JPH04203825A - クリーンルーム用パスボックス - Google Patents

クリーンルーム用パスボックス

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Publication number
JPH04203825A
JPH04203825A JP32978690A JP32978690A JPH04203825A JP H04203825 A JPH04203825 A JP H04203825A JP 32978690 A JP32978690 A JP 32978690A JP 32978690 A JP32978690 A JP 32978690A JP H04203825 A JPH04203825 A JP H04203825A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean room
pass box
clean
aeration port
material loading
Prior art date
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Pending
Application number
JP32978690A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Iijima
淳 飯島
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルーム用パスボックスに関する。
〔従来の技術〕
従来のパスボックスは、材料搬出入用の扉が付いている
だけのものや、材料・治工具等に付着しているゴミを取
り除くエアシャワー機能を有しているものが用いられて
いる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来のパスボックスにおいては、材料・治工具に付着し
ている塵埃が搬出入により飛散し、ボックス内を汚染す
る。またエアシャワー機能付のパスボックスは装置が大
がかりになる等の問題がある。
〔課題を解決するための手段］ 本発明は、パスボンクスρクリーンルーム内側と外側に
設けた通気口をクリーンルームの陽圧によりクリーンル
ーム内の清浄な空気を流すことにより、パスボックス内
を清浄な状態に保持するものである。
〔作用〕
パスボックスに通風口を設けることにより、パスボック
ス内にクリーンルームの清浄な空気を流し、清浄な状態
を保持する。
〔実施例〕
第１図に示すように、パスボックスのクリーンルーム側
材料搬出人扉２、上部のクリーンルーム側通気口４から
クリーンルーム外側材料搬出入扉シ ３下部のクリーンルーム外側通気口５に同かってクリー
ンルーム内の清浄な空気を流す。前記により、材料搬出
入により飛散した塵埃がクリーンルーム外側通気口５よ
り除去される。通気口４及び５の形状は円形とし、通気
口の総面積はパスボックス断面積の１１５〜１／ｌＯと
する。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は本発明の、ニ実旋削を示す上面図、第１
図（ｂ）は本発明の一実施例を示す側面図である。 １　パスボックス ２　クリーンルーム側材料搬出人扉 ３　クリーンルーム外側材料搬出大扉 ４　クリーンルーム側通気口 ５　クリーンルーム外側通気口 （ａ） （ｂ）　　　　第１■

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、クリーンルーム内側とクリーンルーム外側に通風口
    を設け、その通風口は、クリーンルーム内側ではパスボ
    ックスの上面に、クリーンルーム外側ではパスボックス
    の下面に開口し、クリーンルームの陽圧により、前記通
    風口を通ってパスボックス内にクリーンルーム内の清浄
    な空気を流すことを特徴とするクリーンルーム用パスボ
    ックス
JP32978690A 1990-11-30 1990-11-30 クリーンルーム用パスボックス Pending JPH04203825A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006068122A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Shibuya Kogyo Co Ltd アイソレータシステム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006068122A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Shibuya Kogyo Co Ltd アイソレータシステム
JP4529593B2 (ja) * 2004-08-31 2010-08-25 澁谷工業株式会社 アイソレータシステム

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