JPH04222761A - 防振床 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の床材を本床上に
設置する防振床に関する。

【０００２】近年、縮小投影露光装置や３次元測定器等
はわずかな振動をも嫌うことから、防振床上に設置され
ることが多い。そのため、除振効果の向上が要求される
と共に、装置変更に伴う防振床のレイアウト変更におけ
る自由度の拡大が要求される。

【０００３】

【従来の技術】従来における防振、除振は、床構造で対
策したり、装置を除振台上に設置することで行っている
。図４に従来の防振を説明するための図を示す。図４（
Ａ）は床構造で対策した場合の部分断面図であり、図４
（Ｂ）は除振台で対策した場合の部分断面図である。

【０００４】図４（Ａ）において、本床３０上に骨組み
された支柱３１が設置され、該支柱３１上に複数のパネ
ル床材３２が敷設されてフリーアクセス床を構成する。 この本床３０は、例えばコンクリートのスラブである。 また、これはダウンフロー型のクリーンルーム内に設置
され、所定のパネル床材３２に通気孔が形成されてグレ
ーティング床を構成する。一方、該パネル床材３２とは
別個に、高さを同じくしてコンクリートブロック３３が
形成され、このコンクリートブロック３３上に、縮小投
影露光装置等の嫌振装置３４が設置される。

【０００５】すなわち、パネル床材３２からの横方向の
振動は、コンクリートブロック３３には伝わらず、縦方
向の振動は該コンクリートブロック３３の振動係数が小
さいことから伝達されない。

【０００６】次に、図４（Ｂ）の除振台において、スラ
ブである本床３０上に所定数の支柱３５が立設され、該
支柱３５上にはそれぞれ調整台座３６が設けられている
。また、パネル床材３７が調整台座３６上で敷設され、
パネル床材３７上に付勢部材３８を介して載置台３９が
設置される。そして、載置台３９上の所定位置に嫌振装
置３４が設置されると共に、該嫌振装置３４の下方で支
柱３５ａを増加し、さらに調整台座３６と本床３０間で
斜にすじかい等の補強部材４０が設けられる。このよう
な除振台は載置台３９上の振動を付勢部材３８が吸収す
るものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、歩行等による
振動は、低周波数であることから、床上を伝播し易く、
装置の除振には不十分であり、例えば露光装置では振動
による露光エラーを生じるという問題がある。

【０００８】また、図４（Ｂ）のような除振台では、一
度嫌振装置を設置すると、補強部材の追加等により該装
置のレイアウト変更ができず、自由度が小さいという問
題がある。

【０００９】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、低周波数の振動伝播を抑制し、レイアウト変更
の自由度を拡大する防振床の除振材を提供することを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題は、本床上に立
設された支持体と、該支持体上に敷設される複数の床材
と、該支持体と該床材との間に介在される除振材とを有
し、前記除振材は、平面形状の振動吸収部上に、前記複
数の床材のそれぞれを所定間隔で離隔させる溝が一体に
形成されてなることにより解決される。

【００１１】

【作用】上述のように、本発明の除振材は、振動吸収部
上に溝が一体に形成されている。これにより、敷設され
る床材は該溝により所定間隔で隔離される。従って、縦
方向の振動は低周波数に拘らず振動吸収部（及び支持体
）により吸収し、横方向の振動は低周波数に拘らず溝に
より吸収される。すなわち、上記除振材により、低周波
数の振動の伝播を防止することが可能となる。

【００１２】また、上記除振材は、支持体と床材との間
に介在されることから、設置された装置のレイアウト変
更の際に、床材を取外せばよくレイアウト変更の自由度
を拡大することが可能となる。

【００１３】

【実施例】図１に、本発明の一実施例の外観図を示す。 図１の除振材１は、防振床に使用されるもので、例えば
シリコーンゴム、ネオプレーンゴム等で形成された円盤
状の振動吸収部２上に、直角Ｌ字状の隔壁３ａ　〜３ｄ
　が所定間隔（例えば１０ｍｍ）で位置して一体に形成
される。この場合、間隔により溝４が形成される。すな
わち、隔壁３ａ　〜３ｄ　により、振動吸収部２上に床
材領域部５ａ　〜５ｄ　が形成され、該床材領域部５ａ
　〜５ｄ　上に床材が、隣接する床材と溝４により隔離
されて載置されるものである。

【００１４】次に、図２に本発明の適用例の部分断面図
を示す。図２に示す防振床は、例えばダウンフロー型の
クリーンルーム内に設置され、クリーンエアが循環する
。図２において、コンクリートによるスラブである本床
１０上に複数の支持体１１が固定されて立設される。 この支持体１１は、一般の使用される強度とある強度の
振動を吸収する部材で形成される。支持体１１上には上
述の除振材１がそれぞれ設けられ、該除振材１の床材領
域部５ａ　〜５ｄ　に床材としての通気孔１２ａ　が形
成されたパネル１２が載置されてフリーアクセス床を構
成する。このとき、溝４を形成する隔壁３ａ　〜３ｄ　
が該パネル１２の位置決めを行うと共に、隣接するパネ
ル１２を溝４により離隔する。そして、該パネル１２上
に顕微鏡、縮小投影露光装置等の嫌振装置１３が設置さ
れる。

【００１５】そこで、歩行等による振動を解析すると、
伝播エネルギのうち、垂直成分は支持体１１により減ぜ
られ、水平成分は除振材１の溝４により、共振等により
増加した伝播エネルギが１／２〜１／１０に減ぜられる
。これは、伝播の共振エネルギよりむしろパネル１２の
ずれ等による衝突を防止したものであり、歩行の仕方に
よる影響を防止するものである。

【００１６】ここで、除振材１の溝４によりパネル１２
間にすき間を生じるが、クリーンルーム内の設置におい
て気流制御のために形成されるパネル１２の通気孔１２
ａ　が全面積の１０〜９０％で形成されており、該すき
間の開孔率の変化を十分に吸収しうるもので問題とはな
らない。例えば、パネル１２間のすき間を１０ｍｍ程度
とした場合でも、６００ｍｍ四方のパネル１２では３．
３％の開孔と同様になり、図３において説明する開孔率
９０％のグレーチング床では全く問題とならない。

【００１７】このように、本発明の除振材１により歩行
等による低周波数の振動伝播を抑制し、除振効果を向上
させることができる。また、除振材１は支持体１１とパ
ネル１２との間に介在させることから、嫌振装置１３の
レイアウトを変更する場合にはパネル１２を引上げて取
外せばよく、レイアウト変更の自由度を拡大することが
できる。

【００１８】次に、図３に、本発明の他の適用例の部分
断面図を示す。図３は、前述の本床１０上に束（つか）
状に鉄骨組立てた支持体１５が立設され、柱部１６間に
ワイヤにより筋かい１７で補強されている。この支持体
１５上に所定配置で除振材１が載置され、該除振材１に
、上述のように床材であるグレーチング１８（例えば開
孔率９０％）が載置されるものである。そして、図示し
ないが該グレーチング１８上に嫌振装置が設置される。

【００１９】この場合においても、図２と同様に除振材
により歩行等による低周波数の振動伝播を抑制すること
ができると共に、嫌振装置のレイアウト変更による自由
度を拡大することができる。

【００２０】なお、上記実施例では振動吸収部２を円盤
状に形成し、隔壁３ａ〜３ｄ　により溝４を形成した場
合を示したが、振動吸収部２は円盤状である必要はなく
、また、溝４は隔壁３ａ　〜３ｄ　によらず凹形状に形
成して床材の位置決め突起を形成して行ってもよい。

【００２１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、振動吸
収部上に、床材のそれぞれを離隔する溝を一体に形成す
る除振材を使用することにより、低周波数の振動伝播を
抑制することができると共に、装置のレイアウト変更の
自由度を拡大することができ、生産性等の向上を図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の外観図である。

【図２】本発明の一適用例の部分断面図である。

【図３】本発明の他の適用例の部分断面図である。

【図４】従来の除振を説明するための図である。

【符号の説明】

１　　除振材 ２　　振動吸収部 ３ａ　〜３ｄ　　　隔壁 ４　　溝 １０　　本床 １１，１５　　支持体 １２　　パネル １３　　嫌振装置 １８　　グレーチング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　本床（１０）上に立設された支持体（
   １１，１５）と、該支持体（１１，１５）上に敷設され
   る複数の床材（１２，１８）と、該支持対（１１，１５
   ）と該床材（１２，１８）との間に介在される除振材と
   を有し、前記除振材は、平面形状の振動吸収部（２）上
   に前記複数の床材（１２，１８）のそれぞれを所定間隔
   で離隔させる溝（４）が一体に形成されてなることを特
   徴とする防振床。