JPH04199557A - 半導体装置用リードフレーム - Google Patents
半導体装置用リードフレームInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
この発明は、半導体装置用リードフレームのダイパッド
部に、半導体素子をろう付けする際のろう材のサポート
バーへの流出を防止した半導体装置用リードフレームに
関するものである。
部に、半導体素子をろう付けする際のろう材のサポート
バーへの流出を防止した半導体装置用リードフレームに
関するものである。
[従来の技術]
第3図および第4図は従来より一般的に用いられている
この種のろう材の流れ止め構造を示す平面図および側断
面図である。
この種のろう材の流れ止め構造を示す平面図および側断
面図である。
これらの図において、1はリードフレーム、2はこのリ
ードフレーム1のダイパッド部、3はこのダイパッド部
2を連結保持するサポートバー、5は前記ダイパッド部
2にグイボンドされた半導体素子、6は接合のためのメ
ツキ層、7は前記ダイパッド部2上に半導体素子5を固
着するろう材、8はワイヤボンド用の金属細線である。
ードフレーム1のダイパッド部、3はこのダイパッド部
2を連結保持するサポートバー、5は前記ダイパッド部
2にグイボンドされた半導体素子、6は接合のためのメ
ツキ層、7は前記ダイパッド部2上に半導体素子5を固
着するろう材、8はワイヤボンド用の金属細線である。
また、4aは前記サポートバー3のダイパッド部2近傍
に形成されたろう材7の流出防止用の溝である。
に形成されたろう材7の流出防止用の溝である。
これらの満4aの形状は、金属板、例えば鉄−ニッケル
合金や銅製の板を所定のリードフレーム形状に打抜き、
またはエツチング加工技術により形成する際に、合わせ
て加工された後、グイボンディングやワイヤボンディン
グを容易ならしめるために、銀メツキ等のメツキ層6が
形成される。
合金や銅製の板を所定のリードフレーム形状に打抜き、
またはエツチング加工技術により形成する際に、合わせ
て加工された後、グイボンディングやワイヤボンディン
グを容易ならしめるために、銀メツキ等のメツキ層6が
形成される。
したがって、溝48にもこれらのメツキ層6が形成され
る。
る。
この溝48はサポートパー3上にもワイヤボンディング
が必要な半導体装置において、サポートバー3のワイヤ
ボンディング領域へのグイボンドろう材7の溶融・拡散
を防ぐため、ろう材7の溜り場に供する目的で設けられ
る。
が必要な半導体装置において、サポートバー3のワイヤ
ボンディング領域へのグイボンドろう材7の溶融・拡散
を防ぐため、ろう材7の溜り場に供する目的で設けられ
る。
[発明が解決しようとする課題]
従来の半導体装置用リードフレームは、以上のように構
成されているので、溝48にもろう材7の濡れ性をよく
するAgメツキ等のメツキ層6が施されており、かつ溝
形状もサポートパー3自身の強度を著しく低下させない
ため、サポートバー3の幅を完全に横切った溝構造にし
ていないため、ろう材7が溝4aを越えてワイヤボンド
領域にまで流れ出す問題点があった。
成されているので、溝48にもろう材7の濡れ性をよく
するAgメツキ等のメツキ層6が施されており、かつ溝
形状もサポートパー3自身の強度を著しく低下させない
ため、サポートバー3の幅を完全に横切った溝構造にし
ていないため、ろう材7が溝4aを越えてワイヤボンド
領域にまで流れ出す問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ろう材の流れ止めを確実にでき、かつサポ
ートバーの強度を著しく低下させることのない半導体装
置用リードフレームを得ることを目的とする。
れたもので、ろう材の流れ止めを確実にでき、かつサポ
ートバーの強度を著しく低下させることのない半導体装
置用リードフレームを得ることを目的とする。
[課題を解決するための手段1
この発明に係る半導体装置用リードフレームは、サポー
トバーのダイパッド部付は根の極く近傍表面に並列もし
くは交差する複数のろう材の流出防止用溝を形成したも
のである。
トバーのダイパッド部付は根の極く近傍表面に並列もし
くは交差する複数のろう材の流出防止用溝を形成したも
のである。
[作用1
この発明においては、リードフレームのダイパッド部と
、このダイパッド部を連結するサポートバーのダイパッ
ド部近傍へメツキ層を形成した後に、ダイパッド部の付
は根近傍表面にろう材の流出防止用溝を形成したので、
溝加工部のメツキ金属の排斥を行うとともに、交差する
満開平面に残されたメツキ残存部が溝部に比べ溶融・拡
散してきたろう材への濡れ性がよいことから、ろう材は
満開平面部で捕獲されてたまりやすくなり、他部分への
ろう材の流出や拡散を抑制する。
、このダイパッド部を連結するサポートバーのダイパッ
ド部近傍へメツキ層を形成した後に、ダイパッド部の付
は根近傍表面にろう材の流出防止用溝を形成したので、
溝加工部のメツキ金属の排斥を行うとともに、交差する
満開平面に残されたメツキ残存部が溝部に比べ溶融・拡
散してきたろう材への濡れ性がよいことから、ろう材は
満開平面部で捕獲されてたまりやすくなり、他部分への
ろう材の流出や拡散を抑制する。
〔実施例]
以下、この発明の一実施例を図面について説明する。
第1図はこの発明における半導体装置用リードフレーム
の要部の平面図であり、第2図はその側断面図である。
の要部の平面図であり、第2図はその側断面図である。
第1図において、第2図と同一符号は同一構成部分を示
し、4は前記サポートバー3のダイパッド部2の付は根
の極く近傍表面に形成された、例えば直線溝を交差させ
た基盤目状の■もしくはU形状の流出防止用溝である。
し、4は前記サポートバー3のダイパッド部2の付は根
の極く近傍表面に形成された、例えば直線溝を交差させ
た基盤目状の■もしくはU形状の流出防止用溝である。
上記のように、ダイパッド部2の付は根近傍のサポート
バー表面に基盤目状の■またはU形状のろう材7の流出
防止用溝4を形成したことにより、この流出防止用溝4
内はメツキ層6およびろう材7が除去されており、した
がって、サポートパー3上の方がろう材濡れ性がよいの
で、半導体素子5のダイパッド部2へのグイボンド時の
ろう材7は他部分へ流出することがなくなる。
バー表面に基盤目状の■またはU形状のろう材7の流出
防止用溝4を形成したことにより、この流出防止用溝4
内はメツキ層6およびろう材7が除去されており、した
がって、サポートパー3上の方がろう材濡れ性がよいの
で、半導体素子5のダイパッド部2へのグイボンド時の
ろう材7は他部分へ流出することがなくなる。
なお、゛上記実施例では、流出防止用溝4の溝形状を基
盤目上としたが、これに限らず、サポートバー3の引き
出し線方向に直角な直線溝を複数本並列に形成すること
によっても同様の効果を奏する。
盤目上としたが、これに限らず、サポートバー3の引き
出し線方向に直角な直線溝を複数本並列に形成すること
によっても同様の効果を奏する。
[発明の効果]
以上説明したように、この発明は、サポートバーのダイ
パッド部付は根の極く近傍表面に並列もしくは交差する
複数のろう材の流出防止用溝を形成したので、流出防止
用溝部分にはメツキ層が存在せず、したがって、流出防
止用溝に対しサポートバー上のろう材濡れ性がよいこと
から、半導体素子のダイパッド部へのろう付けの際のろ
う材の流出は複数本の流出防止用溝によってその流出が
防止され、ろう材の流れ止めを確実に行うことができる
。
パッド部付は根の極く近傍表面に並列もしくは交差する
複数のろう材の流出防止用溝を形成したので、流出防止
用溝部分にはメツキ層が存在せず、したがって、流出防
止用溝に対しサポートバー上のろう材濡れ性がよいこと
から、半導体素子のダイパッド部へのろう付けの際のろ
う材の流出は複数本の流出防止用溝によってその流出が
防止され、ろう材の流れ止めを確実に行うことができる
。
第1図はこの発明の一実施例による半導体装置用リード
フレームの要部の平面図、第2図は、第1図の側断面図
、第3図は従来の半導体装置用リードフレームの要部の
平面図、第4図は、第3図の側断面図である。 図において、1はリードフレーム、2はダイパッド部、
3はサポートバー、4は流出防止用溝、5は半導体素子
、6はメツキ層、7はろう材、8はワイヤボンド用金属
細線である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
フレームの要部の平面図、第2図は、第1図の側断面図
、第3図は従来の半導体装置用リードフレームの要部の
平面図、第4図は、第3図の側断面図である。 図において、1はリードフレーム、2はダイパッド部、
3はサポートバー、4は流出防止用溝、5は半導体素子
、6はメツキ層、7はろう材、8はワイヤボンド用金属
細線である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体素子をろう付けするダイパッド部を連結保持する
サポートバーを有し、前記半導体素子と外部リードとを
金属細線でワイヤボンディングするインナーリード部を
備えたリードフレームにおいて、前記サポートバーのダ
イパッド部付け根の極く近傍表面に並列もしくは交差す
る複数のろう材の流出防止用溝を形成したことを特徴と
する半導体装置用リードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2335328A JPH04199557A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置用リードフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2335328A JPH04199557A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置用リードフレーム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04199557A true JPH04199557A (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=18287292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2335328A Pending JPH04199557A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置用リードフレーム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04199557A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109623071A (zh) * | 2017-10-06 | 2019-04-16 | 肖特股份有限公司 | 具有钎焊接地插脚的基体及其制造方法和用途 |
WO2019167218A1 (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-06 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2335328A patent/JPH04199557A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109623071A (zh) * | 2017-10-06 | 2019-04-16 | 肖特股份有限公司 | 具有钎焊接地插脚的基体及其制造方法和用途 |
US11205610B2 (en) | 2017-10-06 | 2021-12-21 | Schott Ag | Base body with soldered-on ground pin, method for its production and uses thereof |
WO2019167218A1 (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-06 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
JP6619119B1 (ja) * | 2018-03-01 | 2019-12-11 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
CN111373517A (zh) * | 2018-03-01 | 2020-07-03 | 新电元工业株式会社 | 半导体装置 |
CN111373517B (zh) * | 2018-03-01 | 2024-03-19 | 新电元工业株式会社 | 半导体装置 |
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