JPH04276648A - 電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品 - Google Patents
電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品Info
- Publication number
- JPH04276648A JPH04276648A JP3064035A JP6403591A JPH04276648A JP H04276648 A JPH04276648 A JP H04276648A JP 3064035 A JP3064035 A JP 3064035A JP 6403591 A JP6403591 A JP 6403591A JP H04276648 A JPH04276648 A JP H04276648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- section bar
- resin
- terminal lead
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 56
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 30
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 7
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、電子部品製造用フレ
ーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびに
この製造方法により製造された電子部品に関し、樹脂パ
ッケージ部分の外形を、フレームによって実質的に規定
するようになすことにより、樹脂パッケージ工程処理後
のバリの発生を極力抑制するとともに、樹脂パッケージ
部分の外観品位を向上させうるようになしたものに関す
る。
ーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびに
この製造方法により製造された電子部品に関し、樹脂パ
ッケージ部分の外形を、フレームによって実質的に規定
するようになすことにより、樹脂パッケージ工程処理後
のバリの発生を極力抑制するとともに、樹脂パッケージ
部分の外観品位を向上させうるようになしたものに関す
る。
【0002】
【従来の技術およびその問題点】トランジスタ、ダイオ
ード、あるいはICなどの半導体チップを内蔵する電子
部品は、一般に、リードフレームあるいはフープ状フレ
ームなどの製造用フレームを用いて製造される。このよ
うな電子部品の製造の一般的な工程は、リードフレーム
に対して半導体チップをボンディングするチップボンデ
ィング工程と、このようにボンディングされたチップと
フレーム上に形成された端子リード間を結線するワイヤ
ボンディング工程と、これらボンディングされたチップ
ならびにその端子リードに対する電気的導通部分からな
る心臓部分を熱硬化樹脂によって封止する樹脂パッケー
ジ工程とを含み、これらの工程後、上記樹脂パッケージ
部分に標印工程を行ったり、あるいは測定検査を行った
りしたのち、最終的にチップを内蔵する樹脂パッケージ
部分ならびにこの樹脂パッケージ部分から所定の端子リ
ードが延出する製品形態が、上記のフレームから切り取
られて最終製品が完成する。
ード、あるいはICなどの半導体チップを内蔵する電子
部品は、一般に、リードフレームあるいはフープ状フレ
ームなどの製造用フレームを用いて製造される。このよ
うな電子部品の製造の一般的な工程は、リードフレーム
に対して半導体チップをボンディングするチップボンデ
ィング工程と、このようにボンディングされたチップと
フレーム上に形成された端子リード間を結線するワイヤ
ボンディング工程と、これらボンディングされたチップ
ならびにその端子リードに対する電気的導通部分からな
る心臓部分を熱硬化樹脂によって封止する樹脂パッケー
ジ工程とを含み、これらの工程後、上記樹脂パッケージ
部分に標印工程を行ったり、あるいは測定検査を行った
りしたのち、最終的にチップを内蔵する樹脂パッケージ
部分ならびにこの樹脂パッケージ部分から所定の端子リ
ードが延出する製品形態が、上記のフレームから切り取
られて最終製品が完成する。
【0003】なお、最近では、特にダイオードなどの製
造において、リードフレームに工夫を施して、上述のワ
イヤボンディング工程を省略し、フレーム上にボンディ
ングされたチップに直接的に端子リードを接続する手法
も採用されている。
造において、リードフレームに工夫を施して、上述のワ
イヤボンディング工程を省略し、フレーム上にボンディ
ングされたチップに直接的に端子リードを接続する手法
も採用されている。
【0004】上記の各工程のうち、樹脂パッケージ工程
は、所定のパッケージ形態を形成するために所定の形状
とされたキャビティを有する下金型と、このようなキャ
ビティと対応するキャビティを備える上金型とを備えた
樹脂注入装置を用い、上記下金型と上金型との間に上述
のようにしてチップボンディング工程ならびにこのチッ
プと端子リードとを電気的に導通するための工程を終え
たフレームを挟圧保持しつつ、上金型および下金型の各
キャビティで構成されるキャビティ空間に、いずれかの
金型に形成された樹脂注入経路を通じて熱硬化樹脂が注
入される。この場合、熱硬化樹脂は、注入後しばらく昇
温状態において型締め状態を保持することによって硬化
させられ、そして上記の金型が型開きされるとともに、
フレームが所定量送られてフレームの次の部分に対する
樹脂パッケージ工程が行われる。
は、所定のパッケージ形態を形成するために所定の形状
とされたキャビティを有する下金型と、このようなキャ
ビティと対応するキャビティを備える上金型とを備えた
樹脂注入装置を用い、上記下金型と上金型との間に上述
のようにしてチップボンディング工程ならびにこのチッ
プと端子リードとを電気的に導通するための工程を終え
たフレームを挟圧保持しつつ、上金型および下金型の各
キャビティで構成されるキャビティ空間に、いずれかの
金型に形成された樹脂注入経路を通じて熱硬化樹脂が注
入される。この場合、熱硬化樹脂は、注入後しばらく昇
温状態において型締め状態を保持することによって硬化
させられ、そして上記の金型が型開きされるとともに、
フレームが所定量送られてフレームの次の部分に対する
樹脂パッケージ工程が行われる。
【0005】ところで、上記の従来の電子部品の製造に
おける樹脂パッケージ工程を実施する場合、パッケージ
部分の外形形態は、実質的に上下の金型のキャビティの
形態のみによって規定されていた。すなわち、上下の金
型の各キャビティの周囲部分は、金型どうしが圧接させ
られることによって実質的に規定されていた。もちろん
、樹脂パッケージ部分の内部に端子リードが延入する必
要があるため、この端子リードが嵌まり込む凹溝が上下
のいずれかの金型の上記キャビティを囲む面に形成され
てはいるが、その他の部分は、上下の金型が直接的に圧
接されることにより、キャビティ空間が規定されていた
のである。
おける樹脂パッケージ工程を実施する場合、パッケージ
部分の外形形態は、実質的に上下の金型のキャビティの
形態のみによって規定されていた。すなわち、上下の金
型の各キャビティの周囲部分は、金型どうしが圧接させ
られることによって実質的に規定されていた。もちろん
、樹脂パッケージ部分の内部に端子リードが延入する必
要があるため、この端子リードが嵌まり込む凹溝が上下
のいずれかの金型の上記キャビティを囲む面に形成され
てはいるが、その他の部分は、上下の金型が直接的に圧
接されることにより、キャビティ空間が規定されていた
のである。
【0006】しかしながら、上記のように、上下の金型
が直接的に圧接させられることによってキャビティ空間
が規定されるようになされる従来例では、次のような問
題が発生する。すなわち、上金型と下金型とを合わせた
状態において、キャビティ空間を囲む部位に少しでも両
金型間のすきまが存在すると、注入樹脂がこのすきまに
入り込み、その結果として樹脂パッケージ部分の周囲に
薄板状のバリが発生する。このようなバリが発生すると
、後工程において、このバリを除去することが必要とな
り、そのための設備コストならびに処理コストが必要と
なって、結果的に製品コストの高騰を招く。
が直接的に圧接させられることによってキャビティ空間
が規定されるようになされる従来例では、次のような問
題が発生する。すなわち、上金型と下金型とを合わせた
状態において、キャビティ空間を囲む部位に少しでも両
金型間のすきまが存在すると、注入樹脂がこのすきまに
入り込み、その結果として樹脂パッケージ部分の周囲に
薄板状のバリが発生する。このようなバリが発生すると
、後工程において、このバリを除去することが必要とな
り、そのための設備コストならびに処理コストが必要と
なって、結果的に製品コストの高騰を招く。
【0007】なお、上金型と下金型の表面の平面度を上
げることによってある程度上記のようなバリの発生は抑
制できるが、このような高精度の金型を形成することに
もまた非常なコストが必要である。また、仮に上記のよ
うな接触面の平面度を高度に高めた金型を作成したとし
ても、上記の金型を直接圧接する作業を繰り返し行って
いるうちに、熱による変形、あるいは、金属どうしの接
触による不均一な磨耗が発生する場合があり、そうする
と、経時的に型締め状態での上金型と下金型との間に上
記と同様なわずかなすきまが生じることがある。そうす
ると、このすきまの存在により、樹脂パッケージ処理工
程後パッケージの周囲にバリが発生してしまうのである
。
げることによってある程度上記のようなバリの発生は抑
制できるが、このような高精度の金型を形成することに
もまた非常なコストが必要である。また、仮に上記のよ
うな接触面の平面度を高度に高めた金型を作成したとし
ても、上記の金型を直接圧接する作業を繰り返し行って
いるうちに、熱による変形、あるいは、金属どうしの接
触による不均一な磨耗が発生する場合があり、そうする
と、経時的に型締め状態での上金型と下金型との間に上
記と同様なわずかなすきまが生じることがある。そうす
ると、このすきまの存在により、樹脂パッケージ処理工
程後パッケージの周囲にバリが発生してしまうのである
。
【0008】この発明は、上述の事情のもとで考えださ
れたものであって、簡単な構成により、樹脂パッケージ
処理工程におけるバリの発生をなくし、バリ取り処理工
程を不要とするとともに、金型の寿命をも延長すること
ができるようにすることをその課題とする。
れたものであって、簡単な構成により、樹脂パッケージ
処理工程におけるバリの発生をなくし、バリ取り処理工
程を不要とするとともに、金型の寿命をも延長すること
ができるようにすることをその課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本願発明では、次の技術的手段を講じている。本願
の請求項1に記載した発明は、樹脂パッケージ工程にお
いてバリが発生したり、金型が磨耗によって経時的に劣
化したりすることがないように構成した電子部品製造用
フレームに関し、樹脂封止するべき領域内に縦方向にそ
れぞれ反対方向から延入する一対の端子リードを備える
とともに、上記領域は、上記端子リードの両側に配置さ
れる縦セクションバーと、縦セクションバーから横方向
に一体延出し、かつ上記端子リードの両側縁にそれぞれ
先端が無間隔分離接触させられる横セクションバーとに
よって実質的に規定されるようになしたことを特徴とし
ている。
め、本願発明では、次の技術的手段を講じている。本願
の請求項1に記載した発明は、樹脂パッケージ工程にお
いてバリが発生したり、金型が磨耗によって経時的に劣
化したりすることがないように構成した電子部品製造用
フレームに関し、樹脂封止するべき領域内に縦方向にそ
れぞれ反対方向から延入する一対の端子リードを備える
とともに、上記領域は、上記端子リードの両側に配置さ
れる縦セクションバーと、縦セクションバーから横方向
に一体延出し、かつ上記端子リードの両側縁にそれぞれ
先端が無間隔分離接触させられる横セクションバーとに
よって実質的に規定されるようになしたことを特徴とし
ている。
【0010】本願の請求項2に記載した発明は、請求項
1に記載した電子部品製造用フレームを用いた電子部品
の製造方法にかかり、上記の電子部品製造用フレームを
用い、上記一対の端子リード間にチップをマウントする
工程と、上記領域と対応するキャビティをそれぞれ有す
る下金型および上金型によって上記フレームを挟持しつ
つキャビティ内に樹脂を注入する樹脂パッケージ工程と
、上記横セクションバーを屈曲させてその先端と各端子
リードとの間の電気的絶縁を図る工程と、上記フレーム
にハンダメッキを施す工程と、樹脂パッケージ部分およ
びこれから所定長さのびる端子リードを上記フレームか
ら切り取るフレームカット工程とを含むことを特徴とし
ている。なお、請求項2の方法によって最終的に製造さ
れる電子部品もまた本願の請求項3によって権利請求さ
れている。
1に記載した電子部品製造用フレームを用いた電子部品
の製造方法にかかり、上記の電子部品製造用フレームを
用い、上記一対の端子リード間にチップをマウントする
工程と、上記領域と対応するキャビティをそれぞれ有す
る下金型および上金型によって上記フレームを挟持しつ
つキャビティ内に樹脂を注入する樹脂パッケージ工程と
、上記横セクションバーを屈曲させてその先端と各端子
リードとの間の電気的絶縁を図る工程と、上記フレーム
にハンダメッキを施す工程と、樹脂パッケージ部分およ
びこれから所定長さのびる端子リードを上記フレームか
ら切り取るフレームカット工程とを含むことを特徴とし
ている。なお、請求項2の方法によって最終的に製造さ
れる電子部品もまた本願の請求項3によって権利請求さ
れている。
【0011】
【発明の作用および効果】本願発明においては、樹脂パ
ッケージのフレームの平面内における外形形状は、従来
のように下金型または上金型のキャビティの開口形状に
よって規定されるのではなく、これら上金型および下金
型によって挟持されるフレームによって実質的に規定さ
れる。
ッケージのフレームの平面内における外形形状は、従来
のように下金型または上金型のキャビティの開口形状に
よって規定されるのではなく、これら上金型および下金
型によって挟持されるフレームによって実質的に規定さ
れる。
【0012】すなわち、本願発明の電子部品製造用フレ
ームは、一対の端子リードを挟んで両側に位置する縦セ
クションバーと、この縦セクションバーから一体に延出
しつつ、その先端がすきまなく各端子リードの両側縁に
接触する横セクションバーとを備えている。より具体的
には、樹脂封止するべきたとえば矩形の領域に対し、そ
の幅方向中央部に上下方向に上記領域の外部から内部に
延入する一対の端子リードを形成する一方、この端子リ
ードののびる方向と平行をなすようにしてその両側に縦
セクションバーを形成し、かつこの縦セクションバーか
ら一体的にかつ直交するように横セクションバーを形成
するとともに、この横セクションバーの先端を、上記各
端子リードの両側縁と分断しつつもこれに対しすきまな
く接触させるのである。
ームは、一対の端子リードを挟んで両側に位置する縦セ
クションバーと、この縦セクションバーから一体に延出
しつつ、その先端がすきまなく各端子リードの両側縁に
接触する横セクションバーとを備えている。より具体的
には、樹脂封止するべきたとえば矩形の領域に対し、そ
の幅方向中央部に上下方向に上記領域の外部から内部に
延入する一対の端子リードを形成する一方、この端子リ
ードののびる方向と平行をなすようにしてその両側に縦
セクションバーを形成し、かつこの縦セクションバーか
ら一体的にかつ直交するように横セクションバーを形成
するとともに、この横セクションバーの先端を、上記各
端子リードの両側縁と分断しつつもこれに対しすきまな
く接触させるのである。
【0013】上記横セクションバーは、左右に配置され
る各縦セクションバーの長手方向の2箇所から直交して
のびる形態となる。そうすると、縦セクションバーの内
側縁、横セクションバーの内側縁によって実質的に矩形
の領域が形成される。なお横セクションバーは、縦方向
にのびる端子リードの両側縁に無間隔接触させられてい
るので、これら端子リードと横セクションバーの先端部
は実質的に分離されているとはいえ、これらの間隔が無
間隔であることから、横セクションバーと、端子リード
とが協働して、実質的に封止するべき矩形の領域の上下
縁部分が規定されるのである。
る各縦セクションバーの長手方向の2箇所から直交して
のびる形態となる。そうすると、縦セクションバーの内
側縁、横セクションバーの内側縁によって実質的に矩形
の領域が形成される。なお横セクションバーは、縦方向
にのびる端子リードの両側縁に無間隔接触させられてい
るので、これら端子リードと横セクションバーの先端部
は実質的に分離されているとはいえ、これらの間隔が無
間隔であることから、横セクションバーと、端子リード
とが協働して、実質的に封止するべき矩形の領域の上下
縁部分が規定されるのである。
【0014】一方、上記のフレームと協働して樹脂パッ
ケージ処理工程を行うべき下金型と上金型とには、それ
ぞれ、上記左右の縦セクションバーの内縁と、上記上下
の各横セクションバーの内縁とによって規定される矩形
の開口形状をもつキャビティが形成される。このような
上下の金型によって上述のフレームを挟圧保持した場合
には、したがって、上下両金型上の各キャビティを囲む
表面が、型締め状態において互いに直接接触させられる
のではなく、左右の縦セクションバーと、上下の横セク
ションバー(各横セクションバーの先端部間には、無間
隔接触状態において端子リードが存在する)を各キャビ
ティの開口を囲む全周において挟持することになる。
ケージ処理工程を行うべき下金型と上金型とには、それ
ぞれ、上記左右の縦セクションバーの内縁と、上記上下
の各横セクションバーの内縁とによって規定される矩形
の開口形状をもつキャビティが形成される。このような
上下の金型によって上述のフレームを挟圧保持した場合
には、したがって、上下両金型上の各キャビティを囲む
表面が、型締め状態において互いに直接接触させられる
のではなく、左右の縦セクションバーと、上下の横セク
ションバー(各横セクションバーの先端部間には、無間
隔接触状態において端子リードが存在する)を各キャビ
ティの開口を囲む全周において挟持することになる。
【0015】電子部品製造用フレームは、通常、銅を主
成分とする比較的軟質の良電導性材料を板状にしたもの
であるから、金型の型締め状態において、各キャビティ
を囲む全周表面が上記のごとく樹脂パッケージするべき
領域の全周に相当するフレームを挟持した場合、フレー
ムそれ自体の変形がある程度許容されることから、金型
表面と、フレームすなわち縦セクションバーおよび横セ
クションバーとの間は、密に接触してこれらの間にすき
まが生じる余地がなくなる。したがって、このような型
締め状態においてキャビティ空間に樹脂を注入する樹脂
パッケージ処理工程において、従来のように樹脂パッケ
ージの外周に薄板状のバリが発生することを抑制するこ
とができるのである。
成分とする比較的軟質の良電導性材料を板状にしたもの
であるから、金型の型締め状態において、各キャビティ
を囲む全周表面が上記のごとく樹脂パッケージするべき
領域の全周に相当するフレームを挟持した場合、フレー
ムそれ自体の変形がある程度許容されることから、金型
表面と、フレームすなわち縦セクションバーおよび横セ
クションバーとの間は、密に接触してこれらの間にすき
まが生じる余地がなくなる。したがって、このような型
締め状態においてキャビティ空間に樹脂を注入する樹脂
パッケージ処理工程において、従来のように樹脂パッケ
ージの外周に薄板状のバリが発生することを抑制するこ
とができるのである。
【0016】また、上下両金型は、従来のように、型締
め状態において直接接触するのではなく、比較的軟質の
金属材料で形成されたフレームの一部分、すなわち上記
縦セクションバーおよび横セクションバーを挟持するこ
とになるので、金型それ自体が互いの接触により磨滅す
ることもなく、したがって、本願発明によれば、樹脂パ
ッケージ工程に使用する金型の寿命の著しい延長を図る
ことも可能である。
め状態において直接接触するのではなく、比較的軟質の
金属材料で形成されたフレームの一部分、すなわち上記
縦セクションバーおよび横セクションバーを挟持するこ
とになるので、金型それ自体が互いの接触により磨滅す
ることもなく、したがって、本願発明によれば、樹脂パ
ッケージ工程に使用する金型の寿命の著しい延長を図る
ことも可能である。
【0017】このように、本願発明によれば、基本的に
、樹脂パッケージ工程後の電子部品のパッケージ外周に
バリが発生することが抑制されるので、バリ取り工程な
どの付加的な処理工程を省略することができるのみなら
ず、金型の寿命をも延長することができることから、概
して作製に多くの費用を必要とする金型の寿命が延長さ
れることも、結果的に電子部品製造のコストダウンにつ
ながる。
、樹脂パッケージ工程後の電子部品のパッケージ外周に
バリが発生することが抑制されるので、バリ取り工程な
どの付加的な処理工程を省略することができるのみなら
ず、金型の寿命をも延長することができることから、概
して作製に多くの費用を必要とする金型の寿命が延長さ
れることも、結果的に電子部品製造のコストダウンにつ
ながる。
【0018】本願の請求項2に記載した電子部品の製造
方法においては、フレームのハンダメッキの前段階にお
いて、上記横セクションバーを折り曲げて、その先端と
各端子リードの側縁との間の電気的絶縁を図っている。 これにより、端子リードに施されるべきメッキ膜が、横
セクションバーと導通する恰好で短絡形成されることが
なくなる。したがって、請求項1に記載した本願独特の
電子部品製造用フレームを用いた場合において、ハンダ
メッキ工程においてなんら不都合が生じることがなく、
特性的になんら問題のない電子部品を製造することがで
きるのである。
方法においては、フレームのハンダメッキの前段階にお
いて、上記横セクションバーを折り曲げて、その先端と
各端子リードの側縁との間の電気的絶縁を図っている。 これにより、端子リードに施されるべきメッキ膜が、横
セクションバーと導通する恰好で短絡形成されることが
なくなる。したがって、請求項1に記載した本願独特の
電子部品製造用フレームを用いた場合において、ハンダ
メッキ工程においてなんら不都合が生じることがなく、
特性的になんら問題のない電子部品を製造することがで
きるのである。
【0019】
【実施例の説明】以下、本願発明の好ましい実施例を、
図面を参照しつつ具体的に説明する。図1は、本願発明
の電子部品製造用フレーム1の一実施例の拡大平面図で
ある。なお、この例は、樹脂パッケージ型のダイオード
を製造するためのフレーム例であり、後述するように、
フレーム上にボンディングしたチップTに対するワイヤ
ボンディング工程を省略できるように特別の工夫がなさ
れている。
図面を参照しつつ具体的に説明する。図1は、本願発明
の電子部品製造用フレーム1の一実施例の拡大平面図で
ある。なお、この例は、樹脂パッケージ型のダイオード
を製造するためのフレーム例であり、後述するように、
フレーム上にボンディングしたチップTに対するワイヤ
ボンディング工程を省略できるように特別の工夫がなさ
れている。
【0020】図1に表れているように、このフレーム1
は、通常のフレームと同様に、搬送用の係合孔2a…,
3a…をそれぞれ有する図において上下に位置する一対
のサイドフレーム2,3を有し、これらサイドフレーム
2,3の間には、縦方向に延びる縦バー4…が、フレー
ムの長手方向(図の左右方向)に等間隔に形成されてい
る。
は、通常のフレームと同様に、搬送用の係合孔2a…,
3a…をそれぞれ有する図において上下に位置する一対
のサイドフレーム2,3を有し、これらサイドフレーム
2,3の間には、縦方向に延びる縦バー4…が、フレー
ムの長手方向(図の左右方向)に等間隔に形成されてい
る。
【0021】図1において、斜線を付した領域が、単位
電子部品につき、樹脂封止をするべき平面的領域Aを示
している。この樹脂封止領域Aは、上記縦バー4のうち
、その軸線方向の一定長さ部分からなる細幅状の縦セク
ションバー4aと、この縦セクションバー4aから横方
向に一体的に所定長さ延出する横セクションバー5…に
よって大略規定される。上記樹脂封止領域Aには、上下
からそれぞれ端子リード6a,6bが延入するのである
が、下方から延入する端子リード6aは、サイドフレー
ム3から上記樹脂封止領域A内に一体的に延出するよう
に形成されている。この端子リード6aの先端には、半
導体ダイオードチップTをマウントするための太幅状の
アイランドが形成されている。
電子部品につき、樹脂封止をするべき平面的領域Aを示
している。この樹脂封止領域Aは、上記縦バー4のうち
、その軸線方向の一定長さ部分からなる細幅状の縦セク
ションバー4aと、この縦セクションバー4aから横方
向に一体的に所定長さ延出する横セクションバー5…に
よって大略規定される。上記樹脂封止領域Aには、上下
からそれぞれ端子リード6a,6bが延入するのである
が、下方から延入する端子リード6aは、サイドフレー
ム3から上記樹脂封止領域A内に一体的に延出するよう
に形成されている。この端子リード6aの先端には、半
導体ダイオードチップTをマウントするための太幅状の
アイランドが形成されている。
【0022】図1から明らかなように、この端子リード
6aと、その両側に位置する縦セクションバー4a,4
aから一体延出する2つの横セクションバー5,5の関
係は、この横セクションバー5,5の先端が端子リード
6aの両側縁に対して無間隔接触するようになされる。 これには、たとえば、まずフレーム上に上記端子リード
6aと上記横セクションバー5,5が一体連続するよう
にフレームを型抜きするとともに、端子リード6aの両
側縁に沿って、横セクションバー5,5を剪断すること
により形成することができる。このように、端子リード
6aの両側縁と横セクションバー5,5の先端部との関
係は、すきまなく接触してはいるが、分離されていると
いうことが重要である。
6aと、その両側に位置する縦セクションバー4a,4
aから一体延出する2つの横セクションバー5,5の関
係は、この横セクションバー5,5の先端が端子リード
6aの両側縁に対して無間隔接触するようになされる。 これには、たとえば、まずフレーム上に上記端子リード
6aと上記横セクションバー5,5が一体連続するよう
にフレームを型抜きするとともに、端子リード6aの両
側縁に沿って、横セクションバー5,5を剪断すること
により形成することができる。このように、端子リード
6aの両側縁と横セクションバー5,5の先端部との関
係は、すきまなく接触してはいるが、分離されていると
いうことが重要である。
【0023】一方、上記樹脂封止領域Aに図の上方から
延入するべきもう一方の端子リード6bは、左右の縦バ
ー4,4から延出する細幅状の支持バー7,7に基端側
が支持されつつ、図の上方に延びるように形成されてい
る。この端子リード6bは、一方の端子リード6aの先
端部に対して半導体ダイオードチップTがボンディング
された後の工程において、上記支持バー7,7を支点と
して、180°回転させられ、図2に示すように、先端
部が上記一方の端子リード6aの先端にボンディングさ
れたチップTの上に重なるようになされる。チップTと
この180°反転させられてチップ上にオーバラップさ
せられる端子リード6bとの間は、適当な導電性接着剤
等によって連結されることはいうまでもない。
延入するべきもう一方の端子リード6bは、左右の縦バ
ー4,4から延出する細幅状の支持バー7,7に基端側
が支持されつつ、図の上方に延びるように形成されてい
る。この端子リード6bは、一方の端子リード6aの先
端部に対して半導体ダイオードチップTがボンディング
された後の工程において、上記支持バー7,7を支点と
して、180°回転させられ、図2に示すように、先端
部が上記一方の端子リード6aの先端にボンディングさ
れたチップTの上に重なるようになされる。チップTと
この180°反転させられてチップ上にオーバラップさ
せられる端子リード6bとの間は、適当な導電性接着剤
等によって連結されることはいうまでもない。
【0024】図2は、上記端子リード6bが、図1の状
態から180°回動させられて上記のようにチップT上
に重なった状態を示す。この状態における端子リード6
bの両側縁と横セクションバー5,5との関係は、上記
のように図1において下方側に位置する端子リード6a
とその両側縁に向けて縦セクションバー4a,4aから
のびる横セクションバー5,5との関係と同様になって
いる。すなわち、端子リード6bの両側縁に対して、縦
セクションバー4a,4aから一体的に横方向に延出す
る横セクションバー5,5の先端部は、すきまがなく接
触させられている。
態から180°回動させられて上記のようにチップT上
に重なった状態を示す。この状態における端子リード6
bの両側縁と横セクションバー5,5との関係は、上記
のように図1において下方側に位置する端子リード6a
とその両側縁に向けて縦セクションバー4a,4aから
のびる横セクションバー5,5との関係と同様になって
いる。すなわち、端子リード6bの両側縁に対して、縦
セクションバー4a,4aから一体的に横方向に延出す
る横セクションバー5,5の先端部は、すきまがなく接
触させられている。
【0025】上記のようにして、本願発明の電子部品製
造用フレーム1においては、樹脂パッケージ工程におい
て樹脂封止するべきフレーム上の平面領域Aが、フレー
ム上に形成された、左右の縦セクションバー4a,4a
と、この両縦セクションバーから一体延出される横セク
ションバー5,5とによって実質的に規定されるのであ
る。なお、このとき、上記領域Aに上下方向から延入す
る一対の端子リード6a,6bは、その両側縁と、上記
横セクションバー5,5の先端部との間にすきまが存在
しないことから、上記横セクションバー5,5と協働し
て、上記樹脂封止領域Aの上下に対向する2辺を実質的
に規定する役割をも果たす。
造用フレーム1においては、樹脂パッケージ工程におい
て樹脂封止するべきフレーム上の平面領域Aが、フレー
ム上に形成された、左右の縦セクションバー4a,4a
と、この両縦セクションバーから一体延出される横セク
ションバー5,5とによって実質的に規定されるのであ
る。なお、このとき、上記領域Aに上下方向から延入す
る一対の端子リード6a,6bは、その両側縁と、上記
横セクションバー5,5の先端部との間にすきまが存在
しないことから、上記横セクションバー5,5と協働し
て、上記樹脂封止領域Aの上下に対向する2辺を実質的
に規定する役割をも果たす。
【0026】一方、上記フレーム1を用いてこれに樹脂
パッケージ工程処理を施すべき下金型8および上金型9
の合わせ面には、図3に示すように、上記樹脂封止領域
Aと対応する開口形状をもつキャビティ10,11がそ
れぞれ形成されている。もちろん、これら下金型8およ
び上金型9は、フレーム1の送り方向に所定の長さをも
っており、そうして、フレーム1の長手方向に所定個数
のキャビティ10,11を形成しておくことにより、一
回の樹脂注入操作で、複数個の樹脂封止領域Aに対して
樹脂パッケージ工程処理を行えるようになっている。
パッケージ工程処理を施すべき下金型8および上金型9
の合わせ面には、図3に示すように、上記樹脂封止領域
Aと対応する開口形状をもつキャビティ10,11がそ
れぞれ形成されている。もちろん、これら下金型8およ
び上金型9は、フレーム1の送り方向に所定の長さをも
っており、そうして、フレーム1の長手方向に所定個数
のキャビティ10,11を形成しておくことにより、一
回の樹脂注入操作で、複数個の樹脂封止領域Aに対して
樹脂パッケージ工程処理を行えるようになっている。
【0027】上記下金型8および上金型9を用いた樹脂
パッケージ処理工程それ自体は、従前と同様にして行わ
れる。すなわち、両金型8,9が型開きしている状態に
おいて、これら両金型の間にフレーム1が所定ピッチ長
さ導入され、そのフレーム上の上記各領域Aと、各金型
のキャビティ10,11とが対応して位置するように両
者間の位置決めが行われた後、両金型8,9がその間に
フレーム1を挟持するようにして型締めされ、この状態
において両キャビティ10,11によって形成されるキ
ャビティ空間内に熱硬化樹脂が注入される。注入後所定
時間を置いたキュア工程終了後両金型8,9は型開きさ
れ、フレーム1は再び所定ピッチ長さ前方に送られ、上
記の操作を繰り返す。
パッケージ処理工程それ自体は、従前と同様にして行わ
れる。すなわち、両金型8,9が型開きしている状態に
おいて、これら両金型の間にフレーム1が所定ピッチ長
さ導入され、そのフレーム上の上記各領域Aと、各金型
のキャビティ10,11とが対応して位置するように両
者間の位置決めが行われた後、両金型8,9がその間に
フレーム1を挟持するようにして型締めされ、この状態
において両キャビティ10,11によって形成されるキ
ャビティ空間内に熱硬化樹脂が注入される。注入後所定
時間を置いたキュア工程終了後両金型8,9は型開きさ
れ、フレーム1は再び所定ピッチ長さ前方に送られ、上
記の操作を繰り返す。
【0028】ところで、本願発明のフレームを用いて上
記樹脂パッケージ処理工程を行う場合、上下両金型8,
9の型締め状態においては、図3、図4および図5に示
すように、両金型のキャビティ10,11の開口を囲む
表面によって、フレーム1において樹脂封止領域Aを囲
む金型表面上に形成された縦セクションバー4a…およ
び横セクションバー5…ならびにこの横セクションバー
5…の間にすきまなく接触しつつ延入する端子リード6
a,6bが挟持される恰好となる。
記樹脂パッケージ処理工程を行う場合、上下両金型8,
9の型締め状態においては、図3、図4および図5に示
すように、両金型のキャビティ10,11の開口を囲む
表面によって、フレーム1において樹脂封止領域Aを囲
む金型表面上に形成された縦セクションバー4a…およ
び横セクションバー5…ならびにこの横セクションバー
5…の間にすきまなく接触しつつ延入する端子リード6
a,6bが挟持される恰好となる。
【0029】この場合、フレーム1それ自体が金型を形
成する材料に比較して軟質の導電性材料で形成されてい
ることから、このフレームは、金型による挟持状態にお
いて若干の変形が許容され、したがって、上下両金型8
,9の型締め状態においてそのキャビティ10,11を
囲む金型表面とこれが挟圧する上記縦セクションバー4
a…あるいは、横セクションバー5…との間にすきまが
生じることがない。そのため、樹脂パッケージ工程処理
を終えて上記樹脂封止領域Aに形成される樹脂パッケー
ジ部分Pに薄板状のバリが発生することがない。また、
型締め状態において両金型8,9は、その表面どうしが
直接的に接触するわけではないので、これら両金型の直
接接触に起因する磨耗が生じる余地がなく、金型の寿命
も延長されるのである。
成する材料に比較して軟質の導電性材料で形成されてい
ることから、このフレームは、金型による挟持状態にお
いて若干の変形が許容され、したがって、上下両金型8
,9の型締め状態においてそのキャビティ10,11を
囲む金型表面とこれが挟圧する上記縦セクションバー4
a…あるいは、横セクションバー5…との間にすきまが
生じることがない。そのため、樹脂パッケージ工程処理
を終えて上記樹脂封止領域Aに形成される樹脂パッケー
ジ部分Pに薄板状のバリが発生することがない。また、
型締め状態において両金型8,9は、その表面どうしが
直接的に接触するわけではないので、これら両金型の直
接接触に起因する磨耗が生じる余地がなく、金型の寿命
も延長されるのである。
【0030】上記のようにして樹脂パッケージ処理工程
を終えたフレーム1には、次に端子リード6a,6bに
ハンダメッキを施すために、フレーム全体にハンダメッ
キがなされるのであるが、本願発明のフレーム1を用い
る場合には、そのハンダメッキ工程の前に、図6および
図7に示すようにして横セクションバー5,5を上下い
ずれかに折り曲げる。上述のように、横セクションバー
5,5の先端は、各端子リード6a,6bの両側縁に対
して無間隔接触させられているから、このままの状態で
フレームにハンダメッキ処理を施すと、ハンダ膜が横セ
クションバー5,5と端子リード6a,6bとを連結し
てしまい、後工程においてこれら連結部を強制的に分離
する作業に難渋することになる。しかし、上述のように
してあらかじめ横セクションバー5,5を折り曲げてお
くことにより、上記ような横セクションバーと端子リー
ド間のハンダによる短絡が生じることがない。
を終えたフレーム1には、次に端子リード6a,6bに
ハンダメッキを施すために、フレーム全体にハンダメッ
キがなされるのであるが、本願発明のフレーム1を用い
る場合には、そのハンダメッキ工程の前に、図6および
図7に示すようにして横セクションバー5,5を上下い
ずれかに折り曲げる。上述のように、横セクションバー
5,5の先端は、各端子リード6a,6bの両側縁に対
して無間隔接触させられているから、このままの状態で
フレームにハンダメッキ処理を施すと、ハンダ膜が横セ
クションバー5,5と端子リード6a,6bとを連結し
てしまい、後工程においてこれら連結部を強制的に分離
する作業に難渋することになる。しかし、上述のように
してあらかじめ横セクションバー5,5を折り曲げてお
くことにより、上記ような横セクションバーと端子リー
ド間のハンダによる短絡が生じることがない。
【0031】こうしてハンダメッキ処理を終えたフレー
ムは、次に樹脂パッケージ表面への標印工程、あるいは
、電子部品の測定工程などの所定の工程を経たのち、樹
脂パッケージ部分の両端から端子リードが延出する図8
に示すような最終製品が切り取られる。
ムは、次に樹脂パッケージ表面への標印工程、あるいは
、電子部品の測定工程などの所定の工程を経たのち、樹
脂パッケージ部分の両端から端子リードが延出する図8
に示すような最終製品が切り取られる。
【0032】もちろん、この発明の範囲は上述の実施例
に限定されることはない。たとえば実施例においては、
半導体ダイオードを製造する場合の説明をしたが、フレ
ームを用いてかつ上述のような樹脂パッケージ工程を含
む製造工程によって作られるトランジスタ、ICなどの
全ての半導体電子部品の製造において、本願発明を適用
することができる。
に限定されることはない。たとえば実施例においては、
半導体ダイオードを製造する場合の説明をしたが、フレ
ームを用いてかつ上述のような樹脂パッケージ工程を含
む製造工程によって作られるトランジスタ、ICなどの
全ての半導体電子部品の製造において、本願発明を適用
することができる。
【0033】また、実施例においては、フレームにマウ
ントされたチップと端子リードとの間のワイヤボンディ
ング工程を省略するために、フレームに特別の工夫を施
し、端子リードの一方を反転させてもう一方の端子リー
ドならびにその上面にボンディングされたチップ上に重
なるようにしたが、通常のように、半導体チップと端子
リードとの間にワイヤボンディングを施す場合において
も、全く同様に本願発明を適用できることはいうまでも
ない。
ントされたチップと端子リードとの間のワイヤボンディ
ング工程を省略するために、フレームに特別の工夫を施
し、端子リードの一方を反転させてもう一方の端子リー
ドならびにその上面にボンディングされたチップ上に重
なるようにしたが、通常のように、半導体チップと端子
リードとの間にワイヤボンディングを施す場合において
も、全く同様に本願発明を適用できることはいうまでも
ない。
【図1】フレームの一例の拡大平面図である。
【図2】一方の端子リードを他方の端子リード上に重な
るように180°反転させた状態を示す平面図である。
るように180°反転させた状態を示す平面図である。
【図3】図2のフレームを用いて型締めしている状態の
説明図であって、図2のIII −III 線に沿って
断面を示している図である。
説明図であって、図2のIII −III 線に沿って
断面を示している図である。
【図4】図3のIV−IV線拡大断面図である。
【図5】図3のV−V線拡大断面図である。
【図6】樹脂パッケージ処理工程後の状態を示すフレー
ムの平面図である。
ムの平面図である。
【図7】図6のVII −VII 線拡大断面図である
【図8】最終製品の全体斜視図である。
1 フレーム
4a 縦セクションバー
5 横セクションバー
6a 端子リード
6b 端子リード
8 下金型
9 上金型
10 キャビティ
11 キャビティ
T チップ
A 樹脂封止領域
Claims (3)
- 【請求項1】 樹脂封止するべき領域内に縦方向にそ
れぞれ反対方向から延入する一対の端子リードを備える
とともに、上記領域は、上記端子リードの両側に配置さ
れる縦セクションバーと、縦セクションバーから横方向
に一体延出し、かつ上記端子リードの両側縁にそれぞれ
先端が無間隔分離接触させられる横セクションバーとに
よって実質的に規定されることを特徴とする、電子部品
製造用フレーム。 - 【請求項2】 樹脂封止するべき領域内に縦方向にそ
れぞれ反対方向から延入する一対の端子リードを備える
とともに、上記領域は、上記端子リードの両側に配置さ
れる縦セクションバーと、縦セクションバーから横方向
に一体延出し、かつ上記端子リードの両側縁にそれぞれ
先端が無間隔分離接触させられる横セクションバーとに
よって実質的に規定されるようになした電子部品製造用
フレームを用い、上記一対の端子リード間にチップをマ
ウントする工程と、上記領域と対応するキャビティをそ
れぞれ有する下金型および上金型によって上記フレーム
を挟持しつつキャビティ内に樹脂を注入する樹脂パッケ
ージ工程と、上記横セクションバーを屈曲させてその先
端と各端子リードとの間の電気的絶縁を図る工程と、上
記フレームにハンダメッキを施す工程と、樹脂パッケー
ジ部分およびこれから所定長さのびる端子リードを上記
フレームから切り取るフレームカット工程と、を含むこ
とを特徴とする、電子部品の製造方法。 - 【請求項3】 請求項2の方法によって製造された電
子部品。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3064035A JP2630686B2 (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品 |
US07/976,667 US5343072A (en) | 1990-08-20 | 1992-11-16 | Method and leadframe for making electronic components |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3064035A JP2630686B2 (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04276648A true JPH04276648A (ja) | 1992-10-01 |
JP2630686B2 JP2630686B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=13246465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3064035A Expired - Fee Related JP2630686B2 (ja) | 1990-08-20 | 1991-03-04 | 電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2630686B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002217349A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-08-02 | Rohm Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2002280509A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-27 | Rohm Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235549A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | Mitsubishi Electric Corp | 整流装置 |
JPH01152735A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-15 | Sanken Electric Co Ltd | 樹脂封止型電子部品の製造方法 |
JPH0228356A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 表面実装型半導体装置及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-03-04 JP JP3064035A patent/JP2630686B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6235549A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | Mitsubishi Electric Corp | 整流装置 |
JPH01152735A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-06-15 | Sanken Electric Co Ltd | 樹脂封止型電子部品の製造方法 |
JPH0228356A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 表面実装型半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002217349A (ja) * | 2001-01-17 | 2002-08-02 | Rohm Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP4494654B2 (ja) * | 2001-01-17 | 2010-06-30 | ローム株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2002280509A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-27 | Rohm Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2630686B2 (ja) | 1997-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105185752B (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
KR101398311B1 (ko) | 반도체 장치 | |
US8222720B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
US7019388B2 (en) | Semiconductor device | |
US5424577A (en) | Lead frame for semiconductor device | |
JP2002368176A (ja) | 半導体電子部品のリードフレーム | |
US4592131A (en) | Method for manufacturing resin-sealed semiconductor device | |
JPH04276648A (ja) | 電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品 | |
JP2018195720A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5119092B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2535358B2 (ja) | 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法 | |
JPH05190748A (ja) | 電子部品の実装パッケージ製造方法 | |
JPH1154686A (ja) | リードフレームおよびこれを用いた半導体パッケージ | |
JP2714526B2 (ja) | ワイヤーボンディング方法 | |
KR100253388B1 (ko) | 반도체 패키지의 제조방법 | |
JP2005158778A (ja) | リードフレームの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JPH06350009A (ja) | 半導体装置の製造方法及びリードフレーム | |
JPH01123426A (ja) | 樹脂封止型電子部品の製造方法 | |
JPH04326755A (ja) | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JPH0661378A (ja) | 半導体装置 | |
JPH08156009A (ja) | 樹脂モールド装置 | |
JP2013042182A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH11260982A (ja) | 樹脂封止型デバイスの製造方法 | |
JPH06151681A (ja) | 半導体装置の製造方法およびその製造において用いるリードフレーム | |
JPH0194643A (ja) | 薄型構造の半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100425 Year of fee payment: 13 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |