JPH04241474A - 光半導体装置 - Google Patents

光半導体装置

Info

Publication number
JPH04241474A
JPH04241474A JP3002731A JP273191A JPH04241474A JP H04241474 A JPH04241474 A JP H04241474A JP 3002731 A JP3002731 A JP 3002731A JP 273191 A JP273191 A JP 273191A JP H04241474 A JPH04241474 A JP H04241474A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
envelope
heat sink
optical semiconductor
lead
semiconductor device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3002731A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2695995B2 (ja
Inventor
Nobuo Shigeno
茂 野 伸 夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP273191A priority Critical patent/JP2695995B2/ja
Priority to KR1019920000364A priority patent/KR960004098B1/ko
Priority to US07/820,124 priority patent/US5227646A/en
Publication of JPH04241474A publication Critical patent/JPH04241474A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2695995B2 publication Critical patent/JP2695995B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/12Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/483Containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/30107Inductance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ通信等に用い
られる光半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の光半導体装置の断面状態を
示す断面図である。光半導体素子1とその発光光をモニ
タするための受光素子7とがヒートシンクステム2にマ
ウントされ、各素子1,7はヒートシンク1が保持する
ガラスハーメチックシールされた電極リード11に電気
的に接続されている。
【0003】ヒートシンクステム2はレンズ14の付い
たキャップ5により気密化されるとともに、光半導体素
子からの発光光の集光がレンズ14によって行われ、光
ファイバ15から外部に導出されるように構成されてい
る。
【0004】さらに、ヒートシンクステム1、光ファイ
バ14およびレンズ15を含む光学系の部品は外部パッ
ケージ10によって保持されている。ヒートシンクステ
ム2の電極リード12は、光半導体素子1の出射光に対
して並行かつヒートシンクステム2から立体的に所定の
位置関係を保って固定されている。
【0005】ところで、外部パッケージ10は一般に基
板への実装を考慮して光半導体素子1の発光光に対して
垂直方向に並列したピン配置が標準となっている。この
ためヒートシンクステム2から出た電極ピン12は外部
パッケージ10内で垂直方向に折り曲げられ、パッケー
ジ10外部のリード13に接続された構造となっている
【0006】
【発明が解決しようとする課題】光通信用半導体装置に
おいては、近年、高速動作と小型化さらに電気的回路素
子の集積化が要求されるようになってきた。高速動作を
はかるためにはヒートシンクステム2とパッケージ10
とを結ぶ電極リード12のリード長を短くし、パッケー
ジ10内部のリードインダクタンスを小さくする必要が
ある。
【0007】しかし図5に示すような従来の光半導体装
置では、ヒートシンクステム2のリード12が立体的に
パッケージ10内に形成されているため、リード12を
曲げて実装する必要があった。そのためリード12のリ
ード長が長くなりこれに起因するリードインダクタンス
によって光半導体装置の高速動作に制限を与えるという
問題点があった。
【0008】さらにピンを曲げて実装するために作業性
が悪く、ピンを折り曲げて実装する分の空間をパッケー
ジ10の内部に設ける必要があり、パッケージの小型化
に制限を与えるという問題点もあった。
【0009】さらに、内部ヒートシンク2内の電気的回
路素子を集積すること、またリード配線を変更すること
は構成上困難であるなどの問題点もあった。
【0010】本発明は上述した問題点を解消するために
なされたもので、内部ヒートシンクステムのリードの配
線、引き出し方向および本数を自由に配列し、組みたて
の作業性を向上させると共に、高速動作が実現でき、か
つ小型化の可能な光半導体装置を提供することを目的と
する。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、ヒートシンク
上に搭載された光電変換素子を含み、この光電変換素子
とヒートシンクを支持して被う第1の外囲器と、この第
1の外囲器の全体を支持して被うとともに外部出力用の
リードを有する第2の外囲器とを備えた光半導体装置に
おいて、前記第1の外囲器の一部が一端側が、前記光電
変換素子および前記ヒートシンクに接続され、他端側が
前記出力用リードに接続された導体パターンを有する積
層セラミック基板で置換されていることを特徴とする。
【0012】前記ヒートシンク上に発光素子が搭載され
、前記第1の外囲器にはさらにモニタ用受光素子および
光出力用レンズ、光出力用ファイバが支持され、前記第
2外囲器には前記光出力用ファイバが支持される。
【0013】前記積層セラミック基板が、前記外部リー
ドの導出方向と前記光ファイバの導出方向とが略直角を
なすように、導出方向を変換する導体パターンを備える
ことが好ましい。
【0014】
【作用】本発明では光半導体装置内部の第1の外囲器か
らの導出リードと第2の外囲器からの外部導出リードと
の間を導体パターンを有する積層セラミック基板を用い
て接続することにより、ヒートシンクステムの気密を保
ちつつ、ヒートシンクステムのリードの配線、本数、引
き出し方向を自由に形成することが可能となる。このた
め、積層セラミック基板上に電気的回路素子の集積化す
ることが可能となる。
【0015】さらに積層セラミック基板を用いたため、
内部のリードピンの長さを短くできて装置内部のリード
インダクタンスを小さくでき、装置の高速化を図ること
ができる。
【0016】
【実施例】図1は本発明に係る光半導体装置の一例を示
す断面図である。なお図5に示した従来の装置の構成部
分と、同一の部分には同一符号を付し、その詳細な説明
を省略する。
【0017】光半導体発光素子1は、ヒートシンク2上
にマウントされ、ヒートシンク2上のセラミック基板9
に形成されたパターン電極上にワイヤボンディング等に
より電気的に接続される。ヒートシンク2とヒートシン
ク2上のセラミック基板9のパターン電極とはヒートシ
ンク2の側面に垂直方向に設けられた積層セラミック基
板3上に形成される電極パターン8と電気的に接続され
る。
【0018】また、ヒートシンク2は金属フレーム4へ
メタライジングにより固定される。これにより発光素子
1からの発熱はヒートシンクステム2を介して金属フレ
ーム4へ伝達され外部に放出することができる。
【0019】発光素子1をモニタする受光素子7は、積
層セラミック基板3にマウントされており、電極パター
ン8へワイヤボンディング等により電気的に接続されて
いる。なお、積層セラミック基板3および9上の電極パ
ターンは通常厚膜により形成され、この場合チタン、白
金および金の3層構造を使うのが一般的である。
【0020】各電極パターン8は、積層セラミック基板
3の内部を通り、外部パッケージ10内に設けられたセ
ラミック基板9上の電極パターンに電気的に接続される
。さらにセラミック基板9上の配線は外部パッケージ1
0の外部リード13に電気的に接続される。
【0021】図2は図1に示す実施例のヒートシンクス
テム近傍の詳細構造を示す断面図である。図から明らか
なように本発明では従来の装置の外囲器の一部を積層セ
ラミック基板3により置き換え、この積層セラミック基
板3に外部リード13に接続される電極パターン11を
形成して、この電極パターンと発光素子1あるいは受光
素子7を電気的に接続するようにしている。
【0022】図3および図4は本発明の他の実施例を示
したもので、図3は上面から見た断面図を、また図4は
図3に示す実施例のヒートシンクステム近傍の詳細構成
を示したものである。
【0023】図1および図2に示す実施例では外部リー
ド13が発光光の進行方向である光ファイバ14の向き
に対して直角になるように向けられているが、図3およ
び図4で示す実施例では発光光の進行方向である光ファ
イバ14の方向と、外部リード13の方向が平行となる
ような構成となっている。
【0024】一般に受光素子のピッチと光半導体装置と
しての実装リードピッチは一致していないためこのよう
な構成を採用していればセラミック基板上の導体パター
ンによりリードピッチの変換を行うことが可能となる。
【0025】
【発明の効果】以上実施例に基づいて詳細に説明したよ
うに本発明では、ヒートシンクおよび光電変換素子を収
納する第1の外囲器の一部を導体パターンを有する積層
セラミック基板で構成し、この導体パターンを介して内
部素子と第2の外囲器から導出される外部電極リードと
を接続するようにしたため、内部ヒートシンクステム上
のリードの配線、引き出し方向および本数を自由に設計
することができるため、光半導体装置の組み立て作業が
向上する。
【0026】さらに導体パターンによって配線を行うよ
うにしたため、光半導体装置内のリードピン長を短くす
ることができ、高速特性を実現することができる。さら
にこれらの構造により小型化が可能になるというすぐれ
た効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】  本発明の一実施例に係る光半導体装置の断
面図。
【図2】  図1の実施例におけるヒートシンクステム
近傍の詳細構成を示す断面図。
【図3】  本発明の他の実施例の上面からみた断面図
【図4】  図3の実施例のヒートシンクステムの近傍
の詳細断面図。
【図5】  従来の光半導体装置の断面図。
【符号の説明】
1  光半導体発光素子 2  ヒートシンク 3  積層セラミック基板 4  金属フィルム 5  レンズキャップ 7  受光素子 8  パターン電極 9  セラミック基板 10  パッケージ 11  リード 14  光ファイバ 15  レンズ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ヒートシンク上に搭載された光電変換素子
    を含み、この光電変換素子とヒートシンクを支持して被
    う第1の外囲器と、この第1の外囲器の全体を支持して
    被うとともに外部出力用のリードを有する第2の外囲器
    とを備えた光半導体装置において、前記第1の外囲器の
    一部が一端側が、前記光電変換素子および前記ヒートシ
    ンクに接続され、他端側が前記出力用リードに接続され
    た導体パターンを有する積層セラミック基板で置換され
    ていることを特徴とする光半導体装置。
  2. 【請求項2】前記ヒートシンク上に発光素子が搭載され
    、前記第1の外囲器にはさらにモニタ用受光素子および
    光出力用レンズ、光出力用ファイバが支持され、前記第
    2外囲器には前記光出力用ファイバが支持されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の光半導体装置。
  3. 【請求項3】前記積層セラミック基板が、前記外部リー
    ドの導出方向と前記光ファイバの導出方向とが略直角を
    なすように、導出方向を変換する導体パターンを備えた
    ことを特徴とする光半導体装置。
JP273191A 1991-01-14 1991-01-14 光半導体装置 Expired - Lifetime JP2695995B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP273191A JP2695995B2 (ja) 1991-01-14 1991-01-14 光半導体装置
KR1019920000364A KR960004098B1 (ko) 1991-01-14 1992-01-14 광반도체장치
US07/820,124 US5227646A (en) 1991-01-14 1992-01-14 Optical semiconductor device with laminated ceramic substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP273191A JP2695995B2 (ja) 1991-01-14 1991-01-14 光半導体装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04241474A true JPH04241474A (ja) 1992-08-28
JP2695995B2 JP2695995B2 (ja) 1998-01-14

Family

ID=11537467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP273191A Expired - Lifetime JP2695995B2 (ja) 1991-01-14 1991-01-14 光半導体装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5227646A (ja)
JP (1) JP2695995B2 (ja)
KR (1) KR960004098B1 (ja)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2763980B2 (ja) * 1992-01-14 1998-06-11 富士通株式会社 光半導体モジュール
US5679979A (en) * 1996-05-21 1997-10-21 Weingand; Christopher Dirk Surface mount package with heat transfer feature
US6369924B1 (en) 1998-04-20 2002-04-09 Stratos Lightwave, Inc. Optical transceiver with enhanced shielding and related methods
US6577656B2 (en) * 2001-03-13 2003-06-10 Finisar Corporation System and method of packaging a laser/detector
US6715936B2 (en) * 2002-01-22 2004-04-06 Megasense, Inc. Photonic component package and method of packaging
KR20030087824A (ko) * 2002-05-10 2003-11-15 주식회사일진 소형 형상 요소형 광모듈
KR20040027162A (ko) * 2002-09-27 2004-04-01 주식회사일진 광통신용 광모듈
US7350987B2 (en) * 2002-09-30 2008-04-01 Intel Corporation Optical package fiber pass-through to reduce curvature of optical fiber during threading
US7255494B2 (en) * 2003-05-23 2007-08-14 Intel Corporation Low-profile package for housing an optoelectronic assembly
US6860652B2 (en) * 2003-05-23 2005-03-01 Intel Corporation Package for housing an optoelectronic assembly
US6883978B2 (en) * 2003-06-26 2005-04-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Low cost package design for fiber coupled optical component
US7284913B2 (en) 2003-07-14 2007-10-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Integrated fiber attach pad for optical package
US7410088B2 (en) * 2003-09-05 2008-08-12 Matsushita Electric Industrial, Co., Ltd. Solder preform for low heat stress laser solder attachment
KR101022768B1 (ko) * 2003-11-07 2011-03-17 삼성전자주식회사 반도체 레이저 다이오드가 장착된 실리콘 옵티컬 벤치구조물
US7021838B2 (en) 2003-12-16 2006-04-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optimizing alignment of an optical fiber to an optical output port
US7119373B2 (en) * 2004-01-23 2006-10-10 Exalos Ag Sled
US7263260B2 (en) * 2005-03-14 2007-08-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Low cost, high precision multi-point optical component attachment
US7302192B2 (en) * 2005-04-28 2007-11-27 Menara Networks Methods of spread-pulse modulation and nonlinear time domain equalization for fiber optic communication channels
US7478955B2 (en) 2005-08-12 2009-01-20 Applied Optoelectronics, Inc. Modular laser package system
US7290943B2 (en) * 2005-08-12 2007-11-06 Murry Stefan J Modular laser package system and associated methods
JP4872663B2 (ja) * 2006-12-28 2012-02-08 株式会社日立製作所 接合用材料及び接合方法
US8811439B2 (en) 2009-11-23 2014-08-19 Seminex Corporation Semiconductor laser assembly and packaging system
US8821042B2 (en) * 2011-07-04 2014-09-02 Sumitomo Electic Industries, Ltd. Optical module with lens assembly directly mounted on carrier by soldering and laser diode indirectly mounted on carrier through sub-mount
US9500808B2 (en) * 2012-05-09 2016-11-22 The Boeing Company Ruggedized photonic crystal sensor packaging

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6381988A (ja) * 1986-09-26 1988-04-12 Hitachi Tobu Semiconductor Ltd 光電子装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5559786A (en) * 1978-10-27 1980-05-06 Fujitsu Ltd Light semiconductor device
US4399453A (en) * 1981-03-23 1983-08-16 Motorola, Inc. Low thermal impedance plastic package
US4752109A (en) * 1986-09-02 1988-06-21 Amp Incorporated Optoelectronics package for a semiconductor laser
JPS6370589A (ja) * 1986-09-12 1988-03-30 Nec Corp 半導体レ−ザモジユ−ル
US5068865A (en) * 1988-06-09 1991-11-26 Nec Corporation Semiconductor laser module

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6381988A (ja) * 1986-09-26 1988-04-12 Hitachi Tobu Semiconductor Ltd 光電子装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2695995B2 (ja) 1998-01-14
KR920015540A (ko) 1992-08-27
US5227646A (en) 1993-07-13
KR960004098B1 (ko) 1996-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04241474A (ja) 光半導体装置
JP2692461B2 (ja) 半導体装置
US5352852A (en) Charge coupled device package with glass lid
JPH09307122A (ja) 光素子モジュール
JP2000340876A (ja) 光半導体素子用パッケージおよびその製造方法
JPH03155671A (ja) 固体撮像装置
KR20080022509A (ko) 마이크로폰 패키지
JP7366214B2 (ja) 発光素子搭載用基板および発光装置
JP2000277814A (ja) 光通信モジュール
JPS62124780A (ja) 光半導体モジユ−ル
JP7033974B2 (ja) セラミック回路基板、パッケージおよび電子装置
JPH03209746A (ja) 半導体パッケージ
JP2006128514A (ja) 光半導体装置およびそれを用いた光モジュール
JP2736197B2 (ja) 光半導体素子用パッケージ
JP7292241B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
US20100247032A1 (en) Can type optical module
JPS61214565A (ja) 半導体光センサ装置
JPH0697510A (ja) 小型光半導体装置
JPH01169986A (ja) 半導体レーザ
JP2003007882A (ja) 光半導体気密封止容器及びそれを用いた光半導体モジュール
JP2002270904A (ja) 半導体パッケージ装置
JP3799348B2 (ja) パッケージ及びそれを用いた電子装置
JPH0457357A (ja) 集積回路装置
JP2001085706A (ja) 光半導体素子モジュール
JP2004047684A (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070912

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080912

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080912

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090912

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090912

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100912

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912

Year of fee payment: 14