JPH04186814A - タンタル固体電解コンデンサの製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はタンタル固体電解コンデンサの製法の改良に関
する。

従来の技術 従来、タンタル固体電解コンデンサは、タンクル粉末を
成形焼結して製作した多孔質焼結体を用い、この焼結体
を陽極化成し、酸化皮膜を形成し、ついで硝酸マンガン
水溶液中で浸漬−焼成を行って酸化マンガン層を形成し
、更にカーボン層、銀ペースト層を形成して陰極層を設
ける構造となっている。

ところで、高周波領域で用いられる電子回路に組込まれ
るコンデンサは高周波領域においてインピーダンスの低
いものが要求される。

発明か解決しようとする課題 従来のタンタル固体電解コンデンサは酸化マンガン層と
カーボン層とか吸湿、急熱作用により剥片することがあ
り、また密着性が不十分なためにより両層間の接触抵抗
が大きくなり、インピーダンスを小さくできない原因と
なっている。

本発明はインピーダンスの低いタンタル固体電解コンデ
ンサを提供しようとするものである。

課題を解決するための手段 本発明は酸化マンガン層の表面に、減圧下で導電性金属
微粉をエアロゾル状にして噴射し、導電金属層を形成し
、この導電性金属層の上に導電性ペーストを形成するこ
とを特徴とするタンタル固体電解コンデンサの製法を提
供する。

導電性金属としては、銅、銀−ニッケルーチタン−アル
ミニウム２金等か適する。

作用 導電性金属はカーボンと対比し、酸化マンガン層との密
着性に優れ一接触抵抗が小さいので、コンデンサのイン
ピーダンスを小さくできる。導電性金属をカスデポジシ
ョン法を用いて形成すれば焼結体の内部にまで確実に金
属層を形成することができる。

実施例 本発明の詳細な説明すると、タンタル多孔質焼結体（０
，４２ｘ１．０２ｘ１．１２正の角形形状で０．２ｍ＋
のタンタル線付き）の表面に公知の製法で陽極化成法で
酸化タンタルの皮膜を形成し、次いで硝酸マンガン溶液
中に浸漬し、焼成し酸化マンガン層を形成する。

この焼結体を超微粒子生成室、差動排気室、膜形成室及
び搬送管よりなるカス子ポジション装置内に入れ、超微
粒子生成室で作った導電性金属粉を高速噴射して焼結体
上に導電性金属層を形成する。このとき膜形成室内はり
、３Ｐａに保持されている。なお、超微粒子の生成は約
１３ＫＰａのアルゴン雰囲気中で行ない、銅、金、銀の
ときは抵抗加熱法で、チタン、二・ソケルはアーク加熱
法により蒸発させた。

この導電性金属層を形成した後、公知の方法により、導
電性ペーストを用い陰極層を形成し、陰極は導電ペース
トで、陽極は？８接により、それぞれリードフレームに
接続して、素子全体を樹脂で外装し、タンタルコンデン
サを製造する。

従来の製法で作製したコンデンサと、本発明の実施例に
基づいて作製したコンデンサを用い一１２１℃、２に＋
ｒ／′−飽和水蒸気中に１６時間保持した後、２６０°
Ｃの溶融はんだ中にティップし、１００ＫＨｚでインピ
ーダンスを測定した。その結果を第１図に示す、なお、
測定数は各３０個である。

発明の効果 本発明は以上に述べた如き構成のもので、導電性金属超
微粒を低圧カス雰囲気中で噴射して金属層を形成するこ
とにより、インピーダンスの低いコンデンサを得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来方法と本発明とのインピーダンスを示すグ
ラフである。 特許出願人　日立ニーアイシー株式会社＼７へも一１Ｎ
・＼Ｋ　＝弓　已

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）タンタル多孔質焼結体を作製する工程と、この焼
   結体を陽極化成して酸化皮膜を形成する工程と、次いで
   この焼結体を硝酸マンガン溶液中に浸漬し、焼成して酸
   化マンガン層を形成する工程と、この焼結体に減圧下で
   導電性金属微粉をエアロゾル状で噴射し導電金属層を形
   成する工程と、その上に導電性ペースト層を被覆する工
   程とからなるタンタル固体電解コンデンサの製法。