JPH0424366B2 - - Google Patents
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- JPH0424366B2 JPH0424366B2 JP62254924A JP25492487A JPH0424366B2 JP H0424366 B2 JPH0424366 B2 JP H0424366B2 JP 62254924 A JP62254924 A JP 62254924A JP 25492487 A JP25492487 A JP 25492487A JP H0424366 B2 JPH0424366 B2 JP H0424366B2
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- Expired - Lifetime
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- Silicon Polymers (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25492487A JPH0196222A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 1,2,2−トリメチル−1−(置換フェニル)ポリジシランおよびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25492487A JPH0196222A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 1,2,2−トリメチル−1−(置換フェニル)ポリジシランおよびその製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0196222A JPH0196222A (ja) | 1989-04-14 |
JPH0424366B2 true JPH0424366B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1992-04-24 |
Family
ID=17271749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25492487A Granted JPH0196222A (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 1,2,2−トリメチル−1−(置換フェニル)ポリジシランおよびその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0196222A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000034782A (ko) * | 1996-06-07 | 2000-06-26 | 료끼 신이찌로 | 폴리실란 및 정공수송재료 |
JP2002167438A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-11 | Jsr Corp | ケイ素ポリマー、膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料 |
JP4000836B2 (ja) * | 2001-11-28 | 2007-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 膜パターンの形成方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6098431A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | パタン形成材料及びパタン形成方法 |
US4588801A (en) * | 1984-04-05 | 1986-05-13 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Polysilane positive photoresist materials and methods for their use |
JPS63141046A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Toshiba Corp | レジスト |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP25492487A patent/JPH0196222A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0196222A (ja) | 1989-04-14 |
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