JPH04230817A - トルク検出装置 - Google Patents

トルク検出装置

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JPH04230817A
JPH04230817A JP10739691A JP10739691A JPH04230817A JP H04230817 A JPH04230817 A JP H04230817A JP 10739691 A JP10739691 A JP 10739691A JP 10739691 A JP10739691 A JP 10739691A JP H04230817 A JPH04230817 A JP H04230817A
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JP
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slit
torque
light
semiconductor position
slits
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JP10739691A
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English (en)
Inventor
Nobuhiro Takao
信博 鷹尾
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Nidec Shimpo Corp
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Shimpo Industrial Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はトルク検出装置に関する
【0002】
【従来の技術】従来のトルク検出装置としては、光電式
のものが知られており、その装置は、トルク伝達軸の軸
方向2個所に一対のスリット円板を取り付け、両スリッ
ト円板を間にして光源と、受光素子とを対向配置して構
成されている。
【0003】この装置では、トルク伝達軸にねじれが生
じると、そのねじれ量に応じて、両スリット円板の間に
回転方向の偏位が生じ、スリットどうしの重合面積が変
わる。その結果、光源から受光素子に入射する光量が変
化し、受光素子の出力が増減変化する。そして、受光素
子の出力の大きさによりトルク伝達軸のねじれ量が検出
される。この装置は、トルクを受光素子での受光量に変
換しており、光量方式と言える。
【0004】これに対しては、やはり、スリット円板と
光源と受光素子とを用いているが、トルク伝達軸のねじ
れ量を位相差信号に変換する位相差方式のものがある。
【0005】位相差方式の装置は、特公平1−5952
9号公報に記載されているように、受光素子への入射光
量が一定の周波数で変化するようにして、受光素子の出
力を周波数信号化し、この周波数信号に、トルク伝達軸
のねじれ量が位相差信号として含まれるようにしたもの
である。
【0006】この位相差方式の装置は、スリットと発光
素子と受光素子との組を複数組設けて、各組の発光素子
では、その発光量を所定の周波数で変化させるようにし
、受光側では、各組の受光素子の出力を加算する。
【0007】他の位相差方式としては、一対のスリット
円板の間に、チョッパとして2枚のスリット円板を設け
、これらのチョッパ用円板を所定の回転数で常時回転さ
せるようにし、これによって受光素子への入射光を一定
周波数で断続させている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た光量方式の装置では、スリットを通過する光の回折や
、発光面および受光面の形状のため、受光素子での受光
量は必ずしも両スリットの重合面積とは正比例せず、受
光素子の出力が正確にトルク伝達軸のねじれ量に対応し
ない、という問題がある。
【0009】また、この装置では、発光素子の発光効率
が温度により変化して発光量に温度ドリフトが生じたよ
うな場合、その変動量がそのまま検出誤差となる、とい
う問題もある。
【0010】これに対して、位相差方式では、トルクを
位相差信号に変換しているので、受光量が不測に変化し
てもその影響を受けず、その点では、正確にトルクを測
定することができるが、受光素子の出力を周波数信号化
するために、発光素子の発光量を周期的に変化させるた
めの発振器を設けたり、チョッパとなるスリット円板を
設けたりする必要があり、回路構成もしくは機構が複雑
化し大型化する、という問題がある。
【0011】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであって、従来の光電式の装置とは原理的に異なる
方式を採用することにより、回路的にも機構的にも簡単
な構成で、トルクを正確に測定しうるようにすることを
課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
達成するために、トルク伝達軸と、このトルク伝達軸の
軸方向2個所に取り付けられた一対のスリット回転体と
、両スリット回転体の一方側に設けられた光源と、両ス
リット回転体の反対側で光源と対向する位置に設けられ
た半導体位置検出素子とを備え、両スリット回転体のス
リットが互いに交叉する向きに形成されているトルク検
出装置を構成した。
【0013】
【作用】上記構成において、トルク伝達軸にねじれが生
じると、一対のスリット回転体が相対的に回転方向に偏
位し、両スリットの交叉個所がスリット列の幅方向に移
動する。この幅方向の移動により、トルク伝達軸のねじ
れ量がスリット交叉個所の移動量に変換される。そして
、このスリットの交叉個所の移動量は、半導体位置検出
素子で検出される。
【0014】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。
【0015】(1)第1実施例 図1ないし図4は本発明の第1実施例に係り、図1はト
ルク検出装置の検出機構部の分解斜視図、図2は回路部
を含む装置全体の構成図、図3(A)(B)は検出機構
部の一部であるスリット円板の説明図、図4は作用説明
図である。
【0016】図1および図2に示すように、本実施例の
装置の検出機構部は、トルク伝達軸1と、一対のスリッ
ト回転体としてのスリット円板2,3と、発光ダイオー
ドのような発光素子4と、半導体位置検出素子(PSD
)5とからなる。
【0017】トルク伝達軸1は、被測定体が結合される
もので、中途部にねじれが生じやすいように小径部1a
がある。
【0018】両スリット円板2,3は、同一半径位置に
同一ピッチで多数のスリット6,7が列設されたもので
、いずれもその内周基部が筒体8,8を介してトルク伝
達軸1に固着され、トルク伝達軸1の小径部1a上で互
いに近接対向している。これら両スリット円板2,3で
は、スリット6,7の向きに特徴があって、両スリット
6,7の向きは互いに異なっており、トルク伝達軸1の
軸方向から見ると、両スリット6,7が交叉するように
なっている。
【0019】図1の例では、図3(A)に拡大して示す
ように、発光素子4側のスリット円板2のスリット6が
半径方向rに一致した向きであるのに対して、半導体位
置検出素子5側のスリット7が、半径方向rに対して傾
斜角α1傾いた向きになっている。なお、両スリット6
,7は互いに交叉する向きであればよく、図3(B)に
示すように、両スリット6,7を半径方向rに対して互
いに反対側にそれぞれ傾斜角α2,α3傾けてもよい。
【0020】発光素子4は、一方のスリット円板2のス
リット6に正対する位置に固定される。
【0021】半導体位置検出素子5は、周知のように、
前面に受光面5aを有し、この受光面5aにスポット光
が入射すると、両端の各電極には、スポット光の入射位
置までの距離に逆比例した量の光電流が流れるものであ
る。この半導体位置検出素子5は、両スリット円板2,
3を間にして発光素子4に対向する位置に固定される。 この例では、受光面5aが1方向にのみ長い1次元型で
、その長さ方向がスリット円板2,3の半径方向とほぼ
一致する向きに設けられている。
【0022】次に、装置の回路部は、図2に示すように
、前記した発光素子4および半導体位置検出素子5のほ
かに、半導体位置検出素子5の両端の各電極から取り出
された光電流I1,I2をそれぞれ電圧信号V1,V2
に変換する一対の電流/電圧変換器9,10と、両電流
/電圧変換器9,10の出力V1,V2を加算する加算
器11と、両電流/電圧変換器9,10の出力V1,V
2の差をとる減算器12と、減算器12の出力である差
信号(V2−V1)を平均化する第1フィルタ13と、
加算器11の加算出力(V1+V2)を平均化する第2
フィルタ14と、第2フィルタ14の出力が一定となる
よう発光素子4の発光を制御する発光駆動回路15とを
含んでいる。
【0023】上記の構成において、まず、検出機構部の
作用を説明する。被測定体からの負荷でトルク伝達軸1
にねじれが生じると、一対のスリット円板2,3が相対
的に回転方向に偏位し、これによって、両スリット6,
7の交叉個所がスリット列の幅方向、すなわちスリット
円板2,3の半径方向に移動する。
【0024】今、図4の(A)に示すように、無負荷状
態で、両スリット6,7がその長さ方向の中央部分で交
叉しているとし、トルク伝達軸1に正回転方向の負荷が
かかることで、一方の前面側スリット6に対して他方の
裏面側スリット7が図面上で右方向に変位すると、両ス
リット6,7の交叉個所は下方に移動し、これに応じて
、交叉個所を通過するスポット光sが受光面5aに入射
され、受光面5aの下方に移動する。
【0025】反対に、トルク伝達軸1に逆回転方向の負
荷がかかると、前面側スリット6に対して裏面側スリッ
ト7が左に変位し、両スリット6,7の交叉個所は上方
に移動し、スポット光sも上方に移動する(図4(c)
参照)。
【0026】このように、トルク伝達軸1のねじれ量は
、スリット6,7の交叉個所の半径方向移動量に変換さ
れ、この交叉個所の移動量は、交叉個所を通過する入射
光により、半導体位置検出素子5で検出される。
【0027】半導体位置検出素子5では、両端の各電極
に、入射光の入射位置までの距離に逆比例した量の光電
流I1,I2が流れる。両端の各電極からの各光電流I
1,I2は、それぞれ電流/電圧変換器9,10で電圧
信号V1,V2に変換され、これら両電圧信号V1,V
2は減算器12に入力し、減算器12で両電圧信号V1
,V2の減算がされ、その差信号(V2−V1)を平均
化した信号で、入射光の入射位置が検出される。
【0028】なお、スリット6,7を通じてのスポット
光sは、トルク伝達軸1が回転している場合、半導体位
置検出素子5の受光面5aを次から次に横切ることにな
り、それに応じて、半導体位置検出素子5の出力は変動
することになるが、減算器12の出力側ではその出力が
第1フィルタ13で平均化されるから、検出値は安定す
る。
【0029】また、スポット光sの一部が半導体位置検
出素子5の受光面5aから外れ、受光量が減少するよう
な場合は、発光駆動回路15が発光素子4の発光量を増
やすように働くから、半導体位置検出素子5の出力変動
は抑制され、この点からも、検出値が安定する。
【0030】さらに、発光素子4の発光効率が温度によ
り変化すると、通常は、発光素子4の発光量が増減する
のであるが、上記の構成では、半導体位置検出素子5の
全受光量に対応する加算器11の出力を一定に保つよう
に発光駆動回路15が働いて、発光素子4の駆動電流が
調整され、発光素子4の発光量は一定に保たれる。した
がって、温度ドリフトが生じない。
【0031】(2)第2実施例(検出機構部)図5は、
検出機構部についての変形例を示す第2実施例の断面図
である。
【0032】この例では、スリット回転体としてスリッ
ト円筒20,30を用いており、このスリット円筒20
,30は、円板部20a,30aと筒体8,8とを介し
てトルク伝達軸1に固定されている。言うまでもなく、
スリット60,70は、各スリット円筒20,30の同
一軸方向位置に同一ピッチで多数形成されている。 発光素子4と半導体位置検出素子5とは、これらスリッ
ト60,70を間にして対向配置されるのであって、図
示例では、発光素子4を内径側に、半導体位置検出素子
5を外径側にそれぞれ配置している。
【0033】この検出機構部では、トルク伝達軸1にね
じれが生じると、両スリット60,70の交叉個所は、
スリット列の幅方向、すなわち、軸方向に移動すること
になる。
【0034】(3)第3実施例(回路部)図6は第3実
施例の回路構成図である。
【0035】この例では、一方の電流/電圧変換器10
の出力V2が第1フィルタ13に入力され、その平均化
出力がトルク検出信号として取り出されるようになって
いる。他の回路構成は図1の実施例のものと同様である
【0036】発光駆動回路15により半導体位置検出素
子5の受光量が常に一定となるように制御されている場
合は、半導体位置検出素子5からの出力V1(あるいは
V2)のみを利用してこれをトルク検出信号として扱う
ことができる。すなわち、 となるからである。
【0037】(4)第4実施例(回路部)図7は第4実
施例の回路構成図である。
【0038】この例では、正規化回路16を備え、この
正規化回路16は、減算器12の差信号(V2−V1)
を第1フィルタ13を介して、また加算器11の和信号
(V1+V2)を第2フィルタ14を介してそれぞれ入
力し、平均化差信号を平均化和信号で除して正規化する
ようになっており、正規化回路16の出力がトルク検出
信号として取り出される。
【0039】この場合、発光素子4の発光量を制御する
ための発光駆動回路15は省略しうる。
【0040】(5)第5実施例(検出機構部)図8(A
)(B)は、検出機構部についての第5実施例の説明図
で、スリット6,7と半導体位置検出素子5との関係を
示している。
【0041】図8(A)に示すように、スリット6,7
のピッチpが半導体位置検出素子5の受光面5aの幅W
に対して広い場合は、スリット6,7の交叉個所を通過
するスポット光sが受光面5aから外れることがあるが
、同図(B)に示すように、スリット6,7のピッチp
を、受光面5aの幅Wより狭い値に設定しておくと、受
光面5aには常にスポット光sが存在することになり、
半導体位置検出素子5の出力の変動を抑制することがで
きる。このように、半導体位置検出素子5の出力の変動
が小さいと、この変動を平滑化するための第1フィルタ
13や第2フィルタ14の省略(第4実施例の回路構成
参照)が可能になる。
【0042】上記の各実施例において、第1および第2
フィルタ13,14に替えて、ピークホールド回路を用
いてもよい。
【0043】また、前記各実施例では、1次元の半導体
位置検出素子5を用いたが、2次元のものも使用可能で
、その場合は、スリット6,7のピッチpが図8(B)
と同じであっても、受光面5aの幅Wの中に多数のスポ
ット光sが存在するようになり、更に半導体位置検出素
子5の出力の変動を抑制することができる。
【0044】(6)第6実施例 半導体位置検出素子の出力変動を抑制するためには、さ
らに図9に示すように、スリット6,7の並列方向に沿
って発光素子と半導体位置検出素子とからなる組を複数
組配設してもよい。
【0045】すなわち、図9は、本発明の第6実施例に
係る装置の構成図であって、この例では、スリット6,
7の並列方向(図では上下方向)に沿って2組の発光素
子41,42および半導体位置検出素子51,52が所
定の間隔Dで配置されている。これらの組の間の間隔D
は、スリット6,7のピッチpの整数倍npとは異なる
値に設定され、常にいずれかの半導体位置検出素子51
(52)の受光面上にスポット光が入射するようにして
いる。そして、各半導体位置検出素子51(52)には
、それぞれ一対の電流/電圧変換器91,101(92
,102)と、減算器121(122)とが設けられ、
これら各組の減算器121,122の出力は、出力加算
器17に入力し、この出力加算器17の出力がトルク検
出信号として取り出される。また、すべての電流/電圧
変換器91,92,101,102の出力は、帰還側加
算器18に入力し、この帰還側加算器18の出力が全体
として常に一定になるよう、発光駆動回路15により発
光素子41,42の発光が制御される。発光素子41,
42は発光駆動回路15に直列に接続してもよいし、並
列に接続してもよい。
【0046】この第6実施例のように、発光素子4と半
導体位置検出素子5の複数組を用いると、検出出力の変
動が少なくなるので、検出信号を平滑化するためのフィ
ルタ(第1フィルタ13、第2フィルタ14)は省略し
うる。
【0047】
【発明の効果】本発明は、従来の光電式トルク検出装置
とは原理的に異なる方式により、トルク伝達軸のねじれ
量をスリット交叉個所の移動量に変換し、その移動量を
半導体位置検出素子で検出するようにしたもので、受光
量の大きさに依らずにスポット光の移動によりトルクを
検出するから、正確な測定が可能である。
【0048】また、位相差方式のように、受光出力を周
波数信号化するために、発振器やチョッパを設ける必要
がなく、回路構成や、機構部の構成を簡略化することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る装置の検出機構部の
分解斜視図である。
【図2】上記実施例に係る装置全体の構成図である。
【図3】上記実施例のスリット円板の説明図である。
【図4】上記実施例の作用説明図である。
【図5】本発明の第2実施例に係る検出機構部の断面図
である。
【図6】本発明の第3実施例に係る回路部の回路構成図
である。
【図7】本発明の第4実施例に係る回路部の回路構成図
である。
【図8】本発明の第5実施例の説明図である。
【図9】本発明の第6実施例に係る装置の構成図である
【符号の説明】
1      トルク伝達軸 2,3  スリット円板(スリット回転体)4    
  発光素子(光源) 5      半導体位置検出素子 6,7  スリット 11    加算器 12    減算器 15    発光駆動回路 16    正規化回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  トルク伝達軸(1)と、このトルク伝
    達軸(1)の軸方向2個所に取り付けられた一対のスリ
    ット回転体(2,3)と、両スリット回転体(2,3)
    の一方側に設けられた光源(4)と、両スリット回転体
    (2,3)の反対側で光源(4)と対向する位置に設け
    られた半導体位置検出素子(5)とを備え、両スリット
    回転体(2,3)のスリット(6,7)が互いに交叉す
    る向きに形成されている、ことを特徴とするトルク検出
    装置。
  2. 【請求項2】  請求項1に記載のトルク検出装置であ
    って、半導体位置検出素子(5)の出力を加算する加算
    器(11)と、この加算器(11)の出力が一定になる
    ように光源(4)の発光を制御する発光駆動回路(15
    )とを有するトルク検出装置。
  3. 【請求項3】  請求項1に記載のトルク検出装置であ
    って、半導体位置検出素子(5)の出力を加算する加算
    器(11)と、半導体位置検出素子(5)の出力の差を
    とる減算器(12)と、この減算器(12)の出力を加
    算器(11)の出力で除して正規化する正規化回路(1
    6)とを有するトルク検出装置。
  4. 【請求項4】  請求項1、2または3に記載のトルク
    検出装置であって、両スリット回転体(2,3)のスリ
    ット(6,7)のピッチが、半導体位置検出素子(5)
    の受光幅より狭い値に設定されているトルク検出装置。
  5. 【請求項5】  請求項1、2、3または4に記載のト
    ルク検出装置であって、スリット(6,7)の並列方向
    に沿って光源(4)と半導体位置検出素子(5)とから
    なる組が複数組配設されているトルク検出装置。
JP10739691A 1990-05-15 1991-05-13 トルク検出装置 Pending JPH04230817A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007094196A1 (ja) * 2006-02-16 2007-08-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. トルク検出装置および回転角度検出装置
JP2007263853A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Ono Sokki Co Ltd トルク検出器
JP2012247791A (ja) * 2012-07-13 2012-12-13 Lasertec Corp 直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法本発明は、直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、及びビーム照射装置、並びにビーム成形装置を用いた欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法に関する。

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007094196A1 (ja) * 2006-02-16 2007-08-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. トルク検出装置および回転角度検出装置
JP2007263853A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Ono Sokki Co Ltd トルク検出器
JP2012247791A (ja) * 2012-07-13 2012-12-13 Lasertec Corp 直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法本発明は、直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、及びビーム照射装置、並びにビーム成形装置を用いた欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法に関する。

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