JPH04229704A - 効率を改善し歪を減少したソリッドステート式rf電力増幅器 - Google Patents

効率を改善し歪を減少したソリッドステート式rf電力増幅器

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JPH04229704A
JPH04229704A JP3097479A JP9747991A JPH04229704A JP H04229704 A JPH04229704 A JP H04229704A JP 3097479 A JP3097479 A JP 3097479A JP 9747991 A JP9747991 A JP 9747991A JP H04229704 A JPH04229704 A JP H04229704A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、一般に、高周波数(R
F)電力増幅器(PA)に係り、より詳細には、このR
F  PAに用いられるもので、動作効率を改善しそし
て信号歪を減少したソリッドステート装置に係る。 【0002】 【従来の技術】電力増幅器(PA)は、増幅回路の効率
及び出力電力を重要視するときに使用される。種々の形
式のPAがそれらの動作クラス、即ちクラスA、B、C
、D、E、F、G、H及びSによって識別されている。 クラスAを除くと、これら全ての形式の増幅器は、回路
構成、動作方法又はその両方によって小信号増幅器から
容易に区別される。又、小信号増幅器とクラスAの電力
増幅器との間には明確な境界線があり、その用語の選択
は設計者の考え方に基づいている。 【0003】クラスAのソリッドステート電力増幅器は
、非常にリニアな増幅を行なうことができる。しかしな
がら、これらは著しく大電力の送信器(1KW以上)の
場合に電力効率が極めて低いことから甚だしく高いコス
トとなる。その結果、例えば、TV送信器の業界では、
かさの大きな管即ちクライストロン増幅器の使用を強い
られており、これらはウオームアップ時間がかかり、帯
域が狭く、しかもクラスABのソリッドステート電力増
幅器に比べて非常に効率が悪い。クラスABのソリッド
ステート電力増幅器は、クラスAのソリッドステート電
力増幅器が有しているような高いリニア性と低い歪積を
有していない。しかしながら、発生する電力は典型的に
約3ないし5倍も大きく、それらの効率は極めて優れて
いる。クラスA電力増幅器のソリッドステート装置は、
常に完全にオンの状態にバイアスされ、これは、目で見
るTV信号の場合に全て黒の信号(最大平均電力)を増
幅するか全て白の信号(最低平均電力)を増幅するかに
拘りなく同じ電流を引っ張ることになることを意味する
。クラスAB電力増幅器のトランジスタは若干オンにな
るだけであるようにバイアスされる。これは、どれほど
駆動されるかに比例して電流を引っ張る。増幅器が最大
平均電力即ち全て黒の信号を送信するときには、全電力
出力を得るに必要な所要電流を引っ張る。平均電力の低
い信号(通常のTVカラーパターン又は全て白の信号)
を送信するときには、著しく低い量の電流が引き出され
る。クラスAB電力増幅器にソリッドステートトランジ
スタ(これは一般に管もしくはクライストロン増幅器よ
りも効率が高い)を使用すると、テレビ送信器の全効率
が甚だしく増大し且つ運転コストが低減する。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】電力半導体装置と共に
組み込まれ、いわゆるクラスABで動作する形態でバイ
アスがセットされて動作する電力増幅器は、振幅及び位
相の非リニア性を示し、出力が入力を高忠実度で再現す
べき場合にはこれを修正しなければならない。これらの
非リニア性は、抑制する必要のある不所望な信号を出力
に発生することになる。 【0005】典型的なRF信号(テレビの可視信号のよ
うな)の帯域巾は通常搬送波周波数の小部分であるから
、電力増幅器の出力における不所望な信号は3つの分類
に分けられる。図1は、所望の信号に対するこれら信号
の関係を示しており、所望の信号は、この場合、周波数
fc±fmにおける等振幅の2つのトーンで構成される
。増幅器の非リニア性により、高調波及び相互変調歪(
IMD)積と称する2種類の不所望な信号が生じる。 IMD積(図1に第3次、第5次、第7次及び第9次と
して示されている)は搬送波周波数の付近で著しいもの
となる。これらは、受信信号に歪を生じさせ及び/又は
隣接チャンネルの干渉を生じさせる。他の不所望な信号
は、寄生及び低調波発振とミクサの積を含み、これらは
スプリアス積又は単に「スプリアス」と称する。RF 
 PAにおいては、高調波及びスプリアス積の若干がフ
ィルタによって除去されるが、発生するIMDは受け入
れられる低いレベルのものでなければならない。位相歪
(バイポーラトランジスタを用いたクラスAB増幅器に
おいて顕著である)は、図2に示すように、IMD積に
不均一な振幅を生じさせる。 【0006】クラスABで動作している電力RF増幅器
の振幅及び位相歪を取り扱う現在の技術は、予備調整増
幅器を使用することにより、最終増幅器で挿入される歪
を補償するように入力信号を予め歪ませることである。 しかしながら、この技術には限界がある。振幅直線性の
必要性は図1から明確に明かであるが、位相直線性の必
要性はそんなに明かではない。これ自体は、例えば、テ
レビ信号を処理するための電力増幅器において明かであ
る。像が黒から白へそしてその反対に変化するときには
、送信される電力に典型的に10dBの変化があり、挿
入位相が1°より大きく変化すると、白い像の縁の周り
に「ぼけ」を生じ、見易さを損なわせる。従って、クラ
スABの電力増幅器に用いられるソリッドステートトラ
ンジスタのリニア性、効率及び安定性を改善する方法が
必要とされる。 【0007】そこで、本発明の目的は、効率を改善した
ソリッドステート(半導体)RF電力装置を提供するこ
とである。 【0008】本発明の別の目的は、相互変調歪を減少し
たソリッドステートRF電力装置を提供することである
。 【0009】本発明の更に別の目的は、装置の入力イン
ピーダンスの低いRF電力装置を提供することである。 【0010】 【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、MOS
電力用電界効果トランジスタの入力にキャパシタンスを
使用し、ゲート/ドレイン寄生容量(CGD)の非リニ
アな変化を減衰させることである。 【0011】簡単に述べると、好ましい実施例において
、DMOS電力用電界効果トランジスタは、その入力が
装置のゲートとソースとの間に接続され、そして出力が
ドレインとソースとの間から取り出される。ソースは接
地されるのが好ましい。ゲートへの入力リードは入力イ
ンピーダンスを与え、入力リードとソースとの間に個別
のキャパシタが接続される。キャパシタンスとインダク
タンスの値は、装置の入力共振周波数が基本動作周波数
よりは上であるがその第1高調波よりは低くなるように
選択される。この共振は各特定の用途ごとに調整される
。更に、キャパシタの値は、トランジスタのゲート/ド
レインキャパシタンスであるCGDの非リニアな変動を
減衰させ、位相の非リニア性を改善する。 【0012】本発明及びその目的、特徴は、以下の詳細
な説明及び特許請求の範囲から容易に明かとなろう。 【0013】 【実施例】本発明の好ましい実施例によるRF電力装置
は、DMOSエンハンスメントモードMOS電界効果ト
ランジスタと入力キャパシタとを用いている。図3は、
n型ドープのシリコン基体10がドレイン領域として働
く装置におけるMOSトランジスタの断面図である。N
+ソース領域12は、表面領域のn+ドーピングにより
pドープ領域(エピタキシャル層)14内に形成される
。n+ソース領域12とnドープドレイン領域10との
間のp領域14は、トランジスタのチャンネル領域とし
て働く。ポリシリコンのゲート接触部16はチャンネル
領域の上に横たわり、それらの間にはシリコン酸化物の
ような絶縁材18がある。 【0014】ゲート接触部16とその下のドレイン領域
との間には寄生ゲート/ドレインキャパシタンス(CG
D)が存在し、これは直列接続されたキャパシタ20及
び22で示されている。キャパシタ20はゲート酸化物
のキャパシタンスであり、キャパシタ22はゲート酸化
物の下のドレイン空乏層のキャパシタンスである。 この後者の成分は、ドレイン表面領域の電圧がゲートの
電圧よりも正であるときにのみ存在する。ゲートが更に
正になると、半導体表面にアキュムレータ層が形成され
、CGDがCOX AGに等しくなる。ここで、COX
は、TOX(ゲート酸化物厚み)にわたってEo(半導
体誘電率)に等しく、そしてAGはゲートの面積である
。ドレインの電圧がゲート電圧よりも高くなると、CG
Dの値がかなり急激に下がる。これは、空乏層が半導体
本体に向かって深く延びるにつれて益々下がり続ける。 これが図4に示されており、図4には、ゲート/ドレイ
ンキャパシタンス(CGD)とゲート/ドレイン間の電
圧差とがプロットされている。この曲線から、ゲート電
圧に伴うこのキャパシタンス変化が著しく非リニアであ
り、装置の優れた位相リニア性を妨げていることが分か
る。 【0015】理想的な電力MOS電界効果トランジスタ
は、ドレイン伝達曲線の一部分に対し平方法則の順方向
伝達特性を示す。即ち、低いドレイン電圧においては、
ドレイン電流がゲートバイアス電圧の平方として変化し
、この電流が次の式によって理想的な形態で与えられる
(エンハンスメントモード装置が電流飽和領域で動作し
、搬送波速度効果を考慮しない場合)。 【0016】     ID=1/2K(VGS−VT)2     
                       (1
)    但し、Kは装置の相互コンダクタンスパラメ
ータであり、VGSはゲート/ソース電圧であり、そし
てVTはスレッシュホールド電圧である。 【0017】この式は、短いチャンネルのDMOS装置
の場合、実際のピンチオフが生じる前にチャンネルの適
当な長さにわたって搬送波ドリフト速度(Vs)を制限
する作用を導入することにより、次のように変更される
。     ID=1/2K(VGS−VT)VS    
                     (2) 
 【0018】それ故、この速度飽和作用によって曲線
が「リニア化」され、第2次の混合作用が減少される。 電流値が高く且つドレイン電圧値が大きい場合には、本
体の拡散部間にあるドレイン電流路に寄生JFETが存
在し、この電流を制限する(図3)。装置の全伝達特性
がプロットされた図5にこれらの作用が示されている。 【0019】図6は、DMOS  FET30を含む本
発明のRF電力装置の電気回路図であり、アースされた
ソースと、トランジスタのゲートに接続されたリードL
1、L2との間に入力信号が加えられる。出力は、トラ
ンジスタのドレインとソースとの間から取り出される。 本発明によれば、32で示されたキャパシタCは、イン
ダクタンスL1、L2と、アースされたソースとの間に
接続される。キャパシタCの値は、装置の入力共振周波
数が印加信号の基本波よりも高く且つその第1高調波付
近となるように選択され、そしてキャパシタの値は、ト
ランジスタのCGDに対するミラー値にほぼ等しくなる
ように選択される。CGDの非リニアな変化は、この入
力キャパシタによって減衰され、これにより、位相の非
リニア性も改善される。低いCRSS は、フィードバ
ック作用を、装置が再び順方向となる付近まで近づけさ
せる。大きなキャパシタンスで入力を減衰させることに
より、ミラーフィードバック作用が減少され、回路の利
得は、これまでの演算増幅器の場合のようにフィードバ
ックによるのではなくて、MOSトランジスタによって
制御される。 【0020】図7の(A)及び(B)は、回路の一実施
例の各々側面図及び上面図である。FETダイ40及び
MOSCAP42は、酸化ベリリウムのセラミック基体
44上に取り付けられる。基体44上のダイ及びMOS
CAPはハウジング46に封入される。入力リード48
はリード50によってMOSCAPに接続され、リード
52は入力をダイ40のゲート接触部に接続する。リー
ド54は、MOSCAP42のアースされた電極をダイ
40のソースエレメントに接続し、そしてリード56は
ソースをパッド58を経てアースに接続する。出力リー
ド60は、ダイ40のドレイン領域に直結される。 【0021】装置パッケージの内部にキャパシタを配置
することにより、寄生容量が良好に制御され、電力利得
又は帯域巾を低下することなく減衰作用が生じる。効率
改善は、この装置構造で得られる低い発生インピーダン
スの副産物である。入力信号は立上り時間も立下がり時
間も短いので、低い入力インピーダンスの助けによって
スイッチングに要する消費量が低減し、効率の改善が得
られる。更に、発生インピーダンスの低下により、安定
性の改善が得られる。 【0022】例えば、本発明の一実施例においては、6
7MHzで動作する1つの電力MOSトランジスタは、
560ピコファラッドに等しい値の入力MOSキャパシ
タがゲートに接続されると共に、ワイヤリードインダク
タンスと共に入力信号に接続され、装置の入力共振周波
数が約100MHzにセットされた。出力電力90ワッ
トにおける装置のコレクタ効率測定値は、キャパシタ及
びインダクタンスがない場合の61%に対して69.4
%であった。装置の利得は、キャパシタがある場合に2
4.8dBであり、キャパシタがない場合に23.9d
Bであった。テレビ送信器の使用目的では、低電力付随
位相変調値は1/2に減少された。 【0023】 【発明の効果】以上、本発明により、ソリッドステート
部品を使用していて、動作効率が改善されると共に、相
互変調歪が減少されたRF電力増幅器が提供された。 【0024】好ましい実施例について本発明を説明した
が、これは単に本発明の解説に過ぎず、本発明をこれに
限定するものではない。特許請求の範囲に規定された本
発明の精神及び範囲から逸脱せずに、種々の変更や修正
がなされ得ることが当業者に明かであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】RF電力増幅器の周波数対電力を示すと共に、
歪積を示す。
【図2】周波数対電力の図であって、位相歪による非均
一な相互変調積振幅を示す図である。
【図3】DMOSエンハンスメントモード電界効果トラ
ンジスタの断面図であって、ゲート/ドレインの寄生容
量を示す図である。
【図4】ゲート/ドレインキャパシタンス(CGD)と
、ゲート/ドレイン間の電圧差との関係を示す図である
【図5】図3の装置に対するゲート/ドレイン伝達特性
を示す図である。
【図6】本発明の一実施例によりDMOSトランジスタ
と入力キャパシタを用いた装置の電気回路図である。
【図7】図6の回路の一実施例を示す各々上面図及び側
面図である。
【符号の説明】
10  シリコン基体 12  ソース領域 14  pドープ領域 16  ゲート接触部 18  絶縁材 20、22  キャパシタ 30  DMOS  FET 32  キャパシタ 40  FETダイ 42  MOSCAP 44  セラミック基体 46  ハウジング

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  ソース、ドレイン及びゲートを有する
    MOSトランジスタと、上記ゲートとソースとの間に入
    力信号を加える第1手段と、上記ソースとドレインとの
    間から出力信号を受け取る第2手段と、上記ゲートとソ
    ースとの間に接続されたキャパシタであって、上記ゲー
    トとドレインとの間の寄生容量(CGD)の非リニアな
    変化を減衰させるキャパシタとを具備することを特徴と
    するRF電力装置。
  2. 【請求項2】  上記第1手段は、インダクタンスをも
    つリードワイヤを含む請求項1に記載のRF電力装置。
  3. 【請求項3】  上記入力信号は基本周波数で特徴付け
    られるもので、上記キャパシタ及び上記インダクタンス
    は、上記基本周波数より上で且つその第1高調波付近の
    装置入力共振周波数を定める請求項2に記載のRF電力
    装置。
  4. 【請求項4】  上記MOSトランジスタは第1の個別
    の半導体本体を備え、上記キャパシタは第2の個別の半
    導体本体を備え、そして更に、上記第1の個別の半導体
    本体及び上記第2の個別の半導体本体を支持するセラミ
    ック基体を備えている請求項3に記載のRF電力装置。
  5. 【請求項5】  上記セラミック基体はアース電位にあ
    る金属層を含み、上記キャパシタ及び上記ソースは上記
    金属層に電気的に接続される請求項4に記載のRF電力
    装置。
  6. 【請求項6】  上記キャパシタ及びMOSトランジス
    タをハーメチックシールするパッケージを更に備えた請
    求項4に記載のRF電力装置。
  7. 【請求項7】  上記MOSトランジスタは、DMOS
    エンハンスメントモードトランジスタを備えている請求
    項6に記載のRF電力装置。
  8. 【請求項8】  上記キャパシタ及びMOSトランジス
    タをハーメチックシールするパッケージを更に備えた請
    求項1に記載のRF電力装置。
  9. 【請求項9】  上記キャパシタは、MOSCAPを含
    む請求項8に記載のRF電力装置。
  10. 【請求項10】  上記キャパシタは、寄生容量(CG
    D)のミラー効果にほぼ等しいキャパシタンス値を有す
    る請求項1に記載のRF電力装置。
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