JPH042198A - 基板収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ この発明は基板を収納かごに収納する基板収納装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

従来の基板収納装置においては、実公昭６０−１９０７
３３号公報に示されるように、基板を収納する収納具を
一定ピッチで上昇させて、収納具の溝の位置出しを行な
っており、また実公昭５９−７８６９９号公報に示され
るように、収納具を台に固定した状態で、一定ピツチで
ロボットを移動することにより、収納具に基板を収納し
ている。

［発明が解決しようとする課題］ このような基板収納装置においては、収納具が収納かご
てあり、収納かごの変形、ゆがみによって、収納かごの
基板収納溝の位置が変化すると、収納かごに基板を収納
することができず、また基板を破損することがある。

この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、収納かごに確実に基板を収納することができ、基板を
破損することがない基板収納装置を提供することを目的
とする。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため、この発明においては、第１の
かご供給コンベア、上記第１のかご供給コンベアの下流
側に接続された第２のかご供給コンベアおよび上記第１
のかご供給コンベアと上記第２のかご供給コンベアとの
接続部の近傍に設けられたかご検出センサを有するかご
分離供給部を設ける。

この場合、上記第１のかご供給コンベアが作動している
状態で上記かご検出センサが収納かごを検出したとき、
検出時点から一定時間経過後に、上記第１のかご供給コ
ンベアを停止するとともに、上記第２のかご供給コンベ
アのみを回転させてもよく、また上記第１のかご供給コ
ンベアが作動している状態で上記かご検出センサが収納
かごを検出したとき、検出時点から一定時間経過後に、
上記第１のかご供給コンベアを逆転させるとともに、上
記第２のかご供給コンベアを停止してもよい。

また、移動可能に設けられたテーブルを有するかご送り
部および上記テーブル上の収納かごの収納部の位置決め
をする収納部位置決め部を有するかご位置決め部をおよ
び上記テーブル上の収納かごの収納部の位置決めをする
収納部位置決め部を有するかご位置決め部を設ける。

この場合、上記テーブルに第３のかご供給コンベアを設
け、上記収納部位置決め部に上記収納かごの支柱の間に
挿入可能なくさびガイド、上記支柱の上部と当接すべき
Ｕ字溝が設けられた溝収納ガイドおよびかごクランプを
設けてもよく、また上記テーブルに第３のかご供給コン
ベアを設け、上記収納部位置決め部に上記収納かごの支
柱の側部と当接すべき溝を有する収納ガイドおよびかご
クランプを設けてもよい。

さらに、基板を水平状態で所定位置まで搬送する基板搬
送部、上記基板搬送部によって搬送された上記基板を直
立させる姿勢変換部および直立した上記基板を下降する
基板下降部を有する基板供給部設ける。

この場合、上記姿勢変換部に回動可能に取り付けられた
基板受は板および上記基板受は板に設けられた第１のス
トッパを設け、上記基板下降部に基板チャックおよび直
立した上記基板の上端を検出する基板検出センサを設け
てもよく、また上記姿勢変換部にリンクを介して回動可
能に取り付けられた第２のストッパを設け、上記基板下
降部に一対の基板ガイドおよび上記基板ガイドに取り付
けられた基板下降ローラを設けてもよい。

また、基板を収納かごの収納部に挿入する基板供給部と
、上記基板供給部により上記基板を上記収納部に挿入す
るとき、上記基板が上記収納かご、上記基板と接触した
ことを検出する接触検出装置とを設ける。

この場合、上記基板供給部に基板収納シリンダを設け、
上記接触検出装置により上記基板収納シリンダの伸長開
始時点から伸長終了時点までの時間を検出してもよく、
また上記基板供給部に基板収納シリンダを設け、上記接
触検出装置により上記基板収納シリンダの伸縮方向に作
用する力を検出してもよい。

さらに、第１のかご供給コンベア、上記第１のかご供給
コンベアの下流側に接続された第２のかご供給コンベア
および上記第１のかご供給コンベアと上記第２のかご供
給コンベアとの接続部の近傍に設けられたかご検出セン
サを有するかご分離供給部と、移動可能に設けられたテ
ーブルおよび上記テーブル上の収納かごの収納部の位置
決めをする収納部位置決め部を有するかご位置決め部と
、基板を水平状態で所定位置まで搬送する基板搬送部、
上記基板搬送部によって搬送された上記基板を直立させ
る姿勢変換部および直立した上記基板を下降する基板下
降部を有する基板供給部と、上記基板供給部により上記
基板を上記収納部に挿入するとき、上記基板が上記収納
かご、上記基板と接触したことを検出する接触検出装置
とを設ける。

［作用］ この基板収納装置においては、第１のかご供給コンベア
、第１のかご供給コンベアの下流側に接続された第２の
かご供給コンベアおよび上記第１のかご供給コンベアと
上記第２のかご供給コンベアとの接続部の近傍に設けら
れたかご検出センサを有するかご分離供給部を設けてい
るから、ストッパ機構を用いる必要がない。

また、移動可能に設けられたテーブルを有するかご送り
部およびテーブル上の収納かごの収納部の位置決めをす
る収納部位置決め部を有するかご位置決め部を設けてい
るから、収納かごの変形、ゆがみによって収納部の位置
にバラツキがあったとしても、収納かごの収納部を確実
に位置決めすることができる。

さらに、基板を水平状態で所定位置まで搬送する基板搬
送部、上記基板搬送部によって搬送された上記基板を直
立させる姿勢変換部および直立した上記基板を下降する
基板下降部を有する基板供給部設けているから、基板を
直立した状態で収納かごの収納部に挿入することができ
る。

また、基板を収納かごの収納部に挿入する基板供給部と
、上記基板供給部により上記基板を上記収納部に挿入す
るとき、上記基板が上記収納がご、上記基板と接触した
ことを検出する接触検出装置とを設けているから、基板
を収納かごの収納部に収納できないときには、基板の挿
入を停止することができる。

さらに、第１のかご供給コンベア、上記第１のかご供給
コンベアの下流側に接続された第２のかご供給コンベア
および上記第１のかご供給コンベアと上記第２のかご供
給コンベアとの接続部の近傍に設けられたかご検出セン
サを有するかご分離供給部と、移動可能に設けられたテ
ーブルおよび上記テーブル上の収納かごの収納部の位置
決めをする収納部位置決め部を有するかご位置決め部と
、基板を水平状態で所定位置まで搬送する基板搬送部、
上記基板搬送部によって搬送された上記基板を直立させ
る姿勢変換部および直立した上記基板を下降する基板下
降部を有する基板供給部と、上記基板供給部により上記
基板を上記収納部に挿入するとき、上記基板が上記収納
かご、上記基板と接触したことを検出する接触検出装置
とを設けているから、ストッパ機構を用いる必要がなく
、収納かごの変形、ゆがみによって収納部の位置にバラ
ツキがあったとしても、収納かごの収納部を確実に位置
決めすることができ、基板を直立した状態で収納かごの
収納部に挿入することができ、基板を収納かごの収納部
に収納できないときには、基板の挿入を停止することが
できる。

〔実施例〕

第１図はこの発明に係る基板収納装置を示す斜視図、第
２図は第１図に示した基板収納装置の一部を示す図、第
３図〜第５図はそれぞれ第１図に示した基板収納装置の
一部を示す斜視図、第６図は第１図に示した基板収納装
置の一部を示す図である。

図において、３５はベース、２６ａはベース３５に取り
付けられたかごガイド、２１はベース３５に取り付けら
れた第２のがご供給コンベア、２２はかご供給コンベア
２１を駆動するがご供給モータ、２０はかご供給コンベ
ア２１の上流側に接続された第１のがご供給コンベア、
２５ａはベース３５に設けられたかご検出センサ、２５
ｂはかご供給コンベア２０に設けられたかご検出センサ
で、かご供給コンベア２ｏが作動している状態でかご検
出センサ２５ｂが収納がご６ｏを検出すると、検出時点
から一定時間経過後にかご供給コンベア２０の回転を停
止するとともに、かご供給コンベア２１のみを回転させ
る。そして、かご供給コンベア２０．かご供給コンベア
２１等でかご分離供給部７１を構成している。

３８はベース３５に取り付けられた一対のテーブルガイ
ド、３６はテーブルガイド３８により移動可能に支持さ
れたがご位置決め移動テーブル、３７はベース３５に回
転可能に支持された送りネジで、送りネジ３７はかご位
置決め移動テーブル３６に設けられた雌ネジ（図示せず
）に螺合している。５４は送りネジ３７を回転するため
の送りモータ、２６ｂはかご位置決め移動テーブル３６
に取り付けられたかごガイド、４９はかご位置決め移動
テーブル３６に取り付けられた第３のかご供給コンベア
、５０はかご位置決め移動テーブル３６に取り付けられ
たかごクランプ固定ブロック、３３はかごクランプ固定
ブロック５０に取り付けられたかごクランプ用シリンダ
、８０は固定ビン、３４は固定ビン８０に回動可能に支
持されたかごクランプで、かごクランプ３４はかごクラ
ンプ用シリンダ３３によって駆動される。５２はかごク
ランプ固定ブロック５０に取り付けられたかごクランプ
ベース上下シリンダ、５１はかごクランプベース上下シ
リンダ５２によって上下動されるかごクランプベースで
、かご位置決め移動テーブル３６、かご供給コンベア４
９、かごクランプ３４等でかご送り部７２を構成してい
る。

６７はベース３５に取り付けられたガイドレールで、カ
イトレール６７はテーブルガイド３８に対して直角に設
けられている。６８はカイトレール６７により移動可能
に支持されたベース、３２はベース６８に取り付けられ
たブロック、３１はブロック３２に水平方向移動可能に
支持されたガイドビン、２９はガイドビン３１の先端に
取り付けられたかごストッパ、３０はブロック３２に取
り付けられたかごストッパ用シリンダで、かごストッパ
用シリンダ３０はかごストッパ２９を移動する。２８は
ベース６８に取り付けられたかご検出センサ、４８はベ
ース６８に取り付けられたガイド軸、４４はガイド軸４
８に上下動可能に支持された溝収納ガイド取付ブロック
、４７はガイド軸４８の上部に取り付けられたプレート
、４６はプレート４７に取り付けられた溝収納ガイド上
下シリンダで、溝収納ガイド上下シリンダ４６は溝収納
ガイド取付ブロック４４を上下動する。４３は溝収納ガ
イド取付ブロック４４に取り付けられたブロック、４２
はブロック４３にガイドレール６７と平行な方向に移動
可能に支持された第１の溝収納ガイドで、溝収納ガイド
４２の下部にはＵ字溝が設けられている。４５は溝収納
カイト４２を移動する溝収納ガイド前後シリンダ、４１
はガイド軸４８に取り付けられた高さ調整ブロック、４
０は高さ調整ブロック４１に取り付けられたくさびガイ
ド用シリンダ、６９はくさびガイド用シリンダ４０によ
って移動されるくさびガイドで、溝収納ガイド取付ブロ
ック４４、溝収納ガイド上下シリンダ４６、溝収納ガイ
ド４２、溝収納ガイド前後シリンダ４５、高さ調整ブロ
ック４１、くさびガイド用シリンダ４ｏ、くさびガイド
６９等で収納部位置決め部９８を構成しており、収納部
位置決め部９８は一対設けられていて、かご送り部７２
、収納部位置決め部９８等でかご位置決め部７３を構成
している。

２６ｃはベース３５に取り付けられたかごガイド、２４
はベース３５に取り付けられたかご排出コンベア、２３
は軸受で、かごガイド２６ｃ、かご排出コンベア２４、
軸受２３でかご排出部７４を構成している。

７８はベース３５に取り付けられた固定シャフト、ｌは
固定シャフト７８に取り付けられたベース、２はベース
１に取り付けられたガイドブロック、３はガイドブロッ
ク２に回転可能に支持された基板搬送ローラ、４はベー
ス１に取り付けられた基板検出センサで、基板搬送ロー
ラ３、基板検出センサ４等で基板搬送部７５を構成して
いる。

５はベースｌに回動可能に支持された基板受は板、６は
基板受は板５に伸縮可能に取り付けられた第１のストッ
パで、ストッパ６は駆動装置（図示せず）により伸縮さ
れる。７は基板受は板５を回動する受は板回転シリンダ
、８はベース１に取り付けられた基板位置決めシリンダ
で、基板受は板５、受は板回転シリンダ７等で姿勢変換
部７６を構成している。

１９はベースｌに取り付けられた固定ブロック、１６は
固定ブロック１９に取り付けられたガイドシャフト、１
３はガイドシャフト１６に上下動可能に支持された収納
シリンダ取付ブロック、１４はガイドシャフト１６に取
り付けられた基板把持移動シリンダで、基板把持移動シ
リンダ１４は収納シリンダ取付ブロック１３を上下動す
る。１５は収納シリンダ取付ブロック１３に取り付けら
れた中間位置保持シリンダで、中間位置保持シリンダ１
５が伸長したときには、収納シリンダ取付ブロック１３
の位置が固定される。１８は収納シリンダ取付ブロック
１３に上下動可能に支持されたガイドシャフト、１２は
ガイドシャフト１８の下端に取り付けられた基板把持ブ
ロック、１７は収納シリンダ取付ブロック１３に取り付
けられた基板収納シリンダで、基板収納シリンダ１７は
基板把持ブロックＩ２を上下動する。ＩＩは基板把持ブ
ロック１２の両端に取り付けられた基板チャック、１０
は基板チャック１１を駆動する基板把持シリンダ、９は
基板チャック１１に取り付けられた基板検出センサで、
収納シリンダ取付ブロック１３、基板把持移動シリンダ
１４、基板把持ブロック１２、基板収納シリンダ１７、
基板チャック１１、基板把持シリンダ１０等で基板下降
部７７を構成しており、基板搬送部７５、姿勢変換部７
６、基板下降部７７で基板供給部９９を構成している。

つぎに、第７図に基づいてこの基板収納装置の動作につ
いて説明する。

ます、第２図（ａ）に示されるように、かご供給コンベ
ア２ｏによって収納かご６ｏが搬送されてきたときには
、かご検出センサ２５ｂが収納かご６０を検出すると、
検出時点から一定時間経過後にかご供給コンベア２０の
回転を停止するとともに、かご供給コンベア２１のみを
回転させるから、第２図（ｂ−）に示されるように、先
頭の収納かご６０ａのみがかご供給コンベア２１によっ
て搬送され、先頭の収納かご６０ａとそれ以外の収納か
ご６０とが分離され、先頭の収納かご６０ａのみがかご
供給コンベア２１に供給される。つぎに、かご分離供給
部７１からかご送り部７２に収納かご６０が搬送された
ときには、第２図（Ｃ）に示されるように、かご供給コ
ンベア２０、かご供給コンベア２１を回転させる。つぎ
に、かご検出センサ２５ｂが収納かご６０を検出すると
、検出時点から一定時間経過後にかご供給コンベア２０
の回転を停止するとともに、かご供給コンベア２１のみ
を回転させる。

かご検出センサ２５ａが収納かご６０を検出するととも
に、かご位置決め移動テーブル３６が所定位置にあると
きには、かご供給コンベア２１、かご供給コンベア４９
が回転し、収納かご６０がストッパ２９に当たり、かご
検出センサ２８が収納かご６０を検出すると、かご供給
コンベア２１、かご供給コンベア４９が停止し、収納か
ご６０がかご分離供給部７１からかご送り部７２に搬送
される。つぎに、送りモータ５４が送りネジ３７を回転
し、かご位置決め移動テーブル３６が移動し、第４図（
ａ）に示されるように、収納かご６０が収納部位置決め
部９８の近傍に位置する。つぎに、第４図（ｂ）に示さ
れるように、くさびガイド用シリンダ４０によりくさび
ガイド３９を矢印の方向に移動すると、くさびガイド３
９が収納がご６０の支柱５５に接触し、収納かご６０を
移動しながら、くさびガイド３９が支柱５５の間に入り
込む。

つぎに、第４図（ｃ）に示されるように、溝収納ガイド
前後シリンダ４５により溝収納ガイド４２を移動したの
ち、溝収納ガイド上下シリンダ４６により溝収納ガイド
４２を下降すると、支柱５５の上部に溝収納ガイド４２
のＵ字溝が押し付けられる。つぎに、第４図（ｄ）に示
されるように、クランプ用シリンダ３３を作動して、か
ごクランプ３４により収納かご６ｏをクランプしたのち
、くさびガイド用シリンダ４０によりくさびガイド３９
を後退させる。以上の動作により、収納がご６０が溝収
納ガイド４２により位置決め固定される。この状態で、
溝収納ガイド４２を案内にして基板下降部７７により基
板６３を支柱５５によって形成される収納部に挿入する
（説明後述）。つぎに、溝収納ガイド４２、かごクラン
プ３４を解放したのち、送りモータ５４が送りネジ３７
を回転し、かご位置決め移動テーブル３６が移動し、収
納かご６０が次の挿入位置に移動する。以上の動作を繰
り返すことにより、収納かご６０の全ての収納部に基板
６３が収納されると、送りモータ５４が送りネジ３７を
回転し、かご位置決め移動テーブル３６が移動し、収納
かご６０がかご排出部７４の近傍に移動する。つきに、
かご供給コンベア４９により収納かご６０がかご排出部
７４に排出される。

つぎに、基板６３を収納かご６０の収納部に挿入する動
作について説明する。まず、第６図（ａ）に示されるよ
うに、基板搬送ローラ３が回転すると、基板６３がスト
ッパ６に当たるまで水平に搬送され、基板検出センサ４
が基板６３を検出すると、基板搬送ローラ３が停止する
。つぎに、第６図（ｂ）に示されるように、受は板回転
シリンダ７により基板受は板５が回動されて、基板６３
が垂直となる。つぎに、基板把持移動シリンダ１４によ
り基板チャック１１が下降され、基板検出センサ９が基
板６３を検出すると、基板把持移動シリンダ１４が停止
し、中間位置保持シリンダ１５が伸長して、収納シリン
ダ取付ブロック１３の位置を固定する。つぎに、第６図
（Ｃ）に示されるように、基板把持シリンダ１０により
基板チャック１１を作動し、基板チャック１１により基
板６３を把持すると、ストッパ６が後退する。つぎに、
基板収納シリンダ１７により基板チャック１１が下降さ
れ、基板６３が収納かご６０の収納部に挿入される。つ
ぎに、第６図（ｄ）に示されるように、基板チャックＩ
Ｉが基板６３を解放し、基板チャック１１が上昇し、中
間位置保持シリンダ１５が縮小し、収納シリンダ取付ブ
ロック１３が上昇するとともに、基板受は板５が回動し
て水平状態となるとともに、ストッパ６が突出する。

この基板収納装置においては、かご供給コンベア２ｏ、
２１を制御することにより、収納がご６０を分離して供
給することができるから、ストッパ機構を用いる必要が
ないので、収納かご６０１Ｉ！ｌｌで損傷することがな
い。また、くさびガイド３９により収納かご６０を位置
決めしたのち、かごクランプ３４、溝収納ガイド４２に
より収納かご６０を位置決め固定したのち、溝収納ガイ
ド４２を案内にして基板下降部７７により基板６３を収
納かご６０の収納部に挿入するから、収納かご６０の変
形、ゆがみによって収納部の位置にバラツキがあったと
しても、収納かご６０の収納部を確実に位置決めするこ
とができるので、確実に基板６３を収納かご６０の収納
部に挿入することができる。

第８図はこの発明に係る他の基板収納装置の収納かご分
離供給部の一部を示す図である。この基板収納装置にお
いては、かご検出センサ２５ｂが収納かご６０を検出し
た時点から一定時間経過して、第８図（ａ）に示すよう
に、先頭の収納かご６０ａがかご供給コンベア２１上に
位置したときに、第８図（ｂ）に示すように、かご供給
コンベア２１の回転を停止するとともに、かご供給コン
ベア２０を逆転させるから、第８図（Ｃ）に示すように
、先頭の収納かご６０ａとそれ以外の収納かご６０とが
分離され、先頭の収納かご６０ａのみがかご供給コンベ
ア２１に供給される。

第９ｒＸｉはこの発明に係る他の基板収納装置のかご位
置決め部の一部を示す図である。この基板収納装置にお
いては、溝収納ガイド前後シリンダ４５に第２の溝収納
ガイド５３が取り付けられており、溝収納ガイド５３の
下部の先端部分に第９図（ｂ）に示すような溝が設けら
れている。このため、第９図（ａ）に示す状態から、溝
収納ガイド５３を前進させ、第９図（ｃ）に示すように
、溝収納ガイド５３の下部の先端部分の溝を支柱５５に
当接したのち、かごクランプ３４により収納かご６０を
クランプする。以上の動作により、収納がご６０が溝収
納ガイド５３により位置決め固定される。

第１０図はこの発明に係る他の基板収納装置のかご位置
決め部の一部を示す図である。図において、６６はベー
ス３５に取り付けられたＸ−Ｙテーブルで、Ｘ−Ｙテー
ブル６６上にかご供給コンベア４９が設けられている。

６５はＸ−Ｙテーブル６６の駆動モータ、６４はベース
３５に取り付けられたフォトセンサである。

この基板収納装置においては、がごクランプ３４により
収納かご６０をクランプしたのち、フォトセンサ６４が
支柱５５を検出するまで駆動モータ６５によりＸ−Ｙテ
ーブル６６を移動する。

そして、フォトセンサ６４が支柱５５を検出したとき、
駆動モータ６５が停止し、Ｘ−Ｙテーブル６６が停止し
て、収納かご６０が位置決めされる。

収納かご６０を排出するときには、かごクランプ３４を
解放し、かご供給コンベア４９により排出する。

第１１図はこの発明に係る他の基板収納装置の基板供給
部の一部を示す図である。図において、９２はベース１
に取り付けられた搬送ローラ固定板で、搬送ローラ固定
板９２は一対設けられており、搬送ローラ固定板９２に
基板搬送ローラ３が取り付けられている。９６はベース
１に取り付けられたブロック、９３はブロック９６に移
動可能に支持されたストッパ回転シリンダ、９１はブロ
ック９６に取り付けられた基板回転シリンダで、基板回
転シリンダ９１はストッパ回転シリンダ９３を移動する
。９７はベース１に回動可能に支持されたリンクで、リ
ンク９７はストッパ回転シリンダ９３により回動される
。９０はリンク９７の端部に取り付けられた第２のスト
ッパで、図示の状態ではストッパ９０の高さが基板搬送
ローラ３によって搬送される基板６３の高さと同一であ
る。９４はベースｌに取り付けられた基板ガイドで、基
板ガイド９４は基板６３の板厚とほぼ同一寸法の溝を有
しており、基板ガイド９４は一対対向して設けれられて
いて、基板ガイド９４の下端は収納かご６０の上端の近
傍に位置している。

９５は基板ガイド９４の溝内に設けられた基板下降ロー
ラで、基板下降ローラ９５は回転速度を変えることがで
きる。

この基板収納装置においては、まず第１１図（ａ）に示
されるように、基板搬送ローラ３が回転すると、基板６
３がストッパ９０に当たるまで水平に搬送され、基板検
出センサ４が基板６３を検出すると、基板搬送ローラ３
が停止する。つぎに、第１１図（ｂ）に示されるように
、基板回転シリンダ９１によりストッパ回転シリンダ９
３が移動され、リンク９７が回動されて、基板６３が垂
直となり、基板６３の下端が基板ガイド９４の溝内に挿
入される。このとき、基板下降ローラ９５かその外側が
上方に移動する方向に微速で回転している。つぎに、第
１１図（Ｃ）に示されるように、ストッパ回転シリンダ
９３によりリンク９７、ストッパ９０が回動され、基板
６３がストッパ９０から離れる。つぎに、第１１図（ｄ
）に示されるように、基板下降ローラ９５により基板６
３が下降され、基板６３が収納かご６０の収納部に挿入
される。

第１２図はこの発明に係る他の基板収納装置の基板供給
部の一部を示す図である。図において、５６は基板収納
シリンダ１７に設けられた上昇端検出センサ、５７は基
板収納シリンダ１７に設けられた下降端検出センサで、
基板収納シリンダ１７を伸長した場合に、上昇端検出セ
ンサ５６がオフとなった時点から下降端検出センサ５７
がオンとなった時点までの時間しが所定値より太きいと
きには、基板収納シリンダ１７を縮小する。

この基板収納装置においては、まず、第１２図（ａ）に
示されるように、基板搬送ローラ３により基板６３がス
トッパ６に当たるまで水平に搬送され、基板検出センサ
４が基板６３を検出すると、基板搬送ローラ３が停止す
る。つぎに、受は板回転シリンダ７により基板受は板５
が回動されて、基板６３が垂直となる。つぎに、第１２
図（ｂ）に示されるように、基板把持移動シリンダ１４
により基板チャック１１が下降され、基板検出センサ９
が基板６３を検出すると、基板把持移動シリンダ１４が
停止し、中間位置保持シリンダ１５が伸長して、収納シ
リンダ取付ブロック１３の位置を固定する。つぎに、基
板把持シリンダ１０により基板チャック１１を作動し、
基板チャック１１により基板６３を把持すると、ストッ
パ６が後退する。つぎに、第１２図（Ｃ）に示されるよ
うに、基板収納シリンダ１７により基板チャック１１が
下降され、基板６３が収納かご６０の収納部に挿入され
る。この場合に、基板６３のそりや収納かご６０のゆが
み等によって基板６３を収納かご６０の収納部に収納で
きず、基板収納シリンダ１７が停止したときには、時間
りが所定値より太きくなるから、第１２図（ｄ）に示さ
れるように、基板収納シリンダ１７が縮小するので、基
板６３が上昇される。したがって、基板６３を損傷する
ことがない。つぎに、再度収納かご６０を１ピツチ移動
、位置決めしたのち、第１２図（ｅ）に示されるように
、基板収納シリンダ１７により基板チャック１１が下降
され、基板６３が収納かご６０の収納部に挿入される。

また、第１２図（ｆ）に示されるように、基板チャック
１１部に圧力センサ５８を設け、基板収納シリンダ１７
を伸長した場合に、圧力センサ５８の出力が大きくなっ
たときには、基板収納シリンダ１７を縮小するようにす
れば、基板６３のそりや収納かご６０のゆがみ等によっ
て基板６３を収納かご６０の収納部に収納できず、基板
収納シリンダ１７が停止したときには、圧力センサ５８
の出力が所定値より大きくなるから、基板収納シリンダ
１７が縮小するので、基板６３が上昇される。

したがって、基板６３が損傷することがない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明に係る基板収納装置にお
いては、かご分離供給部を設けているから、ストッパ機
構を用いる必要がないので、収納かごが損傷することが
ない。

また、かご位置決め部を設けているから、収納かごの変
形、ゆがみによって収納部の位置にバラツキがあったと
しても、収納かごの収納部を確実に位置決めすることが
できるので、確実に基板を収納かごの収納部に挿入する
ことができる。

さらに、基板供給部を設けているから、基板を直立した
状態で収納かごの収納部に挿入することができるので、
収納かごに確実に基板を収納することができ、基板を破
損することがない。

また、基板供給部と、接触検出装置とを設けているから
、基板を収納かどの収納部に収納できないときには、基
板の挿入を停止することができるので、基板が損傷する
ことがない。

さらに、かご分離供給部と、かご位置決め部と、基板供
給部と、接触検出装置とを設けているから、ストッパ機
構を用いる必要がないので、収納かごが損傷することが
なく、収納かごの変形、ゆがみによって収納部の位置に
バラツキがあったとしても、収納かごの収納部を確実に
位置決めすることができるので、確実に基板を収納かご
の収納部に挿入することができ、基板を直立した状態で
収納かごの収納部に挿入することができるので、収納か
ごに確実に基板を収納することができ、基板を破損する
ことがなく、基板を収納かごの収納部に収納できないと
きには、基板の挿入を停止することができるので、基板
が損傷することがない。

このように、この発明の効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る基板収納装置を示す斜視図、第
２図は第１図に示した基板収納装置の一部を示す図、第
３図〜第５図はそれぞれ第１図に示した基板収納装置の
一部を示す斜視図、第６図は第１図に示した基板収納装
置の一部を示す図、第７図は第１図に示した基板収納装
置の動作を説明するためのフローチャート、第８図はこ
の発明に係る他の基板収納装置の収納かご分離供給部の
一部を示す図、第９図はこの発明に係る他の基板収納装
置のかご位置決め部の一部を示す図、第１０図はこの発
明に係る他の基板収納装置のかご位置決め部の一部を示
す図、第１１図はこの発明に係る他の基板収納装置の基
板供給部の一部を示す図、第１２図はこの発明に係る他
の基板収納装置の基板供給部の一部を示す図である。 ５・・・基板受は板 ６・・・第１のストッパ ９・・・基板検出センサ １１・・・基板チャック ２０・・・第１のかご供給コンベア ２１・・・第２のかご供給コンベア ３４・・・かごクランプ ３６・・・かご位置決め移動テーブル ４２・・・第１の溝収納ガイド ４９・・・第３のかご供給コンベア ５３・・・第２の溝収納ガイド ５５・・・支柱 ５６・・・上昇端検出センサ ７・・・下降端検出センサ ８・・・圧力センサ Ｏ・・・収納かご ６・・・Ｘ−Ｙテーブル ９・・・くさびガイド ド・・かご分離供給部 ３・・・かご位置決め部 ５・・・基板搬送部 ６・・・姿勢変換部 ７・・・基板下降部 Ｏ・・・第２のストッパ ４・・・基板ガイド ５・・・基板下降ローラ ７・・・リンク ８・・・収納部位置決め部 ９・・・基板供給部

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. １．第１のかご供給コンベア、上記第１のかご供給コン
   ベアの下流側に接続された第２のかご供給コンベアおよ
   び上記第１のかご供給コンベアと上記第２のかご供給コ
   ンベアとの接続部の近傍に設けられたかご検出センサを
   有するかご分離供給部を具備することを特徴とする基板
   収納装置。
2. ２．上記第１のかご供給コンベアが作動している状態で
   上記かご検出センサが収納かごを検出したとき、検出時
   点から一定時間経過後に、上記第１のかご供給コンベア
   を停止するとともに、上記第２のかご供給コンベアのみ
   を回転させることを特徴とする請求項第１項記載の基板
   収納装置。
3. ３．上記第１のかご供給コンベアが作動している状態で
   上記かご検出センサが収納かごを検出したとき、検出時
   点から一定時間経過後に、上記第１のかご供給コンベア
   を逆転させるとともに、上記第２のかご供給コンベアを
   停止することを特徴とする請求項第１項記載の基板収納
   装置。
4. ４．移動可能に設けられたテーブルを有するかご送り部
   および上記テーブル上の収納かごの収納部の位置決めを
   する収納部位置決め部を有するかご位置決め部を具備す
   ることを特徴とする基板収納装置。
5. ５．上記テーブルに第３のかご供給コンベアが設けられ
   、上記収納部位置決め部が上記収納かごの支柱の間に挿
   入可能なくさびガイド、上記支柱の上部と当接すべきＵ
   字溝が設けられた溝収納ガイドおよびかごクランプを有
   することを特徴とする請求項第４項記載の基板収納装置
   。
6. ６．上記テーブルに第３のかご供給コンベアが設けられ
   、上記収納部位置決め部が上記収納かごの支柱の側部と
   当接すべき溝を有する収納ガイドおよびかごクランプを
   有することを特徴とする請求項第４項記載の基板収納装
   置。
7. ７．基板を水平状態で所定位置まで搬送する基板搬送部
   、上記基板搬送部によって搬送された上記基板を直立さ
   せる姿勢変換部および直立した上記基板を下降する基板
   下降部を有する基板供給部を具備することを特徴とする
   基板収納装置。
8. ８．上記姿勢変換部が回動可能に取り付けられた基板受
   け板および上記基板受け板に設けられた第１のストッパ
   を有し、上記基板下降部が基板チャックおよび直立した
   上記基板の上端を検出する基板検出センサを有すること
   を特徴とする請求項第７項記載の基板収納装置。
9. ９．上記姿勢変換部がリンクを介して回動可能に取り付
   けられた第２のストッパを有し、上記基板下降部が一対
   の基板ガイドおよび上記基板ガイドに取り付けられた基
   板下降ローラを有することを特徴とする請求項第７項記
   載の基板収納装置。
10. １０．基板を収納かごの収納部に挿入する基板供給部と
    、上記基板供給部により上記基板を上記収納部に挿入す
    るとき、上記基板が上記収納かご、上記基板と接触した
    ことを検出する接触検出装置とを具備することを特徴と
    する基板収納装置。
11. １１．上記基板供給部が基板収納シリンダを有し、上記
    接触検出装置が上記基板収納シリンダの伸長開始時点か
    ら伸長終了時点までの時間を検出することを特徴とする
    請求項第１０項記載の基板収納装置。
12. １２．上記基板供給部が基板収納シリンダを有し、上記
    接触検出装置が上記基板収納シリンダの伸縮方向に作用
    する力を検出することを特徴とする請求項第１０項記載
    の基板収納装置。
13. １３．第１のかご供給コンベア、上記第１のかご供給コ
    ンベアの下流側に接続された第２のかご供給コンベアお
    よび上記第１のかご供給コンベアと上記第２のかご供給
    コンベアとの接続部の近傍に設けられたかご検出センサ
    を有するかご分離供給部と、移動可能に設けられたテー
    ブルおよび上記テーブル上の収納かごの収納部の位置決
    めをする収納部位置決め部を有するかご位置決め部と、
    基板を水平状態で所定位置まで搬送する基板搬送部、上
    記基板搬送部によって搬送された上記基板を直立させる
    姿勢変換部および直立した上記基板を下降する基板下降
    部を有する基板供給部と、上記基板供給部により上記基
    板を上記収納部に挿入するとき、上記基板が上記収納か
    ご、上記基板と接触したことを検出する接触検出装置と
    をことを特徴とする基板収納装置。