JPH04222761A - 防振床 - Google Patents

防振床

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Publication number
JPH04222761A
JPH04222761A JP40700490A JP40700490A JPH04222761A JP H04222761 A JPH04222761 A JP H04222761A JP 40700490 A JP40700490 A JP 40700490A JP 40700490 A JP40700490 A JP 40700490A JP H04222761 A JPH04222761 A JP H04222761A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
floor
oscillation
support
panel
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP40700490A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuyuki Nakano
勝之 中野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPH04222761A publication Critical patent/JPH04222761A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の床材を本床上に
設置する防振床に関する。
【0002】近年、縮小投影露光装置や3次元測定器等
はわずかな振動をも嫌うことから、防振床上に設置され
ることが多い。そのため、除振効果の向上が要求される
と共に、装置変更に伴う防振床のレイアウト変更におけ
る自由度の拡大が要求される。
【0003】
【従来の技術】従来における防振、除振は、床構造で対
策したり、装置を除振台上に設置することで行っている
。図4に従来の防振を説明するための図を示す。図4(
A)は床構造で対策した場合の部分断面図であり、図4
(B)は除振台で対策した場合の部分断面図である。
【0004】図4(A)において、本床30上に骨組み
された支柱31が設置され、該支柱31上に複数のパネ
ル床材32が敷設されてフリーアクセス床を構成する。 この本床30は、例えばコンクリートのスラブである。 また、これはダウンフロー型のクリーンルーム内に設置
され、所定のパネル床材32に通気孔が形成されてグレ
ーティング床を構成する。一方、該パネル床材32とは
別個に、高さを同じくしてコンクリートブロック33が
形成され、このコンクリートブロック33上に、縮小投
影露光装置等の嫌振装置34が設置される。
【0005】すなわち、パネル床材32からの横方向の
振動は、コンクリートブロック33には伝わらず、縦方
向の振動は該コンクリートブロック33の振動係数が小
さいことから伝達されない。
【0006】次に、図4(B)の除振台において、スラ
ブである本床30上に所定数の支柱35が立設され、該
支柱35上にはそれぞれ調整台座36が設けられている
。また、パネル床材37が調整台座36上で敷設され、
パネル床材37上に付勢部材38を介して載置台39が
設置される。そして、載置台39上の所定位置に嫌振装
置34が設置されると共に、該嫌振装置34の下方で支
柱35aを増加し、さらに調整台座36と本床30間で
斜にすじかい等の補強部材40が設けられる。このよう
な除振台は載置台39上の振動を付勢部材38が吸収す
るものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、歩行等による
振動は、低周波数であることから、床上を伝播し易く、
装置の除振には不十分であり、例えば露光装置では振動
による露光エラーを生じるという問題がある。
【0008】また、図4(B)のような除振台では、一
度嫌振装置を設置すると、補強部材の追加等により該装
置のレイアウト変更ができず、自由度が小さいという問
題がある。
【0009】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、低周波数の振動伝播を抑制し、レイアウト変更
の自由度を拡大する防振床の除振材を提供することを目
的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題は、本床上に立
設された支持体と、該支持体上に敷設される複数の床材
と、該支持体と該床材との間に介在される除振材とを有
し、前記除振材は、平面形状の振動吸収部上に、前記複
数の床材のそれぞれを所定間隔で離隔させる溝が一体に
形成されてなることにより解決される。
【0011】
【作用】上述のように、本発明の除振材は、振動吸収部
上に溝が一体に形成されている。これにより、敷設され
る床材は該溝により所定間隔で隔離される。従って、縦
方向の振動は低周波数に拘らず振動吸収部(及び支持体
)により吸収し、横方向の振動は低周波数に拘らず溝に
より吸収される。すなわち、上記除振材により、低周波
数の振動の伝播を防止することが可能となる。
【0012】また、上記除振材は、支持体と床材との間
に介在されることから、設置された装置のレイアウト変
更の際に、床材を取外せばよくレイアウト変更の自由度
を拡大することが可能となる。
【0013】
【実施例】図1に、本発明の一実施例の外観図を示す。 図1の除振材1は、防振床に使用されるもので、例えば
シリコーンゴム、ネオプレーンゴム等で形成された円盤
状の振動吸収部2上に、直角L字状の隔壁3a 〜3d
 が所定間隔(例えば10mm)で位置して一体に形成
される。この場合、間隔により溝4が形成される。すな
わち、隔壁3a 〜3d により、振動吸収部2上に床
材領域部5a 〜5d が形成され、該床材領域部5a
 〜5d 上に床材が、隣接する床材と溝4により隔離
されて載置されるものである。
【0014】次に、図2に本発明の適用例の部分断面図
を示す。図2に示す防振床は、例えばダウンフロー型の
クリーンルーム内に設置され、クリーンエアが循環する
。図2において、コンクリートによるスラブである本床
10上に複数の支持体11が固定されて立設される。 この支持体11は、一般の使用される強度とある強度の
振動を吸収する部材で形成される。支持体11上には上
述の除振材1がそれぞれ設けられ、該除振材1の床材領
域部5a 〜5d に床材としての通気孔12a が形
成されたパネル12が載置されてフリーアクセス床を構
成する。このとき、溝4を形成する隔壁3a 〜3d 
が該パネル12の位置決めを行うと共に、隣接するパネ
ル12を溝4により離隔する。そして、該パネル12上
に顕微鏡、縮小投影露光装置等の嫌振装置13が設置さ
れる。
【0015】そこで、歩行等による振動を解析すると、
伝播エネルギのうち、垂直成分は支持体11により減ぜ
られ、水平成分は除振材1の溝4により、共振等により
増加した伝播エネルギが1/2〜1/10に減ぜられる
。これは、伝播の共振エネルギよりむしろパネル12の
ずれ等による衝突を防止したものであり、歩行の仕方に
よる影響を防止するものである。
【0016】ここで、除振材1の溝4によりパネル12
間にすき間を生じるが、クリーンルーム内の設置におい
て気流制御のために形成されるパネル12の通気孔12
a が全面積の10〜90%で形成されており、該すき
間の開孔率の変化を十分に吸収しうるもので問題とはな
らない。例えば、パネル12間のすき間を10mm程度
とした場合でも、600mm四方のパネル12では3.
3%の開孔と同様になり、図3において説明する開孔率
90%のグレーチング床では全く問題とならない。
【0017】このように、本発明の除振材1により歩行
等による低周波数の振動伝播を抑制し、除振効果を向上
させることができる。また、除振材1は支持体11とパ
ネル12との間に介在させることから、嫌振装置13の
レイアウトを変更する場合にはパネル12を引上げて取
外せばよく、レイアウト変更の自由度を拡大することが
できる。
【0018】次に、図3に、本発明の他の適用例の部分
断面図を示す。図3は、前述の本床10上に束(つか)
状に鉄骨組立てた支持体15が立設され、柱部16間に
ワイヤにより筋かい17で補強されている。この支持体
15上に所定配置で除振材1が載置され、該除振材1に
、上述のように床材であるグレーチング18(例えば開
孔率90%)が載置されるものである。そして、図示し
ないが該グレーチング18上に嫌振装置が設置される。
【0019】この場合においても、図2と同様に除振材
により歩行等による低周波数の振動伝播を抑制すること
ができると共に、嫌振装置のレイアウト変更による自由
度を拡大することができる。
【0020】なお、上記実施例では振動吸収部2を円盤
状に形成し、隔壁3a〜3d により溝4を形成した場
合を示したが、振動吸収部2は円盤状である必要はなく
、また、溝4は隔壁3a 〜3d によらず凹形状に形
成して床材の位置決め突起を形成して行ってもよい。
【0021】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、振動吸
収部上に、床材のそれぞれを離隔する溝を一体に形成す
る除振材を使用することにより、低周波数の振動伝播を
抑制することができると共に、装置のレイアウト変更の
自由度を拡大することができ、生産性等の向上を図るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の外観図である。
【図2】本発明の一適用例の部分断面図である。
【図3】本発明の他の適用例の部分断面図である。
【図4】従来の除振を説明するための図である。
【符号の説明】
1  除振材 2  振動吸収部 3a 〜3d   隔壁 4  溝 10  本床 11,15  支持体 12  パネル 13  嫌振装置 18  グレーチング

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  本床(10)上に立設された支持体(
    11,15)と、該支持体(11,15)上に敷設され
    る複数の床材(12,18)と、該支持対(11,15
    )と該床材(12,18)との間に介在される除振材と
    を有し、前記除振材は、平面形状の振動吸収部(2)上
    に前記複数の床材(12,18)のそれぞれを所定間隔
    で離隔させる溝(4)が一体に形成されてなることを特
    徴とする防振床。
JP40700490A 1990-12-26 1990-12-26 防振床 Withdrawn JPH04222761A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP40700490A JPH04222761A (ja) 1990-12-26 1990-12-26 防振床

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP40700490A JPH04222761A (ja) 1990-12-26 1990-12-26 防振床

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04222761A true JPH04222761A (ja) 1992-08-12

Family

ID=18516625

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP40700490A Withdrawn JPH04222761A (ja) 1990-12-26 1990-12-26 防振床

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JP (1) JPH04222761A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020028103A (ko) * 2000-10-07 2002-04-16 박헌철 건축용 판재의 고정방법 및 그 장치

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Effective date: 19980312