JPH04170521A - 液晶表示素子 - Google Patents
液晶表示素子Info
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- JPH04170521A JPH04170521A JP29800090A JP29800090A JPH04170521A JP H04170521 A JPH04170521 A JP H04170521A JP 29800090 A JP29800090 A JP 29800090A JP 29800090 A JP29800090 A JP 29800090A JP H04170521 A JPH04170521 A JP H04170521A
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- Japan
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- liquid crystal
- ito electrode
- crystal display
- glass substrate
- ito
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶表示素子のＩＴＯ電極構成に係わり、特
に液晶表示パネルのガラス基板のＩＴＯ電極上に液晶駆
動用ＬＳＩチップをフェースダウンで実装してなる液晶
表示素子に関する。
に液晶表示パネルのガラス基板のＩＴＯ電極上に液晶駆
動用ＬＳＩチップをフェースダウンで実装してなる液晶
表示素子に関する。
従来の技術
近年の液晶表示・素子においては、液晶表示パネルの高
精細度化に伴い表示画素数の増加やパターンの微細化が
顕著である。これに対応するために最近では、液晶表示
パネルのガラス基板上に液晶駆動用ＬＳＩチップを直接
実装する方式が提案されている。
精細度化に伴い表示画素数の増加やパターンの微細化が
顕著である。これに対応するために最近では、液晶表示
パネルのガラス基板上に液晶駆動用ＬＳＩチップを直接
実装する方式が提案されている。
なかでも、液晶表示パネルのガラス基板上に液晶駆動用
ＬＳＩチップを導電性接着剤を用いてフェイスダウンボ
ンディングによシ実装する方法が特開昭５２−３５５４
８号公報によシ明らかにされている。
ＬＳＩチップを導電性接着剤を用いてフェイスダウンボ
ンディングによシ実装する方法が特開昭５２−３５５４
８号公報によシ明らかにされている。
以下図面を参照しながら、従来の液晶表示素子の一例に
ついて説明する。
ついて説明する。
第４図は従来の液晶表示素子の概略説明図である。第４
図において、１５は上側ガラス基板であシ、１６は上側
ＩＴＯ電極である。１７は下側ガラス基板であシ、１８
は下側ＩＴＯ電極である。
図において、１５は上側ガラス基板であシ、１６は上側
ＩＴＯ電極である。１７は下側ガラス基板であシ、１８
は下側ＩＴＯ電極である。
１９は液晶材料であシ、２０はそれを封止するための封
止樹脂である。２１は液晶駆動用ＬＳＩチノブであシ、
２２は導電性接着剤である。
止樹脂である。２１は液晶駆動用ＬＳＩチノブであシ、
２２は導電性接着剤である。
以上のように構成された従来の液晶表示素子について、
以下その概略を説明する。
以下その概略を説明する。
まず、上側ガラス基板１５の上側ＩＴＯ電極１６と下側
ガラス基板１７の下側ＩＴＯ電極１８を、エツチングな
どによって所定のパターンに形成する。次に、上側ガラ
ス基板１５と下側ガラス基板１７を位置合わせして所定
のギャップを保ちながら貼合わせた後、該ギャップに液
晶材料１９を封入して封止樹脂２０によシ封止すること
によシ、液晶表示パネルを得る。
ガラス基板１７の下側ＩＴＯ電極１８を、エツチングな
どによって所定のパターンに形成する。次に、上側ガラ
ス基板１５と下側ガラス基板１７を位置合わせして所定
のギャップを保ちながら貼合わせた後、該ギャップに液
晶材料１９を封入して封止樹脂２０によシ封止すること
によシ、液晶表示パネルを得る。
さらに、上記で得た液晶表示パネルの下側ＩＴＯ電極１
８に、液晶駆動用ＬＳＩチップ２１を導電性接着剤２２
を用いてフェイスダウンボンディングにより実装して、
液晶表示素子を得るものである。
８に、液晶駆動用ＬＳＩチップ２１を導電性接着剤２２
を用いてフェイスダウンボンディングにより実装して、
液晶表示素子を得るものである。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記の様な構成による液晶表示素子におい
ては、液晶駆動用ＬＳＩチップ２１に接続するＩＴＯ電
極の抵抗値が高く、電圧降下や電流が充分に供給するこ
とが出来なくなり、液晶駆動用ＬＳＩチップ２１の誤動
作や表示品質の低下の原因となっている。
ては、液晶駆動用ＬＳＩチップ２１に接続するＩＴＯ電
極の抵抗値が高く、電圧降下や電流が充分に供給するこ
とが出来なくなり、液晶駆動用ＬＳＩチップ２１の誤動
作や表示品質の低下の原因となっている。
不発明は上記の課題に鑑みてなされたものであシ、その
目的とするところは、液晶表示・（ネルのガラス基板の
ＩＴＯ電極上に実装した液晶駆動用ＬＳＩ千ノブが信頼
性良く正常に動作し、良好な表示品質の得られる液晶表
示素子を提供するものである。
目的とするところは、液晶表示・（ネルのガラス基板の
ＩＴＯ電極上に実装した液晶駆動用ＬＳＩ千ノブが信頼
性良く正常に動作し、良好な表示品質の得られる液晶表
示素子を提供するものである。
課題を解決するだめの手段
本発明は上記の課題を解決するため、液晶表示パネルの
ガラス基板のＩＴＯ電極上に、液晶駆動用ＬＳＩチップ
がフェースダウンで実装され、さらに前記ＩＴＯ電極の
一部を選択的に還元して、ＩＴＯ電極を低抵抗化したも
のである。
ガラス基板のＩＴＯ電極上に、液晶駆動用ＬＳＩチップ
がフェースダウンで実装され、さらに前記ＩＴＯ電極の
一部を選択的に還元して、ＩＴＯ電極を低抵抗化したも
のである。
作 用
米発明は上記した構成により、液晶表示パネルの工Ｔ○
電極が低抵抗化ロガラス基板上に実装した液晶駆動用Ｌ
ＳＩチップを正常に動作することができ、かつ、良好な
表示品質の得られる液晶表示素子が実現できる。
電極が低抵抗化ロガラス基板上に実装した液晶駆動用Ｌ
ＳＩチップを正常に動作することができ、かつ、良好な
表示品質の得られる液晶表示素子が実現できる。
実施例
以下、本発明の一実施例の液晶表示素子について、図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第１図は、本発明の一実施例における液晶表示素子の概
略説明図であり、第２図はＩＴＯ電極の低抵抗化の一例
を示す工程図であり、第３図は低抵抗化したＩＴＯ電極
の平面図である。
略説明図であり、第２図はＩＴＯ電極の低抵抗化の一例
を示す工程図であり、第３図は低抵抗化したＩＴＯ電極
の平面図である。
第１図において、１は上側ガラス基板であり、２は上側
ＩＴＯ電極である。３は下側ガラス基板であり、４は低
抵抗化された下側ＩＴＯ電極である。５は液晶材料であ
シ、６はそれを封止するための封止樹脂である。７は液
晶駆動用ＬＳＩチップであシ、８は導電性接着剤である
。第２図において、９はガラス基板、１ｏはＩＴＯ電極
であシ、１１はフォトレジストである。１２は還元され
たＩＴＯ電極である。第３図において、１３は還元され
ていないＩＴＯ電極であシ、１４は還元されたＩＴＯ電
極である。
ＩＴＯ電極である。３は下側ガラス基板であり、４は低
抵抗化された下側ＩＴＯ電極である。５は液晶材料であ
シ、６はそれを封止するための封止樹脂である。７は液
晶駆動用ＬＳＩチップであシ、８は導電性接着剤である
。第２図において、９はガラス基板、１ｏはＩＴＯ電極
であシ、１１はフォトレジストである。１２は還元され
たＩＴＯ電極である。第３図において、１３は還元され
ていないＩＴＯ電極であシ、１４は還元されたＩＴＯ電
極である。
以上のように構成された液晶表示素子について、以下図
面を用いて説明する。
面を用いて説明する。
まず、ガラス基板上にスパッタなどの公知の手法によっ
てＩＴＯ膜を成膜したのち、第２図ａに示すように前記
ＩＴＯ膜上にフォトレジスト１１を塗布しマスクを通し
て露光を行い現像し、ＩＴＯ膜をエツチングして所定の
ＩＴＯの電極１ｏのパターンを形成する。
てＩＴＯ膜を成膜したのち、第２図ａに示すように前記
ＩＴＯ膜上にフォトレジスト１１を塗布しマスクを通し
て露光を行い現像し、ＩＴＯ膜をエツチングして所定の
ＩＴＯの電極１ｏのパターンを形成する。
その後、該ガラス基板を水素プラズマなどの還元性雰囲
気中に曝してＩＴＯ電極１０の側面を還元して表面のフ
ォトレジスト１１を除去し、第２図すに示すように還元
されたＩＴＯ電極１２を得る。
気中に曝してＩＴＯ電極１０の側面を還元して表面のフ
ォトレジスト１１を除去し、第２図すに示すように還元
されたＩＴＯ電極１２を得る。
得られたＩＴＯ電極は第３図に示すようにその周囲の側
面部のみが選択的に還元されて、低抵抗化することが可
能である。
面部のみが選択的に還元されて、低抵抗化することが可
能である。
以上のようにして得られたガラス基板を用いて公知の方
法によって所定のギャップを形成して、該ギャンプ内に
液晶材料６を封入して封止樹脂６によシ封止することに
よシ、液晶表示パネルを得る。
法によって所定のギャップを形成して、該ギャンプ内に
液晶材料６を封入して封止樹脂６によシ封止することに
よシ、液晶表示パネルを得る。
さらに、上記で得た液晶表示パネルの低抵抗化されたＩ
ＴＯ電極４の所定の位置に、液晶駆動用ＬＳＩチップ了
を導電性接着剤８を用いてフェイスダウンボンディング
により実装して、液晶表示素子を得る。
ＴＯ電極４の所定の位置に、液晶駆動用ＬＳＩチップ了
を導電性接着剤８を用いてフェイスダウンボンディング
により実装して、液晶表示素子を得る。
上記した方法により得られる液晶表示素子は、液晶表示
パネルの低抵抗化したＩＴＯ電極上に液晶駆動用ＬＳＩ
チップを実装することによって、良好な表示品質の得ら
れる液晶表示素子が実現できる。
パネルの低抵抗化したＩＴＯ電極上に液晶駆動用ＬＳＩ
チップを実装することによって、良好な表示品質の得ら
れる液晶表示素子が実現できる。
なお、液晶駆動用ＬＳＩチップは下側ガラス基板に実装
するのに限られたものでなく、上側ガラス基板にも同様
の方法によって実装してもよい。
するのに限られたものでなく、上側ガラス基板にも同様
の方法によって実装してもよい。
発明の効果
以上に説明したように、本発明の液晶表示素子によれば
、液晶表示パネルのＩＴＯ電極の一部を選択的に還元す
ることによって、ＩＴＯ電極を低抵抗化することで、液
晶表示パネルのガラス基板上に実装した液晶駆動用ＬＳ
Ｉチップを正常に動作することができ、かつ、良好な表
示品質の得られるものが実現でき、極めて実用上価値の
高いものである。
、液晶表示パネルのＩＴＯ電極の一部を選択的に還元す
ることによって、ＩＴＯ電極を低抵抗化することで、液
晶表示パネルのガラス基板上に実装した液晶駆動用ＬＳ
Ｉチップを正常に動作することができ、かつ、良好な表
示品質の得られるものが実現でき、極めて実用上価値の
高いものである。
第１図は本発明の一実施例における液晶表示素子の概略
説明図、第２図ａ、ｂはＩＴＯ電極の低抵抗化の一例を
示す工程図、第３図は低抵抗化したＩＴＯ電極の平面図
、第４図は従来の液晶表示素子の概略説明図である。 １．１６・・・・・・上側ガラス基板、２，１６・・・
・・・上側ＩＴＯ電極、３．１７・・・・・下側ガラス
基板、４・・・・・低抵抗化された下側ＩＴＯ電極、５
，１９・・・・液晶材料、６，２０・・・・・・封止樹
脂、７，２１・・・・・・液晶駆動用ＬＳＩチップ、８
，２２・・・・・・導電性接着剤、９・・・・・・ガラ
ス基板、１０・・・・・・ＩＴＯ電極、１１・・・・・
・フォトレジスト、１２．１４・・・・・・還元された
ＩＴＯ電極、１３・・・・・・還元されていないＩＴＯ
電極、１８・・・・・・下側ＩＴＯ電極。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか２名１ｆｆ
７− ６ 株
説明図、第２図ａ、ｂはＩＴＯ電極の低抵抗化の一例を
示す工程図、第３図は低抵抗化したＩＴＯ電極の平面図
、第４図は従来の液晶表示素子の概略説明図である。 １．１６・・・・・・上側ガラス基板、２，１６・・・
・・・上側ＩＴＯ電極、３．１７・・・・・下側ガラス
基板、４・・・・・低抵抗化された下側ＩＴＯ電極、５
，１９・・・・液晶材料、６，２０・・・・・・封止樹
脂、７，２１・・・・・・液晶駆動用ＬＳＩチップ、８
，２２・・・・・・導電性接着剤、９・・・・・・ガラ
ス基板、１０・・・・・・ＩＴＯ電極、１１・・・・・
・フォトレジスト、１２．１４・・・・・・還元された
ＩＴＯ電極、１３・・・・・・還元されていないＩＴＯ
電極、１８・・・・・・下側ＩＴＯ電極。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか２名１ｆｆ
７− ６ 株
Claims (3)
- （１）液晶表示パネルのガラス基板のＩＴＯ電極上に、
液晶駆動用ＬＳＩチップをフェースダウンで実装してな
る液晶表示素子であって、前記ＩＴＯ電極の一部を選択
的に還元して、前記ＩＴＯ電極を低抵抗化したことを特
徴とする液晶表示素子。 - （２）前記ＩＴＯ電極がガラス基板上に形成されたＩＴ
Ｏ膜をフォトレジストによりパターンニングされた電極
である請求項１記載の液晶表示素子。 - （３）前記ＩＴＯ電極を水素プラズマ雰囲気中で還元を
行う請求項１記載の液晶表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29800090A JPH04170521A (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 液晶表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29800090A JPH04170521A (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 液晶表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04170521A true JPH04170521A (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=17853833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29800090A Pending JPH04170521A (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 液晶表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04170521A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100696262B1 (ko) * | 2000-04-27 | 2007-03-16 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 제조방법 |
-
1990
- 1990-11-01 JP JP29800090A patent/JPH04170521A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100696262B1 (ko) * | 2000-04-27 | 2007-03-16 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 제조방법 |
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