図6】金型より樹脂封止構成体を取外す状態を示す断
面図である。
面図である。
1,1a 下型
2,2a カル部
3 ランナ部
4 リードフレーム
5 外郭体
6a,6b,6c 樹脂体
7,11 窪み
8 ゲート部
9 ゲート残り部
10,15 突起部
12 切欠き部
13,13a 保持板
14,16 凹み
Claims (2)
- 【請求項1】 リードフレームにおける半導体素子の
搭載面の一隅を切欠き、この切欠き部と下型の湯道であ
るゲート部を含むランナ部領域と一致するように前記リ
ードフレームを前記下型に載置した樹脂封止する工程と
、樹脂封止によって成形される樹脂封止構成体を前記リ
ードフレーム面内で外側方向に引張り分割する工程とを
含むことを特徴とする半導体素子樹脂封止方法。 - 【請求項2】 前記リードフレームの切欠き部に対応
する位置に前記ゲート部を含むランナ部が形成されてい
るとともに前記ランナ部と連なるカル部の底面に窪み及
び突起部のいずれかが形成される下型を有することを特
徴とする半導体素子樹脂封止用の金型。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3969891A JPH04277634A (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 半導体素子樹脂封止方法及びその金型 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3969891A JPH04277634A (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 半導体素子樹脂封止方法及びその金型 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04277634A true JPH04277634A (ja) | 1992-10-02 |
Family
ID=12560243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3969891A Pending JPH04277634A (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 半導体素子樹脂封止方法及びその金型 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04277634A (ja) |
-
1991
- 1991-03-06 JP JP3969891A patent/JPH04277634A/ja active Pending
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