JPH0416918Y2 - - Google Patents

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JPH0416918Y2
JPH0416918Y2 JP1985045097U JP4509785U JPH0416918Y2 JP H0416918 Y2 JPH0416918 Y2 JP H0416918Y2 JP 1985045097 U JP1985045097 U JP 1985045097U JP 4509785 U JP4509785 U JP 4509785U JP H0416918 Y2 JPH0416918 Y2 JP H0416918Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この考案は、流体圧力を検出する装置に関し、
特にリラクタンスの変化によつて圧力を検出する
装置に関する。
(従来の技術) 従来のリラクタンス型圧力検出器では、ハウジ
ングに設けられたダイヤフラム部と、コイルを巻
装してなるコアが平行に配置され、これらダイヤ
フラム部とコアの周縁部相互がスペーサを介して
連結され、これらの間にギヤツプが形成されてい
る。そして、ダイヤフラム部に圧力が負荷されて
このダイヤフラム部が湾曲したときに、上記ギヤ
ツプが変化し、ダイヤフラム部、コアおよびギヤ
ツプを通る磁気回路のリラクタンスが変化し、こ
の変化を検出するようになつている。
(考案が解決しようとしている問題点) 上記装置では、ダイヤフラム部とコアが周縁部
で連結されているため、ギヤツプはこの周縁部で
は不変であり、中央部で最大に変化する。このよ
うにギヤツプの変化が局所的に行なわれるので、
検出感度を高めるのに限界があつた。
また、ダイヤフラム部の材料選択に制約があつ
た。すなわち、ダイヤフラム部は圧力に対して敏
感にかつ正確に応答する材料を選択する必要があ
る。他方、ダイヤフラム部は磁気回路の一部を構
成するため、透磁率の高い材料を選択する必要が
ある。このように両性質をある程度満足する材料
を選択しなければならず、一方の性質だけに優れ
た材料を用いることができないので、検出感度を
高めるのに限界があつた。
さらに、正圧の流体圧を検出する場合には、次
の不都合があつた。ダイヤフラム部とコアを接近
させた状態で検出感度を高めようとすると、正圧
の検出範囲が著しく制限されてしまう。反対に正
圧の検出範囲を広げようとすると、ダイヤフラム
部とコアを離さなければならず、低圧領域での検
出感度が低下してしまう欠点があつた。
(問題点を解決するための手段) 本考案は上記問題点を解消するためになされた
もので、次の構成を備えたリラクタンス型圧力検
出器を前提としている。
(イ) ボデイ。このボデイは圧力を導入する入力ポ
ートを有している。
(ロ) ダイヤフラム部。このダイヤフラム部は周縁
部がボデイに支持されている。ダイヤフラム部
の内側は上記入力ポードから導入された圧力を
受け、この圧力によりダイヤフラム部は変形す
る。
(ハ) 上記ダイヤフラム部と平行をなす平板状の磁
性板。
(ニ) 上記ダイヤフラム部および磁性板と平行をな
し、磁性板とギヤツプを介して対向配置された
検出コイルアツセンブリ。この検出コイルアツ
センブリは、コアとコイルを有している。コア
は、中央磁路部と、この中央磁路部を囲む筒形
状の周縁磁路部と、両者の基端を連ねる連絡磁
路部とを有している。コイルは、この中央磁路
部と周縁磁路部との間に配置されている。
さらに、本考案のリラクタンス型圧力検出器
においては、次のことを特徴とする。
(ホ) 上記ダイヤフラム部の外側に向かつて、上記
検出コイルアツセンブリ、上記磁性板の順で配
置されている。
(ヘ) 上記磁性板が、上記検出コイルアツセンブリ
のコアの中央磁路部と周縁磁路部の先端に対し
て上記ギヤツプを介して対向している。
(ト) 上記検出コイルアツセンブリが上記ボデイに
支持されており、検出コイルアツセンブリのコ
アの連絡磁路部がダイヤフラム部と間隙を介し
て対向配置されている。
(チ) 上記磁性板の中央部とダイヤフラム部の
中央部が、検出コイルアツセンブリのコアの中
央磁路部を貫通する連結棒により連結されてお
り、上記ダイヤフラム部の変形に伴い連結棒を
介して磁性板が変位される。
(実施例) 以下、この考案の一実施例を第1図から第2図
までの図面に基づいて説明する。
第1図中符号1はハウジングであり、このハウ
ジング1には継手2がボルト3によつて連結され
ている。継手2には入力ポート4が設けられてい
る。ハウジング1には、ダイヤフラム部5が一体
に設けられている。すなわち、ダイヤフラム部5
の周縁部がハウジング1に支持されている。ハウ
ジング1はステンレス等によつて形成されてい
る。
上記ハウジング1には、ボルト6により断面コ
字状の支持部材7が連結されている。ハウジング
1、継手2、支持部材7により、ボデイ20が構
成されている。支持部材7の中央には、固定孔8
が形成されており、この固定孔8には、コア9が
固定されている。このコア9は、円筒形状の中央
磁路部9aと、この中央磁路部9aを囲む円筒形
状の周縁磁路部9bと、両者の基端を連ねる平板
形状の連絡磁路部9cとを備えている。この中央
磁路部9aと周縁磁路部9bとの間にコイル11
が配置されている。これらコア9とコイル11に
より検出コイルアツセンブリ30が構成されてい
る。検出コイルアツセンブリ30は、ダイヤフラ
ム部5の外側にダイヤフラム部5と平行に配置さ
れている。コア9の連絡磁路部9cは間隙10を
介して上記ダイヤフラム部5と対向している。コ
ア9の中央磁路部9aには、通気孔12が形成さ
れ、後述するダイヤフラム部5の変形に伴う空気
の移動を可能にしている。
上記コイル11は図示しない検出回路に電気的
に接続されており、この検出回路によつてコイル
11の自己インダクタンスの変化が検出されるよ
うになつている。
また、上記ダイヤフラム部5の中央部には、内
方に突出するボス部13が形成されている。この
ボス部13には、連結棒14の一端がねじ込まれ
ることによつて固定されている。
連結棒14の他端は、上記コア9の通気孔12
を貫通して支持部材7の外側へ突出しており、こ
の他端に平板状の磁性板15の中央部がスペーサ
16を介してナツト17で固定されている。詳述
すると、連結棒14の他端には、段差部14a
と、連結棒14の外径より小径のねじ部14bと
が形成されている。この段差部14aに所定肉厚
を有したスペーサ16が載置され、このスペーサ
16上に上記磁性板15が載せられている。この
磁性板15は、ねじ部14aに螺合されたナツト
17を締め付けることにより固定されるようにな
つている。このようにして、磁性板15は、ダイ
ヤフラム部5の外側において、検出コイルアツセ
ンブリ30よりもダイヤフラム部5から離れて配
置されている。換言すれば、ダイヤフラム部5か
ら外側に向かつて検出コイルアツセンブリ30、
磁性板15の順に配置されている。ダイヤフラム
部5と検出コイルアセンブリ30と磁性板15は
互いに平行をなしている。コア9の中央磁路部9
aと周縁磁路部9bの先端は、磁性板15にギヤ
アツプ18を介して対向している。
。コア9と磁性板15間に形成されるギヤツプ
18は、上記スペーサ16の肉厚により調節でき
るようになつている。なお、この検出器を組み立
てた後でも、ナツト17を外してスペーサ16を
取り換えることにより、ギヤツプ18の調節を容
易に行うことができる。コイル11を流れる電流
によつて生じる磁束は、コア9の中央磁路部9
a、ギヤツプ18、磁性板15、ギヤツプ18、
コア9の周縁磁路部9b、コア9の連絡磁路部9
cによつて形成される磁気回路を通るようになつ
ている。上記磁性板15は、高透磁率の材料、例
えば、パーマロイ(ニツケル−鉄合金)により形
成されている。
上述構成において、入力ポート4から負圧の流
体圧が供給されると、ダイヤフラム部は下に凸と
なるように湾曲し、これに伴ない磁性板15が下
方へ変位してコア9に近付く。この結果、ギヤツ
プ18が小さくなつて磁気回路のリラクタンスが
減少する。また、正圧の流体圧が供給されると、
ダイヤフラム部5は上に凸となるように湾曲し、
これに伴ない磁性板15が上方へ変位してコア9
から離れる。この結果、ギヤツプ18が大きくな
つて、磁気回路のリラクタンスが増大する。検出
回路は上記のようなリラクタンスの変化を、コイ
ル11の自己インダクタンスの変化として検出
し、これにより圧力値を検出する。
上記のように、磁性板15は中央部が連結棒1
4を介してダイヤフラム部5に連結され、ダイヤ
フラム部5から離れているので、ダイヤフラム部
5が変形する際、磁性板15は平板形状を維持で
きる。しかも、磁性板15は変位量の大きなダイ
ヤフラム部5の中央部に固定されているので、全
面にわたつて大きく変位する。換言すれば、コア
9の中央磁路部9aと磁性板15との間のギヤツ
プ18のみならず、周縁磁路部9cと磁性板15
との間のギヤツプ18も大きく変化する。また、
ダイヤフラム部5はステンレス等で形成されてお
り、圧力に対して敏感にかつ正確に応答する。ま
た、磁性板15が高透磁率の材質によつて形成さ
れているため、ギヤツプ18の変化によつて磁気
回路のリラクタンスが大きく変化する。上記の各
特徴により、検出値の変化を大きくすることがで
き、検出感度を向上させることがきる。
さらに、以下の理由により、正圧を検出する場
合に特に有効である。すなわち、ギヤツプ18を
小さくしておき、磁性板15をコア9に接近させ
た状態から検出することができるため、検出感度
が良い。しかも、間隙10を大きく取ることによ
り、ダイヤフラム部5を図中上方に対し大きく変
位させることができ、また、磁性板15の上方へ
の移動に制約がないため、正圧の検出範囲を広く
することができる。
この考案は上記一実施例に制約されず種々の態
様が可能である。
(考案の効果) 以上説明したように、この考案によれば、ダイ
ヤフラム部と磁性板とが別部材であるため、それ
ぞれの機能に適した材質を選択することができ、
低圧領域での検出感度を高めることができる。ま
た、磁性板は、平板形状を維持したままコアの中
央磁路部および周縁磁路部の先端に対して変位す
るので、検出感度を高めることができる。
特に、正圧の流体圧を検出する場合には、検出
コイルアツセンブリと磁性板との間のギヤツプを
小さくすることにより、低圧領域での検出感度を
高めることができる。また、磁性板が検出コイル
アツセンブリよりも外側に配置されており、正圧
を受けた時に、ダイヤフラム部の変形に伴つて磁
性板が検出コイルアツセンブリから遠ざかる方向
に変位するので、磁性板の変位を制約するものが
なくなり、その結果、検出範囲を広くすることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図から第2図までの図面は、この考案の一
実施例を示すものであり、第1図はリラクタンス
型圧力検出器の断面図、第2図は連結棒と磁性板
の連結部分の拡大図である。 1……ハウジング、5……ダイヤフラム部、7
……支持部材、9……コア、9a……中央磁路
部、9b……周縁磁路部、9c……連絡磁路部、
10……間隙、11……コイル、13……ボス部
(ダイヤフラム部の中央部)、14……連結棒、1
5……磁性板、18……ギヤツプ、20……ボデ
イ、30……検出コイルアツセンブリ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (イ) ボデイ。このボデイは圧力を導入する入力ポ
    ートを有している。 (ロ) ダイヤフラム部。このダイヤフラム部は周縁
    部がボデイに支持されている。ダイヤフラム部
    の内側は上記入力ポートから導入された圧力を
    受け、この圧力によりダイヤフラム部は変形す
    る。 (ハ) 上記ダイヤフラム部と平行をなす平板状の磁
    性板。 (ニ) 上記ダイヤフラム部および磁性板と平行をな
    し、磁性板とギヤツプを介して対向配置された
    検出コイルアツセンブリ。この検出コイルアツ
    センブリは、コアとコイルを有している。コア
    は、中央磁路部と、この中央磁路部を囲む筒形
    状の周縁磁路部と、両者の基端を連ねる連絡磁
    路部とを有している。コイルは、この中央磁路
    部と周縁磁路部との間に配置されている。 上記構成を備えたリラクタンス型圧力検出器
    において、次のことを特徴とするリラクタンス
    型圧力検出器。 (ホ) 上記ダイヤフラム部の外側に向かつて、上記
    検出コイルアツセンブリ、上記磁性板の順で配
    置されている。 (ヘ) 上記磁性板が、上記検出コイルアツセンブリ
    のコアの中央磁路部と周縁磁路部の先端に対し
    て上記ギヤツプを介して対向している。 (ト) 上記検出コイルアツセンブリが上記ボデイに
    支持されており、検出コイルアツセンブリのコ
    アの連絡磁路部がダイヤフラム部と間隙を介し
    て対向配置されている。 (チ) 上記磁性板の中央部とダイヤフラム部の
    中央部が、検出コイルアツセンブリのコアの中
    央磁路部を貫通する連結棒により連結されてお
    り、上記ダイヤフラム部の変形に伴い連結棒を
    介して磁性板が変位される。
JP1985045097U 1985-03-29 1985-03-29 Expired JPH0416918Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985045097U JPH0416918Y2 (ja) 1985-03-29 1985-03-29

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JP1985045097U JPH0416918Y2 (ja) 1985-03-29 1985-03-29

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Publication Number Publication Date
JPS61161729U JPS61161729U (ja) 1986-10-07
JPH0416918Y2 true JPH0416918Y2 (ja) 1992-04-15

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ID=30558290

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JP1985045097U Expired JPH0416918Y2 (ja) 1985-03-29 1985-03-29

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2564460B2 (ja) * 1993-05-13 1996-12-18 テクノエクセル株式会社 センサ

Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4931373A (ja) * 1972-07-18 1974-03-20
JPS5025349A (ja) * 1973-07-04 1975-03-18

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59163939U (ja) * 1983-04-20 1984-11-02 株式会社 フクダ リラクタンス型圧力検知装置

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JPS4931373A (ja) * 1972-07-18 1974-03-20
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