JPH04265213A - 五フッ化リンの貯蔵方法 - Google Patents

五フッ化リンの貯蔵方法

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Publication number
JPH04265213A
JPH04265213A JP2726591A JP2726591A JPH04265213A JP H04265213 A JPH04265213 A JP H04265213A JP 2726591 A JP2726591 A JP 2726591A JP 2726591 A JP2726591 A JP 2726591A JP H04265213 A JPH04265213 A JP H04265213A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lif
gas
container
compound
lipf6
Prior art date
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Pending
Application number
JP2726591A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichi Tsujioka
章一 辻岡
Hiroaki Sakaguchi
阪口 博昭
Yoshiyuki Kobayashi
義幸 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Central Glass Co Ltd filed Critical Central Glass Co Ltd
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Publication of JPH04265213A publication Critical patent/JPH04265213A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、各種ヘキサフルオロリ
ン酸塩の原料等として有用な五フッ化リン(以下、PF
5 と記す。)の貯蔵方法に関し、詳しくは貯蔵、運搬
の難しいPF5 を一旦LiPF6 の形に変換して貯
蔵する方法に関する。
【0002】
【従来技術とその問題点】PF5 は各種ヘキサフルオ
ロリン酸塩の原料として、またポリマーの重合触媒、半
導体用ドーピング剤として用いられ、有用な化合物であ
る。
【0003】しかし、PF5 は常温でガス状であり、
沸点が−75 ℃、臨界点15℃のため常温で液化した
状態で保存することが難しく、実際にこのガスを液化す
る場合は冷却、圧縮等の設備が必要となる。またこの化
合物を所定の圧力以上、もしくは液化状態で容器に充填
する場合には、高圧ガス取締法により特別の設備や耐圧
容器が必要になる等、簡単に貯蔵、運搬等を行うのは難
しいという問題点を有する。
【0004】
【問題点を解決するための手段】本発明者らはかかる問
題点に鑑み、鋭意検討した結果、ガス状のPF5 を該
化合物を含むLiPF6 という化合物に変換すること
により、貯蔵、運搬が簡単に行え、実際に使用する場合
はLiPF6 を熱分解させることによりPF5が取り
出せることを見出し、本発明に到達したものである。
【0005】すなわち本発明は、PF5 を貯蔵、運搬
する際、一旦LiPF6 の化合物に変換して貯蔵、運
搬し、使用の際に加熱、分解してPF5 として取り出
すことを特徴とする五フッ化リンの貯蔵方法を提供する
ものである。
【0006】まず、本発明で使用するPF5 は、通常
フッ素とリンを反応させることにより製造する。この化
合物は、前記したように常温ではガス状である。LiP
F6 を製造するためには、PF5 をLiF と反応
させればよい。この反応は溶媒中に溶解したLiF に
PF5 のガスを吹き込む湿式法によっても、固体状の
LiF にPF5 のガスを反応させる乾式法によって
も製造することができる。
【0007】実際に貯蔵しようとする場合は、LiPF
6 またはLiF を貯蔵用の容器に充填したものを用
いる。PF5 は腐食性が弱いため、貯蔵用の容器の材
質は、ニッケルだけでなく鉄やSUS 等でもよい。L
iF を充填した場合は、後で容器にPF5を導入して
反応を行い、容器の中でLiPF6 に変換してもちい
るが、このようにして製造する場合は、固気反応となる
ためLiF を完全に反応させることが難しく、その吸
蔵量が後述の場合と比較して少なくなる。
【0008】より好ましい方法は、湿式法により粒径の
大きいLiPF6 粒子を製造して、これを貯蔵用の容
器に充填しておく方法で、この場合は加熱、分解させて
、PF5 を放出させた後に、多孔性で表面積の大きい
LiF 結晶が残るため、再度このLiF とPF5 
を乾式法により反応させると前述のLiF を充填した
場合よりも反応量が多くより多くのPF5 を吸蔵する
ことができる。
【0009】リチウム以外のアルカリ金属も同様にヘキ
サフルオロリン酸塩を生成するため同様の貯蔵方法が考
えられるが、PF5 の放出時に加熱してもその速度が
非常に遅いため、実用的でない。
【0010】上記した方法で生成するLiPF6 は、
常温では蒸気圧を殆ど持たないため、固体のまま貯蔵で
きる。 また、180 ℃程度まで分解の平衡圧は1気圧以下で
あるので、通常の貯蔵条件では数気圧程度の耐圧性があ
れば、特に高い耐圧性のない容器でも充分貯蔵すること
ができる。
【0011】LiF を充填した容器にPF5 を吸蔵
させる場合、常温〜約120 ℃の間で吸蔵するのが好
ましい。温度が常温付近より低い場合は、反応速度が遅
いため実用的でなく、一方約120 ℃を越えた場合は
、分解速度が反応速度より早くなるため、貯蔵すること
ができないためである。
【0012】貯蔵容器よりPF5 を取り出す場合は、
容器を約120 ℃以上に加熱すればよい。約120 
℃より低い温度では、容器を減圧にしても放出速度が遅
いため実用的でない。容器の材質や安全性を考えると、
放出する圧力があまり高くならず、材質的な問題も考え
なくてよい、約300 ℃以下が好ましい。
【0013】放出させる場合は、容器を減圧としてPF
5 を放出させるか、容器内に窒素、アルゴン等の不活
性ガスを流通させて、放出させることができる。このL
iF は、PF5 以外のHF,F2,PF3 等と反
応しないため、本方法をとることにより、上記化合物を
含まないPF5 を得ることができるという利点もある
【0014】本発明の貯蔵方法により、通常圧縮ガスと
して貯蔵する量の10〜50倍も多く貯蔵することがで
き、しかも安全に貯蔵、運搬することができるため、P
F5 の貯蔵方法として極めて有用な方法である。
【0015】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はかかる実施例により限定されるものでは
ない。
【0016】実施例1 溶媒として無水フッ酸500 mlを使用し、LiF 
9gを溶解させた溶液をSUS304製の密閉容器に入
れ、PF5 ガスを溶液中に吹き込んだ。吹き込みガス
が吸収されなくなった時点で反応を終了し、溶媒を蒸発
させることによりLiPF6 50g を得た。
【0017】このLiPF650gを直径20mm、長
さ300 mmのニッケル製カラムに充填し、130 
℃に加熱して窒素ガスを充填層に通すことによりPF5
 と窒素ガスの混合ガスを得た。充填層の重量を測定し
、ほぼPF5 が放出されたと考えられる時点で窒素の
導入を止めた。この時のPF5 の回収率は96% で
あった。
【0018】次に該カラムを真空排気した後に再びPF
5 42g を導入し、80℃で反応を行った後、再度
PF5 ガスを取り出す操作を行った。すなわち該カラ
ムを120 ℃に加熱し、液体窒素のトラップを通しな
がらカラムを真空排気した。この結果、40 gのLi
PF6 を得ることができた。
【0019】このようなPF5 の吸脱着を5回繰り返
したときの平均回収率は96% であった。 実施例2 LiF の粉末35g を直径20mm、長さ300m
m のSUS316製カラムに充填し、排気処理して真
空状態にした後、80℃に加熱した。その後、ガス状の
PF5 を系内に導入して約4時間反応を行うと、83
g のPF5 が吸収された。この吸収量からみて、1
00gのLiPF6 が生成したと推定される。
【0020】次にこのカラムを300 ℃に加熱するこ
とにより、PF5 を脱離させた。その結果、82g 
のPF5 を得ることができた。この時の回収率は98
% であった。このようなPF5 の吸脱着を5回繰り
返したときの平均回収率は97%であった。
【0021】
【発明の効果】本発明の貯蔵方法により、通常圧縮ガス
として貯蔵する量の10〜50倍も多く貯蔵することが
でき、しかも安全に貯蔵、運搬することができるため、
PF5 の貯蔵方法として極めて有用な方法である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  PF5 を一旦LiPF6 の化合物
    に変換し、使用の際に加熱、分解してPF5 として取
    り出すようにしたことを特徴とする五フッ化リンの貯蔵
    方法。
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