JPH04252963A - Ｌｓｉテスター用プロービング治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子機器の回路の測定
に使用されるＬＳＩテスター用プロービング治具に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般にＬＳＩ用テスターは、本体部に接
続されるプローブを有しており、該プローブをＬＳＩの
リード、あるいは基板のパターン上に接触させることに
より、それらの回路特性値を測定するように構成されて
いる。そして従来、かかるプローブとしては、導電材料
から形成されるテスターピンの基端部を樹脂等により被
覆したものが多用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
例においては、テスターピン自体に一定の強度を持たせ
て曲がり等が生じないようにするために、その先端部を
太くする必要があり、この結果、微細なパターン、ある
いはリードピッチの小さなＬＳＩ等の測定を行う場合、
隣接するパターンやリードに接触してしまうという欠点
を有するものであった。

【０００４】本発明は、以上の欠点を解消すべくなされ
たものであって、微細なパターンを有する回路、あるい
は微細なリードピッチを有するＬＳＩ等の測定が可能な
ＬＳＩテスター用プロービング治具を提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば上記目的
は、実施例に対応する図１に示すように、ＬＳＩテスタ
ーのテスターピン１の先端部を受容して該テスターピン
１に着脱可能に装着される有底筒状の筒状本体２と、前
記筒状本体２内に上方に付勢されて収納され、前記テス
ターピン１より細径の尖端部３を有するとともに、上端
に前記テスターピン１の先端に接触するコンタクト座４
を有し、テスターピン１への装着時において尖端部３が
筒状本体２の底壁５に穿孔した小孔６から突出し、かつ
テスターピン１の非装着状態において該尖端部３が筒状
本体２内に収納される探触針７とを有してなるＬＳＩテ
スター用プロービング治具を提供することにより達成さ
れる。

【０００６】

【作用】上記構成に基づき、本発明におけるＬＳＩテス
ター用プロービング治具は、テスターピン１より細径の
尖端部３を有する探触針７を筒状本体２内に収納して構
成される。

【０００７】探触針７の尖端部３は、テスターピン１へ
の装着時において筒状本体２から突出し、この尖端部３
を被測定箇所に接触させることにより所望の測定がなさ
れる。

【０００８】この結果、微細なパターン等に対する測定
も可能となる。さらに、上記探触針７は、保管状態にお
いて筒状本体２内に収納され、保管時の曲がり等が防止
される。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の望ましい実施例を添付図面に
基づいて詳細に説明する。

【００１０】図１および図２は本発明の実施例を示すも
ので、図中８はＬＳＩテスターに付属のプローブであり
、テスターピン１の基端部を樹脂材９で被覆して構成さ
れている。

【００１１】２は筒状本体であり、上端部の外周にはテ
ーパネジ１０が刻設され、このテーパネジ１０にテーパ
内周面に雌ネジ１１を形成したナット１２が螺合されて
おり、該ナット１２をねじ込むことにより筒状本体２の
上端縁を縮径させ、テスターピン１に装着される。ナッ
ト１２をねじ込んだ際の上端縁の縮径が円滑になされる
ように、筒状本体２の上端部には、スリット１３が切り
欠かれている（図２参照）。

【００１２】７は探触針であり、筒状本体２の底壁５中
心に穿孔された小孔６から尖端部３を臨ませて装着され
ている。この探触針７は、上記テスターピン１に比して
細径の針状部材であり、表面に金メッキ等を施すことに
より、電気抵抗の低減が図られている。また探触針７は
、上端にコンタクト座４を有しており、該コンタクト座
４と筒状本体２の底壁５に上下座巻部を当接させた状態
で圧縮スプリング１４が装着されるとともに、該圧縮ス
プリング１４の反力により探触針７が筒状本体２から脱
離しないように、筒状本体２部の上端部近傍には、スト
ッパ壁１５が設けられている。このストッパ壁１５は、
少なくとも図２に示す保管状態において、探触針７の尖
端部３が筒状本体２内に完全に収納されて外部に露出し
ない位置に設けられる。

【００１３】さらに、上記探触針７のコンタクト座４の
上面はテスターピン１の先端が嵌合する湾曲面１６とさ
れており、テスターピン１に装着した際に、該テスター
ピン１とコンタクト座４が密着するようにされている。

【００１４】したがって、この実施例に係るＬＳＩテス
ター用プロービング治具を使用する際には、先ずプロー
ブ８のテスターピン１を筒状本体２に挿入すると、該テ
スターピン１の先端により探触針７のコンタクト座４が
押されて、該接触針の先端が筒状本体２の底壁５から突
出する。この時、コンタクト座４は圧縮スプリング１４
の反力を受けて上方に付勢され、コンタクト座４とテス
ターピン１との接触圧が得られる。この後、ナット１２
を締め付けると、筒状本体２の上端縁は縮径してテスタ
ーピン１を把持し、両者が完全に固定され、この状態で
探触針７の尖端部３をパターン等に接触させて必要な測
定を行うことができる。

【００１５】この場合、筒状本体２、および圧縮スプリ
ング１４を導電率の良好な材料で形成したり、あるいは
導電率の良好な材料による表面処理を施して、全体の電
気抵抗を低減させることが望ましい。

【００１６】以上のようにして測定を終了した後、ナッ
ト１２を緩めて筒状本体２をテスターピン１から引き抜
くと、圧縮スプリング１４の反力により探触針７は、コ
ンタクト座４がストッパ壁１５に当接するまで後退し、
その尖端部３が筒状本体２内に収容されて保管時の曲が
り等が防止される。

【００１７】なお、以上においては、筒状本体２の上端
部にナット１２を装着してテスターピン１に装着する場
合を示したが、これ以外に、例えば筒状本体２を合成樹
脂材９にて形成し、テスターピン１に圧入するように構
成することも可能であり、このように構成する場合には
、筒状本体２の内壁に金属メッキを施してテスターピン
１、筒状本体２、圧縮スプリング１４および探触針７で
構成される回路の電気抵抗を低くし、全体の電気抵抗の
低減を図ることが望ましい。

【００１８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によるＬＳＩテスター用プロービング治具によれば、通
常使用されるテスターピンの先端に細径の探触針が装着
されるので、探触部の径が小さくなり、微細なパターン
等の測定を行うことができる。

【００１９】また、上記探触針は保管時に筒状本体の中
に収納されるので、変形等を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す図である。

【図２】本発明の要部を示す図である。

【符号の説明】

１　　　　テスターピン ２　　　　筒状本体 ３　　　　尖端部 ４　　　　コンタクト座 ５　　　　底壁 ６　　　　小孔 ７　　　　探触針

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ＬＳＩテスターのテスターピン（１）の先
   端部を受容して該テスターピン（１）に着脱可能に装着
   される有底筒状の筒状本体（２）と、前記筒状本体（２
   ）内に上方に付勢されて収納され、前記テスターピン（
   １）より細径の尖端部（３）を有するとともに、上端に
   前記テスターピン（１）の先端に接触するコンタクト座
   （４）を有し、テスターピン（１）への装着時において
   尖端部（３）が筒状本体（２）の底壁（５）に穿孔した
   小孔（６）から突出し、かつテスターピン（１）の非装
   着状態において該尖端部（３）が筒状本体（２）内に収
   納される探触針（７）とを有してなるＬＳＩテスター用
   プロービング治具。