JPH0423858Y2

JPH0423858Y2 -

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Publication number: JPH0423858Y2
Application number: JP1986021158U
Authority: JP
Priority date: 1986-02-17
Filing date: 1986-02-17
Publication date: 1992-06-04
Also published as: JPS62133546U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案はウエハ等の基板を処理装置に搬送する
ための基板搬送装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、基板搬送装置に基板収納用カセツトを載
置する場合には、ウエハの入つたロード用カセツ
トと空のアンロード用カセツトとをペアにして
各々をカセツト台に載せていた。

そして、前記装置の作動は以下の通りに行われ
ていた。基板の搬送を制御する制御部により、基
板の搬送手段（例えばベルト）が作動され、前記
搬送手段が前記のロード用カセツトからウエハを
取り出し、処理後のウエハを前記のアンロード用
カセツトに収納させていた。空になつたこのロー
ド用カセツトは、別のウエハが収納されたカセツ
トと交換し、又処理済みのウエハが収納されたア
ンロード用カセツトは別の空カセツトと交換し
て、以後同様に前記の作動を繰り返していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この従来基板搬送装置には、以下のように欠点
を生じている。すなわち、前記搬送手段の作動を
制御する制御部は、ロード用カセツトからウエハ
を取り出して、処理後のウエハを前記のアンロー
ド用カセツトに収納させる機能しか持つていない
ため、前記の各カセツトはロード用あるいはアン
ロード用のどちらか、一つしか役割を果たすこと
ができなかつた。そのために、一回毎に二個のカ
セツトをそれぞれ別のカセツトに交換することに
なり、カセツト交換が煩雑になつてしまう欠点が
あつた。

本考案は前記欠点を解決し、カセツト交換の煩
わしさをなくした基板搬送装置を得ることを目的
とする。

〔問題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するための本考案の構成を実
施例に対応する第１図を用いて説明すると、本考案は、複数の基板Ｗ１，Ｗ２が収納されたロード用カ
セツト４１，４２から一枚ずつ前記基板を取り出
して、所定の処理装置４４に搬送するとともに処
理済みの基板を前記処理装置からアンロード用の
空カセツト４３に搬送する装置において、前記基板を保持した少なくとも２つのロード用
のカセツト４１，４２と、１つの空カセツト４３
とを夫々載置する複数のカセツト台１，２，３
と；該カセツト台の夫々と前記処理装置との間で相
互に前記基板を搬送するための搬送手段ベルト５
〜１４と；前記ロード用の一方のカセツト４１から前記基
板Ｗ１を取り出し、前記アンロード用のカセツト
４３に搬送する第１の状態と、前記ロード用の他
方のカセツト４２から前記基板Ｗ２を取り出し、
前記第１の状態において空になつた前記ロード用
の一方のカセツト４１に搬送する第２の状態と
の、少なくとも２状態に前記搬送手段を制御する
制御手段１５〜１９，Ｍ１〜Ｍ４，３１〜３８と
を設けることを技術的要件としている。

〔作用〕

前記制御手段１５〜１９，Ｍ１〜Ｍ４，３１〜
３８）が、前記搬送手段を前記の少なくとも２状
態に切り換えることにより、一回のカセツト交換
の際には、処理済みのウエハが収納されたアンロ
ード用カセツト４３だけを、これから処理される
ウエハを収納した別のロード用カセツト４５と交
換するのみである。そのために、前記の欠点すな
わちカセツト交換の煩わしさをなくすことができ
る。

〔実施例〕

第１図は本考案の実施例による基板搬送装置の
概略平面図である。この第１図に於いて、凹型の
カセツト台１〜３は不図示の手段により上下の移
動ができるように構成されている。前記のカセツ
ト台１〜３と、処理装置の一部であるプリアライ
メントステージ４との間には、基板例えばウエハ
等を搬送するための搬送ベルト５〜１４から成る
搬送手段が形成されている。第１モータＭ１は制
御部１５からの指令により駆動軸１６を介して第
１〜第４搬送ベルト５，６，７，８を駆動する。
第２及び第４搬送ベルト６，８は駆動軸１６を中
心に揺動自在となつている。第２モータＭ２は制
御部１５からの指令により駆動軸１７を介して第
５、第６搬送ベルト９，１０を駆動する。第６搬
送ベルト１０は駆動軸１７を中心に揺動自在とな
つている。第２、第４、第６搬送ベルト６，８，
１０と直交する方向に第７〜第10搬送ベルト１１
〜１４が直線状に配列されている。第３モータＭ
３は制御部１５からの指令により駆動軸１８を介
して第７、第８搬送ベルト１１，１２を駆動す
る。第８搬送ベルト１２は駆動軸１８を中心に揺
動自在である。第４モータＭ４は制御部１５から
の指令により駆動軸１９を介して第９、第10搬送
ベルト１３，１４を駆動する。第10搬送ベルト１
４は駆動軸１９を中心に揺動自在である。

第５モータＭ５は駆動軸２０，ギヤ２１を介し
て駆動軸２２に伝達される。駆動軸２０には第１
カム２３が設けられており、第８搬送ベルト１２
を揺動させる。駆動軸２２には第２、第３カム２
４，２５が設けられており、それぞれ第２搬送ベ
ルト６、第４搬送ベルト８を上下方向に揺動させ
る。第６モータＭ６は駆動軸２６、ギヤ２７を介
して駆動軸２８に伝達される。駆動軸２６には第
４カム２９が設けられており、第10搬送ベルト１
４を揺動させる。駆動軸２８には第５カム３０が
設けられており、第６搬送ベルト１０を揺動させ
る。

第１、第２ウエハセンサ３１，３２はそれぞれ
第１搬送ベルト５、第３搬送ベルト７の先端にウ
エハが載置されたか否かを検出する。第３ウエハ
センサ３３は、第１、第２搬送ベルト５，６によ
り、又は第８、第７搬送ベルト１２，１１によ
り、ウエハが第７搬送ベルト１１上の所定位置ま
でに搬送されたか否かを検出する。第４ウエハセ
ンサ３４は、第３、第４搬送ベルト７，８によ
り、又は第８、第７搬送ベルト１２，１１によ
り、ウエハが第７搬送ベルト１１上の所定位置ま
でに搬送されたか否かを検出する。第５ウエハセ
ンサ３５は、第７搬送ベルト１１で送られてきた
ウエハが第８、第10搬送ベルト１２，１４によつ
て前記ステージ４まで搬送されたか否かを検出す
る。第６ウエハセンサ３６は、第５搬送ベルト９
の先端にウエハが位置されたか否かを検出する。
第７ウエハセンサ３７は、第５、第６搬送ベルト
９，１０により、又は第10、第９搬送ベルト１
４，１３により、ウエハが第９搬送ベルト１３上
の所定位置までに搬送されたか否かを検出する。
第８ウエハセンサ３８は、第９搬送ベルト１３で
送られてきたウエハが第８、第10搬送ベルト１
２，１４によつて前記ステージ４まで搬送された
か否かを検出する。第１〜第８ウエハセンサ３１
〜３８は透過型あるいは反射型のフオトカブラを
使用してある。

スイツチ３９，４０はそれぞれギヤ２１，２７
の回転位置（位相）を検出することによつて、第
２、第４、第６、第８及び第10搬送ベルト６，
８，１０，１２，１４がアツプ位置とダウン位置
との間で揺動する分の正逆回転をする。第２、第
４及び第６搬送ベルト６，８，１０は同一位相で
アツプ位置とダウン位置の間を揺動する。第８、
第10搬送ベルト１２，１４は同一位相でアツプ位
置、ダウン位置との間を揺動するものであり、そ
の揺動は第２、第４、第６搬送ベルト６，８，１
０とは逆位相である。この揺動位相を得るように
第１〜第５カム（ロータリカム）のカム面は設定
されている。

さて、これから露光処理されるウエハＷ１を収
納したロード用の第１カセツト４１をカセツト台
１に、前記ウエハＷ１と同様なウエハＷ２を収納
したロード用の第２カセツト４２をカセツト台２
に、また１つの空の第３カセツト４３をカセツト
台３にそれぞれ載置する。但し、前記ロード用カ
セツト４１，４２の各々には通常多数のウエハを
収納するが、ここでは説明の簡略のためにウエハ
を一枚収納することにする。

上記の如く、各カセツトの、各カセツト台への
載置がセツトされると、まずスイツチ３９，４０
の状態から第２、第４、第６搬送ベルト６，８，
１０（以下、第１搬送ベルト群という）と、第
８、第10搬送ベルト１２，１４（以下、第２搬送
ベルト群）の揺動位相を検出する。このとき、第
２図ａの如く第１搬送ベルト群はアツプ位置を、
また第２搬送ベルト群はダウン位置を初期位置で
あると定めておき、この初期位置が得られるよう
に第５、第６モータＭ５，Ｍ６を制御する。第１
搬送ベルト群はアツプ位置では第１、第３、第５
搬送ベルト５，７，９とほぼ同一平面上に位置し
ており、第７、第９搬送ベルト１１，１３のベル
ト面（略水平）よりも所定分だけ高くなつてい
る。第２搬送ベルト群はダウン位置では駆動軸１
８，１９を中心にして前記ステージ４の方へ傾斜
している。

この初期位置設定の終了後、不図示の手段に応
じて第１図の如くカセツト台１を下方移動に移動
させる。前記カセツト台１の下方移動中に、第１
カセツト４１の内部から取出されたウエハＷ１が
第１搬送ベルト５上に載置される。すると、第１
ウエハセンサ３１が前記ウエハＷ１を検出する。
これによつて、ウエハＷ１が第１、第２搬送ベル
ト５，６により第７搬送ベルト１１の所定位置の
方に搬送されるように、第１モータＭ１が制御部
１５により駆動軸１６を介して第１、第２搬送ベ
ルト５，６を駆動する。（このとき第３、第４搬
送ベルト７，８も駆動されるが上記ウエハＷ１の
搬送には関係しない。）そして、第３ウエハセン
サ３３がウエハＷ１を検知すると制御部１５によ
り第１モータＭ１が回転停止する。このときウエ
ハＷ１は第７搬送ベルト１１の所定位置に位置し
ている。同時に第３ウエハセンサ３３の出力によ
り、第５、第６モータＭ５，Ｍ６が回転して、第
１揺動ベルト群をダウン位置に、また第２揺動ベ
ルト群をアツプ位置にそれぞれ揺動させる。第
５、第６モータＭ５，Ｍ６の回転はスイツチ３
９，４０によつてモニタされており、上記アツ
プ・ダウン動作が完了すると第５、第６モータＭ
５，Ｍ６は回転停止する。そして、第２図ｂの如
く第２搬送ベルト６がダウン位置に達する少し前
にウエハＷ１は第７搬送ベルト１１上に移し換え
られる。一方、スイツチ３９，４０によつて第１
揺動ベルト群がダウン位置に達したことが検出さ
れると、制御部１５により第３、第４モータＭ
３，Ｍ４が回転し、第７、第８、第10搬送ベルト
１１，１２，１４の作用によつてウエハＷ１は前
記ステージ４の方へと搬送される。ウエハＷ１が
第８、第10搬送ベルト１２，１４によつてステー
ジ４上にもたされるとき、第５ウエハセンサ３５
の出力は、例えば１個のパルス信号として得られ
る。即ち、ウエハＷ１が該センサ上に達する前と
通過した後とはＬ（ロー）レベルで、該センサ上
を通過している途中ではＨ（ハイ）レベルのパル
スである。そこで、該パルス信号のＨレベルから
Ｌレベルへの立下がり時点に、ウエハＷ１がステ
ージ４のほぼ中央部に達するように第５ウエハセ
ンサ３５の位置等を定めておく。そして該立下が
りを検出すると制御部１５は第３、第４モータＭ
３，Ｍ４の回転を停止させる。同時に、パルス信
号の立下がり検出に同期して制御部１５により第
５、第６モータＭ５，Ｍ６を回転させて、第１揺
動ベルト群をアツプ位置に、また第２揺動ベルト
群をダウン位置に切り換える。この動作によつて
ウエハＷ１はステージ４上に載置される。この状
態で搬送系の作動は一旦停止される。前記ステー
ジ４上のウエハＷ１は不図示の手段により第１図
の如く処理装置の主部（例えば露光装置のウエハ
ステージ）４４の方に移動される。処理装置の主
部４４での前記ウエハＷ１の処理後、ウエハＷ１
は前記ステージ４上に戻される。すると、搬送系
は作動を再開する。第８、第10搬送ベルト１２，
１４上にウエハＷ１が移し換えられると、制御部
１５により第３、第４モータＭ３，Ｍ４が第７〜
第10搬送ベルト１１〜１４を駆動して、ウエハＷ
１を第６搬送ベルト１０の方へと搬送する。そし
て、第７ウエハセンサ３７がウエハＷ１を検知す
ると第３、第４モータＭ３，Ｍ４の回転を停止
し、第５、第６モータを回転させる。これによつ
て第１搬送ベルト群はアツプ位置へ切り換えられ
る。このためにウエハＷ１は第６搬送ベルト１０
に移される。第１搬送ベルト群がアツプ位置にな
ると、今度はウエハＷ１が第６、第５搬送ベルト
１０，９によつて第３カセツト４３の方に搬送さ
れるように、第２モータＭ２が第５、第６搬送ベ
ルト９，１０を駆動する。次に、第６ウエハセン
サ３６がウエハを検知すると、第２モータＭ２の
回転は停止される。第５搬送ベルト９上のウエハ
は上述した如き、カセツト台３の上下移動によつ
て第３カセツト４３の内部に収納される。

ここで第１カセツト４１は空になつており、こ
れにより、該カセツト４１は第２カセツト４２の
ウエハＷ２のアンローダ用カセツトにされる。そ
して、オペレータに対してカセツト交換の表示を
発生する。オペレータ（又は自走式ウエハカセツ
ト搬送車）は露光済みのウエハＷ１が収納された
第３カセツト４３をカセツト台３から取り出し、
これから処理される別のウエハ（不図示）が入つ
た第４カセツト４５をカセツト台３に載置する。

次に、不図示の手段に応じてカセツト台２を上
下移動に移動させる。前記カセツト台２の下方移
動中に、第２カセツト４２の内部から取出された
ウエハＷ２が第３搬送ベルト７上に載置される。
すると、第２ウエハセンサ３２が前記ウエハＷ２
を検出する。これによつて、ウエハＷ２が第３、
第４搬送ベルト７，８により第７搬送ベルト１１
の所定位置の方に搬送されるように、第１モータ
Ｍ１が制御部１５により駆動軸１６を介して第
３、第４搬送ベルト７，８を駆動する。（このと
き第１、第２搬送ベルト５，６も駆動されるが上
記ウエハＷ２の搬送には関係しない。）そして、
第４ウエハセンサ３４がウエハＷ２を検知すると
制御部１５により第１モータＭ１が回転停止す
る。このときウエハＷ２は第７搬送ベルト１１の
所定位置に位置している。同時に第４ウエハセン
サ３４の出力により、第５、第６モータＭ５，Ｍ
６が回転して、第１揺動ベルト群をダウン位置
に、また第２揺動ベルト群をアツプ位置にそれぞ
れ揺動させる。上記アツプ・ダウン動作が完了す
ると第５、第６モータＭ５，Ｍ６は回転停止す
る。そして、第４搬送ベルト８がダウン位置に達
する少し前にウエハＷ２は第７搬送ベルト１１上
に移し換えられる。一方、スイツチ３９，４０に
よつて第１揺動ベルト群がダウン位置に達したこ
とが検出されると、制御部１５により第３、第４
モータＭ３，Ｍ４が回転し、第７、第８、第10搬
送ベルト１１，１２，１４の作用によつてウエハ
Ｗ２は前記ステージ４の方へと搬送される。前述
と同様にパルス信号のＨレベルからＬレベルへの
立下がり時点に、ウエハＷ２がステージ４のほぼ
中央部に達するように第５ウエハセンサ３５の位
置等を定めておく。そして該立下がりを検出する
と制御部１５により第３、第４モータＭ３，Ｍ４
の回転を停止させる。同時に、パルス信号の立下
がり検出に同期して制御部１５により第５、第６
モータＭ５，Ｍ６を回転させて、第１揺動ベルト
群をアツプ位置に、また第２揺動ベルト群をダウ
ン位置に切り換える。この動作によつてウエハＷ
２はステージ４上に載置される。この状態で搬送
系の作動は一旦停止される。前記ステージ４上の
ウエハＷ２を不図示の手段により処理装置の主部
４４の方に移動させる。処理装置の主部４４での
前記ウエハＷ２の処理後、ウエハＷ２は前記ステ
ージ４上に戻される。すると、搬送系は作動を再
開する。第８、第10搬送ベルト１２，１４上にウ
エハＷ２が移し換えられると、制御部１５により
第３、第４モータＭ３，Ｍ４が第７〜第10搬送ベ
ルト１１〜１４を駆動して、ウエハＷ２を第２搬
送ベルト６の方へと搬送する。そして、第３ウエ
ハセンサ３３がウエハＷ２を検知すると制御部１
５により第３、第４モータＭ３，Ｍ４の回転を停
止し、第５、第６モータを回転させる。これによ
つて第１搬送ベルト群はアツプ位置へ切り換えら
れる。これによつてウエハＷ２は第２搬送ベルト
６に移される。今度はウエハＷ２が第２、第１搬
送ベルト６，５によつて第１カセツト４１の方に
搬送されるように、第１モータＭ１が制御部１５
により第２、第１搬送ベルト６，５を先の状態と
は逆方向に駆動する。次に、第１ウエハセンサ３
１がウエハを検知すると、第１モータＭ１の回転
は停止される。第１搬送ベルト５上のウエハは上
述した如き、カセツト台１の上下移動によつて第
１カセツト４１の内部に収納される。

ここで第２カセツト４２は空になつており、こ
れにより、該カセツト４２は第４カセツト４５の
ウエハのアンロード用カセツトにされる。そし
て、オペレータに対してカセツト交換の表示を発
生する。そして、露光済みのウエハＷ２が収納さ
れた第１カセツト４１はセツト台１から取り出さ
れ、これから処理される別のウエハ（不図示）が
入つた第５カセツト４６がセツト台１に載置され
る。

さらに、不図示の手段に応じてカセツト台３を
上下移動に移動させる。前記カセツト台３の下方
移動中に、第４カセツト４５の内部から取出され
たウエハが第５搬送ベルト９上に載置される。す
ると、第６ウエハセンサ３６が前記ウエハを検出
する。これによつて、ウエハが第５、第６搬送ベ
ルト９，１０により第９搬送ベルト１３の所定位
置の方に搬送されるように、第２モータＭ２が制
御部１５により駆動軸１７を介して第５、第６搬
送ベルト９，１０を駆動する。そして、第７ウエ
ハセンサ３７がウエハを検知すると制御部１５に
より第２モータＭ２が回転停止する。このときウ
エハは第９搬送ベルト１３の所定位置に位置して
いる。同時に第８ウエハセンサ３８の出力によ
り、第５、第６モータＭ５，Ｍ６が回転して、第
１揺動ベルト群をダウン位置に、また第２揺動ベ
ルト群をアツプ位置にそれぞれ揺動させる。上記
アツプ・ダウン動作が完了すると制御部１５によ
り第５、第６モータＭ５，Ｍ６は回転停止する。
そして、第６搬送ベルト１０がダウン位置に達す
る少し前にウエハは第９搬送ベルト１３上に移し
換えられる。一方、スイツチ３９，４０によつて
第１揺動ベルト群がダウン位置に達したことが検
出されると、第３、第４モータＭ３，Ｍ４が回転
し、第８、第９、第10搬送ベルト１２，１３，１
４の作用によつてウエハは前記ステージ４の方へ
と搬送される。前述の如く、パルス信号のＨレベ
ルからＬレベルへの立下がり時点に、ウエハがス
テージ４のほぼ中央部に達するように第８ウエハ
センサ３８の位置等を定めておく。そして該立下
がりを検出すると制御部１５により第３、第４モ
ータＭ３，Ｍ４の回転を停止させる。同時に、パ
ルス信号の立下がり検出に同期して制御部１５に
より第５、第６モータＭ５，Ｍ６を回転させて、
第１揺動ベルト群をアツプ位置に、また第２揺動
ベルト群をダウン位置に切り換える。この動作に
よつてウエハはステージ４上に載置される。この
状態で搬送系の作動は一旦停止される。前記ステ
ージ４上のウエハを不図示の手段により処理装置
の主部４４の方に移動させる。処理装置の主部４
４での前記ウエハの処理後、ウエハは前記ステー
ジ４上に戻される。すると、搬送系は作動を再開
する。第８、第10搬送ベルト１２，１４上にウエ
ハが移し換えられると、第３、第４モータＭ３，
Ｍ４が第７〜第10搬送ベルト１１〜１４を駆動し
て、ウエハを第４搬送ベルト８の方へと搬送す
る。そして、第４ウエハセンサ３４がウエハを検
知すると制御部１５により第３、第４モータＭ
３，Ｍ４の回転を停止し、第５、第６モータを回
転させる。これによつて第１搬送ベルト群はアツ
プ位置へ切り換えられる。これによつてウエハは
第４搬送ベルト８に移される。今度はウエハが第
４、第３搬送ベルト８，７によつて第２カセツト
４２の方に搬送されるように、制御部により第１
モータＭ１が第４、第３搬送ベルト８，７を駆動
する。次に、第２ウエハセンサ３２がウエハを検
知すると、制御部１５により第１モータＭ１の回
転は停止される。第３搬送ベルト７上のウエハは
上述した如き、カセツト台２の上下移動によつて
第２カセツト４２の内部に収納される。

ここで第４カセツト４５は空になつており、こ
れにより、該カセツト４５は第５カセツト４６の
ウエハのアンローダ用カセツトにされる。そし
て、オペレータに対してカセツト交換を行い、露
光済みのウエハが収納された第２カセツト４２を
カセツト台２から取り出し、これから処理される
別のウエハ（不図示）が入つた第６カセツト４７
をカセツト台２に載置する。

今度は、不図示の手段に応じてカセツト台１を
上下移動させる。前記カセツト台１の下方移動中
に、第５カセツト４６の内部から取出されたウエ
ハが第１搬送ベルト５上に載置される。すると、
第１ウエハセンサ３１が前記ウエハを検出する。
以下は前記と同様に繰り返される。

以上の実施例において、制御部１５、駆動軸１
６〜１９、モータＭ１〜Ｍ４、ウエハセンサ３１
〜３８は前述の制御手段として構成される。

〔効果〕

以上の様に本考案によれば、前記制御手段が、
前記搬送手段を前記の２状態に切り換えるため
に、カセツト交換においては、一回毎に処理済み
のウエハが収納されたカセツトだけを別の空カセ
ツトに交換することになり、従来の如くカセツト
交換の煩わしさがなくなる基板搬送装置を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例による装置の平面図で
ある。第２図ａ、第２図ｂは搬送システムの作動
を示すための、第１図の側面図である。主要部分の符号の説明、１〜３……カセツト
台、４……プリアライメントステージ、５〜１４
……搬送ベルト、１５……制御部、３１〜３８…
…ウエハセンサ、４１〜４３，４５〜４７……カ
セツト、Ｍ１〜Ｍ６……モータ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】複数の基板が収納されたロード用カセツトから
一枚ずつ前記基板を取り出して、所定の処理装置
に搬送するとともに処理済みの基板を前記処理装
置からアンロード用の空カセツトに搬送する装置
において、前記基板が収納された少なくとも２つのロード
用のカセツトと、１つの空カセツトとを夫々載置
する複数のカセツト台と；該カセツト台の夫々と前記処理装置との間で相
互に前記基板を搬送するための搬送手段と；前記ロード用の一方のカセツトから前記基板を
取り出し、前記アンロード用のカセツトに搬送す
る第１の状態と、前記ロード用の他方のカセツト
から前記基板を取り出し、前記第１の状態におい
て空になつた前記ロード用の一方のカセツトに搬
送する第２の状態との、少なくとも２状態に前記
搬送手段を制御する制御手段とを備えたことを特
徴とする基板搬送装置。