JPH04173258A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
- Publication number
- JPH04173258A JPH04173258A JP30089790A JP30089790A JPH04173258A JP H04173258 A JPH04173258 A JP H04173258A JP 30089790 A JP30089790 A JP 30089790A JP 30089790 A JP30089790 A JP 30089790A JP H04173258 A JPH04173258 A JP H04173258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glaze
- substrate
- convex
- wiring
- smooth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 7
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 abstract description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルヘッドに係わり、更に詳しくはガラス
グレーズ層に関するものである。
グレーズ層に関するものである。
従来、サーマルヘッドのグレーズ層は、第６図に示す如
（平板状アルミナセラミツク基板１上面に−様な厚みで
形成された平面グレーズ層６か、あるいは第４図に示す
如く発熱体４周辺のみに部分的に形成された部分グレー
ズ層２であった。
（平板状アルミナセラミツク基板１上面に−様な厚みで
形成された平面グレーズ層６か、あるいは第４図に示す
如く発熱体４周辺のみに部分的に形成された部分グレー
ズ層２であった。
該部分グレーズ層を有するサーマルヘッドにおいては、
発熱体が基板上面より突出しているので被印字紙との接
触性が良（低平滑度の紙に対しても旨品位な印字が実現
できるという利点があるが、部分グレーズの施されてい
ない他の大部分の基板上面は、微細な凹凸を有したセラ
ミック素地なので配線パターンの表面積が大きく且つ薄
くなってしまう。したがって配線抵抗は高（、ピンホー
ル等の欠陥発生率が著しく高（なり高密度の配線を実現
するのが難しいという欠点があった。
発熱体が基板上面より突出しているので被印字紙との接
触性が良（低平滑度の紙に対しても旨品位な印字が実現
できるという利点があるが、部分グレーズの施されてい
ない他の大部分の基板上面は、微細な凹凸を有したセラ
ミック素地なので配線パターンの表面積が大きく且つ薄
くなってしまう。したがって配線抵抗は高（、ピンホー
ル等の欠陥発生率が著しく高（なり高密度の配線を実現
するのが難しいという欠点があった。
本発明は、これらの欠点を解決し、セラミック素地の凹
凸の影響を排除し、配線の高密度化、多層配線の信頼性
を向上させることを目的とする。
凸の影響を排除し、配線の高密度化、多層配線の信頼性
を向上させることを目的とする。
本発明は、基板上面に発熱体を配置したグレーズ部及び
測定用パッドパターン部を除く周辺に発熱体を配置した
グレーズ層より薄く平滑なグレーズ層を発熱体を配置し
たグレーズ層と接触もしくは重なるよう形成したことを
特徴とする。
測定用パッドパターン部を除く周辺に発熱体を配置した
グレーズ層より薄く平滑なグレーズ層を発熱体を配置し
たグレーズ層と接触もしくは重なるよう形成したことを
特徴とする。
上記目的は、第１図の断面図に示す如く、凸状の部分グ
レーズ２で覆われた部分以外の基板上面１を上記部分グ
レーズの厚みより十分薄く平滑なガラスグレーズ３を形
成することによって達せられる。
レーズ２で覆われた部分以外の基板上面１を上記部分グ
レーズの厚みより十分薄く平滑なガラスグレーズ３を形
成することによって達せられる。
第１図は本発明の実施例であって断面図を示す。 １は
セラミック基板、２は凸状のグレーズ、３は平滑なグレ
ーズ１．４は発熱体、５は配線、６は保詠膜である。凸
状のグレーズは低平滑度の紙へ高品位な印字ができる様
に厚（（約Ａ Ｄ Ｉｌｍ、 ）基板の端面に沿って形
成する。平滑なグレーズは残る基板の大部分に凸状グレ
ーズより薄く（約１０μｍ）形成する。その際必ず凸状
グレーズと重ねることにより（ぼみが生じない様にすれ
ばフォトリソ工程におけるレジスト溜りも起こさず配線
の高密度化が実現できる。
セラミック基板、２は凸状のグレーズ、３は平滑なグレ
ーズ１．４は発熱体、５は配線、６は保詠膜である。凸
状のグレーズは低平滑度の紙へ高品位な印字ができる様
に厚（（約Ａ Ｄ Ｉｌｍ、 ）基板の端面に沿って形
成する。平滑なグレーズは残る基板の大部分に凸状グレ
ーズより薄く（約１０μｍ）形成する。その際必ず凸状
グレーズと重ねることにより（ぼみが生じない様にすれ
ばフォトリソ工程におけるレジスト溜りも起こさず配線
の高密度化が実現できる。
第２図は本発明の平面図である。７は配線５と一体とな
っている測定用バンド及びドライバー工Ｃのポンディン
グパッド、８はドライバーエＣ１９はＦＰＣとの接続端
子部である。第２図に示す如（平滑なグレーズは、凸状
グレーズを除く基板全面に形成するが測定パッドも避け
る必要がある。それはグレーズ」二に測定パッドを形成
すると抵抗値測定の際に測定ブローベーとの接触安定性
が悪（なり測定の信頼性が落ちてしまうからである。測
定パッドは配線よ秒大きな面積を有しているので平滑な
グレーズを形成しな（もセラミック基板素地の凹凸の影
響を太き（受けないものである〔発明の効果〕 以上説明したように平滑なグレーズを凸状グレーズ部及
び測定パッド部を除く基板全面に形成することによりセ
ラミック基板の微小な凹凸の上層膜へ及ぼす悪影響を除
去できるのであるから配線の高密度化、更に多層配線の
信頼性の向上が期待できる。
っている測定用バンド及びドライバー工Ｃのポンディン
グパッド、８はドライバーエＣ１９はＦＰＣとの接続端
子部である。第２図に示す如（平滑なグレーズは、凸状
グレーズを除く基板全面に形成するが測定パッドも避け
る必要がある。それはグレーズ」二に測定パッドを形成
すると抵抗値測定の際に測定ブローベーとの接触安定性
が悪（なり測定の信頼性が落ちてしまうからである。測
定パッドは配線よ秒大きな面積を有しているので平滑な
グレーズを形成しな（もセラミック基板素地の凹凸の影
響を太き（受けないものである〔発明の効果〕 以上説明したように平滑なグレーズを凸状グレーズ部及
び測定パッド部を除く基板全面に形成することによりセ
ラミック基板の微小な凹凸の上層膜へ及ぼす悪影響を除
去できるのであるから配線の高密度化、更に多層配線の
信頼性の向上が期待できる。
第１図は本発明のサーマルヘッドの実施例の断面図、第
２図は平面図、第６図は従来の平面グレーズ型のサーマ
ルヘッドの断面図、第４図は従来の部分グレーズ型サー
マルヘッドの断面図である１・・・・・・・・・アルミ
ナセラミック基板２・・・・・・・・・凸状のグレーズ
層６・・・・・・・・・平滑なグレーズ層４・・・・・
・・・・発熱体 ５ ・・・ ・・・ ・・・ 自己 線６・・・・
・・・・・保護膜 ７・・・・・・・・・測定用及びポンディングパッド８
・・・・・・・・・ドライバーエＣ ９・・°・・・・・・ＦＰＯ接続端子 以 」二 出願人 セイコーエプソン株式会社
２図は平面図、第６図は従来の平面グレーズ型のサーマ
ルヘッドの断面図、第４図は従来の部分グレーズ型サー
マルヘッドの断面図である１・・・・・・・・・アルミ
ナセラミック基板２・・・・・・・・・凸状のグレーズ
層６・・・・・・・・・平滑なグレーズ層４・・・・・
・・・・発熱体 ５ ・・・ ・・・ ・・・ 自己 線６・・・・
・・・・・保護膜 ７・・・・・・・・・測定用及びポンディングパッド８
・・・・・・・・・ドライバーエＣ ９・・°・・・・・・ＦＰＯ接続端子 以 」二 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (2)
- （１）ガラスグレーズ層を有するサーマルヘッドにおい
て、基板上面に発熱体を配置したグレーズ部及び測定用
パッドパターン部を除く周辺に前記発熱体を配置したグ
レーズ層より薄く平滑なグレーズ層を前記発熱体を配置
したグレーズ層と接触もしくは重なるよう形成されたこ
とを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）多層配線を有するサーマルヘッドであって、層間
絶縁層を第１項記載の平滑なガラスグレーズ層上に形成
することを特徴とする請求項１記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30089790A JPH04173258A (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30089790A JPH04173258A (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04173258A true JPH04173258A (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=17890443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30089790A Pending JPH04173258A (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04173258A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995032867A1 (fr) * | 1994-05-31 | 1995-12-07 | Rohm Co., Ltd. | Tete d'impression thermique |
| US6116271A (en) * | 1998-05-08 | 2000-09-12 | Firma Andreas Stihl Ag & Co. | Venting valve for a fuel tank |
| JP2014040075A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Osaka Sealing Printing Co Ltd | 感熱紙、および該感熱紙を用いたラベル |
| JP2017043013A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ |
-
1990
- 1990-11-06 JP JP30089790A patent/JPH04173258A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995032867A1 (fr) * | 1994-05-31 | 1995-12-07 | Rohm Co., Ltd. | Tete d'impression thermique |
| US5680170A (en) * | 1994-05-31 | 1997-10-21 | Rohm Co. Ltd. | Thermal printhead |
| US6116271A (en) * | 1998-05-08 | 2000-09-12 | Firma Andreas Stihl Ag & Co. | Venting valve for a fuel tank |
| JP2014040075A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Osaka Sealing Printing Co Ltd | 感熱紙、および該感熱紙を用いたラベル |
| JP2017043013A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ |
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