JPH04223274A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH04223274A JPH04223274A JP40664890A JP40664890A JPH04223274A JP H04223274 A JPH04223274 A JP H04223274A JP 40664890 A JP40664890 A JP 40664890A JP 40664890 A JP40664890 A JP 40664890A JP H04223274 A JPH04223274 A JP H04223274A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- weight
- acceleration sensor
- patterns
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば自動車に設備され
て、エアバッグ、サスペンション等の制御のために使用
される片持ち梁式厚膜加速度センサに関するものである
。
て、エアバッグ、サスペンション等の制御のために使用
される片持ち梁式厚膜加速度センサに関するものである
。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の片持ち梁式厚膜加速度セ
ンサの構成としては、図３及び図４に示す如き構造のも
のがある。１及び２は上下一対のケースであって、この
双方のケース１と２とによって、長方形のカンチレバー
３の長手方向略半部分が挟持されて、片持ち梁状にケー
ス１内に収められているものである。さらにそのカンチ
レバー３の挟持部分には増幅回路等を含む信号処理回路
４に接続される端子５が形成されており、またそのカン
チレバー３の自由端（先端）には加速感度を高めるため
の慣性質量を有する錘り６が取り付けられている。７は
カンチレバー３の挟持部分と、自由端との間の歪みを生
じ得る個所に形成されている４個の厚膜歪ゲージであっ
て、この厚膜歪ゲージは、例えばスクリーン印刷技術又
は焼成技術によって形成されている。８は評価回路、９
は錘り６の過度の揺動を規制するためのストッパーを示
し、加速度が作用したとき、錘り６は一対のストッパー
９間で変位し得るものである。
ンサの構成としては、図３及び図４に示す如き構造のも
のがある。１及び２は上下一対のケースであって、この
双方のケース１と２とによって、長方形のカンチレバー
３の長手方向略半部分が挟持されて、片持ち梁状にケー
ス１内に収められているものである。さらにそのカンチ
レバー３の挟持部分には増幅回路等を含む信号処理回路
４に接続される端子５が形成されており、またそのカン
チレバー３の自由端（先端）には加速感度を高めるため
の慣性質量を有する錘り６が取り付けられている。７は
カンチレバー３の挟持部分と、自由端との間の歪みを生
じ得る個所に形成されている４個の厚膜歪ゲージであっ
て、この厚膜歪ゲージは、例えばスクリーン印刷技術又
は焼成技術によって形成されている。８は評価回路、９
は錘り６の過度の揺動を規制するためのストッパーを示
し、加速度が作用したとき、錘り６は一対のストッパー
９間で変位し得るものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、かかる構造
の加速度センサにあっては、カンチレバー３の変位範囲
がＨであって、この変位範囲Ｈ内でのカンチレバー３の
変位に伴なう厚膜歪ゲージ７の歪みに応じて出力する信
号で加速度を検出することができるが、例えばカンチレ
バーが折損されて、錘り６が一方のストッパー９に接触
されたままとなったとき、過大加速度が継続されて錘り
６がストッパー９に接触されたままとなっているとき等
のカンチレバー３の異常を検知することが困難であった
。
の加速度センサにあっては、カンチレバー３の変位範囲
がＨであって、この変位範囲Ｈ内でのカンチレバー３の
変位に伴なう厚膜歪ゲージ７の歪みに応じて出力する信
号で加速度を検出することができるが、例えばカンチレ
バーが折損されて、錘り６が一方のストッパー９に接触
されたままとなったとき、過大加速度が継続されて錘り
６がストッパー９に接触されたままとなっているとき等
のカンチレバー３の異常を検知することが困難であった
。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる従来の問
題点に着目してなされたもので、カンチレバーの変位範
囲を越える動作（加速度）が加わって、そのカンチレバ
ー又は錘りが固定枠部に当接したとき、この当接信号を
出力する回路を具備せしめて、上記カンチレバーの動作
が上記変位範囲を越えているとき、カンチレバーの診断
を行なうことにより、加速度センサによる加速度検知の
信頼性を高めることができるようにした加速度センサを
提供することにある。
題点に着目してなされたもので、カンチレバーの変位範
囲を越える動作（加速度）が加わって、そのカンチレバ
ー又は錘りが固定枠部に当接したとき、この当接信号を
出力する回路を具備せしめて、上記カンチレバーの動作
が上記変位範囲を越えているとき、カンチレバーの診断
を行なうことにより、加速度センサによる加速度検知の
信頼性を高めることができるようにした加速度センサを
提供することにある。
【０００５】
【実施例】以下に本発明を図１、図２及び図５に示す実
施例に基いて詳細に説明する。
施例に基いて詳細に説明する。
【０００６】１１はロアハウジングであって、このロア
ハウジング１１にはアッパハウジング１２が対設される
ように形成されている。１３は上記ロアハウジング１１
とアッパハウジング１２とによって挟持される辺縁部に
形成されているセラミックス板であって、そのセラミッ
クス板１３の周縁固定部１４は、ロアハウジング１１と
アッパハウジング１２とにより挟持固定されるようにな
っている。さらにこのセラミックス板１３の中央部には
Ｕ字状のスリット１５を形成して、そのスリット１５に
囲まれる舌片状のカンチレバー１６と、そのスリット１
５の外側に位置される周縁固定部すなわち前記周縁固定
部１４を形成し、さらにこのカンチレバー１６の基端部
近傍には、４個の厚膜歪ゲージ１７を、例えばスクリー
ン印刷法又は焼成法により施しているものである。また
そのカンチレバー１６の自由端部には、加速感度を高め
るための慣性質量を有し、かつ導電材料で形成される錘
り１８が取り付けられているが、この錘り１８の製造は
図５で示されるように、凸形状に形成されている２個の
錘り部材１８−１と１８−２とを、上記カンチレバー１
６を挟んで対称的に固定しているものである。従ってこ
のカンチレバー１６の先端部に組合せ固定されている錘
り１８は、図５に示す如く略Ｉ形となり、その両側凹部
幅１９内に、セラミックス板１３の周縁固定部１４が位
置されるようのその錘り１８の大きさが設定されている
ものである。また前記４個の厚膜歪ゲージ１７は、ブリ
ッジ回路となるように厚膜焼成されたリードパターン２
０（延在回路）によって接続されている。
ハウジング１１にはアッパハウジング１２が対設される
ように形成されている。１３は上記ロアハウジング１１
とアッパハウジング１２とによって挟持される辺縁部に
形成されているセラミックス板であって、そのセラミッ
クス板１３の周縁固定部１４は、ロアハウジング１１と
アッパハウジング１２とにより挟持固定されるようにな
っている。さらにこのセラミックス板１３の中央部には
Ｕ字状のスリット１５を形成して、そのスリット１５に
囲まれる舌片状のカンチレバー１６と、そのスリット１
５の外側に位置される周縁固定部すなわち前記周縁固定
部１４を形成し、さらにこのカンチレバー１６の基端部
近傍には、４個の厚膜歪ゲージ１７を、例えばスクリー
ン印刷法又は焼成法により施しているものである。また
そのカンチレバー１６の自由端部には、加速感度を高め
るための慣性質量を有し、かつ導電材料で形成される錘
り１８が取り付けられているが、この錘り１８の製造は
図５で示されるように、凸形状に形成されている２個の
錘り部材１８−１と１８−２とを、上記カンチレバー１
６を挟んで対称的に固定しているものである。従ってこ
のカンチレバー１６の先端部に組合せ固定されている錘
り１８は、図５に示す如く略Ｉ形となり、その両側凹部
幅１９内に、セラミックス板１３の周縁固定部１４が位
置されるようのその錘り１８の大きさが設定されている
ものである。また前記４個の厚膜歪ゲージ１７は、ブリ
ッジ回路となるように厚膜焼成されたリードパターン２
０（延在回路）によって接続されている。
【０００７】２１−１及び２１−２は前記セラミックス
板１３の周縁固定部１４の相対する辺縁部に沿ってパタ
ーン形成されている一対の導体パターンであって、これ
ら導体パターン２１−１と２１−２は、前記導電性の錘
り１８が当接されることで端絡され診断信号が出力され
るものである。
板１３の周縁固定部１４の相対する辺縁部に沿ってパタ
ーン形成されている一対の導体パターンであって、これ
ら導体パターン２１−１と２１−２は、前記導電性の錘
り１８が当接されることで端絡され診断信号が出力され
るものである。
【０００８】２２は上記パターン２０及び２１−１，２
１−２に接続される接続端子を示す。
１−２に接続される接続端子を示す。
【０００９】以上述べたように本実施例にあっては、セ
ラミックス板１３の周縁固定部１４に、一対の導体パタ
ーン２１−１，２１−２を形成し、さらにカンチレバー
１６の自由端部に固定されると共に上記双方の導体パタ
ーン相互間に跨って配置される錘り１８を導電性となし
たものであるから過大な加速度作用により、あるいはカ
ンチレバー１６の折損等により錘り１８がセラミックス
板１３に当接されると、その導電性錘り１８が導体パタ
ーン２１−１，２１−２に接触して双方導体パターン２
１−１，２１−２が導通し、その結果、診断信号が出力
されるために、この診断信号の出力によって、カンチレ
バー１６の異常等が推定され従って該加速度センサの診
断を即座に行なうことが要求され、この診断の実施によ
り加速度センサあるいはこれに関連するシステムの信頼
性を向上せしめることができる。なお上記実施例におい
て導体パターン２１−１，２１−２の錘り当接部を圧電
素子となして、錘りが当接される圧接力で診断信号が出
力されるようにしてもよい。
ラミックス板１３の周縁固定部１４に、一対の導体パタ
ーン２１−１，２１−２を形成し、さらにカンチレバー
１６の自由端部に固定されると共に上記双方の導体パタ
ーン相互間に跨って配置される錘り１８を導電性となし
たものであるから過大な加速度作用により、あるいはカ
ンチレバー１６の折損等により錘り１８がセラミックス
板１３に当接されると、その導電性錘り１８が導体パタ
ーン２１−１，２１−２に接触して双方導体パターン２
１−１，２１−２が導通し、その結果、診断信号が出力
されるために、この診断信号の出力によって、カンチレ
バー１６の異常等が推定され従って該加速度センサの診
断を即座に行なうことが要求され、この診断の実施によ
り加速度センサあるいはこれに関連するシステムの信頼
性を向上せしめることができる。なお上記実施例におい
て導体パターン２１−１，２１−２の錘り当接部を圧電
素子となして、錘りが当接される圧接力で診断信号が出
力されるようにしてもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明は、セラミック製板
材に、略Ｕ字状のスリット１５を設けて形成され片持梁
構造の舌片状カンチレバー１６と周縁固定部１４を形成
し、このカンチレバー１６の基端部に厚膜歪ゲージ１７
を取り付け、また前記カンチレバー１６の自由端部表裏
両面に、同一形状の導電性錘り部材１８−１，１８−２
の夫々を対称的に固定し、これら双方の錘り部材１８−
１，１８−２によって形成される凹部幅１９内に前記周
縁固定部１４の辺縁を位置せしめ、更に、該辺縁に前記
導電性錘り部材１８−１，１８−２の夫々に対向してそ
れらとの接触を検出する一対の導体パターン２１−１，
２１−２を設けた加速度センサであるから、これによれ
ば該加速度センサにおいて不具合が生じたときは診断信
号が出力されるために、この診断信号出力時に加速度セ
ンサの診断を行なえば不具合の早期解決を図ることがで
き、これによってこの加速度センサあるいはこれに関連
するシステムの信頼性を向上せしめることができるとい
う効果が得られる。
材に、略Ｕ字状のスリット１５を設けて形成され片持梁
構造の舌片状カンチレバー１６と周縁固定部１４を形成
し、このカンチレバー１６の基端部に厚膜歪ゲージ１７
を取り付け、また前記カンチレバー１６の自由端部表裏
両面に、同一形状の導電性錘り部材１８−１，１８−２
の夫々を対称的に固定し、これら双方の錘り部材１８−
１，１８−２によって形成される凹部幅１９内に前記周
縁固定部１４の辺縁を位置せしめ、更に、該辺縁に前記
導電性錘り部材１８−１，１８−２の夫々に対向してそ
れらとの接触を検出する一対の導体パターン２１−１，
２１−２を設けた加速度センサであるから、これによれ
ば該加速度センサにおいて不具合が生じたときは診断信
号が出力されるために、この診断信号出力時に加速度セ
ンサの診断を行なえば不具合の早期解決を図ることがで
き、これによってこの加速度センサあるいはこれに関連
するシステムの信頼性を向上せしめることができるとい
う効果が得られる。
【図１】本発明よりなる加速度センサの平面構造説明図
。
。
【図２】図１の側面構造説明図。
【図３】従来例の平面説明図。
【図４】従来例の正面説明図。
【図５】図２におけるＡ−Ａ線断面図。
１１：ロアハウジング
１２：アッパハウジング
１３：セラミックス板
１４：周縁固定部
１５：スリット
１６：カンチレバー
１７：厚膜歪ゲージ
１８：錘り
１８−１，１８−２：錘り部材
１９：凹部幅
２０：リードパターン
２１−１，２１−２：導体パターン ２２：接続
端子
端子
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミック製板材に、略Ｕ字状のスリ
ット（１５）を設けて形成され片持梁構造の舌片状カン
チレバー（１６）と周縁固定部（１４）を形成し、この
カンチレバー（１６）の基端部に厚膜歪ゲージ（１７）
を取り付け、また前記カンチレバー（１６）の自由端部
表裏両面に、同一形状の導電性錘り部材（１８−１），
（１８−２）の夫々を対称的に固定し、これら双方の錘
り部材（１８−１），（１８−２）によって形成される
凹部幅（１９）内に前記周縁固定部（１４）の辺縁を位
置せしめ、更に、該辺縁に前記導電性錘り部材（１８−
１），（１８−２）の夫々に対向してそれらとの接触を
検出する一対の導体パターン（２１−１），（２１−２
）を設けたことを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40664890A JPH04223274A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40664890A JPH04223274A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04223274A true JPH04223274A (ja) | 1992-08-13 |
Family
ID=18516268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40664890A Pending JPH04223274A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04223274A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6900235B1 (en) | 1997-05-16 | 2005-05-31 | Uaf Technologies And Research, Llc | Benzimidazole compounds, and pharmaceutical compositions and unit dosages thereof |
-
1990
- 1990-12-26 JP JP40664890A patent/JPH04223274A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6900235B1 (en) | 1997-05-16 | 2005-05-31 | Uaf Technologies And Research, Llc | Benzimidazole compounds, and pharmaceutical compositions and unit dosages thereof |
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