JPH04195924A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH04195924A JPH04195924A JP33241890A JP33241890A JPH04195924A JP H04195924 A JPH04195924 A JP H04195924A JP 33241890 A JP33241890 A JP 33241890A JP 33241890 A JP33241890 A JP 33241890A JP H04195924 A JPH04195924 A JP H04195924A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は長帯状の高分子基板の幅方向に磁化容易方向を
持たせることにより高密度記録再生特性を向上させた薄
膜型の磁気記録媒体の製造装置に関する。
持たせることにより高密度記録再生特性を向上させた薄
膜型の磁気記録媒体の製造装置に関する。
従来の技術
磁気記録再生装置の扱う情報量の増大や機器の小型化に
ともない、磁気記録媒体の高密度化に対する要求は強ま
る一方である。これによって従来の塗布型の磁気記録媒
体のみならず、高密度記録に適した合金薄膜型の磁気記
録媒体が天川化されるに至っている。合金薄膜型の磁気
記録媒体は、優れた短波長記録再生特性を有し、高密度
記録に適している。合金薄膜型の磁気記録媒体における
磁性層としては、Ｃｏ−０，Ｃｏ−Ｎｉ−０，Ｃ。
ともない、磁気記録媒体の高密度化に対する要求は強ま
る一方である。これによって従来の塗布型の磁気記録媒
体のみならず、高密度記録に適した合金薄膜型の磁気記
録媒体が天川化されるに至っている。合金薄膜型の磁気
記録媒体は、優れた短波長記録再生特性を有し、高密度
記録に適している。合金薄膜型の磁気記録媒体における
磁性層としては、Ｃｏ−０，Ｃｏ−Ｎｉ−０，Ｃ。
−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｆｅ−０，Ｆｅ−０なとの面内記録
用薄膜、およびＣｏ−Ｃｒ、 Ｃｏ−Ｃｒ −Ｎｉ、
Ｃｏ−○、Ｃｏ−Ｎｉ−０．Ｃｏ−Ｃｒ −Ｍｏ、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｗ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ、Ｃ。
用薄膜、およびＣｏ−Ｃｒ、 Ｃｏ−Ｃｒ −Ｎｉ、
Ｃｏ−○、Ｃｏ−Ｎｉ−０．Ｃｏ−Ｃｒ −Ｍｏ、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｗ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ、Ｃ。
−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｖ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ａｊ！などのＣ
ｏ基合金からなる垂直記録用薄膜が有望である０合金薄
膜型の磁気記録媒体の製造方法としては、真空蒸着法、
スパッタリング法、めっき法などがあるが、磁気テープ
のように、安価に大量に媒体を形成するためには、真空
１着法が最も適している。
ｏ基合金からなる垂直記録用薄膜が有望である０合金薄
膜型の磁気記録媒体の製造方法としては、真空蒸着法、
スパッタリング法、めっき法などがあるが、磁気テープ
のように、安価に大量に媒体を形成するためには、真空
１着法が最も適している。
発明が解決しようとする課題
真空中の薄膜形成、たとえば真空蒸着法により磁気テー
プを形成する際、基板の法線に対する蒸着原子の入射方
向を適切に制御することは、非常に重要である。特に面
内記録媒体の中でも重要なｃｏ−Ｎｌ−Ｏ金属蒸着テー
プ（ＭＥテープ）の場合には、基板の法線方向と蒸着原
子の入射方向のなす角が９０°近いものを利用している
。このためＭＥテープの場合には、磁化容易方向が膜面
に垂直方向から約７０°くらい傾いており、記録再生す
る際、テープの走行方向とヘッドの走行方向により出力
差がでることが報告されている（篠原、吉田、小田桐、
蓬郷：金属蒸着テープの柱状構造と性質、アイ・イー・
イー・イー、磁気に関する報告書、２０Ｓ、５号、８２
４項、１９８４年［Ｋ、５Ｈ１１１０ＨＡＲＡ、Ｈ，Ｙ
Ｏ５）ＩＩＤＡ、Ｍ、０ＤＡＧＩＲＩ ＡＮＤ Ａ、Ｔ
ＯＭＡ−ＧＯ：ＣＯＬＵＭＮＥＲ５ＴＲ１ｌＣＴＵＲＥ
ＯＦ ＭＥ丁八へ−ＥνＡＰＯＲＡＴＥ［］ＴＡ
ＰＥ、ＩＥＥＥ 丁ｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ
Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ、Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２０、Ｎｏ
、５．ｐ、８２４（１９８４） ］ ） 、また垂垂直
記録チーにおいては、本来は作製時において、基板の法
線方向と、蒸着原子の入射方向はほぼ一致しており、し
たがって記録再生時に、テープとヘッドの進行方向によ
る差はない、しかしながら、現在一般に利用されている
リングへノドと、垂直磁気記録媒体を組み合わせた記録
再生の時には、媒体の作製時において基板の法線に対し
て蒸着原子の入射方向を傾けた方（斜め入射）が記録再
生特性が向上する（越後、東間、杉田、太田：電子情報
通信学会、磁気記録研究会資料、ＭＲ９０−１５，ｐ３
９．１９９０年、垂直磁気テープを用いた画像データ記
録）、ところが、このように基板の法線と蒸発原子の入
射方向が一致しないと、記録再生時において、テープと
ヘッドの走行方向によっては、再生波形が変化したり、
出力が変動したりする可能性がある。
プを形成する際、基板の法線に対する蒸着原子の入射方
向を適切に制御することは、非常に重要である。特に面
内記録媒体の中でも重要なｃｏ−Ｎｌ−Ｏ金属蒸着テー
プ（ＭＥテープ）の場合には、基板の法線方向と蒸着原
子の入射方向のなす角が９０°近いものを利用している
。このためＭＥテープの場合には、磁化容易方向が膜面
に垂直方向から約７０°くらい傾いており、記録再生す
る際、テープの走行方向とヘッドの走行方向により出力
差がでることが報告されている（篠原、吉田、小田桐、
蓬郷：金属蒸着テープの柱状構造と性質、アイ・イー・
イー・イー、磁気に関する報告書、２０Ｓ、５号、８２
４項、１９８４年［Ｋ、５Ｈ１１１０ＨＡＲＡ、Ｈ，Ｙ
Ｏ５）ＩＩＤＡ、Ｍ、０ＤＡＧＩＲＩ ＡＮＤ Ａ、Ｔ
ＯＭＡ−ＧＯ：ＣＯＬＵＭＮＥＲ５ＴＲ１ｌＣＴＵＲＥ
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ＰＥ、ＩＥＥＥ 丁ｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ
Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ、Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２０、Ｎｏ
、５．ｐ、８２４（１９８４） ］ ） 、また垂垂直
記録チーにおいては、本来は作製時において、基板の法
線方向と、蒸着原子の入射方向はほぼ一致しており、し
たがって記録再生時に、テープとヘッドの進行方向によ
る差はない、しかしながら、現在一般に利用されている
リングへノドと、垂直磁気記録媒体を組み合わせた記録
再生の時には、媒体の作製時において基板の法線に対し
て蒸着原子の入射方向を傾けた方（斜め入射）が記録再
生特性が向上する（越後、東間、杉田、太田：電子情報
通信学会、磁気記録研究会資料、ＭＲ９０−１５，ｐ３
９．１９９０年、垂直磁気テープを用いた画像データ記
録）、ところが、このように基板の法線と蒸発原子の入
射方向が一致しないと、記録再生時において、テープと
ヘッドの走行方向によっては、再生波形が変化したり、
出力が変動したりする可能性がある。
現在市販されている家庭用のビデオテープレコーダ（Ｖ
ＴＲ）においては、磁気テープを効率よく使うために、
テープの長手方向に対して、へノドが斜めに走査するヘ
リカルスキャン方式が採用されている。また２つのヘッ
ドを用い、２つのヘッドの記録する方向をヘッドの走行
方向に対して互いに反対に同じ角度（アジマス角）だけ
傾けておくアジマス方式も採用されている。このため、
２つのヘッドが記録する信号の記録されている方向が異
なっている。
ＴＲ）においては、磁気テープを効率よく使うために、
テープの長手方向に対して、へノドが斜めに走査するヘ
リカルスキャン方式が採用されている。また２つのヘッ
ドを用い、２つのヘッドの記録する方向をヘッドの走行
方向に対して互いに反対に同じ角度（アジマス角）だけ
傾けておくアジマス方式も採用されている。このため、
２つのヘッドが記録する信号の記録されている方向が異
なっている。
斜方定着により作製された磁気記録媒体を用いて記録再
生を行うと、アジマス方式のために、２つのヘッドのう
ち片側の出力がもう一方に比べて低下してしまうという
問題点があった。また、高密度記録になるほどクロスト
ークを防く観点から、アノマス角は大きくなる傾向があ
り、この欠点がさらに大きくなる可能性があった。
生を行うと、アジマス方式のために、２つのヘッドのう
ち片側の出力がもう一方に比べて低下してしまうという
問題点があった。また、高密度記録になるほどクロスト
ークを防く観点から、アノマス角は大きくなる傾向があ
り、この欠点がさらに大きくなる可能性があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、高密
度記録において優れた磁気記録媒体を製造することがで
きる製造装置を提供することを目的とする。
度記録において優れた磁気記録媒体を製造することがで
きる製造装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明は、真空中で円筒状キ
ャンの周面に高分子基板を沿わせつつ、前記高分子基板
上に直接または非磁性下地層を介して磁性層を形成する
巻取り式Ｔｉｌ膜形成装置において、前記円筒状キャン
の回転軸を水平方向より傾けて製造装！を構成したもの
である。
ャンの周面に高分子基板を沿わせつつ、前記高分子基板
上に直接または非磁性下地層を介して磁性層を形成する
巻取り式Ｔｉｌ膜形成装置において、前記円筒状キャン
の回転軸を水平方向より傾けて製造装！を構成したもの
である。
作用
本発明の磁気記録媒体の製造装！を用いて薄膜型の磁気
記録媒体を製造すると、薄膜形成装置の円筒状キャンの
回転軸が水平より傾いているので、磁性層がフィルムの
幅方向（ＴＤ方向）に傾いて成長し、磁化容易方向はＴ
Ｄ方向にも傾く。そのために、本発明の装置で作製した
媒体は従来の媒体に比べて、ヘリカルスキャン方式にお
いて記録再生する際に大きな出力が得られる。またアノ
マス記録方式により記録する際に、２つのへノドから得
られた再生出力が同等になり、この方式による出力の低
下を最小限に抑えられる。
記録媒体を製造すると、薄膜形成装置の円筒状キャンの
回転軸が水平より傾いているので、磁性層がフィルムの
幅方向（ＴＤ方向）に傾いて成長し、磁化容易方向はＴ
Ｄ方向にも傾く。そのために、本発明の装置で作製した
媒体は従来の媒体に比べて、ヘリカルスキャン方式にお
いて記録再生する際に大きな出力が得られる。またアノ
マス記録方式により記録する際に、２つのへノドから得
られた再生出力が同等になり、この方式による出力の低
下を最小限に抑えられる。
実施例
以下本発明の磁気記録媒体の製造装置を真空蒸着法によ
る実施例に基づいて説明する。
る実施例に基づいて説明する。
第１図（ａ）、ら）は本発明の磁気記録媒体の製造装置
の一例の要部正面図と側面図である０図において、巻出
しロール２から巻出された高分子基板ｌは、円筒状キャ
ン４の周面上で、矢印Ｂ方向に走行し、蒸発源７からで
た蒸発原子６が付着し磁性層が形成され、巻取りロール
３に巻き取られる。
の一例の要部正面図と側面図である０図において、巻出
しロール２から巻出された高分子基板ｌは、円筒状キャ
ン４の周面上で、矢印Ｂ方向に走行し、蒸発源７からで
た蒸発原子６が付着し磁性層が形成され、巻取りロール
３に巻き取られる。
５は蒸発原子６の入射角を規制するためのマスクである
。高分子基板１としては、ポリエチレンテレフタレート
ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミドな
どのフィルムがある。ｆ発Ｂ７としては、電子ビーム遺
発源が一般的である。
。高分子基板１としては、ポリエチレンテレフタレート
ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミドな
どのフィルムがある。ｆ発Ｂ７としては、電子ビーム遺
発源が一般的である。
また蒸発源に用いられる元素としては、Ｃｏ。
Ｎｉ、 Ｃｒ、 Ｆｅ、 Ｍｏ、 Ｗ、 Ｔａ、 Ｖ、
ＡＮおよびこれらの合金があげられる。また第１図に
示す本発明の磁気記録媒体の製造装置は、構成要素とし
ては従来の磁気記録媒体の製造装置と同しであるが、円
筒状キャン４の回転軸Ａが水平から傾いている点が従来
の装置と異なっている。また第１図においては、巻出し
ロール２１巻取りロール３を含む走行系全体が水平から
傾いているが、水平から傾かせるのは円筒状キャン４だ
けでもよい。
ＡＮおよびこれらの合金があげられる。また第１図に
示す本発明の磁気記録媒体の製造装置は、構成要素とし
ては従来の磁気記録媒体の製造装置と同しであるが、円
筒状キャン４の回転軸Ａが水平から傾いている点が従来
の装置と異なっている。また第１図においては、巻出し
ロール２１巻取りロール３を含む走行系全体が水平から
傾いているが、水平から傾かせるのは円筒状キャン４だ
けでもよい。
次に、第１図の真空蒸着装置を用いてＣ０−Ｎ ｉ−０
１ｇ着テープを作製する例をより具体的に説明する。ま
ず基板としては５０ｃｍ幅のポリエチレンテレフタレー
ト基板を用い、芸発源としてはＣｏ−３０ｗｔ％Ｎｉ合
金を用いた。円筒状キャンの回転軸の水平からの傾き角
は１０°とした。
１ｇ着テープを作製する例をより具体的に説明する。ま
ず基板としては５０ｃｍ幅のポリエチレンテレフタレー
ト基板を用い、芸発源としてはＣｏ−３０ｗｔ％Ｎｉ合
金を用いた。円筒状キャンの回転軸の水平からの傾き角
は１０°とした。
この円筒状キャンの傾き角および傾きの方向は、磁気テ
ープの磁化容易軸の媒体面内成分の向きと、磁気ヘッド
の走査方向がほぼ一致するように選択するのが望ましい
。このときテープの幅方向で遺発レートに差ができない
ように、蒸発源の幅方向で電子ビームの強さを調節した
。円筒状キャンとしては、水冷によりほぼ室温に冷却さ
れたものを用いた。またマスクはテープの長手方向に９
０″′から５０°までの入射角で謂発原子が基板に到達
するよう設定した。このような真空蒸着装置の内部をｌ
Ｘ１０’Ｔｏｒｒ以下に排気した後、０２をｌｊ！／ｍ
ｉｎの速度で流しながら、５０ｍ／ｗｉｎのテープ搬送
速度で約０．２μｍ厚のＣｏ−Ｎｉ−〇磁気テープを形
成した。これを市販の８＝ビデオデツキを用いて、２つ
のへノド出力を別々に検出して評価した。ただし今回用
いた８１ｍＩ＋ビデオデンキにおいては、ヘッドのアジ
マス角は２０°と、通常の８■ビデオデツキの２倍にし
である。これは、将来の高密度記録においてさらにアジ
マス角が大きくなるのが予想されるためである。次の表
にこの結果を従来の例と比較して示す。
ープの磁化容易軸の媒体面内成分の向きと、磁気ヘッド
の走査方向がほぼ一致するように選択するのが望ましい
。このときテープの幅方向で遺発レートに差ができない
ように、蒸発源の幅方向で電子ビームの強さを調節した
。円筒状キャンとしては、水冷によりほぼ室温に冷却さ
れたものを用いた。またマスクはテープの長手方向に９
０″′から５０°までの入射角で謂発原子が基板に到達
するよう設定した。このような真空蒸着装置の内部をｌ
Ｘ１０’Ｔｏｒｒ以下に排気した後、０２をｌｊ！／ｍ
ｉｎの速度で流しながら、５０ｍ／ｗｉｎのテープ搬送
速度で約０．２μｍ厚のＣｏ−Ｎｉ−〇磁気テープを形
成した。これを市販の８＝ビデオデツキを用いて、２つ
のへノド出力を別々に検出して評価した。ただし今回用
いた８１ｍＩ＋ビデオデンキにおいては、ヘッドのアジ
マス角は２０°と、通常の８■ビデオデツキの２倍にし
である。これは、将来の高密度記録においてさらにアジ
マス角が大きくなるのが予想されるためである。次の表
にこの結果を従来の例と比較して示す。
表
ここで従来例とは、円筒状キャンの回転軸が水平であり
、そのために走行系全体も傾いていない点を除いては、
全く本実施例と同し方法で作製した媒体である。また上
記表では便宜上８閣ビデオデツキの２つのヘッドをＲお
よびＬとしている。
、そのために走行系全体も傾いていない点を除いては、
全く本実施例と同し方法で作製した媒体である。また上
記表では便宜上８閣ビデオデツキの２つのヘッドをＲお
よびＬとしている。
そして実施例と、従来例についてＲとＬのヘッドの出力
を、従来例のＲヘッド出力を基準にしてｄＢ単位で示し
である。上記表より、従来例の媒体が、Ｒヘッドの出力
に比べてＬのへノド出力が大きく落ちるのに対して、本
発明の実施例の媒体は、Ｒ，Ｌともに大きな出力を維持
していることがわかる。この原因は、本発明の媒体の磁
化容易軸がほぼヘッドの走行方向に一致しており、アノ
マスによる出力の低下を２つのヘッドに均等に割り振り
、最小限としているためである。
を、従来例のＲヘッド出力を基準にしてｄＢ単位で示し
である。上記表より、従来例の媒体が、Ｒヘッドの出力
に比べてＬのへノド出力が大きく落ちるのに対して、本
発明の実施例の媒体は、Ｒ，Ｌともに大きな出力を維持
していることがわかる。この原因は、本発明の媒体の磁
化容易軸がほぼヘッドの走行方向に一致しており、アノ
マスによる出力の低下を２つのヘッドに均等に割り振り
、最小限としているためである。
以上は、Ｃｏ−Ｎｉ−０面内記録媒体の場合について説
明したが、他の面内記録媒体や、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃ
ｒ−Ｎｉ、Ｃｏ−〇、Ｃｏ−Ｎｉ−０などの垂直磁気記
録媒体の場合にも磁化容易軸が垂直から傾いている場合
には本発明の製造装置は有効である。
明したが、他の面内記録媒体や、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃ
ｒ−Ｎｉ、Ｃｏ−〇、Ｃｏ−Ｎｉ−０などの垂直磁気記
録媒体の場合にも磁化容易軸が垂直から傾いている場合
には本発明の製造装置は有効である。
なお、磁性層を形成する方法として実施例の真空蒸着法
のほか、通常金属薄膜形成に用いられるスパッタリング
法、イオンブレーティング法などにおいても有効である
。
のほか、通常金属薄膜形成に用いられるスパッタリング
法、イオンブレーティング法などにおいても有効である
。
発明の効果
以上のような本発明の磁気記録媒体の製造装置によれば
、長帯状高分子基板の幅方向に磁化容易方向を持たせる
ことができ、高密度記録において優れた磁気記録媒体を
簡便な手段で製造できる。
、長帯状高分子基板の幅方向に磁化容易方向を持たせる
ことができ、高密度記録において優れた磁気記録媒体を
簡便な手段で製造できる。
第１図（ａ）、■）は本発明の磁気記録媒体の製造装置
の一実施例の要部正面図と側面図である。 １・・・・・・高分子基板、２・・・・・巻出しロール
、３・・・・・・巻取りロール、４・・・・・・円筒状
キャン、５・・・・・・マスク、６・・・・・・蒸発原
子、７・・・・・・萎発源、Ａ・・・・・・円筒状キャ
ンの回転軸、Ｂ・・・・・・高分子基板の走行方向。 代理人の氏名 弁理士小櫂治明 ほか２名ｋ（’ｑう１
噴Ｓ ｂ ７ 鳴
の一実施例の要部正面図と側面図である。 １・・・・・・高分子基板、２・・・・・巻出しロール
、３・・・・・・巻取りロール、４・・・・・・円筒状
キャン、５・・・・・・マスク、６・・・・・・蒸発原
子、７・・・・・・萎発源、Ａ・・・・・・円筒状キャ
ンの回転軸、Ｂ・・・・・・高分子基板の走行方向。 代理人の氏名 弁理士小櫂治明 ほか２名ｋ（’ｑう１
噴Ｓ ｂ ７ 鳴
Claims (1)
- 真空中で円筒状キャンの周面に高分子基板を沿わせつつ
、前記高分子基板上に直接または非磁性下地層を介して
磁性層を形成する巻取り式の薄膜形成装置において、前
記円筒状キャンの回転軸を水平方向より傾けたことを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33241890A JPH04195924A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33241890A JPH04195924A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04195924A true JPH04195924A (ja) | 1992-07-15 |
Family
ID=18254749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33241890A Pending JPH04195924A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04195924A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0617082A (ja) * | 1992-03-11 | 1994-01-25 | Loders Croklaan Bv | ハードストック脂肪添加物を含有する改良チョコレート組成物 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP33241890A patent/JPH04195924A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0617082A (ja) * | 1992-03-11 | 1994-01-25 | Loders Croklaan Bv | ハードストック脂肪添加物を含有する改良チョコレート組成物 |
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