JPH04174364A - 加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［ａ東上の利用分野］ 本発明は、例えば自動車等に取付けて使用される片持ち
粱式厚膜加速度センサに関するものである。

［従来の技術］ 従来のこの種の片持ち粱式厚膜加速度センサの構成とし
ては、第４図乃至第６図に示す如き構造のものがある。

１及び２は上下一対のケースであって、この双方のケー
ス１と２とによって、長方形のカンチレバー３の長手方
向略半部分が挟持されて、片持ち梁状にケース１内に収
められているものである。さらにそのカンチレバー３の
挟持部分には増幅回路等を含む信号処理回路４に接続さ
れる端子５が形成されており、またそのカンチレバー３
の自由端（先端）には加速感度を高めるための慣性買置
を有する錘り６が取付られている。７はカンチレバー３
の挟持部分と、自由端との間の歪みを生じ得る個所に形
成されている４個の厚膜歪ゲージであフて、この厚膜歪
ゲージは、例えばスクリーン印刷技術又は焼成技術によ
って形成されており、しかも第６図に示すブリッジ回路
を構成している。８はそのブリッジ回路を含む評価回路
、９は錘り６の過度の揺動を規制するためのストッパー
を示す。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来の加速度センサにあって
は、該加速度センサが例えば長期に亘って使用されるこ
とによりカンチレバー３が繰返し撓まされることでスト
レスが生じ、これが原因でカンチレバーが折損されるこ
とがある。このカンチレバーが折損されることで加速度
の変動に関連動作する錘り６の動作がカンチレバー３に
適格に作用させることが不可能となって正確な加速度が
検出されなくなることは勿論のこと、この加速度センサ
に関連する装置の誤操作が生じるといった問題点があっ
た。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、かかる問題点に着目してなされたもので、カ
ンチレバーが折損されたとき、その折損状態を直ちに検
出させることができる回路構成となしたものである。具
体的には、カンチレバーの撓み部に、厚膜歪ゲージに接
続される接続回路の一部を厚膜焼成回路で延在させ、万
一カンチレバーが折損されたときは、その折損に伴なっ
て、厚膜歪ゲージに接続される回路の一部が切断され、
これによって加速度センサノ異常を検知することができ
る加速度センサを提供することにある。

［実　施　例］ 以下に本発明を第１図乃至第３図に示す実施例に基いて
詳細に説明する。

１１はロアハウジングであって、このロアハウジング１
１にはアッパハウジング１２が対設されるように形成さ
れている。１３は上記ロアハウジング１１とアッパハウ
ジング１２とによって挟持される辺縁部に形成されてい
るセラミックス板であって、そのセラミックス板１３（
Ｄ周ｋｅ１４は、ロアハウジング１１とアッパハウジン
グ１２とにより挟持固定されるようになっている。さら
にこのセラミックス板１３の中央部には０字状のスリッ
ト１５を形成して、そのスリット１５に囲まれる舌片状
のカンチレバー１６と、そのスリット１５の外側に位置
される周縁固定部すなわち前記周縁１４を形成し、さら
にこのカンチレバー１６の基端部近傍には、４個の厚膜
歪ゲージ１７を、例えばスクリーン印刷法又は焼成法に
より施しているものである。またそのカンチレバー１６
の自由端部には、加速感度を高めるための慣性質量を有
する錘り１８が取付けられているが、この錘り１８の製
造は第３図で示されるように、凸形状に形成されている
２個の錘り部材１８−１と１８−２とを、上記カンチレ
バー１６を挟んで対称的に固定しているものである。従
ってこのカンチレバー１６の先端部に組合せ固定されて
いる錘り１８は、′！Ｊ３図に示す如く略Ｈ形となり、
その両側凹部幅（ｂ）内に、セラミックス板１３の周縁
固定部１４が位置されるようにその錘り１８の大きさが
設定されているものである。また前記４個の厚膜歪ゲー
ジ１７は、従来例の第６図に示すようなブリッジ回路と
なるように厚膜焼成されたリードパターン１９（延在回
路）によって接続されているが、このリードパターン１
９の一部はカンチレバー１６の基部（固定部）よりその
自由端部にまで延在形成しているものである。２０はセ
ラミックス板１３に設けられている接続端子、２１はそ
の接続端子１９に接続される処理回路、２２は評価回路
を示す。

以上述べたように、本実施例のカンチレバー１６の表面
には、そのカンチレバーの基部より自由端部に亘って、
厚膜歪ゲージ１フに接続する回路パターン１９を延在し
、しかもこの回路パターン１９は厚膜焼成回路で形成し
たものであるから、例えば上記構成の加速度センサの長
期使用によるカンチレバー１６のストレス（疲労）、あ
るいは、過大なる衝撃力の繰返作用等により該カンチレ
バー１６が破損（破断）されると、この破損に伴なって
厚膜歪ゲージ１フに接続される焼成された回路パターン
１９も切断され、これによってセンサ出力が不能となっ
てセンサが破損されたことが即座に検知できるものであ
る。

［発明の効果］ このように本発明は、セラミック製板材で形成された片
持ち梁構造の舌片状カンチレバー１６を有する加速度セ
ンサにおいて、前記カンチレバー１６の基部表面に設け
られた歪ゲージ１７と、該歪ゲージ１７に接続される加
速度検出回路２２の一部であって前記カンチレバー１６
の先端部まで延在形成される厚膜焼成の延在回路１９と
を有する加速度センサであるから、これによれば異常外
力等により該カンチレバー１６が破損（破断）されると
、この破損に伴なって厚膜歪ゲージ１７に接続される焼
成された回路パターン１９も切断され、これによってセ
ンサ出力が不能となってセンサが破損されたことが即座
に検知でき、信頼性に優れた加速度センサが提供できる
という効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明よりなる加速度センサの実施例を示し
た斜視図、第２図は第１図に招けるＡ−Ａ線断面図、第
３図は第１図におけるＢ−Ｂ線断面図、第４図及び第５
区は従来例の構造説明図、第６図はその回路説明図であ
る。 １１・・・ロアハウジング １２・・・アッパハウジング １３・・・セラミックス板　　１４・・・周縁１５・・
・スリット　　　　　　１６・・・カンチレバー１７・
・・厚膜歪ゲージ　　　１８・・・錘り１９・・・リー
ドパターン（延在回路）２０・・・接続端子　　　　　
２１・・・処理回路２２−・・評価回路 他４名 第１図 第２図　　　第３図 第４図 第５図 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　セラミック製板材で形成された片持ち梁構造の舌片
   状カンチレバー（１６）を有する加速度センサにおいて
   、前記カンチレバー（１６）の基部表面に設けられた歪
   ゲージ（１７）と、該歪ゲージ（１７）に接続される加
   速度検出回路（２２）の一部であって前記カンチレバー
   （１６）の先端部まで延在形成される厚膜焼成の延在回
   路（１９）とを有することを特徴とする加速度センサ。